JPH03165300A - Ｘ線分光器検査装置 - Google Patents
Ｘ線分光器検査装置Info
- Publication number
- JPH03165300A JPH03165300A JP30625989A JP30625989A JPH03165300A JP H03165300 A JPH03165300 A JP H03165300A JP 30625989 A JP30625989 A JP 30625989A JP 30625989 A JP30625989 A JP 30625989A JP H03165300 A JPH03165300 A JP H03165300A
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- Japan
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- point
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、Ｘ線分光器検査装置に関する。
Ｘ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や蛍光Ｘ線分析装
置等には、分光素子に湾曲結晶を用いた集中型波長走査
式Ｘ線分光器（以後スキャナと称す）が用いられている
。このスキャナは、Ｘ線のスキャナ入射点Ｐと円筒状の
分光用湾曲結晶２′とＸ線出口スリットの位置Ｑが、第
３図に示すように、分光結晶の湾曲半径を直径とし、分
光結晶２′の中心法線上に中心０′があり、分光結晶の
表面中心０″を通る円（ローランド円）上に、分光結晶
の法線００”を中心として対象に位置させながら、分光
結晶２′と出口スリットの位ｆｆＱを駆動させるような
構造となっている。スキャナの駆動精度が、高精度であ
っても、分光結晶の角度及び位置また出口スリットの位
置が全走査波長において適正な配置即ち出口スリットに
Ｘ線が集光するように配置されなければならない、また
、出口スリットに集光するように、分光結晶角度及び位
置を成る波長で調節しても、波長が調節した波長と異な
れば、集光位置が出口スリットから若干ずれることが起
きる。これは分光結晶自身の問題であるが、各分光波長
毎に、出口スリットにＸ線が集光するように、各分光波
長毎に、出口スリットの位置を補正する必要がある。こ
のためスキャナの分光精度検査及び調節が行われるが、
スキャナを空気中において、Ｘ線を用いてスキャナの検
査及び調節を行うには、所望の波長のＸ線を発生する微
小焦点の真空密封型ＸＨ管を多数用意するか、波長を切
換えて所望の波長のＸ線を発生できる微小焦点の真空密
封型Ｘ線管を用意しなければならない。これは大変能し
いので、ＥＰＭＡ自身をＸ線発生装置とする方法がとら
れている。従って、スキャナを装置に取付けてから、装
置内を真空にした上で、検査を行うことになる。従って
、上記検査及び調節を行うためには、分光結晶の角度及
び位置調整及び出口スリットの位置調整を行いながら、
検出器からの信号強度を測定しなければならないために
、その作業時間として、４〜１０時間が必要となってく
るので、スキャナの検査と調節に長時間かかると云う問
題があった。
置等には、分光素子に湾曲結晶を用いた集中型波長走査
式Ｘ線分光器（以後スキャナと称す）が用いられている
。このスキャナは、Ｘ線のスキャナ入射点Ｐと円筒状の
分光用湾曲結晶２′とＸ線出口スリットの位置Ｑが、第
３図に示すように、分光結晶の湾曲半径を直径とし、分
光結晶２′の中心法線上に中心０′があり、分光結晶の
表面中心０″を通る円（ローランド円）上に、分光結晶
の法線００”を中心として対象に位置させながら、分光
結晶２′と出口スリットの位ｆｆＱを駆動させるような
構造となっている。スキャナの駆動精度が、高精度であ
っても、分光結晶の角度及び位置また出口スリットの位
置が全走査波長において適正な配置即ち出口スリットに
Ｘ線が集光するように配置されなければならない、また
、出口スリットに集光するように、分光結晶角度及び位
置を成る波長で調節しても、波長が調節した波長と異な
れば、集光位置が出口スリットから若干ずれることが起
きる。これは分光結晶自身の問題であるが、各分光波長
毎に、出口スリットにＸ線が集光するように、各分光波
長毎に、出口スリットの位置を補正する必要がある。こ
のためスキャナの分光精度検査及び調節が行われるが、
スキャナを空気中において、Ｘ線を用いてスキャナの検
査及び調節を行うには、所望の波長のＸ線を発生する微
小焦点の真空密封型ＸＨ管を多数用意するか、波長を切
換えて所望の波長のＸ線を発生できる微小焦点の真空密
封型Ｘ線管を用意しなければならない。これは大変能し
いので、ＥＰＭＡ自身をＸ線発生装置とする方法がとら
れている。従って、スキャナを装置に取付けてから、装
置内を真空にした上で、検査を行うことになる。従って
、上記検査及び調節を行うためには、分光結晶の角度及
び位置調整及び出口スリットの位置調整を行いながら、
検出器からの信号強度を測定しなければならないために
、その作業時間として、４〜１０時間が必要となってく
るので、スキャナの検査と調節に長時間かかると云う問
題があった。
本発明は、スキャナの分光結晶角度及び位置の調節や出
口スリットの位置調節及び全走査波長域における出口ス
リットの位置ずれの検査を簡単にできるようにすること
を目的とする。
口スリットの位置調節及び全走査波長域における出口ス
リットの位置ずれの検査を簡単にできるようにすること
を目的とする。
湾曲結晶を用いた波長走査型Ｘ線分光器において、同分
光器のローランド円上のＸ線入射点或は出射点の何れか
に光を入射させる手段を配置し、湾曲結晶取付位置に上
記Ｘ線分光器のローランド円の直径を半径とし、ローラ
ンド円上に曲率中心を有する円筒鏡を取付け、分光器の
ローランド円上で上記光の入射点と対応するＸ線出射点
或は入射点を中心として光入射量が検出可能で位置分解
能を有するラインセンサを配置し、同ラインセンサの出
力信号から入射光中心点を演算する手段を設け、Ｘ線分
光器の各波長位置毎の上記入射光中心点を出力する手段
を設けた６
光器のローランド円上のＸ線入射点或は出射点の何れか
に光を入射させる手段を配置し、湾曲結晶取付位置に上
記Ｘ線分光器のローランド円の直径を半径とし、ローラ
ンド円上に曲率中心を有する円筒鏡を取付け、分光器の
ローランド円上で上記光の入射点と対応するＸ線出射点
或は入射点を中心として光入射量が検出可能で位置分解
能を有するラインセンサを配置し、同ラインセンサの出
力信号から入射光中心点を演算する手段を設け、Ｘ線分
光器の各波長位置毎の上記入射光中心点を出力する手段
を設けた６
本発明は、スキャナをＸ線マイクロアナライザ等の測定
装置から取り出し、スキャナを光学測定ができる暗室或
は暗箱に取付け、大気中において、スキャナの分光特性
を検査及び調整ができるようにしようとするもので、暗
室或は暗箱に取付けられたスキャナにおいて、分光結晶
の代わりにローランド円の直径を半径とする曲面を有す
る円筒鏡を、また出口スリットの後方に発光素子を、更
にＸ線照射位置にラインセンサの基準位置を配置した時
、第２図に示すように、円筒鏡２の曲率中心Ｏとライン
センサ基準位ｒｔＰと出口スリット位置Ｑがローランド
円Ｒの円周上にあり、又、配置関係から弧ＰＯ＝弧ＱＯ
となることから、上記出ロスリット位ＩＦＱからスキャ
ナに入射した発光素子からの光は、円筒Ｍ２で反射され
てラインセンサの基準位置Ｐに集光される。この光路は
、スキャナにおいて、Ｘ線がＸ線入射点から分光結晶で
分光されて出口スリットに至るのと逆の道筋をたどって
おり、円筒鏡を用いた検査用機構による光路がどのよう
な道筋を通るのかを調査することにより、分光結晶を用
いた測定用機構の配置を検査することができる。そこで
本発明は、上記検査用機構にて、発光素子から発せられ
た光の集光位置を、ラインセンサ上の光強度分布の検出
結果から演算することにより、分光結晶の保持台のねじ
れや出口スリットの運動軌跡の理想軌跡からの偏差を求
めることができる。Ｘ線の代わりに光を用いるので、−
々真空室を排気しなくてもよいので、スキャナの分光結
晶及び出口スリットを短時間で簡単に移動できるように
なる。なお、光源と受光素子の位置関係を逆にしても良
いことは云うまでもない。
装置から取り出し、スキャナを光学測定ができる暗室或
は暗箱に取付け、大気中において、スキャナの分光特性
を検査及び調整ができるようにしようとするもので、暗
室或は暗箱に取付けられたスキャナにおいて、分光結晶
の代わりにローランド円の直径を半径とする曲面を有す
る円筒鏡を、また出口スリットの後方に発光素子を、更
にＸ線照射位置にラインセンサの基準位置を配置した時
、第２図に示すように、円筒鏡２の曲率中心Ｏとライン
センサ基準位ｒｔＰと出口スリット位置Ｑがローランド
円Ｒの円周上にあり、又、配置関係から弧ＰＯ＝弧ＱＯ
となることから、上記出ロスリット位ＩＦＱからスキャ
ナに入射した発光素子からの光は、円筒Ｍ２で反射され
てラインセンサの基準位置Ｐに集光される。この光路は
、スキャナにおいて、Ｘ線がＸ線入射点から分光結晶で
分光されて出口スリットに至るのと逆の道筋をたどって
おり、円筒鏡を用いた検査用機構による光路がどのよう
な道筋を通るのかを調査することにより、分光結晶を用
いた測定用機構の配置を検査することができる。そこで
本発明は、上記検査用機構にて、発光素子から発せられ
た光の集光位置を、ラインセンサ上の光強度分布の検出
結果から演算することにより、分光結晶の保持台のねじ
れや出口スリットの運動軌跡の理想軌跡からの偏差を求
めることができる。Ｘ線の代わりに光を用いるので、−
々真空室を排気しなくてもよいので、スキャナの分光結
晶及び出口スリットを短時間で簡単に移動できるように
なる。なお、光源と受光素子の位置関係を逆にしても良
いことは云うまでもない。
第１図に本発明の一実施例を示す、第１図において、１
は測定時に試料をセットする場所に配置したラインセン
サで、シリコンの基板上に１２μｍ角の感光部を一列に
６００個を１４μｍピッチで配列したものであり、位Ｗ
ｗＬ調整機横に取付けられている。２はスキャナのロー
ランド円の直径を半径とし、ローランド円上に曲率中心
を有する円ｌ！ｌｉ鏡で、分光結晶保持部（不図示）に
保持されている。３は出口スリット、４は出口スリット
３の後方に配置された発光素子（ＬＥＤ）である。 測定時には発光素子４の代わりにＸ線検出器が配置され
る。上記円筒鏡２と出口スリット３及びしＥＤ４は、」
二連した一定条件下で波長走査駆動する機構上に同定さ
れ、スキャナＡを構成している。スキャナＡ ＋、ｔ
Ｘ線マイクロアナライザ等の測定装置から取り外されて
、光学測定ができる暗室或は暗箱（不図示）内の大気中
にセットされており、分光特性の検査及び調整が終了し
た後に、測定装置に取付けられる。スキャナＡは波長走
査モータ５の駆動により、円筒鏡２及び出口スリット３
Ｌ ）Ｅ Ｄ ４が所定の分光波長位ｆｆ１ｓ１．５２
ｓ３に移動される。６はドライバーで波長走査モータ５
を制御する。７はインターフェイスで、検出信号及び制
御信号を適当に変換して、マイコン１０と各接続要素と
の連絡が適正に行われるようにしている。８はラインセ
ンサ１の出力信号をディジタルに変換するＡ Ｄ変換部
である６９はビット変換部で、ラインセンサ１の出力信
号のピッ１〜位置を制御する。マイコン１０はラインセ
ンサ１の出力信号として、光強度（Ｐ）とビット位置（
Ｘ値）を組データとして記憶し、図Ｐ１に示すような光
強度分布図を表示させる。光強度分布図Ｐ１のデータを
マイコン１０で統計的に処理し、光強度分布の重心的な
Ｘ値を求めることにより、スキャナの要求精度である±
３μｍ程度の精度で、光源像の位置Ｘｃを求めることが
できる。次に、波長走査モータ５を駆動させてスキャナ
Ａを波長走査し、波長λに対する光源像の位置Ｘｃを測
定し、光源像位置と波長との関数関係図（Ｐ２）を作成
する。この光源像位置と波長との関数関係図は、波長走
査における集光点の位置ずれを示したものであるから、
スキャナの精度だけでなく、スキャナの不良原因の解析
に利用できる。 上記実施例では、スキャナのＸ線入射点にラインセンサ
を置き、スキャナのＸ線出口スリット後方に光源を置い
たが、この配置を逆にしても、上記実施例と同じ効果が
得られる。
は測定時に試料をセットする場所に配置したラインセン
サで、シリコンの基板上に１２μｍ角の感光部を一列に
６００個を１４μｍピッチで配列したものであり、位Ｗ
ｗＬ調整機横に取付けられている。２はスキャナのロー
ランド円の直径を半径とし、ローランド円上に曲率中心
を有する円ｌ！ｌｉ鏡で、分光結晶保持部（不図示）に
保持されている。３は出口スリット、４は出口スリット
３の後方に配置された発光素子（ＬＥＤ）である。 測定時には発光素子４の代わりにＸ線検出器が配置され
る。上記円筒鏡２と出口スリット３及びしＥＤ４は、」
二連した一定条件下で波長走査駆動する機構上に同定さ
れ、スキャナＡを構成している。スキャナＡ ＋、ｔ
Ｘ線マイクロアナライザ等の測定装置から取り外されて
、光学測定ができる暗室或は暗箱（不図示）内の大気中
にセットされており、分光特性の検査及び調整が終了し
た後に、測定装置に取付けられる。スキャナＡは波長走
査モータ５の駆動により、円筒鏡２及び出口スリット３
Ｌ ）Ｅ Ｄ ４が所定の分光波長位ｆｆ１ｓ１．５２
ｓ３に移動される。６はドライバーで波長走査モータ５
を制御する。７はインターフェイスで、検出信号及び制
御信号を適当に変換して、マイコン１０と各接続要素と
の連絡が適正に行われるようにしている。８はラインセ
ンサ１の出力信号をディジタルに変換するＡ Ｄ変換部
である６９はビット変換部で、ラインセンサ１の出力信
号のピッ１〜位置を制御する。マイコン１０はラインセ
ンサ１の出力信号として、光強度（Ｐ）とビット位置（
Ｘ値）を組データとして記憶し、図Ｐ１に示すような光
強度分布図を表示させる。光強度分布図Ｐ１のデータを
マイコン１０で統計的に処理し、光強度分布の重心的な
Ｘ値を求めることにより、スキャナの要求精度である±
３μｍ程度の精度で、光源像の位置Ｘｃを求めることが
できる。次に、波長走査モータ５を駆動させてスキャナ
Ａを波長走査し、波長λに対する光源像の位置Ｘｃを測
定し、光源像位置と波長との関数関係図（Ｐ２）を作成
する。この光源像位置と波長との関数関係図は、波長走
査における集光点の位置ずれを示したものであるから、
スキャナの精度だけでなく、スキャナの不良原因の解析
に利用できる。 上記実施例では、スキャナのＸ線入射点にラインセンサ
を置き、スキャナのＸ線出口スリット後方に光源を置い
たが、この配置を逆にしても、上記実施例と同じ効果が
得られる。
本発明によれば、スキャナの分光精度を決定する分光結
晶の角度と位置及び出口スリットの位置を全波長域にお
いて光学的に検査することができるので、真空作業なし
でスキャナの調節及び精度検査をすることができるよう
になり、スキャナの分光結晶の角度と位置調節及び波長
走査全域における出口スリットの位置ずれを短時間で簡
単に測定できるようになると共に、スキャナの精度検査
及びスキャナの不良原因の解析も容易にできるようにな
った。
晶の角度と位置及び出口スリットの位置を全波長域にお
いて光学的に検査することができるので、真空作業なし
でスキャナの調節及び精度検査をすることができるよう
になり、スキャナの分光結晶の角度と位置調節及び波長
走査全域における出口スリットの位置ずれを短時間で簡
単に測定できるようになると共に、スキャナの精度検査
及びスキャナの不良原因の解析も容易にできるようにな
った。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は上記実施
例の光路説明図、第３図はスキャナの光路説明図である
。 １・・・ラインセンサ、２・・円筒鏡、３・・・出口ス
リット、４・・ＬＥＤ、５・・・波長走査モータ、６・
・・ドライバー、７・・・インターフェイス、８・・・
Ａ、 Ｄ変換部９・・・ビット変換部、１０・・・マイ
コン、Ａ・・・スキャナ、ＳＬ、Ｓ２．Ｓ３・・・スキ
ャナの波長走査位置、Ｐｌ・・・光強度分布図、Ｐ２・
・・光源像位置と波長との関数関係図。
例の光路説明図、第３図はスキャナの光路説明図である
。 １・・・ラインセンサ、２・・円筒鏡、３・・・出口ス
リット、４・・ＬＥＤ、５・・・波長走査モータ、６・
・・ドライバー、７・・・インターフェイス、８・・・
Ａ、 Ｄ変換部９・・・ビット変換部、１０・・・マイ
コン、Ａ・・・スキャナ、ＳＬ、Ｓ２．Ｓ３・・・スキ
ャナの波長走査位置、Ｐｌ・・・光強度分布図、Ｐ２・
・・光源像位置と波長との関数関係図。
Claims (1)
- 湾曲結晶を用いた波長走査型Ｘ線分光器において、同分
光器のローランド円上のＸ線入射点或は出射点の何れか
に光を入射させる手段を配置し、湾曲結晶取付位置に上
記Ｘ線分光器のローランド円の直径を半径とし、ローラ
ンド円上に曲率中心を有する円筒鏡を取付け、分光器の
ローランド円上で上記光の入射点と対応するＸ線出射点
或は入射点を中心として光入射量が検出可能で位置分解
能を有するラインセンサを配置し、同ラインセンサの出
力信号から入射光中心点を演算する手段を設け、Ｘ線分
光器の各波長位置毎の上記入射光中心点を出力する手段
を設けたことを特徴とするＸ線分光器検査機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30625989A JPH0660959B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線分光器検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30625989A JPH0660959B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線分光器検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165300A true JPH03165300A (ja) | 1991-07-17 |
| JPH0660959B2 JPH0660959B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17954922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30625989A Expired - Lifetime JPH0660959B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線分光器検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660959B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106568506A (zh) * | 2016-11-03 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 一种电弧光谱同步实时扫描线性多通道采集方法 |
| CN106568505A (zh) * | 2016-11-03 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 一种电弧光谱同步实时扫描线性多通道采集装置 |
| CN114609160A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-06-10 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 高精度x射线光路可视化装配调整方法 |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30625989A patent/JPH0660959B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106568506A (zh) * | 2016-11-03 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 一种电弧光谱同步实时扫描线性多通道采集方法 |
| CN106568505A (zh) * | 2016-11-03 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 一种电弧光谱同步实时扫描线性多通道采集装置 |
| CN114609160A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-06-10 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 高精度x射线光路可视化装配调整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0660959B2 (ja) | 1994-08-10 |
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