JPH03164581A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
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- JPH03164581A JPH03164581A JP30375989A JP30375989A JPH03164581A JP H03164581 A JPH03164581 A JP H03164581A JP 30375989 A JP30375989 A JP 30375989A JP 30375989 A JP30375989 A JP 30375989A JP H03164581 A JPH03164581 A JP H03164581A
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造装置、分析機等、真空且高清浄雰
囲気が要求される装置の真空排気装置に関するものであ
る。
囲気が要求される装置の真空排気装置に関するものであ
る。
［従来の技１１ｆ］
半導体製造装置、分析機等、真空且高清浄雰囲気で各種
処理を行う装置にあっては、排気時間の長短は生産性、
稼動率を向上させる大きな要因となっている。又、真空
室内部のＲ塵の無有は製品品質、処理精度に大きく影響
を与える。
処理を行う装置にあっては、排気時間の長短は生産性、
稼動率を向上させる大きな要因となっている。又、真空
室内部のＲ塵の無有は製品品質、処理精度に大きく影響
を与える。
ところが、排気時間の短縮は、急激な排気につながり、
排気の過程で活流を生じる。この乱流により、真空室内
壁に付着した物質を剥取り微塵の発生を招いていた。
排気の過程で活流を生じる。この乱流により、真空室内
壁に付着した物質を剥取り微塵の発生を招いていた。
従って、従来排気の初期は排気流量を少くし、所要の圧
力より下ったところで排気流量を大きくするという方法
をとっていた。
力より下ったところで排気流量を大きくするという方法
をとっていた。
第２図に於いて、従来の真空排気装置を説明する。
図中１は真空室であり、該真空室１に主排気ライン２が
接続され、該主排気ライン２の上流側より、圧力検出器
３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、ロータリ真空
ポンプ６が順次設けられている。又、圧力検出器３と主
電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側とが主
排気ライン２に比べ小口径、小容量のバイパスライン７
で接続され、該バイパスライン７に副電磁弁８が設けら
れている。
接続され、該主排気ライン２の上流側より、圧力検出器
３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、ロータリ真空
ポンプ６が順次設けられている。又、圧力検出器３と主
電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側とが主
排気ライン２に比べ小口径、小容量のバイパスライン７
で接続され、該バイパスライン７に副電磁弁８が設けら
れている。
又、９は制御器であって、圧力検出器３からの信号を基
に前記主電磁弁４、副電磁弁８及び前記再真空ポンプ５
．６を動作させる様になっている。
に前記主電磁弁４、副電磁弁８及び前記再真空ポンプ５
．６を動作させる様になっている。
斯かる真空排気装置で真空室１の排気を行う場合、先ず
主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真空
ポンプ６でバイパスライン７による排気を行う、前記し
た様に、バイパスライン７は、主排気ライン２よりも小
容量であり、真空ポンプもロータリ真空ポンプ６のみで
あるので排気速度は遅い、圧力検出器３の検出圧力が３
０００Ｐａとなったところで、主電磁弁４を開き、副電
磁弁８を閉じ、更にタービン真空ポンプ５を駆動する。
主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真空
ポンプ６でバイパスライン７による排気を行う、前記し
た様に、バイパスライン７は、主排気ライン２よりも小
容量であり、真空ポンプもロータリ真空ポンプ６のみで
あるので排気速度は遅い、圧力検出器３の検出圧力が３
０００Ｐａとなったところで、主電磁弁４を開き、副電
磁弁８を閉じ、更にタービン真空ポンプ５を駆動する。
大口径、大容量の主排気ライン２で而もタービン真空ポ
ンプ５とロータリ真空ポンプ６との２段引により排気は
急速に行われる。
ンプ５とロータリ真空ポンプ６との２段引により排気は
急速に行われる。
斯かる排気による圧力の減少の様子は第３図の曲線■に
よって示される。
よって示される。
［発明が解決しようとする課題］
上記した従来の真空排気装置では乱流による発塵を考慮
して、初期の排気はバイパスラインで行っているが、そ
れでも排気を始めた極初期は、時間に対する圧力降下は
極めて大きく、本発明者は第３図中人の範囲で乱流が生
じることを確認している。この為、排気初期の乱流を防
止する為バスパスラインの口径を更に小さくしてバイパ
スラインでの排気速度を制限すると、第３図曲線■の様
になり、実用代な排気時間とすることができない。
して、初期の排気はバイパスラインで行っているが、そ
れでも排気を始めた極初期は、時間に対する圧力降下は
極めて大きく、本発明者は第３図中人の範囲で乱流が生
じることを確認している。この為、排気初期の乱流を防
止する為バスパスラインの口径を更に小さくしてバイパ
スラインでの排気速度を制限すると、第３図曲線■の様
になり、実用代な排気時間とすることができない。
本発明は、斯かる実情に鑑みなされたものであり、排気
初期で乱流が生じるのを完全に防止し、更に排気時間の
短縮を図ろうとするものである。
初期で乱流が生じるのを完全に防止し、更に排気時間の
短縮を図ろうとするものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、主排気ラインと該主排気ラインに対して排気
容量の小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力が
所定の値よりも大きい時にはバイパスラインで排気し、
真空室側の圧力が所定の値よりも小さくなった時には主
排気ラインで排気する様にし、前記バイパスラインに排
気の負圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧力感
応型流量調整弁を設けたことを特徴とするものである。
容量の小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力が
所定の値よりも大きい時にはバイパスラインで排気し、
真空室側の圧力が所定の値よりも小さくなった時には主
排気ラインで排気する様にし、前記バイパスラインに排
気の負圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧力感
応型流量調整弁を設けたことを特徴とするものである。
〔作 用］
排気の初期はバイパスラインによる排気であり、排気の
極初期は、流量調整弁はれ大に絞られており、排気速度
は遅い、排気が進み排気の負圧が大きくなると流量調整
弁の開度が大きくなって、排気速度は早くなる。排気が
所定の圧力に達すると主排気ラインによる主排気が行わ
れる。
極初期は、流量調整弁はれ大に絞られており、排気速度
は遅い、排気が進み排気の負圧が大きくなると流量調整
弁の開度が大きくなって、排気速度は早くなる。排気が
所定の圧力に達すると主排気ラインによる主排気が行わ
れる。
［実 施 例］
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。
第１図中、第２図中で示したものと同一のものには同符
号を付しである。
号を付しである。
真空室１に接続した主排気ライン２に、その上流側より
、圧力検出器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、
ロータリ真空ポンプ６を順次設ける。又、圧力検出器３
と主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側と
を主排気ライン２に比べ小容量のバイパスライン７で接
続し、該バイパスライン７に上流側より、圧力感応型流
Ｊｌ調整弁１０、副電磁弁８を設ける。
、圧力検出器３、主電磁弁４、タービン真空ポンプ５、
ロータリ真空ポンプ６を順次設ける。又、圧力検出器３
と主電磁弁４との間とタービン真空ポンプ５の下流側と
を主排気ライン２に比べ小容量のバイパスライン７で接
続し、該バイパスライン７に上流側より、圧力感応型流
Ｊｌ調整弁１０、副電磁弁８を設ける。
制御器９は圧力検出器３からの信号に基づき、前記主電
磁弁４、副電磁弁８及び前記再真空ポンプ５，６を動作
させる様になっている。
磁弁４、副電磁弁８及び前記再真空ポンプ５，６を動作
させる様になっている。
以下、作動を説明する。
主電磁弁４を閉じ、副電磁弁８を開いて、ロータリ真空
ポンプ６を駆動してバイパスライン７による排気を行う
。
ポンプ６を駆動してバイパスライン７による排気を行う
。
前記圧力感応型流量調整弁１０はスプリング１１により
閉方向に付勢され、更に上流側の負圧力を該スプリング
１１に抗する様に作用させる。従って、該流量調整弁１
０の上流側の負圧力が小さい（圧力カ？大きい）時は、
流量は最小に絞られる様になっている。
閉方向に付勢され、更に上流側の負圧力を該スプリング
１１に抗する様に作用させる。従って、該流量調整弁１
０の上流側の負圧力が小さい（圧力カ？大きい）時は、
流量は最小に絞られる様になっている。
排気が進み負圧が大きくなるにつれ流量調整弁１０の開
度が大きくなり、排気流量も大きくなる。更にミ排気ラ
イン自体の口径を前記した従来の排気ラインの口径より
も大きくしておけば、排気初期、即ち３０００Ｐａに達
する迄の排気時間を短くできる。
度が大きくなり、排気流量も大きくなる。更にミ排気ラ
イン自体の口径を前記した従来の排気ラインの口径より
も大きくしておけば、排気初期、即ち３０００Ｐａに達
する迄の排気時間を短くできる。
圧力検出器３の検出圧力が３０００Ｐａとなったところ
で、主電磁弁４を開き、副電磁弁８を閉じ、更にタービ
ン真空ポンプ５を駆動する。
で、主電磁弁４を開き、副電磁弁８を閉じ、更にタービ
ン真空ポンプ５を駆動する。
大経口径、大容量の主排気ライン２により、タービン真
空ポンプ５、ロータリ真空ポンプ６で主排気を行う。
空ポンプ５、ロータリ真空ポンプ６で主排気を行う。
斯かる排気の様子は、第３図の曲線■に示される。
曲線■に示される様に、排気を始めな極初期では、時間
に対する圧力降下は著しく緩かであって、Ａの範囲を充
分に越えたところで、圧力降下は大きくなる。而して、
排気の総時間を従来の曲線■に比べると短縮されている
のが分る。
に対する圧力降下は著しく緩かであって、Ａの範囲を充
分に越えたところで、圧力降下は大きくなる。而して、
排気の総時間を従来の曲線■に比べると短縮されている
のが分る。
［発明の効果コ
以上述べた如く本発明よれば、真空排気に於いて、排気
初期には乱流を生じない様に充分緩やかに、乱流の生じ
る範囲を越えたところでは速く排気する様にし、発塵を
防止すると共に排気時間の短縮もなし得るという優れた
効果を発揮する。
初期には乱流を生じない様に充分緩やかに、乱流の生じ
る範囲を越えたところでは速く排気する様にし、発塵を
防止すると共に排気時間の短縮もなし得るという優れた
効果を発揮する。
第１図は、本発明の一実施例を示す説明図、第２図は従
来例の説明図、第３図は排気状態を示す線図である。 １は真空室、２は主排気ライン、３は圧力検出器、７は
バイパスライン、１０は圧力感応型流量調整弁を示す。 特許出即人 国際電気株式会社 特許出顧人代理人 三 好 祥 二 第２ 図 第３ 図
来例の説明図、第３図は排気状態を示す線図である。 １は真空室、２は主排気ライン、３は圧力検出器、７は
バイパスライン、１０は圧力感応型流量調整弁を示す。 特許出即人 国際電気株式会社 特許出顧人代理人 三 好 祥 二 第２ 図 第３ 図
Claims (1)
- １）主排気ラインと該主排気ラインに対して排気容量の
小さいバイパスラインを有し、真空室側の圧力が所定の
値よりも大きい時にはバイパスラインで排気し、真空室
側の圧力が所定の値よりも小さくなった時には主排気ラ
インで排気する様にし、前記バイパスラインに排気の負
圧が大きくなるにしたがい開度が増大する圧力感応型流
量調整弁を設けたことを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375989A JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375989A JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03164581A true JPH03164581A (ja) | 1991-07-16 |
| JP2881154B2 JP2881154B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17924933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30375989A Expired - Fee Related JP2881154B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881154B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021025417A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 真空排気方法及び装置 |
| WO2022075230A1 (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-14 | エドワーズ株式会社 | 真空排気システム |
| JP2025528883A (ja) * | 2022-08-25 | 2025-09-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | フォアライン圧力を制御するためのシステム及び方法 |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP30375989A patent/JP2881154B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021025417A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 真空排気方法及び装置 |
| WO2022075230A1 (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-14 | エドワーズ株式会社 | 真空排気システム |
| JP2022061344A (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-18 | エドワーズ株式会社 | 真空排気システム |
| CN116096997A (zh) * | 2020-10-06 | 2023-05-09 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空排气系统 |
| US12228951B2 (en) | 2020-10-06 | 2025-02-18 | Edwards Japan Limited | Vacuum exhaust system |
| JP2025528883A (ja) * | 2022-08-25 | 2025-09-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | フォアライン圧力を制御するためのシステム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2881154B2 (ja) | 1999-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |