JPH03158667A - フロン回収装置 - Google Patents

フロン回収装置

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JPH03158667A
JPH03158667A JP29856989A JP29856989A JPH03158667A JP H03158667 A JPH03158667 A JP H03158667A JP 29856989 A JP29856989 A JP 29856989A JP 29856989 A JP29856989 A JP 29856989A JP H03158667 A JPH03158667 A JP H03158667A
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JP
Japan
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oil
fluorocarbon
fluorocarbons
oil tank
tank
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Pending
Application number
JP29856989A
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English (en)
Inventor
Susumu Sakaida
堺田 進
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2345/00Details for charging or discharging refrigerants; Service stations therefor
    • F25B2345/002Collecting refrigerant from a cycle

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はターボ冷凍機の油気回収装置の排出口から排出
される空気中に含まれる微量のフロンや、半導体洗浄プ
ロセス等のフロンを使用する洗浄装置からのフロンの回
収に好適なフロン回収装置に関するものである。
〔従来技術及び発明が解決しようとする課題〕ターボ冷
凍機には油気回収装置が備えつけられている例が多い、
第2図はこの油気回収装置を具備するターボ冷凍機の構
成例を示す図である。同図において、51は蒸発器であ
り、該蒸発器51において、例えば12℃の水が入り、
7℃に冷却されて送り出される。この冷却は蒸発器51
内の冷媒(例えばR11;フロンを用いた冷媒)の蒸発
による潜熱によるものである。この蒸発した冷媒は圧縮
機52で圧縮され、凝縮器53に送られ、凝縮器53で
凝縮された冷媒は再び減圧弁54を通して蒸発器51に
戻される。
上記冷凍機において、凝縮器上部に蒸発器51や配管等
から漏入する空気(Air)が溜る。即ち、凝縮器中に
多量の冷媒と微量の空気が存在することになるが、空気
量が増大してくると、冷凍機の運転に支障が生じる。そ
のため油気回収装置を介して、この冷媒中の空気を抜き
出し、冷媒を回収して、この冷媒が除去きれた空気を大
気中に放出している。
60はサーマルバージユニットと称する熱利用油気回収
装置を示す図で、該熱利用油気回収装置は、回収容器6
1と該回収容器61内に配置された凝縮器53からの冷
媒を通す冷媒配管62を其奴容器61内は冷却され減圧
きれるから、凝縮器53と回収容器61の圧力差より、
凝縮器53内の上部に溜った空気が自然に回収容器61
に流れ込み、該空気中に含まれる水分や冷媒分は凝縮し
液化する。この水と冷媒の間には比重差があり、冷媒の
比重が水の比重より重いから、回収容器61内には一番
下に冷媒、次に水、上部に冷媒ガス及び空気という順に
たまる0回収容器61の圧力と凝縮器53の圧力との差
を差圧センサ63で検出し、該差圧が所定値以下となっ
たら、開閉弁64を開き、上部の冷媒が除去された空気
を大気中に放出している。
上記熱利用油気回収装置で殆どの冷媒、即ちフロンは回
収きれるが、未だフロンが多少台まれている。
また、半導体製造プロセス等での洗浄装置でフロンを使
用する場合も多量のフロンが空気中に放出されており、
これを回収するために高価なフロン回収設備を必要とす
る場合が多い。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、簡単な構成
で安価な設備でフロンを効率的に回収できるフロン回収
装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するため本発明は、フロン回収装置を下
記の如く構成した。
上部に大気開放口を有する上部油槽を配置し、下部には
該上部油槽とを開閉弁を有する配管で接続して下部油槽
を配置し、上部油槽の油中に空気と混在するフロンを導
き、該フロンを油に吸収させ、空気は大気開放口から排
出されるよう構成し、上部油槽でフロンを吸収したフロ
ンリッチな油は比重差にて下部油槽の油と交換し得るよ
うに構成したことを特徴とする。
また、下部油槽はオイルヒータを具備すると共に、該下
部油槽に開閉弁を有する配管で分離器を接続し、下部油
槽に前記上部油槽から移動してきたフロンリッチな油を
加熱し、油槽中からフロンを分離し、この分離したフロ
ンを分離器で分離し、回収することを特徴とする。
また、上部油槽に油を冷却する冷却手段を設け、該上部
油槽中の油を冷却し、空気中のフロンの油への吸収率を
向上させ、フロンの回収率を向上することを特徴とする
〔作用〕
油は特に低温、低圧でフロンを吸収するが、逆に高温で
はフロンは離れ易いという性質を有している。
従って、フロン回収装置を上記の如く構成することによ
り、上部油槽の油中に空気と混在するフロンを導くこと
により、該フロンは油に吸収され、このフロンを吸収し
た油は比重が重くなるので、下部油槽に沈降し下部油槽
がフロンリッチな油となると同時に、フロンが除去され
た空気は上部油槽の大気開放口から大気中に排出される
また、下部油槽中のフロンリッチな油は、オイルヒータ
で加熱されることにより、フロンは油から離れ、分離器
に入り回収される。
また、上部油槽の油を冷却手段で冷却することにより、
低温、低圧の油はよりフロンを吸収するから、フロンの
回収率は向上する。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面の簡単な説明する。
第1図は通常のターボ冷凍機の油気回収装置に本発明の
フロン回収装置を設けた構成を示す図である。同図にお
いて、30は通常の熱利用油気回収装置、該熱利用抽気
回収装置30は、第2図の熱利用抽気回収装置60と同
様、回収容器31と該回収容器32内に配置きれた凝縮
器33からの冷媒を通す冷媒配管32を具備する構成で
ある。
その動作は第2図の熱利用抽気回収装置60と同じであ
る。なお、37は回収容器31内の冷媒が所定レベル以
上になったら開放し冷媒を冷却器に戻す弁、38は水(
ドレン)を排水する排水弁である。
本発明のフロン回収装置10は上部油槽11、下部油槽
12及び分離器13を具備しており、熱利用抽気回収装
置30の吐出口34には開閉弁35を介して配管36が
接続されており、該配管36の先端部は上部油槽11に
内に配置きれている。
上部油槽11には空気を大気に放出するための空気放出
口14が設けられており、上部油槽11と下部油槽12
は自動開閉弁15を有する配管で接続されている。下部
油槽12にはサーモスタット21とオイルヒータ22と
が設けられ、サーモスタット21の出力は温度制御装置
19に接続され、オイルヒータ22は温度制御装置19
から通電キれるようになっている。下部油槽12と分離
器13とは開閉弁16.17を有する配管23゜24に
より接続されている。
通常の熱利用抽気回収装置30の作動中は自動開閉弁1
5は開いており、殆どが空気で微量のフロンが含まれて
いる不凝縮ガス(1回の油気操作に含まれるフロンの量
は約1g)が上部油槽11内に送られる。これにより不
凝縮ガスの微量のフロンを上部油槽11の油に吸収きせ
る。上部油槽11内の油は通常の冷凍機油であり、フロ
ンがR11であるとすると、油温が25℃程度とするな
らば、油中へ溶解し得るフロン量は約95%であり、そ
れほどフロンは油中に吸収きれ易いものである。自動開
閉弁15を開き、上部油槽11と下部油槽12とを連通
させた状態では、フロンを吸収したフロンリッチの油は
下に沈み、上部油槽11にたまる。上部油槽11にフロ
ンリッチの油がたまった状態で自動開閉弁15を閉じる
と共に、開閉弁16.17を開き、オイルヒータ22が
電気式の場合は温度制御装置19から通電し、下部油槽
12の油を暖める。例えば油温を70℃にすると、油中
へのフロンの溶解率は10%程度に下がるため、油中の
95−10=85%のフロンは蒸発し、油から分離する
。この蒸発したフロンを冷媒凝縮器等で構成される分離
器13に導き、フロンを回収する。上記フロンの回収が
終了したら、再び開閉弁16.17を閉じ、自動開閉弁
15を開き、上記操作を繰り返す。
上記自動開閉弁15及び開閉弁16.17の開閉、オイ
ルヒータ22への通電の遮断は、タイマーを用いて自動
的に行なわせる0例えば、24時間タイマーを使用し、
自動開閉弁15を閉じ、開閉弁16.17を開き、オイ
ルヒータ22にONし、1時間後オイルヒータ22をO
FF、1.5時間後間閉弁16.17を閉じ、3時間後
自動開閉弁15を開く動作を毎日繰り返す。
なお、上記実施例では油気回収装置30にフロン回収装
置10を設けた例を示しているが、本発明のフロン回収
装置はこれに限定きれるものではなく、空気と混在する
フロンを上部油槽11に導くことにより、フロンは回収
できるのである。
なお、上部油槽11に冷水コイル等の冷却手段を設け、
上部油槽11中の油を冷却することにより、該油にフロ
ンを効率的に吸収させることができるから、フロンの回
収率を向上させることが可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、下記のような優れ
た効果が得られる。
(1)上部油槽の油中に空気と混在するフロンを導くこ
とにより、該フロンは油に吸収きれから、フロンが除去
された空気のみが大気中に放出されることになり、オゾ
ン層を破壊するフロンの放出を防止できる。
(2)また、前記フロンを吸収して比重が重くなった油
はオイルヒータで加熱することにより、フロンは油から
分離され、分離器で回収されるから、フロンの回収を効
率的に行なうことができる。(3)また、上部油槽の油
を冷却手段で冷却することにより、低温、低圧の油はよ
りフロンを吸収するから、フロンの回収率をより向上さ
せることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は通常のターボ冷凍機の油気回収装置に本発明の
フロン回収装置を設けた構成を示す図、第2図は従来の
油気回収装置を具備するターボ冷凍機の構成例を示す図
である。 図中、11・・・・上部油槽、12・・・・下部油槽、
13・・・・分離器、14・・・・空気放出口、15・
・・・自動開閉弁、16.17・・・・開閉弁。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)上部に大気開放口を有する上部油槽を配置し、 下部には該上部油槽とを開閉弁を有する配管で接続して
    下部油槽を配置し、 前記上部油槽の油中に空気と混在するフロンを導き、該
    フロンを油に吸収させ、空気は前記大気開放口から排出
    されるよう構成し、 前記上部油槽でフロンを吸収したフロンリッチな油は比
    重差にて下部油槽の油と交換し得るように構成したこと
    を特徴とするフロン回収装置。
  2. (2)前記下部油槽はオイルヒータを具備すると共に、
    該下部油槽に開閉弁を有する配管で分離器を接続し、 前記下部油槽に前記上部油槽から移動してきたフロンリ
    ッチな油を加熱し、油槽中からフロンを分離し、該分離
    したフロンを前記分離器で分離し、回収することを特徴
    とするフロン回収装置。
  3. (3)前記上部油槽に油を冷却する冷却手段を設け、該
    上部油槽中の油を冷却し、空気中のフロンの油への吸収
    率を向上させ、フロンの回収率を向上することを特徴と
    するフロン回収装置。
JP29856989A 1989-11-16 1989-11-16 フロン回収装置 Pending JPH03158667A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04327769A (ja) * 1991-04-30 1992-11-17 Daikin Ind Ltd 抽気装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02146480A (ja) * 1988-02-12 1990-06-05 Carrier Corp クロロフルオロカーボン冷媒回収方法及び装置

Patent Citations (1)

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