JPH0315708A - 部品装着基板照明装置 - Google Patents
部品装着基板照明装置Info
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- JPH0315708A JPH0315708A JP15141689A JP15141689A JPH0315708A JP H0315708 A JPH0315708 A JP H0315708A JP 15141689 A JP15141689 A JP 15141689A JP 15141689 A JP15141689 A JP 15141689A JP H0315708 A JPH0315708 A JP H0315708A
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- JP
- Japan
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- plate
- light source
- light
- spherical shell
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、電子部品等を装着した基板の照明を行う照明
装置に係り、より詳細には、無影照明を行う部品装着基
板照明装置に関する。
装置に係り、より詳細には、無影照明を行う部品装着基
板照明装置に関する。
〈従来の技術〉
ＩＣやコンデンサ、あるいはトランジスタ等のチップ部
品を電子機器に組み込む場合には、プリント配線が施さ
れたプリント基板にこれらのチップ部品を装着する方法
が用いられているが、チップ部品が組み込まれた電子機
器が正常に動作するためには、各チップ部品が良品であ
ると共に、その装着が正しく行われていなければならな
いため、組み立て時においては、チップ部品の装着状態
の検査が実施されている。
品を電子機器に組み込む場合には、プリント配線が施さ
れたプリント基板にこれらのチップ部品を装着する方法
が用いられているが、チップ部品が組み込まれた電子機
器が正常に動作するためには、各チップ部品が良品であ
ると共に、その装着が正しく行われていなければならな
いため、組み立て時においては、チップ部品の装着状態
の検査が実施されている。
この検査は、チップ部品の装着されたプリント基板を撮
像し、撮像により得られた画像に基づいて行われるため
、第６図に示すように、光源であるハロゲンランプ９１
を、チップ部品９５が装着されたプリント基板である部
品装着基板９２の斜め上方に複数個配すると共に、部品
装着基板９２の真上に取り付けられたＣＯＤカメラ９３
によって撮像を行い、得られた画像信号を画像処理回路
９４に導くことによって、装着状態の判定を行っている
．この判定には、第７図ａに示すように、銅色である部
品装着基板９２のランド部９２１と、銀色であるチップ
部品９５の電極部９５１とから、その色の差異によって
ランド部９２１の抽出を行った後、第７図ｂに示すよう
に、そのエッジ部９２１ａを検出する．そして検出され
たエッジ部９２１ａの位置が、許容範囲内である場合に
は装着が正しく行われており、許容範囲を超える場合に
は、装着に誤りがあるとする判定方法が採用されている
． 〈発明が解決しようとする課題〉 上記判定においては、ランド部９２１の色（ｗ４色）と
部品装着基板９２本体の色（半田レジストが施されてい
るため緑色）とが異なることから、ランド部９２１の検
出を容易なものとするため、ＣＣＤカメラ９３にカラー
カメラを用いると共に、画像処理回路９４においてもカ
ラー処理を行っていることから、明度の差異が色判定に
大きく影響し、僅かな照明斑やハレーションにより判定
に誤りが生じるという問題があった。
像し、撮像により得られた画像に基づいて行われるため
、第６図に示すように、光源であるハロゲンランプ９１
を、チップ部品９５が装着されたプリント基板である部
品装着基板９２の斜め上方に複数個配すると共に、部品
装着基板９２の真上に取り付けられたＣＯＤカメラ９３
によって撮像を行い、得られた画像信号を画像処理回路
９４に導くことによって、装着状態の判定を行っている
．この判定には、第７図ａに示すように、銅色である部
品装着基板９２のランド部９２１と、銀色であるチップ
部品９５の電極部９５１とから、その色の差異によって
ランド部９２１の抽出を行った後、第７図ｂに示すよう
に、そのエッジ部９２１ａを検出する．そして検出され
たエッジ部９２１ａの位置が、許容範囲内である場合に
は装着が正しく行われており、許容範囲を超える場合に
は、装着に誤りがあるとする判定方法が採用されている
． 〈発明が解決しようとする課題〉 上記判定においては、ランド部９２１の色（ｗ４色）と
部品装着基板９２本体の色（半田レジストが施されてい
るため緑色）とが異なることから、ランド部９２１の検
出を容易なものとするため、ＣＣＤカメラ９３にカラー
カメラを用いると共に、画像処理回路９４においてもカ
ラー処理を行っていることから、明度の差異が色判定に
大きく影響し、僅かな照明斑やハレーションにより判定
に誤りが生じるという問題があった。
またチップ部品による影が生じたときには、第７図Ｃに
示すように、ランド部９２１に暗い部分９２２が生じる
。そのため、この画像を撮像した信号に基づいて画像処
理を行い、エッジの検出を行ったときには、ランド部９
２１の暗い部分９２２がランド部として検出されないた
め、第７図ｄに示すように、一部に欠損が生じたことを
示すエッジ９２ｌｂとして検出されることとなり、部品
の装着が正しくないと誤判定される問題が生じていた。
示すように、ランド部９２１に暗い部分９２２が生じる
。そのため、この画像を撮像した信号に基づいて画像処
理を行い、エッジの検出を行ったときには、ランド部９
２１の暗い部分９２２がランド部として検出されないた
め、第７図ｄに示すように、一部に欠損が生じたことを
示すエッジ９２ｌｂとして検出されることとなり、部品
の装着が正しくないと誤判定される問題が生じていた。
本発明は上記課題を解決するため着想されたものであり
、その目的は、部品装着基板に一様な照明を行うことの
できる部品装着基板照明装置を提供することにある。
、その目的は、部品装着基板に一様な照明を行うことの
できる部品装着基板照明装置を提供することにある。
〈課題を解決するための手段〉
上記課題を解決するため本発明の部品装着基板照明装置
は、 中心が同一であって、半径の異なる２つの球殻を二分し
、この二分された球殻のうち、半径の大きい方の球殻を
第１の球殻とし、他方の球殻を第２の球殻とするとき、 第ｌの球殻に近似した形状に形成され、その内面が光を
反射する反射板と、 第２の球殻に近似した形状に形成され、透過する光の拡
散を行う拡散板と、 この拡散板と前記反射板とに挟まれた空間内に設けられ
た複数の発光部と、 前記反射板と前記拡散板とを共に挿通ずる撮像覗き孔と
を備え 反射板と拡ＰＩＩＦｉ．との位置関係は、第１の球殻と
第２の球殻との位置関係に対応した関係となる構戒を採
用する． 〈作用〉 複数の光源から発せられた光は、直接に拡散板に向かう
光と、反射板に向かう光とに分かれる。
は、 中心が同一であって、半径の異なる２つの球殻を二分し
、この二分された球殻のうち、半径の大きい方の球殻を
第１の球殻とし、他方の球殻を第２の球殻とするとき、 第ｌの球殻に近似した形状に形成され、その内面が光を
反射する反射板と、 第２の球殻に近似した形状に形成され、透過する光の拡
散を行う拡散板と、 この拡散板と前記反射板とに挟まれた空間内に設けられ
た複数の発光部と、 前記反射板と前記拡散板とを共に挿通ずる撮像覗き孔と
を備え 反射板と拡ＰＩＩＦｉ．との位置関係は、第１の球殻と
第２の球殻との位置関係に対応した関係となる構戒を採
用する． 〈作用〉 複数の光源から発せられた光は、直接に拡散板に向かう
光と、反射板に向かう光とに分かれる。
そのため、直接に拡散板に向かった光についてのみ考慮
すると、拡散板は、光源に近い位置が明るく、光源から
遠ざかるに従って暗くなる．一方、反射板に向かった光
は、反射板において反射された後、拡散板に向かうこと
から、この反射された光は、拡散板上の光源から遠い位
置に集光することとなり、反射板によって反射され、拡
散板に向かう光と、直接に拡散板に向かう光とは補い合
う関係となることから、拡散板は一様な面光源となる． また拡散板は、その形状が、球殻を二分した形状に近似
した形状となっていることから、あらゆる角度から照明
する光となる。そしてこの光によって照明された部品装
着基板を、撮像装置によって、撮像覗き孔から撮像する
。
すると、拡散板は、光源に近い位置が明るく、光源から
遠ざかるに従って暗くなる．一方、反射板に向かった光
は、反射板において反射された後、拡散板に向かうこと
から、この反射された光は、拡散板上の光源から遠い位
置に集光することとなり、反射板によって反射され、拡
散板に向かう光と、直接に拡散板に向かう光とは補い合
う関係となることから、拡散板は一様な面光源となる． また拡散板は、その形状が、球殻を二分した形状に近似
した形状となっていることから、あらゆる角度から照明
する光となる。そしてこの光によって照明された部品装
着基板を、撮像装置によって、撮像覗き孔から撮像する
。
く実施例〉
第１図は、本発明の一実施例を上部より見下ろした外観
斜視図、第２図は、本発明の一実施例を下部より見上げ
た外観斜視図、第３図は本発明のー実施例を示す断面図
である。
斜視図、第２図は、本発明の一実施例を下部より見上げ
た外観斜視図、第３図は本発明のー実施例を示す断面図
である。
図において、プラスチック等を、二分された球殻状に戒
形加工することによって作成された反射板本体１１１の
内面１１４には、多段に形成された山部１ｌ２２、およ
び谷部１１２３ （第３図の右側においては、図面を見
易いものとするため、山部１１２２、および谷部ｌ１２
３を示す線の一部が省略さている）が、開口面１１３に
平行にリング状に走る反射補助板１１２ （厚みについ
ては図示が省略されている）が、反射板本体１１１の内
面に沿って取り付けられており、この反射補助板１１２
の内面１ｌ２１には、反射率を高めるため、白い蛍光塗
料が塗布されている．両面に微細な凹凸加工が施された
プラスチック板等を、二分された球殻状に或形加工する
ことによって作成された拡散ｌＩｉｌ２の開口側端部１
２１と、反射板本体１１１の開口側端部１１１１とは、
ドーナツ状の平板である下部接続板ｌ５の、外周縁と内
周縁とに、それぞれが、接着剤等によって固定されてい
る。
形加工することによって作成された反射板本体１１１の
内面１１４には、多段に形成された山部１ｌ２２、およ
び谷部１１２３ （第３図の右側においては、図面を見
易いものとするため、山部１１２２、および谷部ｌ１２
３を示す線の一部が省略さている）が、開口面１１３に
平行にリング状に走る反射補助板１１２ （厚みについ
ては図示が省略されている）が、反射板本体１１１の内
面に沿って取り付けられており、この反射補助板１１２
の内面１ｌ２１には、反射率を高めるため、白い蛍光塗
料が塗布されている．両面に微細な凹凸加工が施された
プラスチック板等を、二分された球殻状に或形加工する
ことによって作成された拡散ｌＩｉｌ２の開口側端部１
２１と、反射板本体１１１の開口側端部１１１１とは、
ドーナツ状の平板である下部接続板ｌ５の、外周縁と内
周縁とに、それぞれが、接着剤等によって固定されてい
る。
また反射板本体１１１、および拡散板１２のそれぞれの
頂部には、同一半径の挿入孔ｌ１１２、１２２が形成さ
れており、これらの挿入孔ｌ１１２、１２２には、その
外周径がこれら挿入孔１ｌ１２、１２２の半径に等しく
なるように形成されたプラスチック円筒１３１が挿入さ
れ、接着剤により、反射板本体１１１と拡散板１２とに
固定されている。そしてプラスチック円筒１３１の内部
は、照明された部品装着基板の撮影を行うための撮像覗
き孔１３となっている。
頂部には、同一半径の挿入孔ｌ１１２、１２２が形成さ
れており、これらの挿入孔ｌ１１２、１２２には、その
外周径がこれら挿入孔１ｌ１２、１２２の半径に等しく
なるように形成されたプラスチック円筒１３１が挿入さ
れ、接着剤により、反射板本体１１１と拡散板１２とに
固定されている。そしてプラスチック円筒１３１の内部
は、照明された部品装着基板の撮影を行うための撮像覗
き孔１３となっている。
反射補助板１１２と拡散板１２とによって形成された空
間部１６には、光源として、互いに半径の異なる３つの
リング状の蛍光管１４が、そのリング部が開口面１１３
に平行となると共に、反射補助板１１２に形成された、
最も高い３つの山部１１２５に対応する位置に、図示さ
れていない支持具によって固定されている。
間部１６には、光源として、互いに半径の異なる３つの
リング状の蛍光管１４が、そのリング部が開口面１１３
に平行となると共に、反射補助板１１２に形成された、
最も高い３つの山部１１２５に対応する位置に、図示さ
れていない支持具によって固定されている。
なお上記構戒において、反射板１ｌは、反射板本体１１
１、および反射補助板１１２とにより構戊されている。
１、および反射補助板１１２とにより構戊されている。
第４図は、本発明の一実施例を使用した検査装置の電気
的構成を示すブロック線図、第５図は、本発明に係る部
品装着基板照明装置（以下では単に照明装置と称する）
と部品装着基板、および撮像装置との関係を示す断面図
である。
的構成を示すブロック線図、第５図は、本発明に係る部
品装着基板照明装置（以下では単に照明装置と称する）
と部品装着基板、および撮像装置との関係を示す断面図
である。
チップ部品３０１が装着された部品装着基板３０は、Ｘ
およびＹ方向に移動するＸ−Ｙテーブル３５上に置かれ
ており、このＸ−Ｙテーブル３５の上部中央には、図示
されていない支持具によって、照明装置１０が取り付け
られており、さらにその上部には、撮像覗き孔ｌ３にそ
のレンズ部２１１が挿入された撮像装ｒＩｌ２１が取り
付けられている．撮像装置２ｌの出力は、Ａ／Ｄ変換器
３１を介して、画像処理回路３２に導かれており、この
百像処理回路３２の出力は制御回路３３に与えられてい
る。そして制御回路３３の出力は、Ｘ−Ｙテーブル３５
を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸モータ３６、およびＹ軸
方向に移動させるＹ軸モータ３７の回転の制御を行うＸ
−Ｙテーブル３５駆動部３４に送出されている。
およびＹ方向に移動するＸ−Ｙテーブル３５上に置かれ
ており、このＸ−Ｙテーブル３５の上部中央には、図示
されていない支持具によって、照明装置１０が取り付け
られており、さらにその上部には、撮像覗き孔ｌ３にそ
のレンズ部２１１が挿入された撮像装ｒＩｌ２１が取り
付けられている．撮像装置２ｌの出力は、Ａ／Ｄ変換器
３１を介して、画像処理回路３２に導かれており、この
百像処理回路３２の出力は制御回路３３に与えられてい
る。そして制御回路３３の出力は、Ｘ−Ｙテーブル３５
を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸モータ３６、およびＹ軸
方向に移動させるＹ軸モータ３７の回転の制御を行うＸ
−Ｙテーブル３５駆動部３４に送出されている。
以上の構成からなる本発明の一実施例の動作について以
下に説明する． 光源１４からは、直接に拡散板ｌ２に向かう光１４１と
、反射補助板１１２に向かう光１４２とが照射される．
そのため、直接に拡散板工２に向かう光１４１のみにつ
いて考慮したときには、拡散板１２の光源１４に近い位
Ｗ１２３には多くの直接光１４１が集中し、光源１４か
ら離れた位置１２４には直接光１４１が疎らとなること
から、光源１４に近い位置１２３は明るく、離れた位置
１２４は暗くなる。
下に説明する． 光源１４からは、直接に拡散板ｌ２に向かう光１４１と
、反射補助板１１２に向かう光１４２とが照射される．
そのため、直接に拡散板工２に向かう光１４１のみにつ
いて考慮したときには、拡散板１２の光源１４に近い位
Ｗ１２３には多くの直接光１４１が集中し、光源１４か
ら離れた位置１２４には直接光１４１が疎らとなること
から、光源１４に近い位置１２３は明るく、離れた位置
１２４は暗くなる。
一方、反射補助板１１２によって反射され、拡散板１２
に向かう光１４４について考慮すると、この反射された
光１４４は、光源１４から離れた位置１２４に集中する
こととなるため、光′ｒＡｌ４から離れた位置１２４が
明るく、近い位置１２３は暗くなる。
に向かう光１４４について考慮すると、この反射された
光１４４は、光源１４から離れた位置１２４に集中する
こととなるため、光′ｒＡｌ４から離れた位置１２４が
明るく、近い位置１２３は暗くなる。
つまり拡散板１２には、光源ｌ４からの直接の光ｌ４１
と、反射補助板１１２からの反射光１４４とが補い合う
ように照射されるため、拡散板１２は一様な面光源とな
る． この一様な面光源となった拡散板ｌ２からの光１４５に
よって、Ｘ−Ｙテーブル３５上の部品装着基板３０が照
明されることになる．そして撮像覗き孔ｌ３にそのレン
ズ部２１１が挿入された撮像装置２ｌにより、部品装着
基板３０の撮像が行われる．この撮像装置２ｌによって
撮像された画像を示す信号は、Ａ／Ｄ変換器３１を介し
て、画像処理回路３２に導かれる。そして画像処理回路
３２においてランド部のエッジの検出を行うことにより
、チップ部品３０１の装着状態に対する判定が行われる
。
と、反射補助板１１２からの反射光１４４とが補い合う
ように照射されるため、拡散板１２は一様な面光源とな
る． この一様な面光源となった拡散板ｌ２からの光１４５に
よって、Ｘ−Ｙテーブル３５上の部品装着基板３０が照
明されることになる．そして撮像覗き孔ｌ３にそのレン
ズ部２１１が挿入された撮像装置２ｌにより、部品装着
基板３０の撮像が行われる．この撮像装置２ｌによって
撮像された画像を示す信号は、Ａ／Ｄ変換器３１を介し
て、画像処理回路３２に導かれる。そして画像処理回路
３２においてランド部のエッジの検出を行うことにより
、チップ部品３０１の装着状態に対する判定が行われる
。
この判定は、部品装着基板３０の一部の領域毎に行われ
ることから、１つの領域の判定が終了する毎に、終了を
示す出力を制御回路３３に送出し、Ｘ−Ｙテーブル３５
駆動部３４を介して、ＸおよびＹ軸のそれぞれのモータ
３６、３７を回転させることによりＸ−Ｙテーブル３５
を移動させる。そして部品装着基板３０の次の領域の撮
像を行うと共に、撮像結果に基づいたチップ部品３０１
の装着状態の判定を行う。
ることから、１つの領域の判定が終了する毎に、終了を
示す出力を制御回路３３に送出し、Ｘ−Ｙテーブル３５
駆動部３４を介して、ＸおよびＹ軸のそれぞれのモータ
３６、３７を回転させることによりＸ−Ｙテーブル３５
を移動させる。そして部品装着基板３０の次の領域の撮
像を行うと共に、撮像結果に基づいたチップ部品３０１
の装着状態の判定を行う。
なお本発明は上記実施例に限定されず、光源１４である
リング状の蛍光管１４については、３本の蛍光管を光源
ｌ４として採用した場合について説明したが、その他の
本数として、例えば４本等のリング状の蛍光管を用いた
構成とすることが可能である。
リング状の蛍光管１４については、３本の蛍光管を光源
ｌ４として採用した場合について説明したが、その他の
本数として、例えば４本等のリング状の蛍光管を用いた
構成とすることが可能である。
また撮像覗き孔１３については、反射板ｌ１の頂部に設
けた場合について説明したが、撮像に対応するその他の
位置として、頂部以外の任意の位置に設けた構成とする
ことが可能である。
けた場合について説明したが、撮像に対応するその他の
位置として、頂部以外の任意の位置に設けた構成とする
ことが可能である。
く発明の効果〉
本発明に係る部品装着基板照明装置は、半径の異なる二
分された球殻のそれぞれに対応した形状を有する反射板
と拡散板とを備えると共に、反射板と拡散板とによって
挟まれた空間部に光源を設けた構成としていることから
、拡散板は、光源からの直接光と、反射板からの反射光
とによって一様に照明されることとなり、拡散板が面光
源となることから、部品装着基板の照明を一様に行うこ
とが可能となる．
分された球殻のそれぞれに対応した形状を有する反射板
と拡散板とを備えると共に、反射板と拡散板とによって
挟まれた空間部に光源を設けた構成としていることから
、拡散板は、光源からの直接光と、反射板からの反射光
とによって一様に照明されることとなり、拡散板が面光
源となることから、部品装着基板の照明を一様に行うこ
とが可能となる．
第１図は、本発明の一実施例を上部より見下ろした外観
斜視図、 第２図は、本発明の一実施例を下部より見上げた外観斜
視図、 第３図は本発明の一実施例を示す断面図、第４図は、本
発明の一実施例を使用した検査装置の電気的構威を示す
ブロック線図、 第５図は、本発明に係る部品装着基板照明装置と部品装
着基板、および撮像装置との関係を示す断面図、 第６図は、従来において使用されていた照明装置の概略
を示す説明図、 第７図ａ〜第７図ｄは、部品装着基板のランド部の検出
の様子を示す説明図である。 １０・・・部品装着基板照明装置 １ｌ・・・反射板 １２・・・拡散板 １３・・・撮像覗き孔 １４・・・光源 ３０・・・部品装着基板。
斜視図、 第２図は、本発明の一実施例を下部より見上げた外観斜
視図、 第３図は本発明の一実施例を示す断面図、第４図は、本
発明の一実施例を使用した検査装置の電気的構威を示す
ブロック線図、 第５図は、本発明に係る部品装着基板照明装置と部品装
着基板、および撮像装置との関係を示す断面図、 第６図は、従来において使用されていた照明装置の概略
を示す説明図、 第７図ａ〜第７図ｄは、部品装着基板のランド部の検出
の様子を示す説明図である。 １０・・・部品装着基板照明装置 １ｌ・・・反射板 １２・・・拡散板 １３・・・撮像覗き孔 １４・・・光源 ３０・・・部品装着基板。
Claims (1)
- （１）中心が同一であって、半径の異なる２つの球殻を
二分し、この二分された球殻のうち、半径の大きい方の
球殻を第１の球殼とし、他方の球殻を第２の球殻とする
とき、 第１の球殻に近似した形状に形成され、その内面が光を
反射する反射板と、 第２の球殼に近似した形状に形成され、透過する光の拡
散を行う拡散板と、 この拡散板と前記反射板とに挟まれた空間内に設けられ
た複数の発光部と、 前記反射板と前記拡散板とを共に挿通する撮像覗き孔と
を備え 前記反射板と前記拡散板との位置関係は、第１の球殻と
第２の球殻との位置関係に対応した関係にあることを特
徴とする部品装着基板照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15141689A JPH0315708A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 部品装着基板照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15141689A JPH0315708A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 部品装着基板照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0315708A true JPH0315708A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15518137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15141689A Pending JPH0315708A (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 部品装着基板照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0315708A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05272928A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-10-22 | Nec Corp | はんだ付け検査装置 |
| US5739525A (en) * | 1996-02-19 | 1998-04-14 | U.S. Philips Corporation | Device for detecting an electronic component, and component-mounting machine provided with such a detection device |
| US7717412B2 (en) | 2005-02-15 | 2010-05-18 | Fujitsu Limited | Spring-pressurizing unit and fitting-washer |
| JP4952795B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2012-06-13 | 株式会社島津製作所 | 流路切換えバルブ |
-
1989
- 1989-06-13 JP JP15141689A patent/JPH0315708A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05272928A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-10-22 | Nec Corp | はんだ付け検査装置 |
| US5739525A (en) * | 1996-02-19 | 1998-04-14 | U.S. Philips Corporation | Device for detecting an electronic component, and component-mounting machine provided with such a detection device |
| US7717412B2 (en) | 2005-02-15 | 2010-05-18 | Fujitsu Limited | Spring-pressurizing unit and fitting-washer |
| JP4952795B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2012-06-13 | 株式会社島津製作所 | 流路切換えバルブ |
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