JPH03184356A - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

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Publication number
JPH03184356A
JPH03184356A JP1324529A JP32452989A JPH03184356A JP H03184356 A JPH03184356 A JP H03184356A JP 1324529 A JP1324529 A JP 1324529A JP 32452989 A JP32452989 A JP 32452989A JP H03184356 A JPH03184356 A JP H03184356A
Authority
JP
Japan
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frame
lead
adhesion surface
pad
resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP1324529A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Matsuo
政明 松尾
Kiyotaka Okinari
沖成 清隆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1324529A priority Critical patent/JPH03184356A/ja
Publication of JPH03184356A publication Critical patent/JPH03184356A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/01Manufacture or treatment
    • H10W72/0198Manufacture or treatment batch processes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/541Dispositions of bond wires
    • H10W72/5449Dispositions of bond wires not being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、半導体装置を構成する金属リードフレーム
状態で半導体装置の電気的特性検査(以下、テストと称
す)を行うに当って、半導体チップとリードフレーム間
の耐電圧を向上するリードフレームに関するものである
[従来の技v#] 従来、半導体集積回路装置(以下、ICと称す)は、金
属リードフレーム(以下、フレームと称す)を使用して
製造され、樹脂封止後に外部電極となる各リード及びI
C本体と切離し、しかる後テストを行う第1の方法と、
樹脂封止後に外部電極となる各リードだけを切離し、I
C本体はフレームにつながった状態でテストを行う第2
の方法が行なわれている。この発明は上記第2の方法に
関するもので、以下第6〜lO図に従って説明する。
第6図は従来のフレームを示す平面図、第7図は従来の
フレームにICチップを搭載し、フレームの各外部リー
ドと配線した状態を示す平面図、第8図は第7図の状態
のフレームに樹脂封止を施した状態を示す平面図、第9
図は第8図のフレームに各外部リードの切断及び曲げ加
工を施した状態を示す平面図、第1O図は第9図の状態
のフレームのICをテストする状態を示すテスターの断
面図である。
図において、(1)は金属のリードフレームで所定形状
に打ち抜き成形された板材であり(la)〜(lh)の
各部分から構成されている。(la)は第1フレーム枠
、(1b)は第2フレーム枠、(lc)は第1フレーム
枠(la)に設けられたピッチ穴、(1d)は第2フレ
ーム枠(Ib)に設けられたピッチ穴、(IC)は接着
剤を介しICチップを乗せる為のパッド、(1f)はパ
ッド(le)と第1フレーム枠(1a)、′1PJzフ
レーム枠(lb)とをつなぐ連結リード、(Ig)はI
Cの外部電極となる外部リード(1h)を第1フレーム
枠(1a)、第2フレーム枠(1b)とつなぐ連結リー
ド、(lh)はICの外部電極となる外部リードである
。(2)はパッド(1e)にICチップ(3)を接着す
るための接着剤、(4)はICチップ(3)の各電極と
外部リード(lb)を結ぶワイヤ線、(5)は第7図の
状態のフレームを樹脂封止し、連結リード(If)と外
部リード(th)を残して第1フレーム枠(la)、第
2フレーム枠(lb)から切断し、切離した外部リード
(lh)に曲げ加工を施したICである。(5,1)〜
(5,16)はI(:(5)の外部電極リード、(5,
17)は封止樹脂である。(6)〜(15)は第9図の
状態のフレームに並んだIG(5)をテストする装置の
各構成部分で、うち(6)〜(9)は第9図の状態のフ
レームを搬送、位置決めするハンドリング装置部を構成
し、また(11)〜(15)はIC(5)をテストする
電気計測に係るテスト装置部分を構成しており、(6)
はハンドリング装置部の基礎となるベース板、 (a、
t)は第1搬送レール、(8,2)は第2搬送レール、
(7)はベース板(6)と第1搬送レール(a、t) 
、第2搬送レール(8,2)の間に設けられた中継板、
(8,3)、 (8,4)はカバーレールである。第1
搬送レール(8,1) 、第2搬送レール(8,2ン 
カバーレール(8,3)   (8,4)は第1フレー
ム枠(la)、第2フレーム枠(lb)を受けてガイド
を行う搬送部分である。(9)は位置決めされたIC(
5)の外部電極リード(5,1)〜(5,16)とコン
タクトプローブ(12,1)〜(12,16)の導通な
得る鳥のIC押上げ具、(11)はコンタクトプローブ
(12,1)〜(12,16)を保持する保持板、(1
3)はコンタクトプローブ(12,1)〜(12,16
)に挿入された圧縮バネ、(15)はテスト測定値の印
加、測定値の読取り、良否判定を行う【Cテスター (
14)はコンタクトプローブ(12,1)〜(12,1
6)へICテスター(15)から電流、電圧の印加及び
測定値をテスト装置部分へ送る為のケーブル群である。
次に動作について第10図に従って説明するが、第6図
の状態のフレームから第9図の状態のフレームに至る図
示しない製造装置の動作については周知の技術である為
割愛する。
まず第9図のリードフレーム(1)がハンドリング装置
部の図示しないハンドリング機構により第1搬送レール
(8,1)  及び第2搬送レール(8,2)の上に乗
せられる。第1搬送レール(8,1)及び第2搬送レー
ル(8,2)はベース板(6)を基礎として中継板(7
)の上に組立てられておりベース板(6)と中継板(7
)と共に金属材料であるステンレス鋼材から出来ている
。そして電気的にはGNDレベルとなっているのが一般
的で第1O図においてもその様になっている。第1搬送
レール(8,1)及び第2搬送レール(8,2)に乗せ
られたリードフレーム(1)はピッチ穴(lc)又は(
ld)に、図示しない定ピツチ搬送機構の送り爪が挿入
しカバーレール(8,3)  (8,4)にガイドされ
ながら定ピツチ搬送される。定ピツチ搬送を終えるとI
(:(5)の下に設けられたIC押上げ具(9)が図示
しない機構によりI(1:(5)の封止樹脂(5,17
)を押上げる。押上げられたI C(5)はIC押上げ
具(9)の真上に設けられた、保持板(II)に配列さ
れたコンタクトプローブ(12,1)〜(12,16)
にIC(5)の外部電極リード(5,1)〜(5,16
)が接触することになる。接触を完了するとハンドリン
グ装置部からテストスタート信号が発生し、図示しない
信号線でICテスター(15)へスタート命令が与えら
れる。
スタート信号を受取ったICテスター(15)は、予め
入力されているテストプログラムに従い定電圧又は定電
流を発生し、ケーブル群(14)、コンタクトプローブ
(12,1)〜(12,16)を通じて[(5)の外部
電極リード(5,1)〜(5,16)に印加し、テスト
測定値を読取り良否を判定する。判定を終えたICテス
ター(15)から良否信号とテストエンド信号が発生し
、図示しない信号線でハンドリング装置部へ送られる。
テストエンド信号を受取るとハンドリング装置部はIC
押上げ具(9)を下げ初期位置に戻す。又圧縮バネ(1
3)により圧縮されていたコンタクトプローブ(12,
1)〜(12,16)は圧縮バネ(13)が伸びること
で初期位置に戻る。そして良否信号データーを記憶して
データーを転送すると同時に次の定ピツチ搬送を行う。
以上の動作を繰返しながらIC(5)のテストが行われ
図示しない連結リード(If)を切離す加工装置へ送ら
れる。
[発明が解決しようとする課題] 従来のリードフレームは以上のように構成されているの
で、リードフレームは金属の板材を使用したものであり
、従ってICチップを搭載するパッドは導電性を有して
いる。又第1O図に示すようにICのテストを行う際に
おいて第1フレーム枠及び第2フレーム枠はハンドリン
グ装置の第1搬送レール及び第2搬送レールに接触し電
気的にGNDレベルとなっており、この第1フレーム枠
及び第2フレーム枠と連結されている部分も同じくGN
Dレベルとなる。この状態でテストの定電圧、定電流の
印加を行うと図示しないICチップの不純物分布(例え
ばN層、P層)の区別によってICチップのパッドとの
接触面が動作機能上+vCCレベル(例えば+4.5v
、+5vすど)トナルIC(例えばCMOSロジックI
Cなど)においてパッド、連結リード、及び第1フレー
ム枠及び第2フレーム枠を介してハンドリング装置のG
NDと短絡する為、パッドから上記GNDへ過電流が流
れる不具合がある為、事実上第1O図に示す状態でのテ
ストは不可能であった。
この対策としてICチップとパッドの接着剤としてエポ
キシ系の絶縁樹脂を用い電気的に短絡を防止することが
試みられているが、接着剤の厚みのコントロールが困難
で上記の様な短絡不良となるICが約lO〜20%発生
するという問題点があった。
この発明は、上記で延べた問題点を解消するためになさ
れたもので、リードフレームから切り離さない状態のI
Cテストに於ける短絡不具合をなくすることを目的とし
ている。
[課題を解決するための手段] この発明に係るリードフレームは、ICチップの搭載さ
れるパッド面とフレーム枠とを接続している連結リード
を改良し、テストをする状態で開放出来る様にしたもの
である。
[作用] ICチップのパッドとの接着面が電圧レベル+ VC(
:であっても、パッドとフレーム枠とを開放する事によ
り、ハンドリング装置のGNDと短絡する事がなく、過
電流も発生することなく、フレームから切り離さない状
態でICテストが可能となる。
[実施例] 以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図はリードフレームを示す平面図で、第6図の従来
例におけるフレームに対し第1フレーム枠5第2フレー
ム枠と連結し、パッドとは開放されている補助連結リー
ドを有している。
尚、第1図はパッドと第1フレーム枠、第2フレーム枠
と連結する連結リードを従来例に対し各2本ずつとして
いる。第2図は第1図のフレームにICチップを搭載し
、ICチップの各電極とフレームの外部リードをワイヤ
線で配線した状態を示す平面図、第3図は第2図の状態
のフレームに樹脂封止を施した状態を示す平面図、第4
図は第3図の状態のフレームの各リードの切断及び曲げ
加工を施した状態を示す平面図で、第9図の従来例に対
して2本ずつの連結リードが切断され、補助リードで樹
脂封止されたICが第1フレーム枠及び第2フレーム粋
に固定されている。第5図は第4図の状態のフレームの
tCをテストする状態を示すテスターの断面図である。
図において(2)〜(4) 、 (6) 、 (7) 
、 (8,1)〜(8,3)。
(9) 、(11)、(12,1)〜(12,16) 
、(13)〜(15)は第8図ないし第1O図の従来例
に示したものと同等であるので説明を省略する。
(10)はリードフレーム、(log)は第1フレーム
枠、(10b)は第2フレーム枠、(10c) 、 (
10d)はピッチ穴、(10e)はパッド、(10f)
 、 (10g)は連結リード、(10h)は外部リー
ド、(10i)は補助連結リードである。連結リード(
10f)は第6図の従来例における連結リード(If)
と同等のものであるが、連結リード(1f)が1本ずつ
であるのに対し連結リード(10f)は各2本ずつとな
っている。
補助連結リード(10i)はICチップ(3)の接着面
となるパッド(foe)とは開放されており、第1フレ
ーム枠(10a)、第2フレーム枠(10b)と連結さ
れている。(50)はリードフレーム(10)を使用し
たICで(50,1)〜(50,16)は外部電極リー
ド、(50,17)は封止樹脂である。
次に動作について説明する。
第1図から第4図に至る過程は、第6図から第9図に至
る従来例と同じく周知の技術、製造装置(図示せず)に
よるもので説明の重複を避ける。しかし連結リード(]
Of)は第4図の段階において切断するので、第9図の
従来例において第1フレーム枠(1a)と第2フレーム
枠(2a)はそれぞれ連結リード(If)を経てパッド
(le)と導通しているのに対し、第4図においては第
1フレーム枠(10a)と第2フレーム枠(10b)は
それぞれ補助連結リード(10i)によって封止樹脂(
50,17)に嵌入しているがパッド(1e)とは導通
していない。
[発明の効果] 以上説明したように、ICチップの接着面のパッドと、
第1フレーム枠及び第2フレーム枠とを接続している従
来の連結リードが切断されても補助連結リードによりI
Cチップをフレームに固定でき、かつ、フレームとパッ
ドとは導通がなく開放されているのでICチップを搭載
するパッド(接着面)が+vCCレベルであっても、ハ
ンドリング装置のGNDと短絡することなく、フレーム
から切り離さない状態でのICのテストが可能となる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるリードフレームを示
す平面図、第2図は第1図のフレームにICチップを搭
載し、ICチップ各電極とフレームの外部リードをワイ
ヤ線で配線した状態を示す平面図、第3図は第2図の状
態のフレームに樹脂封止を施した状態を示す平面図、第
4図は第3図の状態のフレームに各リードの切断及び曲
げ加工を施した状態を示す平面図、第5図は第4図の状
態のフレームのICをテストする状態を示すテスター断
面図、第6図は従来のリードフレームを示す平面図、第
7図は第6図のフレームにICチップを搭載し、ICチ
ップの各電極とフレームの外部リードと配線した状態を
示す平面図、第8図は第7図の状態のフレームに樹脂封
止を施した状態を示す平面図、第9図は第8図の状態の
フレームに各リードの切断及び曲げ加工を施した状態を
示す平面図、第1O図は第9図の状態のフレームのIC
をテストする状態を示すテスターの断面図である。図に
おいて(2)は接着剤、(3)はICチップ、(4)は
ワイヤ線、(6)はベース板、(7)は中継板、(8,
1)は第1搬送レール、(8,2)は第2搬送レール、
(8,3) 、 (8,4)はカバーレール、(9)は
IC押上げ具、(10)はリードフレーム、(10a)
は第1フレーム枠、(10b)は第2フレーム枠、(1
0c) 、 (10d)はピッチ穴、(10e)はパッ
ド、(lof) 、 (10g)は連結リード、(10
h)は外部リード、(10i)は補助連結リード、(1
1)は保持板、(12,1〜12.16)はコンタクト
プローブ、(13)は圧縮バネ、(14)はケーブル群
、(15)はICテスター (50)はIC1(50,
1)〜(50,16)は外部電極リードである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体チップを搭載する金属レードフレームにおいて、
    半導体チップの接着面と該接着面とほぼ水平で平行な上
    下にフレーム枠を有したリードフレームであり、該接着
    面と上記フレーム枠とは接続されたフレームであって、
    上記フレーム枠から該接着面に水平に伸び該接着面とは
    接触せず樹脂封止後該樹脂に埋まる突起状のリードを有
    したことを特徴とするリードフレーム。
JP1324529A 1989-12-13 1989-12-13 リードフレーム Pending JPH03184356A (ja)

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JP1324529A JPH03184356A (ja) 1989-12-13 1989-12-13 リードフレーム

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JP1324529A JPH03184356A (ja) 1989-12-13 1989-12-13 リードフレーム

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0550013B1 (en) * 1991-12-27 2000-07-26 Fujitsu Limited Semiconductor device and method of producing the same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6119157A (ja) * 1984-07-06 1986-01-28 Nec Corp リ−ドフレ−ム及びそれを用いた半導体装置

Patent Citations (1)

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