JPH03165584A - Ｘ線予備電離ガスレーザ装置 - Google Patents
Ｘ線予備電離ガスレーザ装置Info
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- JPH03165584A JPH03165584A JP30561289A JP30561289A JPH03165584A JP H03165584 A JPH03165584 A JP H03165584A JP 30561289 A JP30561289 A JP 30561289A JP 30561289 A JP30561289 A JP 30561289A JP H03165584 A JPH03165584 A JP H03165584A
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- Japan
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- ray
- rays
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- discharge
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
- H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加工などに用いるＸｌ！予備電離ガスレーザ装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来のＸ線予備電離ガスレーザ装置については、文献［
アプライド フィジックス レター（Ａｐｐｌｉｅｄ
Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ）」、 １９８３年、第
４２巻第２号、第１４９頁から第１５１頁に詳細に記載
されているので、詳細は省略する。第２図は、上記文献
に記載された従来のＸ線予備電離ガスレーザ装置の断面
図である。レーザ容器５の外部に配置されたＸ線発生部
１において発生したＸ線は、Ｘ線取り出し窓６を通して
レーザ容器の内部へ導入される。レーザ容器内部に配置
されなレーザ励起のための放電を行う空間（以下、放電
空間）４のレーザガスは導入されたＸ線によって電離さ
れ、電子汀イオン対が生成される。この、電子−イオン
対の密度が充分であれば、一対の電極７間でレーザ励起
のための放電を安定したグロー放電とすることができ、
レーザ発振を得ることができる。
アプライド フィジックス レター（Ａｐｐｌｉｅｄ
Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ）」、 １９８３年、第
４２巻第２号、第１４９頁から第１５１頁に詳細に記載
されているので、詳細は省略する。第２図は、上記文献
に記載された従来のＸ線予備電離ガスレーザ装置の断面
図である。レーザ容器５の外部に配置されたＸ線発生部
１において発生したＸ線は、Ｘ線取り出し窓６を通して
レーザ容器の内部へ導入される。レーザ容器内部に配置
されなレーザ励起のための放電を行う空間（以下、放電
空間）４のレーザガスは導入されたＸ線によって電離さ
れ、電子汀イオン対が生成される。この、電子−イオン
対の密度が充分であれば、一対の電極７間でレーザ励起
のための放電を安定したグロー放電とすることができ、
レーザ発振を得ることができる。
ここで、大きなレーザ出力が必要な場合、２台のレーザ
を用いて一方を発振器とし、他方を増幅器とした構成が
考えられる。第３図は、２台のレーザを用いて発振器と
増幅器を構成してなる従来のＸ線予備電離ガスレーザ装
置の外観図である。
を用いて一方を発振器とし、他方を増幅器とした構成が
考えられる。第３図は、２台のレーザを用いて発振器と
増幅器を構成してなる従来のＸ線予備電離ガスレーザ装
置の外観図である。
上述の場合と同様に、Ｘ線発生部１ａにおいて発生した
Ｘ線によりレーザ容器５ａの放電空間４ａが予備電離さ
れ、安定したグロー放電によりレーザ発振が得られる。
Ｘ線によりレーザ容器５ａの放電空間４ａが予備電離さ
れ、安定したグロー放電によりレーザ発振が得られる。
一方、Ｘ線発生部１ｂによりレーザ容器５ｂ中の放電空
間４ｂも予備電離され、安定なグロー放電によりレーザ
媒質が励起される。ここで、放電空間４ａにおいて発振
したレーザ光を放電空間４ｂに導入すると、レーザ光は
放電空間４ｂにおいて増幅され、大きなレーザ出力を得
ることができる。
間４ｂも予備電離され、安定なグロー放電によりレーザ
媒質が励起される。ここで、放電空間４ａにおいて発振
したレーザ光を放電空間４ｂに導入すると、レーザ光は
放電空間４ｂにおいて増幅され、大きなレーザ出力を得
ることができる。
従来のＸ線予備電離ガスレーザ装置では、大きなレーザ
出力を得るために発振器と増幅器からなる構成を用いる
場合、２個のＸ線発生部と２個のレーザ容器を必要とし
、装置の大きさが大きく、電気的な入力エネルギに対し
てレーザ出力エネルギが小さいという課題がある。
出力を得るために発振器と増幅器からなる構成を用いる
場合、２個のＸ線発生部と２個のレーザ容器を必要とし
、装置の大きさが大きく、電気的な入力エネルギに対し
てレーザ出力エネルギが小さいという課題がある。
本発明の目的は、従来の課題を解決し、小型でかつ電気
的な入力エネルギに対し大きなレーザ出力エネルギが得
られるＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することにあ
る。
的な入力エネルギに対し大きなレーザ出力エネルギが得
られるＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することにあ
る。
本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ装置は、電子銃か
らの電子ビームをターゲットに衝突させて制御輻射によ
りＸ線を発生する１つのＸ線発生部と、Ｘ線発生部から
Ｘ線を取り出すＸ線取り出し窓とＸ線取り出し窓から取
り出したＸ線により予備電離され、かつ、一対の電極間
の放電によりレーザ媒質を励起する複数の放電空間を少
なくとも有し、ターゲットの周囲のＸ線が発散する位置
に各Ｘ線取り出し窓を配置し、各Ｘ線取り出し窓からＸ
線が出射する位置にそれぞれ各放電空間を配置したこと
を特徴とする構成になっている。
らの電子ビームをターゲットに衝突させて制御輻射によ
りＸ線を発生する１つのＸ線発生部と、Ｘ線発生部から
Ｘ線を取り出すＸ線取り出し窓とＸ線取り出し窓から取
り出したＸ線により予備電離され、かつ、一対の電極間
の放電によりレーザ媒質を励起する複数の放電空間を少
なくとも有し、ターゲットの周囲のＸ線が発散する位置
に各Ｘ線取り出し窓を配置し、各Ｘ線取り出し窓からＸ
線が出射する位置にそれぞれ各放電空間を配置したこと
を特徴とする構成になっている。
本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ装置は、Ｘ線発生
部と、少なくとも２個以上Ｘ線取り出し窓とレーザ励起
のための放電を行う放電空間とを有し、Ｘ線発生部から
Ｘ線が発散する位置に各々の前記放電空間を配置する。
部と、少なくとも２個以上Ｘ線取り出し窓とレーザ励起
のための放電を行う放電空間とを有し、Ｘ線発生部から
Ｘ線が発散する位置に各々の前記放電空間を配置する。
Ｘ線発生部のターゲットからでるＸ線は、ターゲットか
らの距離が離れるにつれて発散するので、Ｘ線が発散す
る位置に複数のＸ線取り出し窓と放電空間を配置するこ
とにより、それぞれの放電空間にＸ線を導き、予備電離
することができる。この場合、各々の放電空間に対して
Ｘ線発生部は１個しか必要なく、従って装置が小型化で
きる。また、電気的な入力エネルギはＸ線発生部が１個
しか必要ない分だけ減少する。この結果、従来の課題を
解決したＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することが
できる。
らの距離が離れるにつれて発散するので、Ｘ線が発散す
る位置に複数のＸ線取り出し窓と放電空間を配置するこ
とにより、それぞれの放電空間にＸ線を導き、予備電離
することができる。この場合、各々の放電空間に対して
Ｘ線発生部は１個しか必要なく、従って装置が小型化で
きる。また、電気的な入力エネルギはＸ線発生部が１個
しか必要ない分だけ減少する。この結果、従来の課題を
解決したＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することが
できる。
次に、図面を用いて本発明を説明する。
第１図は、本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ装置の
実施例の断面図である。Ｘ線発生部１の電子銃２におい
て発生した電子ビームは、ターゲット３に衝突して制動
輻射によりＸ線を発生する。この、Ｘ線をタラゲートか
らの距離が等しい２個のＸ線取り出し窓６を通して２個
の放電空間４に照射し、レーザ媒質を予備電離する。こ
こで、ターゲット３において発生したＸ線は電子ビーム
の入射方向に近い角度においては均一な強度で等方的に
発散する。よって、各々の放電空間におけるＸ線の強度
は等しく、各々の放電空間に対して別のＸ線発生部から
Ｘ線を照射した場合と同じ予備電離効果がある。この、
放電空間の両端に配置した一対の電極７間で放電を行い
、レーザ発振を得る。このとき、本発明によるＸ線予備
電離ガスレーザ装置は従来のＸ線発生部を２個具備した
場合と比べ、Ｘ線発生部の数が１個少なく、小型である
。また、電気的な入力エネルギがＸ線発生部１個分少な
いが、２個の放電空間が同様に予備電離できるために大
きなレーザ出力を得ることができる。
実施例の断面図である。Ｘ線発生部１の電子銃２におい
て発生した電子ビームは、ターゲット３に衝突して制動
輻射によりＸ線を発生する。この、Ｘ線をタラゲートか
らの距離が等しい２個のＸ線取り出し窓６を通して２個
の放電空間４に照射し、レーザ媒質を予備電離する。こ
こで、ターゲット３において発生したＸ線は電子ビーム
の入射方向に近い角度においては均一な強度で等方的に
発散する。よって、各々の放電空間におけるＸ線の強度
は等しく、各々の放電空間に対して別のＸ線発生部から
Ｘ線を照射した場合と同じ予備電離効果がある。この、
放電空間の両端に配置した一対の電極７間で放電を行い
、レーザ発振を得る。このとき、本発明によるＸ線予備
電離ガスレーザ装置は従来のＸ線発生部を２個具備した
場合と比べ、Ｘ線発生部の数が１個少なく、小型である
。また、電気的な入力エネルギがＸ線発生部１個分少な
いが、２個の放電空間が同様に予備電離できるために大
きなレーザ出力を得ることができる。
なお、上述の例においては２個の放電空間を有する場合
について記したが、３個以上有してもよい、また、各々
の放電空間において必要なＸ線強度が異なる場合には、
ターゲットからの距離が異なる位置にそれぞれの放電空
間を配置してもよい、さらに、上述の例では、各々の放
電空間４を別々のレーザ容器５内に配置したが、１つの
レーザ容器内に配置してもよい。
について記したが、３個以上有してもよい、また、各々
の放電空間において必要なＸ線強度が異なる場合には、
ターゲットからの距離が異なる位置にそれぞれの放電空
間を配置してもよい、さらに、上述の例では、各々の放
電空間４を別々のレーザ容器５内に配置したが、１つの
レーザ容器内に配置してもよい。
また、本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ装置は、複
数の放電空間を注入同期のなめに用いたり、各々の放電
空間に異なる種類のレーザ媒質を入れることにより異な
る種類のレーザ光を発振させることも可能である。これ
らの場合にも、装置が小型となる利点やエネルギ効率が
よい利点は同様である。
数の放電空間を注入同期のなめに用いたり、各々の放電
空間に異なる種類のレーザ媒質を入れることにより異な
る種類のレーザ光を発振させることも可能である。これ
らの場合にも、装置が小型となる利点やエネルギ効率が
よい利点は同様である。
以上のことから、本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ
装置により、従来の課題を解決し、小型でかつ電気的な
入力エネルギに対し大きなレーザ出力エネルギが得られ
るＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することができる
。
装置により、従来の課題を解決し、小型でかつ電気的な
入力エネルギに対し大きなレーザ出力エネルギが得られ
るＸ線予備電離ガスレーザ装置を提供することができる
。
第１図は、本発明によるＸ線予備電離ガスレーザ装置の
一実施例の断面図、第２図は、従来のＸ線予備電離ガス
レーザ装置の断面図、第３図は、２台のレーザを用いて
発振器と増幅器を構成してなる従来のＸ線予備電離ガス
レーザ装置の外観図である。 図において、１．ｌａ、ｌｂ・・・Ｘ線発生部、２・・
・電子銃、３・・・ターゲット、４．４ａ、４ｂ・・・
放電空間、５．５ａ、５ｂ・・・レーザ容器、６・・・
Ｘ線取り出し窓、７・・・電極である。
一実施例の断面図、第２図は、従来のＸ線予備電離ガス
レーザ装置の断面図、第３図は、２台のレーザを用いて
発振器と増幅器を構成してなる従来のＸ線予備電離ガス
レーザ装置の外観図である。 図において、１．ｌａ、ｌｂ・・・Ｘ線発生部、２・・
・電子銃、３・・・ターゲット、４．４ａ、４ｂ・・・
放電空間、５．５ａ、５ｂ・・・レーザ容器、６・・・
Ｘ線取り出し窓、７・・・電極である。
Claims (1)
- ガスレーザの予備電離にＸ線予備電離を用いたガスレ
ーザ装置において、電子銃からの電子ビームをターゲッ
トに衝突させて制動輻射によりＸ線を発生する１つのＸ
線発生部と、前記Ｘ線発生部からＸ線を取り出す複数の
Ｘ線取り出し窓と、前記Ｘ線取り出し窓から取り出した
Ｘ線により予備電離され、かつ、一対の電極間の放電に
よりレーザ媒質を励起する複数の放電空間とを少なくと
も有し、前記ターゲットの周囲のＸ線が発散する位置に
前記Ｘ線取り出し窓を複数配置し、前記Ｘ線取り出し窓
からＸ線が出射する位置にそれぞれ前記各放電空間を配
置したことを特徴とするＸ線予備電離ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30561289A JPH03165584A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線予備電離ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30561289A JPH03165584A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線予備電離ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165584A true JPH03165584A (ja) | 1991-07-17 |
Family
ID=17947238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30561289A Pending JPH03165584A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | Ｘ線予備電離ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03165584A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220200225A1 (en) * | 2020-12-21 | 2022-06-23 | Hamamatsu Photonics K.K | Light emitting sealed body and light source device |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30561289A patent/JPH03165584A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220200225A1 (en) * | 2020-12-21 | 2022-06-23 | Hamamatsu Photonics K.K | Light emitting sealed body and light source device |
| US11862922B2 (en) * | 2020-12-21 | 2024-01-02 | Energetiq Technology, Inc. | Light emitting sealed body and light source device |
| US12191623B2 (en) * | 2020-12-21 | 2025-01-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light emitting sealed body and light source device |
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