JPH0316633A - 流体を均一に導入する方法および装置 - Google Patents
流体を均一に導入する方法および装置Info
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- JPH0316633A JPH0316633A JP2105151A JP10515190A JPH0316633A JP H0316633 A JPH0316633 A JP H0316633A JP 2105151 A JP2105151 A JP 2105151A JP 10515190 A JP10515190 A JP 10515190A JP H0316633 A JPH0316633 A JP H0316633A
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- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多数の透孔を穿設した分配外筒を用いて処理槽
内へ流体を均一に導入するための方法およびその方法を
実施する装置に関する。
内へ流体を均一に導入するための方法およびその方法を
実施する装置に関する。
本発明に関係する流体は液体ないし気体であり、特に、
オフセット印刷版用のサポート材を製作する帯状のアル
ミニウム板のための製造プラントにおける、例えば電解
液のような液体を扱う工程にて液体の均一な導入を果た
すことを可能にするものである。このとき分配外筒に沿
う流体の流れはほぼ均一な速度を保持することができる
。
オフセット印刷版用のサポート材を製作する帯状のアル
ミニウム板のための製造プラントにおける、例えば電解
液のような液体を扱う工程にて液体の均一な導入を果た
すことを可能にするものである。このとき分配外筒に沿
う流体の流れはほぼ均一な速度を保持することができる
。
以下の例はオフセット印刷版用の・:1}状のアルミニ
ウム板を前処理に掛ける場合の適用例について述べてい
る。このオフセット印刷版用のサポート材料の処理にお
いては、アルミニウム板が電躬液の中に置かれ、供給さ
れる電流により凹凸を持つ面に処理され、その後陽極処
理される。
ウム板を前処理に掛ける場合の適用例について述べてい
る。このオフセット印刷版用のサポート材料の処理にお
いては、アルミニウム板が電躬液の中に置かれ、供給さ
れる電流により凹凸を持つ面に処理され、その後陽極処
理される。
本発明の目的は液体、特に電解液ないし他の液体を均一
に導入するための方法を提供するもので、帯状の材料は
凹凸を持つ面に電気化学的に処理されるように処理槽へ
運ばれる。
に導入するための方法を提供するもので、帯状の材料は
凹凸を持つ面に電気化学的に処理されるように処理槽へ
運ばれる。
この目的を達成するために、本発明は集合して流れる流
体を分配外筒の入口で部分に分け、さらに分κ外筒の縦
方向に案内し、分配外筒の内周全域にわたり均一に流出
する流れを分配外筒の軸芯を横切る方向に形威するよう
にしたものである。
体を分配外筒の入口で部分に分け、さらに分κ外筒の縦
方向に案内し、分配外筒の内周全域にわたり均一に流出
する流れを分配外筒の軸芯を横切る方向に形威するよう
にしたものである。
さらに、本発明の方法は流れの部分を分配外筒の軸芯に
沿う方向に、しかも、それと平行に等しい量に分けるよ
うにしたものである。
沿う方向に、しかも、それと平行に等しい量に分けるよ
うにしたものである。
chiWJを解決するための手段および作用〕本発明の
方法によれば、流体を分配外筒の一方の端部から導入し
、集合して流れる流体あるいは部分として流れる流体を
入門の反対側で分配外筒の軸芯を横切る方向に偏向させ
、かつ吐き出すように行なわれる。
方法によれば、流体を分配外筒の一方の端部から導入し
、集合して流れる流体あるいは部分として流れる流体を
入門の反対側で分配外筒の軸芯を横切る方向に偏向させ
、かつ吐き出すように行なわれる。
また、本発明の方法は煽向した流れの部分を分配外筒の
透孔から流出させる前に、入口で分けられた区分に従っ
て分配外筒の内周全域に分配するようにしたものである
。
透孔から流出させる前に、入口で分けられた区分に従っ
て分配外筒の内周全域に分配するようにしたものである
。
さらに、別の方法は分κ外筒西を集合して流れる流体を
その長手方向全域にわたり軸方向および半径方向に同じ
圧力状態に置くようにしたものである。この方法では、
流体の圧力を流路が減少するように形威した挿入物によ
って分配外筒の長子方向全域にわたり一定に保つことが
行なわれる。
その長手方向全域にわたり軸方向および半径方向に同じ
圧力状態に置くようにしたものである。この方法では、
流体の圧力を流路が減少するように形威した挿入物によ
って分配外筒の長子方向全域にわたり一定に保つことが
行なわれる。
一方、本発明の方法を実施するための装置は多数の透孔
を穿設した分配外筒と、この分配外筒内に収容され、内
部に互いに区分して使用される通路を形成した分配内筒
と、分配外筒の入口側に流入口を臨ませて集合して流れ
る流体を流入口の区分に従い部分として分け、かつ、そ
れ全体は分配内筒内に神人され、通路のための区画部材
として働く分配器とを備え、上記通路は2枚の環状プレ
ートによりそれぞれ領域が制限されると共に、前記流入
口と各々連通させるようにしたものである。
を穿設した分配外筒と、この分配外筒内に収容され、内
部に互いに区分して使用される通路を形成した分配内筒
と、分配外筒の入口側に流入口を臨ませて集合して流れ
る流体を流入口の区分に従い部分として分け、かつ、そ
れ全体は分配内筒内に神人され、通路のための区画部材
として働く分配器とを備え、上記通路は2枚の環状プレ
ートによりそれぞれ領域が制限されると共に、前記流入
口と各々連通させるようにしたものである。
また、別の本発明の方法を実施するための装置は多数の
透孔を穿設した分配外筒と、この分配外筒内に放射状に
置かれたリブによって中心に設けられた分配胴とを備え
、上記分配胴は前記分配外筒の入口開口から後側の端面
にかけて順次増加する直径部分を有し、かつ前記分配外
筒の後側の端面に固定されるようにしたものである。
透孔を穿設した分配外筒と、この分配外筒内に放射状に
置かれたリブによって中心に設けられた分配胴とを備え
、上記分配胴は前記分配外筒の入口開口から後側の端面
にかけて順次増加する直径部分を有し、かつ前記分配外
筒の後側の端面に固定されるようにしたものである。
本発明の実施例を図面について説明する。
第1図は液体、例えば電解液用の容器27の斜視図であ
る。電解液は図示しない電極と共に容器27内に形威し
た電解液溜め28に保管され、・:1シ状のサポート材
26がその入口および出口を密封された状態で電鯉液溜
め28を貫通している。このサポート材26は、例えば
アルミニウム板のような金属の帯状の板であって、この
板には予め機械的な手段で凹凸が施され、そこに電気化
学的な処理が重ねられ、粗面を持つサポート材26に仕
上げられ、その後、陽極処理される。
る。電解液は図示しない電極と共に容器27内に形威し
た電解液溜め28に保管され、・:1シ状のサポート材
26がその入口および出口を密封された状態で電鯉液溜
め28を貫通している。このサポート材26は、例えば
アルミニウム板のような金属の帯状の板であって、この
板には予め機械的な手段で凹凸が施され、そこに電気化
学的な処理が重ねられ、粗面を持つサポート材26に仕
上げられ、その後、陽極処理される。
多数の透孔を穿った分配外筒1は容器27内をサポート
材26が進む方向に対してこれを横切る方向を向くよう
に配置される。電解液は分配外筒1の一端から器内に導
かれ、その後、分配外筒1の壁面に形成された出口、例
えば透孔10から流出して行く。この分配外筒1がなす
電解液溜め28に対する電解液の均一な分配は、以下に
詳しく述べられる。
材26が進む方向に対してこれを横切る方向を向くよう
に配置される。電解液は分配外筒1の一端から器内に導
かれ、その後、分配外筒1の壁面に形成された出口、例
えば透孔10から流出して行く。この分配外筒1がなす
電解液溜め28に対する電解液の均一な分配は、以下に
詳しく述べられる。
ここで、分配外筒1の扱い方は導入される電解液ないし
液体に関連づけて説明される。分配外筒1の一端から導
入された気体が分配外t?ilに沿って均一に分配され
て透孔10の外に流れ出ることは気体を使った試験でも
実証されており、この種の分配外筒は液体と同様気体に
も有用なものである。
液体に関連づけて説明される。分配外筒1の一端から導
入された気体が分配外t?ilに沿って均一に分配され
て透孔10の外に流れ出ることは気体を使った試験でも
実証されており、この種の分配外筒は液体と同様気体に
も有用なものである。
第2図は筒体の壁面に軸芯13に対して垂直方向に多数
の透孔10を穿設している分配外筒1の一部を破断して
全体を示す斜視図である。この透孔10は筒体の壁面を
貫き、かつ通路4を形成するように内部を区分された分
配内筒7を収容している分配外筒1の長手力向全域に分
布するように形威される。分配222は分配外筒1の入
口側に開口を臨ませ、それ全体は分配内t?i7の内部
に挿入して配置される。また、分配器2の中心から放射
状に延びる区画部材3は分配内筒7内の通路4を区画し
ている。分配器2は後記される流入nにより導入された
流体の集合を部分として分け、これを通路4にかけて導
く。通路4内の流体は2枚の環状プレート11、11に
よって各々領域が制限される。分配器2は、また、個々
の横断面を等しい大きさに形威した6ないし8個の流入
口14によって集合して流れる流体を等量に分ける。流
入口14の区分は区画部材3に従うもので、これにより
流入口14を経た後の流体は各通路4を分れて流れる。
の透孔10を穿設している分配外筒1の一部を破断して
全体を示す斜視図である。この透孔10は筒体の壁面を
貫き、かつ通路4を形成するように内部を区分された分
配内筒7を収容している分配外筒1の長手力向全域に分
布するように形威される。分配222は分配外筒1の入
口側に開口を臨ませ、それ全体は分配内t?i7の内部
に挿入して配置される。また、分配器2の中心から放射
状に延びる区画部材3は分配内筒7内の通路4を区画し
ている。分配器2は後記される流入nにより導入された
流体の集合を部分として分け、これを通路4にかけて導
く。通路4内の流体は2枚の環状プレート11、11に
よって各々領域が制限される。分配器2は、また、個々
の横断面を等しい大きさに形威した6ないし8個の流入
口14によって集合して流れる流体を等量に分ける。流
入口14の区分は区画部材3に従うもので、これにより
流入口14を経た後の流体は各通路4を分れて流れる。
さらに、分配器2は軸方向、すなわち軸芯13に沿って
分割される。この分割された各部には流入口14の一つ
から区分けされた流体が供給され、この後、環状プレー
ト11により流入時の区分けに従って吐き出される。
分割される。この分割された各部には流入口14の一つ
から区分けされた流体が供給され、この後、環状プレー
ト11により流入時の区分けに従って吐き出される。
環状空間9は分配外筒1の内面と、分配内筒7との間に
位置を占める。そして、これは環状プレート11によっ
て6ないし8個の独立した空間として分けられる。各通
路4は半径方向に流入口14よりも^く、かつ軸芯13
に沿って、それと平行に延びるバッツルプレート6を有
し、これは、また区画部材3の壁而12、12との間で
通路4の互いに平行な21!i所の出n8を形成してい
る。
位置を占める。そして、これは環状プレート11によっ
て6ないし8個の独立した空間として分けられる。各通
路4は半径方向に流入口14よりも^く、かつ軸芯13
に沿って、それと平行に延びるバッツルプレート6を有
し、これは、また区画部材3の壁而12、12との間で
通路4の互いに平行な21!i所の出n8を形成してい
る。
通路4には環状空間9に開口している出口8と共に分配
外筒1の方向に向けられ、じかも流れの方向に垂直に向
けてその上面でバッフルプレート6を支える2個の支持
部材5が各々備えられる。通路4の横断面を部分的に狭
くしている支持部材5は通路4に沿う方向の局部的な分
配に一定の作用を及ぼし、同時に出口8の上方に固定さ
れたバッフルプレート6を支持している。通路4から流
出する流体の出nは、扱う流体が電M液か気体かにより
、両側の出口8を分配内t′57の周方向に貫いて形成
される。
外筒1の方向に向けられ、じかも流れの方向に垂直に向
けてその上面でバッフルプレート6を支える2個の支持
部材5が各々備えられる。通路4の横断面を部分的に狭
くしている支持部材5は通路4に沿う方向の局部的な分
配に一定の作用を及ぼし、同時に出口8の上方に固定さ
れたバッフルプレート6を支持している。通路4から流
出する流体の出nは、扱う流体が電M液か気体かにより
、両側の出口8を分配内t′57の周方向に貫いて形成
される。
第3図は第2図の1−1線に沿う断面図であり、2個の
支持部材5が流れの方向を横切る方向に向けられ、分配
内筒7の壁面よりも上に延ばされている。この結果、2
個の出口8、8はバッフルプレート6と区画部材3の壁
面12との間に開口させられる。出口8は流れの接線方
向に流体を送り出す。この流れはバッフルプレート6の
背側の空所を伴ないながら分配外筒1と分配内筒7との
間の環状空間9の内周全域に均一に分配される。
支持部材5が流れの方向を横切る方向に向けられ、分配
内筒7の壁面よりも上に延ばされている。この結果、2
個の出口8、8はバッフルプレート6と区画部材3の壁
面12との間に開口させられる。出口8は流れの接線方
向に流体を送り出す。この流れはバッフルプレート6の
背側の空所を伴ないながら分配外筒1と分配内筒7との
間の環状空間9の内周全域に均一に分配される。
第2図および第3図には示されていないが、バッフルプ
レート6は多数の透孔を穿つものとじて構成することが
できる。この場合、先に述べられた空所は除くことが可
能であって、環状空間9西のバッフルプレート6の周囲
を含む内周全域に流れが形成される。
レート6は多数の透孔を穿つものとじて構成することが
できる。この場合、先に述べられた空所は除くことが可
能であって、環状空間9西のバッフルプレート6の周囲
を含む内周全域に流れが形成される。
流体、例えば電解液は同じ速度と同じ器内圧力を保ちな
から透孔10を通って環状空間9を流れ出る。出口8は
軸方向に分配内筒7から離して配置される。環状プレー
ト11は各通路4の始まりあるいは終りを規定し、分配
外筒1に合わせて分配$2の中心を定めている。分配外
rrJ1、分配器2、分配内筒7およびその他の要素は
、例えばポリブロビレンあるいは塩化ポリビニール等の
耐酸化性プラスチック材料からつくられる。流体あるい
は液体の集合した流れは分配外筒1の一端から導かれ、
そして通路4内で流れの部分は軸芯13を横切る方向に
向けられる。この流れの部分は分配外筒1の透孔10か
ら流出する前に、分配外筒1の^周全域に均一に分配さ
れる。
から透孔10を通って環状空間9を流れ出る。出口8は
軸方向に分配内筒7から離して配置される。環状プレー
ト11は各通路4の始まりあるいは終りを規定し、分配
外筒1に合わせて分配$2の中心を定めている。分配外
rrJ1、分配器2、分配内筒7およびその他の要素は
、例えばポリブロビレンあるいは塩化ポリビニール等の
耐酸化性プラスチック材料からつくられる。流体あるい
は液体の集合した流れは分配外筒1の一端から導かれ、
そして通路4内で流れの部分は軸芯13を横切る方向に
向けられる。この流れの部分は分配外筒1の透孔10か
ら流出する前に、分配外筒1の^周全域に均一に分配さ
れる。
さらに、上記と異なる実施例を分配外筒1の一部を破断
して全体を斜視図として描き表わした第4図を参照して
説明する。多数の透孔10を穿設した分配外筒1は放射
状に延びるリブ17によって分配外筒1内の中心にくる
ように置かれた回転対称形の分配胴15を収容している
。この分配胴15は分配外筒1の入口開口23側から後
側の端面24に向かって順次直径を増加させるように形
成され、かつ、それ自身は端而24に直接結合されてい
る。分配外筒1の内部で液体圧力は分配胴15の増加す
る直径によりそれぞれの部分で等しい圧力に保たれる。
して全体を斜視図として描き表わした第4図を参照して
説明する。多数の透孔10を穿設した分配外筒1は放射
状に延びるリブ17によって分配外筒1内の中心にくる
ように置かれた回転対称形の分配胴15を収容している
。この分配胴15は分配外筒1の入口開口23側から後
側の端面24に向かって順次直径を増加させるように形
成され、かつ、それ自身は端而24に直接結合されてい
る。分配外筒1の内部で液体圧力は分配胴15の増加す
る直径によりそれぞれの部分で等しい圧力に保たれる。
分配胴15は円錐形の連結体16によって互いに連結さ
れた、例えば円筒形に形成される複数個の短胴18、1
9、20から構成されている。分配外筒1の入口開口2
3に最も近い短胴18は放物面を形成している端部25
により閉塞されている。分配胴15は軸方向と半径方向
とに均一な圧力分布をもたらすべく機能する。
れた、例えば円筒形に形成される複数個の短胴18、1
9、20から構成されている。分配外筒1の入口開口2
3に最も近い短胴18は放物面を形成している端部25
により閉塞されている。分配胴15は軸方向と半径方向
とに均一な圧力分布をもたらすべく機能する。
また、分配胴15の各段の形状は部分的に穴なる形状、
たとえば短胴18、19については円筒体が、短胴20
は円錐状の切頭体が各々用いられる。
たとえば短胴18、19については円筒体が、短胴20
は円錐状の切頭体が各々用いられる。
一方、これらの短胴18、19、20をすべて円錐状の
切頭体により構成し、円錐状の連結体16により各短胴
18、19、2oを結合して胴部を形成することも可能
である。
切頭体により構成し、円錐状の連結体16により各短胴
18、19、2oを結合して胴部を形成することも可能
である。
圧力分布に関してffi要な一点は、分配外n1の内面
と複数の短胴の外面あるいは分配刷15全部の外面との
間の通路を通り抜ける流体の流れ、あるいはそこに流入
してくる流体に等しい圧力が及ぶように分配胴15が設
計されねばならないことである。
と複数の短胴の外面あるいは分配刷15全部の外面との
間の通路を通り抜ける流体の流れ、あるいはそこに流入
してくる流体に等しい圧力が及ぶように分配胴15が設
計されねばならないことである。
第5図に示されるところの断面図によるところのモデル
からも判るように、流体あるいは液体は均一な器内圧力
ないし流出速度のもとに分配外筒1の透孔10を通って
流れ出る。
からも判るように、流体あるいは液体は均一な器内圧力
ないし流出速度のもとに分配外筒1の透孔10を通って
流れ出る。
装置がねじりによって変形せず、しかも、その軸方向に
均一な分配をもたらすように形成される分配外筒1の寸
法は、扱う液体の容量を、例えば225m3/hとする
と次のとおりである。
均一な分配をもたらすように形成される分配外筒1の寸
法は、扱う液体の容量を、例えば225m3/hとする
と次のとおりである。
内径− 200關
長さ− 1690ml
壁の厚さ− 12關
透孔10の長さ−74關
透孔10の幅− 31Iml
透孔10の間隔−16+n
透孔10は分配外筒1の外面に軸芯13を横切って並ぶ
列として配列される。
列として配列される。
4段の分配胴15の寸法は全長が1450mmである。
分配胴15は分配外WJ1の後側の端面24に取付けら
れる。端面24から入口開口23までの個々の短胴の寸
法は次のとおりである。
れる。端面24から入口開口23までの個々の短胴の寸
法は次のとおりである。
直径 長さ
第1段短胴 160關 150+m第2段短胴
110l璽 600mm第3段短銅
90m■ 400量一第4段短桐 63關
300mm一つの短胴から他の短銅に変わる過程は
円錐状の切頭体を用いて連続している。
110l璽 600mm第3段短銅
90m■ 400量一第4段短桐 63關
300mm一つの短胴から他の短銅に変わる過程は
円錐状の切頭体を用いて連続している。
第6図はさらに異なる形状の分配胴21を示している。
ここで、分配胴21は放物面を一つの胴により形成して
いる。先端iから放物面のある決められた長さの区間k
は次の等式から与えられる直径d!を有する。。
いる。先端iから放物面のある決められた長さの区間k
は次の等式から与えられる直径d!を有する。。
d 2=do2+l D2/n
l
ここに、L−分配剃21の全長
D一分配外筒1の最大内径一分配胴
21の最大直径
n=L/k,imo、1、2、3−n
ただし、区間kについては10m■とする。
上記等式において、doは区間kの番号iが分配胴21
の先端から始められるとき、i−0、すなわち0關に等
しい値を取る地点の分配胴21の最小直径に相当し、か
つ番号は分配胴21の最大直径Dの方向に続き番号0、
1、2、3・・・nを割り当てるようにする。
の先端から始められるとき、i−0、すなわち0關に等
しい値を取る地点の分配胴21の最小直径に相当し、か
つ番号は分配胴21の最大直径Dの方向に続き番号0、
1、2、3・・・nを割り当てるようにする。
この直径d1を与える上記の等式は、iをより小さくす
るためにそれぞれの対応する値が新たにその等式に挿入
された次の算式から導いている。
るためにそれぞれの対応する値が新たにその等式に挿入
された次の算式から導いている。
d 2−d
l l−1
これから、
2−D2/n
2−D2/n十dl−2
2
dI−1
分陀胴21の放物面の区間kの平均直径はそれぞれ次の
関係を保って決められる。
関係を保って決められる。
d 2−d 2−D2/n
1 1−1
この関係は直径寸法が闘で扱われるとき、nml40
(n=L/k−1400ms/Ioms−140)と2
2 di =do +iD2/n となる。
2 di =do +iD2/n となる。
分割数nについて十分に大きな値として、流体を送り出
す本体部分の形状が決められ、放物面はこれに見合う直
径d1に形成される。
す本体部分の形状が決められ、放物面はこれに見合う直
径d1に形成される。
分配外$:j1および分配胴21の寸法は次のように与
えられる。
えられる。
分配外筒1の最大内径(D) 143mm分配胴21
の全長(L) 1400mm壁の厚さ
12mIi透孔10の長さ
74闘透孔10の幅 3關透孔1
0の間隔 16l一ように与えられる。
の全長(L) 1400mm壁の厚さ
12mIi透孔10の長さ
74闘透孔10の幅 3關透孔1
0の間隔 16l一ように与えられる。
さらに、本発明に係る分配胴は第7図に示されるように
分配胴22として構成される。ここで、回転対称形の円
錐形状は分配胴22の全長L1分配外筒1の最大西径な
いし分配胴22の最大内径Dを持つものとして示される
。第6図の分配胴21と助様に分配胴22は後側の端面
24の内側に固定される。分κ外筒1内に純粋に円錐形
の分配胴22を挿入して構成する場合の圧力分布は厳密
に仕上げられた放物面による分配胴21の均一な圧力分
布からみると、僅かに偏りを生じている。
分配胴22として構成される。ここで、回転対称形の円
錐形状は分配胴22の全長L1分配外筒1の最大西径な
いし分配胴22の最大内径Dを持つものとして示される
。第6図の分配胴21と助様に分配胴22は後側の端面
24の内側に固定される。分κ外筒1内に純粋に円錐形
の分配胴22を挿入して構成する場合の圧力分布は厳密
に仕上げられた放物面による分配胴21の均一な圧力分
布からみると、僅かに偏りを生じている。
しかし、この圧力分布の僅かな不均一性は大機の性能か
らは許容制限値の範囲内に収まるものである。円錐形の
分κ胴22を用いる利点は放物面による分配胴21を製
作する場合と比べてH ratに制作できることである
。
らは許容制限値の範囲内に収まるものである。円錐形の
分κ胴22を用いる利点は放物面による分配胴21を製
作する場合と比べてH ratに制作できることである
。
本発明では電解液が処理槽へ導入されるとき、その処理
一槽の幅全域にわたり均一に流れ、これにより処押槽に
供給したサポート材料の幅全域に電気化学的な処理によ
る均一な粗面を形成することができる。特に、供給され
るサポート材料の幅が拡くなったとき、処理槽で扱う電
解液も多量になるが、本発明においては電解液を均一に
導入してその偏りをなくすことが可能であり、より効果
的に用いることができる。
一槽の幅全域にわたり均一に流れ、これにより処押槽に
供給したサポート材料の幅全域に電気化学的な処理によ
る均一な粗面を形成することができる。特に、供給され
るサポート材料の幅が拡くなったとき、処理槽で扱う電
解液も多量になるが、本発明においては電解液を均一に
導入してその偏りをなくすことが可能であり、より効果
的に用いることができる。
に沿う断面図、第4図は一部を破断している本発明の装
置を示す斜視図、第5図は第4図の■一■線に沿う断面
図、第6図および第7図は分配外筒に挿入して用いられ
る分配劇のそれぞれ異なる実施例を示す構威図である。
置を示す斜視図、第5図は第4図の■一■線に沿う断面
図、第6図および第7図は分配外筒に挿入して用いられ
る分配劇のそれぞれ異なる実施例を示す構威図である。
1・・・分配外筒、2・・・分配器、3・・・区画部材
、4・・・通路、6・・・バッフルプレート、7・・・
分配内筒、10・・・透孔、14・・・流入n115、
21、22・・・分配胴.
、4・・・通路、6・・・バッフルプレート、7・・・
分配内筒、10・・・透孔、14・・・流入n115、
21、22・・・分配胴.
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、壁面に多数の透孔を穿設した分配外筒を用いて処理
槽内へ流体を均一に導入するための方法であって、集合
して流れる前記流体を前記分配外筒の入口で部分に分け
、さらに前記分配外筒の縦方向に案内し、前記分配外筒
の内周全域にわたり均一に流入する流れを前記分配外筒
の軸芯を横切る方向に形成するようにした流体を均一に
導入する方法。 2、流れの部分を前記分配外筒の軸芯に沿う方向に、し
かも、それと平行に等しい量に分けるようにした請求項
1記載の流体を均一に導入する方法。 3、流体を前記分配外筒の一方の端部から導入し、集合
して流れる流体あるいは部分として流れる流体を該入口
の反対側で前記分配外筒の軸芯を横切る方向に偏向させ
、かつ吐き出すようにした請求項2記載の流体を均一に
導入する方法。 4、偏向した流れの部分を前記分配外筒の透向から流出
させる前に、入口で分けられた区分に従って前記分配外
筒の内周全域に分配するようにした請求項3記載の流体
を均一に導入する方法。 5、壁面に多数の透孔を穿設した分配外筒を用いて処理
槽内へ流体を均一に導入するための方法であって、該分
配外筒内を集合して流れる流体をその長手方向全域にわ
たり軸方向および半径方向に同じ圧力状態に置くように
した流体を均一に導入する方法。 6、流体の圧力を流路が減少するように形成した挿入物
によって前記分配外筒の長手方向全域にわたり一定に保
つようにした請求項5記載の流体を均一に導入する方法
。 7、多数の透孔を穿設した分配外筒と、この分配外筒内
に収容され、内部に互いに区分して使用される通路を形
成した分配内筒と、前記分配外筒の入口側に流入口を臨
ませて集合して流れる流体を該流入口の区分に従い部分
として分け、かつそれ全体は前記分配内筒内に挿入され
、該通路のための区画部材として働く分配器とを備え、
前記通路は2枚の環状プレートによりそれぞれ領域が制
限されると共に、前記流入口と各々連通させるようにし
た流体を均一に導入する装置。 8、前記分配器は中心から放射状に延びる6ないし8本
の区画部材を有し、前記流入口は前記区画部材により個
々の横断面が等しい大きさに保たれ、これにより導入さ
れる流体が前記流入口の区分に従い6ないし8等分に等
しく分けられるようにした請求項7記載の流体を均一に
導入する装置。 9、前記流入口が等しい長さを保っている前記通路にか
けて同量の流体を導くように形成され、前記通路には半
径方向に前記流入口よりも高く、かつ軸芯に沿ってそれ
と平行にバッフルプレートが備えられ、これと共に前記
バッフルプレートと前記区画部材の壁面との間で該通路
の互いに平行な2か所の出口が形成され、前記出口が前
記分配外筒と前記分配内筒との間にある環状空間と各々
連通させるようにした請求項8記載の流体を均一に導入
する装置。 10、前記通路内に流体が流れる方向を横切る方向に向
けられ、前記分配内筒の外面を超えて延在する2枚の支
持部材を有し、前記バッフルプレートが前記支持部材の
上面で支えられるようにした請求項7記載の流体を均一
に導入する装置。 11、前記バッフルプレートが多数の透孔を備えるよう
にした請求項10記載の流体を均一に導入する装置。 12、前記環状プレートが前記分配外筒の軸芯に合わせ
て前記分配器の中心を定めるようにした請求項7記載の
流体を均一に導入する装置。 13、前記透孔が前記分配外筒の壁面内に軸芯を横切る
方向に向けて穿たれた多数の穿孔からなる請求項7記載
の流体を均一に導入する装置。 14、前記通路が前記分配内筒の軸芯に沿って放射状に
それぞれ配列されるようにした請求項7記載の流体を均
一に導入する装置。 15、多数の透孔を穿設した分配外筒と、この分配外筒
内に放射状に置かれたリブによって中心に設けられた分
配胴とを備え、前記分配胴は前記分配外筒の入口開口か
ら後側の端面にかけて順次増加する直径部分を有し、か
つ前記分配外筒の後側の端面に固定されるようにした流
体を均一に導入する装置。 16、前記分配胴が複数個の短胴から構成され、これら
の短胴は円筒形にそれぞれ形成されると共に、円錐状の
連結体によって互いに結合され、前記入口開口に最も近
い位置にある短胴が放物面を形成している端部によって
閉塞されるようにした請求項15記載の流体を均一に導
入する装置。 17、前記分配胴が前記分配外筒の内面と前記分配胴の
外面との間の通路に流入してくる流体に等しい圧力が及
ぶように形成されるようにした請求項15記載の流体を
均一に導入する装置。 18、前記分配胴が放物面を持つ一つの胴から構成され
、ある決められた長さの区間Kに見合う地点の内径は次
の等式に基づいて定められるようにした請求項15記載
の流体を均一に導入する装置。 di^2=do^2+iD^2/n ここに、L=分配胴の全長(mm) D=分配外筒の最大内径(mm) n=L/k i=0、1、2、3・・・n ただし、k=10mm 19、前記分配胴が円錐形に形成されるようにした請求
項15記載の流体を均一に導入する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3913132A DE3913132A1 (de) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | Verfahren zum gleichmaessigen einleiten eines fluids und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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