JPH03156837A - 光電偏向器を有する陰極線管 - Google Patents
光電偏向器を有する陰極線管Info
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- JPH03156837A JPH03156837A JP2247639A JP24763990A JPH03156837A JP H03156837 A JPH03156837 A JP H03156837A JP 2247639 A JP2247639 A JP 2247639A JP 24763990 A JP24763990 A JP 24763990A JP H03156837 A JPH03156837 A JP H03156837A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/70—Arrangements for deflecting ray or beam
- H01J29/72—Arrangements for deflecting ray or beam along one straight line or along two perpendicular straight lines
- H01J29/74—Deflecting by electric fields only
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、電子源よりの電子ビームの通路の静電偏向手
段を有する陰極線管に関するものである。
段を有する陰極線管に関するものである。
(従来の技術)
陰極線管では、電子ビームの通路を、異なる電位に設定
されたプレートによる静電偏向によって偏向するのは普
通である。この管は、通常、時間軸(time bas
e)が加えられる水平偏向用の一対のプレートと、分析
さるべき電気信号が加えられる垂直偏向用の一対のプレ
ートとを有する。前記の電気信号は、信号発生器に接続
されたコネクタとケーブルによって管内に導入される。
されたプレートによる静電偏向によって偏向するのは普
通である。この管は、通常、時間軸(time bas
e)が加えられる水平偏向用の一対のプレートと、分析
さるべき電気信号が加えられる垂直偏向用の一対のプレ
ートとを有する。前記の電気信号は、信号発生器に接続
されたコネクタとケーブルによって管内に導入される。
前記の信号は、最初は電気的でない形で発生されること
がある。したがって電気信号への変換が必要となるが、
これは状況によっては不便であろう。
がある。したがって電気信号への変換が必要となるが、
これは状況によっては不便であろう。
前記の信号は種々の速度を有することができる。
速い信号に対しては、例えば数100MHzをカバーす
る通過帯域を有するオシロスコープを得ることが望まれ
るであろう。けれども、これを前記のような偏向手段で
実現するのは難しい。電波伝搬技術を用いた解決法が提
案されてきている。
る通過帯域を有するオシロスコープを得ることが望まれ
るであろう。けれども、これを前記のような偏向手段で
実現するのは難しい。電波伝搬技術を用いた解決法が提
案されてきている。
rActe ElectronicaJ 1966年、
vol、 10. No、 4゜第351−361
QのC,Loty 氏によるrLes tubes&
rayons cathodique h rayo
ns cathodique hpropagatio
n d’ondes h tras large ba
ndeJという標題の文献には、らせんの形のウェーブ
ライン(wave 1ine)を用いた解決法が開示さ
れている。
vol、 10. No、 4゜第351−361
QのC,Loty 氏によるrLes tubes&
rayons cathodique h rayo
ns cathodique hpropagatio
n d’ondes h tras large ba
ndeJという標題の文献には、らせんの形のウェーブ
ライン(wave 1ine)を用いた解決法が開示さ
れている。
この場合、一定の区分のウェーブラインが巻回されたワ
イヤ導体で形成され、これに沿って電波が3次元構造に
従って光の速度で伝搬する。このような基本原理に基づ
いて得られるオシロスコープは非常に高い通過帯域を有
する。けれども、分析され且つ電子ビームの静電偏向に
基づいて作用する信号は、無視できない容量を有する接
続ケーブルによって電気的に導入されねばならない。実
際に、常に感度の問題があり、設計者は結局速度と電子
ビームの偏向の感度との間に妥協点を見出すことになる
。
イヤ導体で形成され、これに沿って電波が3次元構造に
従って光の速度で伝搬する。このような基本原理に基づ
いて得られるオシロスコープは非常に高い通過帯域を有
する。けれども、分析され且つ電子ビームの静電偏向に
基づいて作用する信号は、無視できない容量を有する接
続ケーブルによって電気的に導入されねばならない。実
際に、常に感度の問題があり、設計者は結局速度と電子
ビームの偏向の感度との間に妥協点を見出すことになる
。
従って、極めて短い期間でよい光現象が分析されると、
この光現象が有することのできる速い情報の著しい部分
が前記の陰極線管内への導入の困難性によって表面に出
ないか更には失われることがあり、不都合さを更に悪化
させる。
この光現象が有することのできる速い情報の著しい部分
が前記の陰極線管内への導入の困難性によって表面に出
ないか更には失われることがあり、不都合さを更に悪化
させる。
したがって、光信号の変換を回避するという問題が課せ
られる。更に、このような速い光信号の分析のためにや
はり大きな感度と高い速度を管内で保つことが望まれる
。
られる。更に、このような速い光信号の分析のためにや
はり大きな感度と高い速度を管内で保つことが望まれる
。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は、前述したような問題を解決した冒頭記載の種
類の陰極線管を得ることを目的としたものである。
類の陰極線管を得ることを目的としたものである。
(課題を解決するための手段)
上記の目的を達成するために、本発明は、静電偏向手段
が、入射光線の作用を受けて光電偏向器の偏向電界を変
更する電荷を発生する該光電偏向器を含む少なくとも1
つの静電形光電偏向器を有することを特徴とするもので
ある。
が、入射光線の作用を受けて光電偏向器の偏向電界を変
更する電荷を発生する該光電偏向器を含む少なくとも1
つの静電形光電偏向器を有することを特徴とするもので
ある。
有利なことには、光線はその陰極線管内への導入以前に
電気信号に変換されることなく、しだがって該光線が有
する情報はより良く維持される。
電気信号に変換されることなく、しだがって該光線が有
する情報はより良く維持される。
光線は電子ビームに直接に介入する。
このことは、光線の作用に迅速に応答する装置において
だけでなしに、更に、装置の外側で光線を電気信号に変
換することのない利点を利用することによってさほど速
くない装置においても非常に有用である。
だけでなしに、更に、装置の外側で光線を電気信号に変
換することのない利点を利用することによってさほど速
くない装置においても非常に有用である。
本発明の原理は、検出さるべき光線を、管の面に設けた
窓を経て偏向板の1つに直接に送るということである。
窓を経て偏向板の1つに直接に送るということである。
この偏向板は、検出さるべき光線のスペクトル領域に依
存する光検出器によって覆われることができる。この光
検出器が光線を受けると、光線の強さに比例して多数の
電荷が発生される。正電極が近くに置かれると、この電
荷は移動し偏向板を正電位にする。これは陰極線管の内
部に置かれた光検出器を構成する。偏向板と光検出器は
光電偏向器を構成する。光検出器は、入射光線の作用を
受けて真空中に電荷を発生する光電陰極、或いは入射光
ビームの作用を受けてその材料内に電荷を発生する光電
素子例えば光ダイオードとすることができる。したがっ
て、陰極線管の接続ケーブル、コネクタおよび光検出器
と偏向板間のバイパスは略省される。インピーダンスZ
の選択に関する大きな自由度が生じる。
存する光検出器によって覆われることができる。この光
検出器が光線を受けると、光線の強さに比例して多数の
電荷が発生される。正電極が近くに置かれると、この電
荷は移動し偏向板を正電位にする。これは陰極線管の内
部に置かれた光検出器を構成する。偏向板と光検出器は
光電偏向器を構成する。光検出器は、入射光線の作用を
受けて真空中に電荷を発生する光電陰極、或いは入射光
ビームの作用を受けてその材料内に電荷を発生する光電
素子例えば光ダイオードとすることができる。したがっ
て、陰極線管の接続ケーブル、コネクタおよび光検出器
と偏向板間のバイパスは略省される。インピーダンスZ
の選択に関する大きな自由度が生じる。
特に、インピーダンスを接続ケープのインピーダンス(
代表的にはz=50Ω)に適合させることは最早必要な
く、大きな値のインピーダンスを用い、垂直検出感度を
著しく増すことが可能である。
代表的にはz=50Ω)に適合させることは最早必要な
く、大きな値のインピーダンスを用い、垂直検出感度を
著しく増すことが可能である。
したがって、若しインピーダンス2がc=0.1pfの
漂遊容量を伴う1000オームの抵抗ならば、偏向感度
のゲインは、光電偏向器の極端に短い立上り時間(Lo
ops)に対して1000150の比で得られる。
漂遊容量を伴う1000オームの抵抗ならば、偏向感度
のゲインは、光電偏向器の極端に短い立上り時間(Lo
ops)に対して1000150の比で得られる。
光電偏向器は、間に中央電極が介在する第1および第2
外側電極より成る3つの電極を有することができ、中央
電極の一方の側は電子ビームelが通過する第1スペー
スを区分し、他方の側は光電偏向器のある第2スペース
を区分する。
外側電極より成る3つの電極を有することができ、中央
電極の一方の側は電子ビームelが通過する第1スペー
スを区分し、他方の側は光電偏向器のある第2スペース
を区分する。
光検出器が光電陰極の場合には、本発明の一実施態様で
は、この光電陰極は、第2スペースを限界する電極の最
も負の電極上に設けられ、電荷epは光電陰極から正の
電極に向かって移動し、電子ビームefはこれとほぼ直
角の方向に第1スペースを横切る。
は、この光電陰極は、第2スペースを限界する電極の最
も負の電極上に設けられ、電荷epは光電陰極から正の
電極に向かって移動し、電子ビームefはこれとほぼ直
角の方向に第1スペースを横切る。
本発明の一実施態様では、中央電極は、第1および第2
外側電極の電位よりも高いかまたは低い中間電位に選択
的に設定されることかできる。
外側電極の電位よりも高いかまたは低い中間電位に選択
的に設定されることかできる。
光検出器が光ダイオードの場合には、この光検出器は、
正の外側電極と中央電極の間に置かれた一体片のシリコ
ンによって構成することができ、電子ビームefは中央
電極と負の外側電極で限界されスペースを横切る。
正の外側電極と中央電極の間に置かれた一体片のシリコ
ンによって構成することができ、電子ビームefは中央
電極と負の外側電極で限界されスペースを横切る。
選択的に、検出感度を増すために準無限大(quasi
−inf 1nite)値例えばIOMΩの非常に高い
抵抗を採用することも可能である。この場合、検出され
る光信号の立上り時間に関して時定数か大きくなり、垂
直偏向Vアは最早や瞬時の光信号に比例せずに時間の関
数として前記信号の積分に比例する。
−inf 1nite)値例えばIOMΩの非常に高い
抵抗を採用することも可能である。この場合、検出され
る光信号の立上り時間に関して時定数か大きくなり、垂
直偏向Vアは最早や瞬時の光信号に比例せずに時間の関
数として前記信号の積分に比例する。
v、 =l/c fidt
それ故偏向感度は容量Cに逆比例し、したがって光検出
器の活性面で限界された光検出器と正電極との間の距離
に比例する。さらに、この光検出器−正電極の距離の増
加は電子の飛行時間言わば前記の電極間スペースの実際
の立上り時間を延ばす。
器の活性面で限界された光検出器と正電極との間の距離
に比例する。さらに、この光検出器−正電極の距離の増
加は電子の飛行時間言わば前記の電極間スペースの実際
の立上り時間を延ばす。
したかって、意図する用途の関数として決めるべき最適
の距離がある。
の距離がある。
すべての実施例態様、特に3つの電極を有する実施態様
において、光検出器の実際の容量を低減するのか関心事
である。
において、光検出器の実際の容量を低減するのか関心事
である。
光検出器が充電陰極の場合には、光ダイオードと偏向電
極間の容量を低減する一手段は、電極の1つを省略する
ことである。したかって、電子ビームe1と電荷efと
が行動する電極間スペースは1つしかない。この基金光
電偏向器は夫々正と負電位に設定された2つの電極を有
し、光電陰極は、負電極の正電極に対向した面上に設け
られ、負電極はインピーダンスZによって負電位GND
に設定され、電荷efは光電陰極から正電極に向かって
移動し、電子ビームは同じ電極間スペースをこれとほぼ
直角方向に横切る。
極間の容量を低減する一手段は、電極の1つを省略する
ことである。したかって、電子ビームe1と電荷efと
が行動する電極間スペースは1つしかない。この基金光
電偏向器は夫々正と負電位に設定された2つの電極を有
し、光電陰極は、負電極の正電極に対向した面上に設け
られ、負電極はインピーダンスZによって負電位GND
に設定され、電荷efは光電陰極から正電極に向かって
移動し、電子ビームは同じ電極間スペースをこれとほぼ
直角方向に横切る。
光線は、電荷efを発生するために光検出器に届かねば
ならない。光線の配向に応じて、少なくとも電極の1つ
を透明にして光線を光検出器に透過することが必要であ
ろう。この電極は、光電陰極を受ける透明支持体例えば
金属化ガラスとすることができる。光電陰極に対面する
電極はメツシュグリルとすることかできる。または、光
ダ、イオードの場合には、シリコン片を透明な金属酸化
物で被覆することができる。
ならない。光線の配向に応じて、少なくとも電極の1つ
を透明にして光線を光検出器に透過することが必要であ
ろう。この電極は、光電陰極を受ける透明支持体例えば
金属化ガラスとすることができる。光電陰極に対面する
電極はメツシュグリルとすることかできる。または、光
ダ、イオードの場合には、シリコン片を透明な金属酸化
物で被覆することができる。
光検出器が電子ビームefと発生された電荷e。
とに対して1つのスペースをそなえた2つの電極を有す
る場合には、通常は保証されねばならない静止した永続
的な偏向か発生されるであろう。したかって、電子ビー
ムefの軌道の静止したこの静止偏向は、例えば補正コ
イルまたは静電偏向器のような補正手段によって補正さ
れる。
る場合には、通常は保証されねばならない静止した永続
的な偏向か発生されるであろう。したかって、電子ビー
ムefの軌道の静止したこの静止偏向は、例えば補正コ
イルまたは静電偏向器のような補正手段によって補正さ
れる。
以下に説明する種々の実施例は、その基本構造か3電極
または2電極を有する光電偏向器に関するものである。
または2電極を有する光電偏向器に関するものである。
ここで電極というのは、板またはビームを偏向する適当
な形を有する素子を意味するものと了解され度い。光検
出器が偏向手段内に組込まれるというのは、速い光信号
に対して反応速度を増加させることのできる光電偏向器
を形成するということを意味する。けれども電子ビーム
efの軌道に沿って配設された幾つかの光検出器を有す
る配分された光電偏向器とし、光線はりフレフタにより
1つの陰極または光ダイオードから次のものに次々と偏
向されるようにすることによって前記の反応速度を増加
することも可能である。
な形を有する素子を意味するものと了解され度い。光検
出器が偏向手段内に組込まれるというのは、速い光信号
に対して反応速度を増加させることのできる光電偏向器
を形成するということを意味する。けれども電子ビーム
efの軌道に沿って配設された幾つかの光検出器を有す
る配分された光電偏向器とし、光線はりフレフタにより
1つの陰極または光ダイオードから次のものに次々と偏
向されるようにすることによって前記の反応速度を増加
することも可能である。
一方においては光電陰極または光ダイオードをリフレク
タとへだでる距離および他方においては相続く2つの中
央電極をへだてる距離を、電子ビームefと光電陰極ま
たは光ダイオードとの位置関係が確実に同一になるよう
に決めると、最良の結果が得られる。
タとへだでる距離および他方においては相続く2つの中
央電極をへだてる距離を、電子ビームefと光電陰極ま
たは光ダイオードとの位置関係が確実に同一になるよう
に決めると、最良の結果が得られる。
光電偏向器または配分された光電偏向器は、排気され且
つ陰極線管のすべての構成要素を有する単一のスペース
内に設けることができる。けれども、3電極の実施態様
の場合には、工業製産を容易にするために、光電陰極を
有するスペースを陰極線管の他の構成要素を有するスペ
ースより隔離することが可能である。したがって光電陰
極に関する場合には、一方においては光電陰極のまた他
方においては電子ビームの陰極(電子源)の形成に必要
な熱処理を独立に行い、以ってこれ等が互いに損傷され
ることがないようにすることが可能である。組立後は、
前記の2つのスペースは、不連通のままであるが、これ
等が所定の位置に合わされた後機械的に1つのアセンブ
リを形成することができる。
つ陰極線管のすべての構成要素を有する単一のスペース
内に設けることができる。けれども、3電極の実施態様
の場合には、工業製産を容易にするために、光電陰極を
有するスペースを陰極線管の他の構成要素を有するスペ
ースより隔離することが可能である。したがって光電陰
極に関する場合には、一方においては光電陰極のまた他
方においては電子ビームの陰極(電子源)の形成に必要
な熱処理を独立に行い、以ってこれ等が互いに損傷され
ることがないようにすることが可能である。組立後は、
前記の2つのスペースは、不連通のままであるが、これ
等が所定の位置に合わされた後機械的に1つのアセンブ
リを形成することができる。
(実施例)
以下に本発明を添付の図面を参照して実施例により更に
詳しく説明する。
詳しく説明する。
第1図は従来の陰極線管を示す。この陰極線管は排気さ
れたスペースlOを有し、このスペース内で電子銃11
が電子ビームefを放出し、この電子ビームは垂直偏向
電極12と水平偏向電極13によって偏向される(ビー
ム14)。偏向電極は、ビームの偏向速度を増すために
従来技術にしたがってらせん状の線によって形成するこ
ともできる。分析される速い電気信号は図示しない導体
によって導入される。
れたスペースlOを有し、このスペース内で電子銃11
が電子ビームefを放出し、この電子ビームは垂直偏向
電極12と水平偏向電極13によって偏向される(ビー
ム14)。偏向電極は、ビームの偏向速度を増すために
従来技術にしたがってらせん状の線によって形成するこ
ともできる。分析される速い電気信号は図示しない導体
によって導入される。
本発明によれば、少なくとも1つの偏向手段か光電偏向
器で置き代えられる。
器で置き代えられる。
第2A図は、第1外側電極20、第2外側電極21およ
び中央電極22より成る3つの電極を有する光電偏向器
を示す。電子ビームefは電極21と22の間を通過す
る。第1外側電極20は正電位HTに設定され、第2外
側電極は負電位GNDに設定され、中央電極22は中間
電位に設定される。この中央電極の第1外側電極20に
面する側には光電陰極24か付着される。中央電極は、
負荷インピーダンスZによって負電位に接続される。光
線251.252.253の影響を受けて、前記の光電
陰極は電子を放出し、この電子は第1外側電極20によ
って捕捉される。
び中央電極22より成る3つの電極を有する光電偏向器
を示す。電子ビームefは電極21と22の間を通過す
る。第1外側電極20は正電位HTに設定され、第2外
側電極は負電位GNDに設定され、中央電極22は中間
電位に設定される。この中央電極の第1外側電極20に
面する側には光電陰極24か付着される。中央電極は、
負荷インピーダンスZによって負電位に接続される。光
線251.252.253の影響を受けて、前記の光電
陰極は電子を放出し、この電子は第1外側電極20によ
って捕捉される。
か(して発生された電流の影響を受けて中央電極22の
電位か変化し、電極21と22間の偏向電界も変化し、
これによって電子ビームefか偏向される。
電位か変化し、電極21と22間の偏向電界も変化し、
これによって電子ビームefか偏向される。
第2B図は、3つの電極を有する光電偏向器の構成要素
の別の配置を示す。第1外側電極20は負の電位GND
に設定され、第2外側電極21は正の電位HTに設定さ
れ、中央電極22は中間電位に設定され、負荷インピー
ダンスZを経て正電位HTに接続される。電子ビームe
fは電極21と22の間を通過する。光電陰極は、より
正電位にある中央電極22に対向して、負の電極20上
に付着される。ビームの偏向に対して前述と同様のメカ
ニズムか発生される。
の別の配置を示す。第1外側電極20は負の電位GND
に設定され、第2外側電極21は正の電位HTに設定さ
れ、中央電極22は中間電位に設定され、負荷インピー
ダンスZを経て正電位HTに接続される。電子ビームe
fは電極21と22の間を通過する。光電陰極は、より
正電位にある中央電極22に対向して、負の電極20上
に付着される。ビームの偏向に対して前述と同様のメカ
ニズムか発生される。
別の実施例では、中央電極は第1および第2外側電極の
電位よりも低いかまたは高い電位に設定され、この場合
光電陰極は電極20および22のより負の電極上に付着
される。
電位よりも低いかまたは高い電位に設定され、この場合
光電陰極は電極20および22のより負の電極上に付着
される。
第3図は2つの電極を有する充電偏向器を示す。
電子ビームefと電荷efは同じ電極間スペース内を移
動する。充電陰極24は、インピーダンスZを経て負電
位GNDに接続された電極22上に付着される。この場
合、光電陰極と正電極間の分極の直流電圧か電子ビーム
efを強く静止偏向させる。
動する。充電陰極24は、インピーダンスZを経て負電
位GNDに接続された電極22上に付着される。この場
合、光電陰極と正電極間の分極の直流電圧か電子ビーム
efを強く静止偏向させる。
この静止した偏向は、
電子ビームが光電偏向器に入る前に該電子ビームを先験
的に傾斜させるか、 反対方向に動作し且つ光電偏向器の上方か下方に位置さ
れた第2の静電偏向器を置くか、ニ ビームの軌道がス
クリーンの所望の領域に形成されるように適当に配設さ
れた磁気偏向器を用いるか、 により適当な補正手段によって補正されねばならない。
的に傾斜させるか、 反対方向に動作し且つ光電偏向器の上方か下方に位置さ
れた第2の静電偏向器を置くか、ニ ビームの軌道がス
クリーンの所望の領域に形成されるように適当に配設さ
れた磁気偏向器を用いるか、 により適当な補正手段によって補正されねばならない。
第4A図は光ダイオードを有する光電偏向器の原理的な
略図を示す。光ダイオード40の一方は正電位V、(光
電陰極の場合の高電圧HTよりも低い)に接続され、他
方はインピーダンスZを経て接地された中央電極22に
接続される。電子ビームelは、中央電極22と負電位
にある第2外側電極21との間を通過する。第4B図は
実際的な略図を示す。
略図を示す。光ダイオード40の一方は正電位V、(光
電陰極の場合の高電圧HTよりも低い)に接続され、他
方はインピーダンスZを経て接地された中央電極22に
接続される。電子ビームelは、中央電極22と負電位
にある第2外側電極21との間を通過する。第4B図は
実際的な略図を示す。
光ダイオードは、正電位に設定され第1外側電極20と
中央電極との間に位置された一体片のシリコン41より
形成される。光!25+、 25.を捕捉するために、
電極の少なくとも一方は透明でなければならない。
中央電極との間に位置された一体片のシリコン41より
形成される。光!25+、 25.を捕捉するために、
電極の少なくとも一方は透明でなければならない。
第5A図は配分された光電偏向器の略図を示す。
この光電偏向器は、正電位に設定された第1外側電極2
0、負電位に設定された第2外側電極22、および多数
の中央電極22+−226を有する。この中央電極の夫
々は1つの充電陰極例えば電極22.に対して2’Lを
有する。各中央電極はインピーダンスZによって負電位
GNDに接続される。
0、負電位に設定された第2外側電極22、および多数
の中央電極22+−226を有する。この中央電極の夫
々は1つの充電陰極例えば電極22.に対して2’Lを
有する。各中央電極はインピーダンスZによって負電位
GNDに接続される。
第5B図は、光線50かたとる光の軌道を示す。この軌
道は、第1光電陰極241に衝突することによって始ま
る。光線の一部は吸収されて電子を発生しく電荷ef)
、この電子か既に述べたメカニズムに従って中央電極2
21の電位に影響を及ぼす。
道は、第1光電陰極241に衝突することによって始ま
る。光線の一部は吸収されて電子を発生しく電荷ef)
、この電子か既に述べたメカニズムに従って中央電極2
21の電位に影響を及ぼす。
光線の他の部分は第1外側電極20に向けて反射され、
この第1外側電極か今度は光線を第2光電陰極に送り、
以下同様に繰返される。このように光線は幾つかの光電
陰極に作用した後吸収される。
この第1外側電極か今度は光線を第2光電陰極に送り、
以下同様に繰返される。このように光線は幾つかの光電
陰極に作用した後吸収される。
配分された光電偏向器の利点を保つために、関係するす
べての光電陰極間の吸収を、それ等の吸収率を適合させ
ることによって、初めのものだけかよ(なることのない
ように分けることが望ましい。
べての光電陰極間の吸収を、それ等の吸収率を適合させ
ることによって、初めのものだけかよ(なることのない
ように分けることが望ましい。
けれとも、個々のすべての光電偏向器の作用か同じにな
るように、2つの続いた個別の光電偏向器をへたてる距
離dを、2つの続いた充電偏向器の間をたどる光路が光
電陰極(例えば241)を第1外側電極20よりへだて
る距離に適応するように決めることが必要である。電子
の速度は、Sを電荷 mを電荷の質量 ■を印加電位 である。光電陰極間の距離dはしたがって印加電位の関
数として決められる。
るように、2つの続いた個別の光電偏向器をへたてる距
離dを、2つの続いた充電偏向器の間をたどる光路が光
電陰極(例えば241)を第1外側電極20よりへだて
る距離に適応するように決めることが必要である。電子
の速度は、Sを電荷 mを電荷の質量 ■を印加電位 である。光電陰極間の距離dはしたがって印加電位の関
数として決められる。
光路を長くするために、第1外側電極20を用いずに第
6A図および第6B図に示したような側方偏向器を用い
ることも可能である。
6A図および第6B図に示したような側方偏向器を用い
ることも可能である。
光線がたどる光路を長くするために、第5c図に示した
ような配分光電偏向器とすることも可能である。各中央
電極22.−226はインピーダンスZによって負の電
位に接続される(第5A図参照)。
ような配分光電偏向器とすることも可能である。各中央
電極22.−226はインピーダンスZによって負の電
位に接続される(第5A図参照)。
この場合光ダイオード24は透明な支持体53に付着さ
れるが、この支持体は先ず負電位に設定された半透明の
第1外側電極20を支持している。したがって、光線5
0は透明な支持体53と半透明な電極20を横切り、光
電陰極24で一部を吸収されて反射され、再び同じ構成
要素を横切り、リフレクタ55で再び反射されようとす
る。次いで連続した反射、メカニズムか前記と同様に発
生される。この場合光路は、リフレクタ55を位置決め
することによって距離dに適合させることかできる。
れるが、この支持体は先ず負電位に設定された半透明の
第1外側電極20を支持している。したがって、光線5
0は透明な支持体53と半透明な電極20を横切り、光
電陰極24で一部を吸収されて反射され、再び同じ構成
要素を横切り、リフレクタ55で再び反射されようとす
る。次いで連続した反射、メカニズムか前記と同様に発
生される。この場合光路は、リフレクタ55を位置決め
することによって距離dに適合させることかできる。
前記の第5c図を、光線が支持体53の表面56を通っ
てリフレクタの方向に出ることのないように支持体53
を十分に厚(し以って十分に長い光路を有するように偏
向することも可能である(第5D図)。
てリフレクタの方向に出ることのないように支持体53
を十分に厚(し以って十分に長い光路を有するように偏
向することも可能である(第5D図)。
反射は、このようなりフレフタが支持体53に隣接した
時は該リフレクタによって或はリフレクタかなければ表
面56自身で全反射によって行われることができる。前
記の種々の構成要素の厚さおよび位置決めは、配分充電
偏向器に与えるのに望まれる速度の特性に依存する。
時は該リフレクタによって或はリフレクタかなければ表
面56自身で全反射によって行われることができる。前
記の種々の構成要素の厚さおよび位置決めは、配分充電
偏向器に与えるのに望まれる速度の特性に依存する。
第6A図、第6B図は、第5b図の実施例にならったも
のではあるか、側方リフレクタ61.62を有する実施
例を示す。
のではあるか、側方リフレクタ61.62を有する実施
例を示す。
光線50は、電子ビームの方向とは著しく異なった方向
で、第1の中央電極221に付着された第1の光電陰極
24に達し、一部が吸収されて電荷を発生し、この電荷
は、第1外側電極20で捕捉される。
で、第1の中央電極221に付着された第1の光電陰極
24に達し、一部が吸収されて電荷を発生し、この電荷
は、第1外側電極20で捕捉される。
光線の他の部分は側方リフレクタ61て反射され、この
側方リフレクタは光線を第2の光電陰極に向けて送る。
側方リフレクタは光線を第2の光電陰極に向けて送る。
したがって、各充電陰極において、吸収されなかった光
線か一方および他方の側方リフレクタによって交互に次
の光電陰極に向けて反射される。第6B図は第6A図の
充電偏向器の平面図で、ここでは図面を簡単にするため
に外側電極は省略されている。同じ構成要素は同じ符号
で示しである。
線か一方および他方の側方リフレクタによって交互に次
の光電陰極に向けて反射される。第6B図は第6A図の
充電偏向器の平面図で、ここでは図面を簡単にするため
に外側電極は省略されている。同じ構成要素は同じ符号
で示しである。
第5A−5D図に示した中央電極22+−22gは夫々
インピーダンスZを経て負電位GNDに接続された別々
の導電性表面を構成する。したかって、各中央電極の電
位は各光電陰極で発生された電荷e。
インピーダンスZを経て負電位GNDに接続された別々
の導電性表面を構成する。したかって、各中央電極の電
位は各光電陰極で発生された電荷e。
て制御される。前記の複数の導電性中央電極は異なる方
法で実現することが可能である。第7A図および第7B
図はこのような実施例を示す。この目的で絶縁支持体7
0が設けられ、この支持体上に中央電極22.−22.
が電子ビームの伝搬方向に別々に一貫して設けられてい
る。各中央電極は、該中央電極が絶縁支持体70の両側
に現れように該支持体を横切っている。上面(第7B図
)は光電陰極を支持し、下面はビームを偏向する役をす
る。各光電陰極(例えば241)はインピーダンスZ(
例えば711)を経て負荷位GNDに接続される。導電
性電極並びにインピーダンス2は通常の薄膜技術で得る
ことができる。光電陰極は通常に用いられる方法で付着
される。
法で実現することが可能である。第7A図および第7B
図はこのような実施例を示す。この目的で絶縁支持体7
0が設けられ、この支持体上に中央電極22.−22.
が電子ビームの伝搬方向に別々に一貫して設けられてい
る。各中央電極は、該中央電極が絶縁支持体70の両側
に現れように該支持体を横切っている。上面(第7B図
)は光電陰極を支持し、下面はビームを偏向する役をす
る。各光電陰極(例えば241)はインピーダンスZ(
例えば711)を経て負荷位GNDに接続される。導電
性電極並びにインピーダンス2は通常の薄膜技術で得る
ことができる。光電陰極は通常に用いられる方法で付着
される。
負の電極上に付着された光電陰極を有する前述した他の
配置も同じ方法を用いて実現することができる。
配置も同じ方法を用いて実現することができる。
第8図は、本発明の3つの電極より成る光電偏向器を有
する陰極線管の一実施例を示す。この陰極線管はやはり
第1図で既に説明したと同様な構成要素を有するが、こ
の場合偏向器の1つが光電偏向器に代えられている。
する陰極線管の一実施例を示す。この陰極線管はやはり
第1図で既に説明したと同様な構成要素を有するが、こ
の場合偏向器の1つが光電偏向器に代えられている。
図示の陰極線管は2つの独立した排気されたスペースl
Oと80で形成されている。
Oと80で形成されている。
スペース80は排気された容器で形成されている。
このスペースは第1外側電極20と光電陰極24を有す
る中央電極22aとを有する。したがって、前記のスペ
ース80は、さもなければ陰極線管の他の部分の僅かな
汚染を受けるおそれがある光電陰極の形成のためのすべ
てのプロセスに対して無関係に取扱うことかできる。ス
ペース80はその中に光線を入れる役をする窓を組み込
むことができる。
る中央電極22aとを有する。したがって、前記のスペ
ース80は、さもなければ陰極線管の他の部分の僅かな
汚染を受けるおそれがある光電陰極の形成のためのすべ
てのプロセスに対して無関係に取扱うことかできる。ス
ペース80はその中に光線を入れる役をする窓を組み込
むことができる。
スペース10は、外部から近付くことのできる第2外側
電極21並びに別の中央電極22bを有する。
電極21並びに別の中央電極22bを有する。
このようにして、組立て時、中央電極22aと22bは
電気的に連結(例えばはんだ付け)され、光電偏向器の
単一中央電極22が形成される。電子ビームefより離
間される距離したがって容量を減少し、排気されたスペ
ース80の位置決めを容易にするために、排気されたス
ペース10の中央電極22bを排気されたスペース10
の凹入部におくこともできる。
電気的に連結(例えばはんだ付け)され、光電偏向器の
単一中央電極22が形成される。電子ビームefより離
間される距離したがって容量を減少し、排気されたスペ
ース80の位置決めを容易にするために、排気されたス
ペース10の中央電極22bを排気されたスペース10
の凹入部におくこともできる。
2つの独立したスペースを有する前記の配置をとらずに
、すべての構成要素を排気されたスペース10内に位置
させる二七も可能なことはあきらかであろう。以上のべ
た光電偏向器の実施例は、本願発明の要旨を逸脱しない
範囲においで、当業者によく知られた類似の原理の陰極
線管に取付けることができる。
、すべての構成要素を排気されたスペース10内に位置
させる二七も可能なことはあきらかであろう。以上のべ
た光電偏向器の実施例は、本願発明の要旨を逸脱しない
範囲においで、当業者によく知られた類似の原理の陰極
線管に取付けることができる。
このような管はオシロスコープをつるために用いること
ができる。
ができる。
第1図は公知の陰極線管の図解図、
第2A図および第2B図は本発明の光電陰極をそなえた
3つの電極を有する本発明の光電偏向器の異なる実施例
の略断面図、 第3図は光電陰極をそなえた2つの陰極を有する充電偏
向器の略断面図、 第4A図は光ダイオードを有する充電偏向器の原理的説
明図、 第4B図はその実際的な略断面図、 第5A図は分配された光電偏向器の一実施例の略断面図
、 第5B図はその作用の説明図、 第5C図および第5D図は分配された光電偏向器の夫々
異なる実施例の略断面図、 第6A図は側方リフレクタを有する変形実施例の略斜視
図、 第6B図はその略平面図、 第7A図は第5A図の光電偏向器の電気回路の一実施例
を示す略平面図、 第7B図はその一部の断面図、 第8図は本発明よる陰極線管の一実施例の図解図である
。 20・・・第1外側電極 21・・・第2外側電極 22・・・中央電極 24・・・光電陰極 40・・・光ダイオード 41・・・シリコン片 53・・・支持体 55・・・リフレクタ 61、62・・・側方リフレクタ
3つの電極を有する本発明の光電偏向器の異なる実施例
の略断面図、 第3図は光電陰極をそなえた2つの陰極を有する充電偏
向器の略断面図、 第4A図は光ダイオードを有する充電偏向器の原理的説
明図、 第4B図はその実際的な略断面図、 第5A図は分配された光電偏向器の一実施例の略断面図
、 第5B図はその作用の説明図、 第5C図および第5D図は分配された光電偏向器の夫々
異なる実施例の略断面図、 第6A図は側方リフレクタを有する変形実施例の略斜視
図、 第6B図はその略平面図、 第7A図は第5A図の光電偏向器の電気回路の一実施例
を示す略平面図、 第7B図はその一部の断面図、 第8図は本発明よる陰極線管の一実施例の図解図である
。 20・・・第1外側電極 21・・・第2外側電極 22・・・中央電極 24・・・光電陰極 40・・・光ダイオード 41・・・シリコン片 53・・・支持体 55・・・リフレクタ 61、62・・・側方リフレクタ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電子源よりの電子ビームe_fの通路の静電偏向手
段を有する陰極線管において、静電偏向手段は、入射光
線の作用を受けて光電偏向器の偏向電界を変更する電荷
e_pを発生する該光電偏向器を含む少なくとも1つの
静電形光電偏向器を有することを特徴とする静電形光電
偏向器を有する陰極線管。 2、光電偏向器は、間に中央電極が配された第1と第2
外側電極を有し、電子ビームe_fが通過する第1のス
ペースは中央電極と第2外側電極で限界され、光検出器
を有する第2のスペースは中央電極と第1外側電極で限
界された請求項1記載の陰極線管。 3、光検出器は、第2のスペースを限界する電極の最も
負である電極上に付着された光電陰極で、電荷e_pは
光電陰極から正電極に向かって移動し、電子ビームe_
fは第1のスペースを実質的に直角な方向に横切る請求
項2記載の陰極線管。 4、第1外側電極は負電位に設定され、第2外側電極は
正電位に設定され、中央電極は中間電位に設定された請
求項2または3記載の陰極線管。 5、第1外側電極は正電位に設定され、第2外側電極は
負電位に設定され、中央電極は中間電位に設定された請
求項2または3記載の陰極線管。 6、中央電極は第1および第2外側電極の電位よりも高
い電位に設定された請求項2または3記載の陰極線管。 7、中央電極は第1および第2外側電極の電位よりも低
い電位に設定された請求項2または3記載の陰極線管。 8、光電偏向器は夫々正と負の電位に設定された2つの
電極を有し、光電陰極が、負電極の正電極に向かった面
上に付着され、負電極はインピーダンスzを経て負電位
GNDに接続され、電荷e_pは、光電陰極から正電極
に向かって移動し、電子ビームe_fは、同じスペース
内を実質的に直角方向に横切る請求項1記載の陰極線管
。 9、電子ビームe_fの通路の静止した偏向が補正手段
で補正される請求項8記載の陰極線管。 10、光検出器は光ダイオードである請求項1または2
記載の陰極線管。 11、光ダイオードは、正の外側電極と中央電極の間に
置かれたシリコン片によって構成され、電子ビームe_
fは中央電極と負の外側電極で限界されたスペースを横
切る請求項10記載の陰極線管。 12、電子ビームe_fは、電極の少なくとも1つに加
えられた電気信号と光検出器に加えられた光信号との組
合せによって偏向される請求項1乃至11の何れか1項
記載の陰極線管。 13、電極の少なくとも1つは、光線を光検出器に透過
するために透明である請求項2乃至12の何れか1項記
載の陰極線管。 14、透明な電極はメッシュグリッドで構成された請求
項13記載の陰極線管。 15、電子ビームe_fの通路に沿って配分された光電
偏向器を形成する幾つかの光電偏向器を有し、光線は、
1つの光電陰極または光ダイオードから次の光電陰極ま
たは光ダイオードに連続して偏向される請求項1乃至1
4の何れか1項記載の陰極線管。 16、一方において光電陰極または光ダイオードをリフ
レクタよりへだてる距離と他方において2つの続いた中
央電極をへだてる距離とが、電子ビームe_fへの同期
した作用を確実にするように決められた請求項15記載
の陰極線管。 17、光電偏向器を有する第1の排気されたスペースと
、管の他の構成要素を有する、前記の第1の排気された
スペースと一体に形成された第2の排気されたスペース
とを有する請求項1乃至7または10乃至16の何れか
1項記載の陰極線管。 18、組立前は、第1の排気されたスペースは独立した
構成要素を形成する請求項17記載の陰極線管。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8912474 | 1989-09-22 | ||
| FR8912474A FR2652447A1 (fr) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | Tube a rayons cathodiques muni d'un photodeviateur. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156837A true JPH03156837A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=9385765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2247639A Pending JPH03156837A (ja) | 1989-09-22 | 1990-09-19 | 光電偏向器を有する陰極線管 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5157303A (ja) |
| EP (1) | EP0418965B1 (ja) |
| JP (1) | JPH03156837A (ja) |
| DE (1) | DE69011788T2 (ja) |
| FR (1) | FR2652447A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE59204942D1 (de) * | 1992-06-22 | 1996-02-15 | Siemens Ag | Bildverstärker mit Bildsensor |
| JP2005164350A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Yokogawa Electric Corp | 電子ビーム発生装置及びこの装置を用いた光サンプリング装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1015514A (fr) * | 1947-12-23 | 1952-10-14 | Csf | Oscillographe cathodique destiné à mesurer la puissance d'ondes ultra-courtes |
| US3774236A (en) * | 1971-11-29 | 1973-11-20 | Gec Owensboro | Image converter utilizing the combination of an electrostatic deflection field and a magnetic focusing field |
-
1989
- 1989-09-22 FR FR8912474A patent/FR2652447A1/fr active Pending
-
1990
- 1990-08-28 US US07/574,621 patent/US5157303A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-17 EP EP90202454A patent/EP0418965B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-17 DE DE69011788T patent/DE69011788T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-19 JP JP2247639A patent/JPH03156837A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0418965B1 (fr) | 1994-08-24 |
| FR2652447A1 (fr) | 1991-03-29 |
| US5157303A (en) | 1992-10-20 |
| DE69011788T2 (de) | 1995-03-16 |
| EP0418965A1 (fr) | 1991-03-27 |
| DE69011788D1 (de) | 1994-09-29 |
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