JPH03184735A - 研削盤の電磁チャック装置 - Google Patents
研削盤の電磁チャック装置Info
- Publication number
- JPH03184735A JPH03184735A JP1320332A JP32033289A JPH03184735A JP H03184735 A JPH03184735 A JP H03184735A JP 1320332 A JP1320332 A JP 1320332A JP 32033289 A JP32033289 A JP 32033289A JP H03184735 A JPH03184735 A JP H03184735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- axial direction
- chuck
- thermal expansion
- chuck device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 16
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 abstract 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、研削盤の主軸に装着される電磁チャック装
置に関し、さら詳細には、温度変化に伴う工作物吸着面
の軸方向変位が少ない電磁チャック装置の構造に関する
ものである。
置に関し、さら詳細には、温度変化に伴う工作物吸着面
の軸方向変位が少ない電磁チャック装置の構造に関する
ものである。
(従来の技術)
電磁チャック装置(magnettc chuck)は
、磁気的な吸引力を利用して工作物を固定支持するため
のもので、その吸着力が強力であるとともに、該吸着力
を電気的に制御できて、工作物の着脱がスイッチ操作で
能率よくできることなどから、工作物の着脱作業の容易
化、省力化に最適な装置として、研削盤にも採用されて
いる。
、磁気的な吸引力を利用して工作物を固定支持するため
のもので、その吸着力が強力であるとともに、該吸着力
を電気的に制御できて、工作物の着脱がスイッチ操作で
能率よくできることなどから、工作物の着脱作業の容易
化、省力化に最適な装置として、研削盤にも採用されて
いる。
研削盤に採用される電磁チャック装置は、主軸の先端部
に、周囲に電磁コイルを巻装されてなるチャック軸芯が
、上記主軸と同心状に取り付けられ、該チャック軸芯の
先端側に設けられた工作物吸着面に、磁性体の工作物が
磁気的に吸着支持される構造とされている。
に、周囲に電磁コイルを巻装されてなるチャック軸芯が
、上記主軸と同心状に取り付けられ、該チャック軸芯の
先端側に設けられた工作物吸着面に、磁性体の工作物が
磁気的に吸着支持される構造とされている。
(発明力ぐ解決しようとする課題)
しかしながら、従来の電磁チャック装置を使用した研削
盤においては、以下に列挙するような問題点があり、そ
の改良が要望されていた。
盤においては、以下に列挙するような問題点があり、そ
の改良が要望されていた。
(1) 研削盤の始動後の機械各部の発熱により、工
作物吸着面の軸方向変位、つまり主軸の軸受(基準位置
)から上記工作物吸着面までの軸方向距離寸法が増大し
、この結果、工作物吸着面に吸着支持された工作物の軸
方向位置が変わってしまう。
作物吸着面の軸方向変位、つまり主軸の軸受(基準位置
)から上記工作物吸着面までの軸方向距離寸法が増大し
、この結果、工作物吸着面に吸着支持された工作物の軸
方向位置が変わってしまう。
これがため、上記距離寸法の熱変位による寸法変化がな
くなって該距離寸法が安定するまでは、加工される工作
物の軸方向仕上幅寸法にかなりのバラツキが生じること
となる。
くなって該距離寸法が安定するまでは、加工される工作
物の軸方向仕上幅寸法にかなりのバラツキが生じること
となる。
したがって、上記距離寸法の変化量が、工作物の軸方向
仕上幅寸法の許容範囲内にある場合は別として、該仕上
幅寸法の許容範囲が狭く、高い工作精度が要求される工
作物の加工に当たっては、上記距離寸法が安定するまで
は加工作業が開始できず、そればかりか、機械の始動時
から上記距離寸法が安定するまで、加工寸法の補正作業
も必須であり(従来は数回の補正が必要)、これが加工
能率の大幅な低下を招いていた。
仕上幅寸法の許容範囲内にある場合は別として、該仕上
幅寸法の許容範囲が狭く、高い工作精度が要求される工
作物の加工に当たっては、上記距離寸法が安定するまで
は加工作業が開始できず、そればかりか、機械の始動時
から上記距離寸法が安定するまで、加工寸法の補正作業
も必須であり(従来は数回の補正が必要)、これが加工
能率の大幅な低下を招いていた。
しかも、近時は、高品質の製品を得るべく、製品の仕上
寸法に対して、より高い精度が要求されるに至っており
、上記加工能率の低下と相まって、最悪の場合には、電
磁チャック装置自体の使用が不可能となる事態も生じて
いる。
寸法に対して、より高い精度が要求されるに至っており
、上記加工能率の低下と相まって、最悪の場合には、電
磁チャック装置自体の使用が不可能となる事態も生じて
いる。
(2)また、工作物の軸方向加工位置が変化することに
より、その研削取代も変わり、これを原因として、研削
砥石車の寿命が低下して、ドレスの必要回数が増加して
いる。
より、その研削取代も変わり、これを原因として、研削
砥石車の寿命が低下して、ドレスの必要回数が増加して
いる。
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであ
って、温度変化に伴う工作物吸着面の軸方向変位がきわ
めて少ない研削盤の電磁チャ・ツク装置を提供すること
を目的とする。
って、温度変化に伴う工作物吸着面の軸方向変位がきわ
めて少ない研削盤の電磁チャ・ツク装置を提供すること
を目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明者らは、上記課題を解決すべく、種々の試験・研
究を行った結果、その主たる原因が、上記電磁チャック
装置の構造に大きく依存していることを突き止めるとと
もに、その改良を実現した。
究を行った結果、その主たる原因が、上記電磁チャック
装置の構造に大きく依存していることを突き止めるとと
もに、その改良を実現した。
すなわち、従来の電磁チャック装置においては、そのチ
ャック軸芯として、鉄芯が使用されているところ、該鉄
芯の熱膨張(電磁コイルへの通電による鉄芯の温度上昇
が主因)が、上記軸方向の距離寸法に最も大きく影響し
ており、したがって、この熱膨張を最小限に抑えること
により、工作物の軸方向仕上幅寸法のバラツキを減少さ
せることができることが判明し、かつその構造の開発に
成功した。
ャック軸芯として、鉄芯が使用されているところ、該鉄
芯の熱膨張(電磁コイルへの通電による鉄芯の温度上昇
が主因)が、上記軸方向の距離寸法に最も大きく影響し
ており、したがって、この熱膨張を最小限に抑えること
により、工作物の軸方向仕上幅寸法のバラツキを減少さ
せることができることが判明し、かつその構造の開発に
成功した。
しかして、上記目的を遠戚するために、本発明の電磁チ
ャック装置は、そのチャック軸芯が、磁気特性に優れる
低熱膨張合金からなることを特徴とし、より好適には、
インバー(invar )合金が採用される。
ャック装置は、そのチャック軸芯が、磁気特性に優れる
低熱膨張合金からなることを特徴とし、より好適には、
インバー(invar )合金が採用される。
(作用)
電磁チャック装置のチャック軸芯が、インバー合金のよ
うに磁気特性に優れる低熱膨張合金で形成されることに
より、温度変化に伴う工作物吸着面の軸方向変位、つま
り研削盤の主軸の軸受から工作物吸着面までの軸方向の
距離寸法の増加が抑制される。
うに磁気特性に優れる低熱膨張合金で形成されることに
より、温度変化に伴う工作物吸着面の軸方向変位、つま
り研削盤の主軸の軸受から工作物吸着面までの軸方向の
距離寸法の増加が抑制される。
(実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。
本発明に係る研削盤の電磁チャック装置を第1図に示し
、該電磁チャック装置1は、具体的にはシュータイブ研
削盤の主軸2に装着されるものであって・チャック軸芯
3、電磁コイル4およびバッキングプレート5を主要部
として備えてなる。
、該電磁チャック装置1は、具体的にはシュータイブ研
削盤の主軸2に装着されるものであって・チャック軸芯
3、電磁コイル4およびバッキングプレート5を主要部
として備えてなる。
7は工作物(軸受内輪)Wの外周を回転可能に支持する
シューである。
シューである。
主軸2は、主軸台8に軸受9,9を介して回転可能に軸
承されるとともに、図示しない駆動源により回転駆動さ
れる。10は軸受押えであって、上記主軸台8に取付ボ
ルト14・・・により取付固定されている。
承されるとともに、図示しない駆動源により回転駆動さ
れる。10は軸受押えであって、上記主軸台8に取付ボ
ルト14・・・により取付固定されている。
チャック軸芯3は、磁気特性に優れる低熱膨張合金製の
円柱状のもので、具体的にはインバー合金(熱膨張係数
:1×104〜3×10″s/℃〉から形成されている
。該チャック軸芯3は、その芯出用凹部3aが主軸2の
先端部の芯出し用突部2aに嵌合されるとともに、取付
ポルト11・・・により上記主軸2に固定されて、該主
軸2と同心状とされている。チャック軸芯3は、上記主
軸2と一体に回転駆動される。
円柱状のもので、具体的にはインバー合金(熱膨張係数
:1×104〜3×10″s/℃〉から形成されている
。該チャック軸芯3は、その芯出用凹部3aが主軸2の
先端部の芯出し用突部2aに嵌合されるとともに、取付
ポルト11・・・により上記主軸2に固定されて、該主
軸2と同心状とされている。チャック軸芯3は、上記主
軸2と一体に回転駆動される。
電磁コイル4は、上記チャンク軸芯3の外周部に巻装さ
れてなるもので、ヨーク部12内に配置されるとともに
、リード線等の配線を介して、図示しない電源に接続さ
れている。また、上記ヨーク部12は、上記軸受押え1
0に、取付ポル1−13・・・によって取付固定されて
いる。
れてなるもので、ヨーク部12内に配置されるとともに
、リード線等の配線を介して、図示しない電源に接続さ
れている。また、上記ヨーク部12は、上記軸受押え1
0に、取付ポル1−13・・・によって取付固定されて
いる。
ハ、キングプレート5は、耐摩耗性に優れる磁性金属材
料から形成されたカップ形状のものであって、その先端
面5a、が、工作物Wを吸着支持する工作物吸着面5a
とされ、図示例のものは、工作物Wに対応した環状吸着
面とされている。バッキングプレート5は、上記チャッ
ク軸芯3の先端面3bに、取付ボルト6により取外し可
能に取付られている。
料から形成されたカップ形状のものであって、その先端
面5a、が、工作物Wを吸着支持する工作物吸着面5a
とされ、図示例のものは、工作物Wに対応した環状吸着
面とされている。バッキングプレート5は、上記チャッ
ク軸芯3の先端面3bに、取付ボルト6により取外し可
能に取付られている。
しかして、以上のように構成された電磁チャ・ツク装置
1を備えた研削盤において、電磁チャ・ツク装置1の電
磁コイル4が通電されると、チャック軸芯3を介してバ
ッキングプレート5が励磁される。これにより、工作物
Wは、その軸方向一端面が工作物吸着面5aに吸着支持
されるとともに、その外径面がシュー7・・・により摺
接支持されて芯出しされる。そして、該工作物Wは、主
軸2の回転駆動に伴って回転されながら、その外周面(
軌道面)や軸方向端面Waが、図示しない砥石車により
研削加工される。上記工作物Wの研削加工が完了すると
、スイッチ操作により、上記工作物吸着面5aの磁性が
逆転されて、該工作物Wは、工作物吸着面5aから取り
外されるとともに、必要に応じて脱磁処理が施される。
1を備えた研削盤において、電磁チャ・ツク装置1の電
磁コイル4が通電されると、チャック軸芯3を介してバ
ッキングプレート5が励磁される。これにより、工作物
Wは、その軸方向一端面が工作物吸着面5aに吸着支持
されるとともに、その外径面がシュー7・・・により摺
接支持されて芯出しされる。そして、該工作物Wは、主
軸2の回転駆動に伴って回転されながら、その外周面(
軌道面)や軸方向端面Waが、図示しない砥石車により
研削加工される。上記工作物Wの研削加工が完了すると
、スイッチ操作により、上記工作物吸着面5aの磁性が
逆転されて、該工作物Wは、工作物吸着面5aから取り
外されるとともに、必要に応じて脱磁処理が施される。
ところで、研削盤の始動により、上記電磁チャック装置
1を含めた機械各部が発熱し、上記チャック軸芯3も、
上記通電を主因として温度上昇することになる。しかし
、該チャック軸芯3はインバー合金からなるため、その
熱膨張量は極めて少なく、よって、工作物吸着面5aの
軸方向変位、より詳細には、第1図において、軸受9,
9の軸方向中心X(基準位置)から上記工作物吸着面5
aまでの軸方向の距離寸法りの坩加がきわめて小さい。
1を含めた機械各部が発熱し、上記チャック軸芯3も、
上記通電を主因として温度上昇することになる。しかし
、該チャック軸芯3はインバー合金からなるため、その
熱膨張量は極めて少なく、よって、工作物吸着面5aの
軸方向変位、より詳細には、第1図において、軸受9,
9の軸方向中心X(基準位置)から上記工作物吸着面5
aまでの軸方向の距離寸法りの坩加がきわめて小さい。
したがって、工作物吸着面5aに吸着支持された工作物
Wの軸方向位置は、機械各部、特にチャック軸芯3の軸
方向への熱膨張により悪影響を受けることがない。よっ
て、高精度な研削加工が施されて、高精度な軸方向仕上
幅寸法lが得られるとともに、研削取代も常時安定して
おり、研削砥石車の寿命の低下も抑制される。
Wの軸方向位置は、機械各部、特にチャック軸芯3の軸
方向への熱膨張により悪影響を受けることがない。よっ
て、高精度な研削加工が施されて、高精度な軸方向仕上
幅寸法lが得られるとともに、研削取代も常時安定して
おり、研削砥石車の寿命の低下も抑制される。
次に、本発明に係る軸受チャック装置の温度特性を調べ
るために、従来の軸受チャック装置と比較して行った特
性試験結果について説明する。
るために、従来の軸受チャック装置と比較して行った特
性試験結果について説明する。
試験装置および試験方法:
第1図に示す研削盤において、電磁チャック装置1のチ
ャック軸芯3として、インバー合金芯(熱膨張係数:1
〜3 X 10’ /”C)を使用した場合(本発明装
置)と、鉄芯(JIS規格515C程度の低炭素鋼、熱
膨張係数:11〜12×10(7℃)を使用した場合(
従来装置)について、研削盤始動後の機械各部の温度変
化に伴う、上記軸方向距離寸法L(第1図参照)の変位
量λをそれぞれ測定した。
ャック軸芯3として、インバー合金芯(熱膨張係数:1
〜3 X 10’ /”C)を使用した場合(本発明装
置)と、鉄芯(JIS規格515C程度の低炭素鋼、熱
膨張係数:11〜12×10(7℃)を使用した場合(
従来装置)について、研削盤始動後の機械各部の温度変
化に伴う、上記軸方向距離寸法L(第1図参照)の変位
量λをそれぞれ測定した。
なお、電磁チャック装置1の軸方向寸法はLi2であり
、また、バッキングプレート5を含めた他の構成部材は
すべて、従来装置および本発明装置共に同一材料、同一
構造である。
、また、バッキングプレート5を含めた他の構成部材は
すべて、従来装置および本発明装置共に同一材料、同一
構造である。
試験結果:
試験結果を第2図に示し、この図から明らかなように、
上記軸方向距離寸法りは、研削盤始動開始後約2時間程
度で安定し、また、本発明装置における寸法りの変位量
λ1は13.5μmで、従来装置の変位量λ2の25μ
mに比較してほぼ1/2程度(54%)に過ぎないこと
が判明した。
上記軸方向距離寸法りは、研削盤始動開始後約2時間程
度で安定し、また、本発明装置における寸法りの変位量
λ1は13.5μmで、従来装置の変位量λ2の25μ
mに比較してほぼ1/2程度(54%)に過ぎないこと
が判明した。
また、この試験結果から、両者共に、チャック軸芯3の
温度上昇の主因である電磁コイル4への通電電圧を、上
記変位量λが同一量となるべく設定した場合、本発明装
置の方がより強い吸着力(磁力)を得ることが可能であ
る。換言すれば、本発明装置と従来装置が、同一の研削
力に耐え得る最低吸着力を上記変位量λ1.λ2の時に
得られるとしたー場合、従来装置の変位量λ2をλ1に
抑えようとすると、従来装置では必要な吸着力が得られ
ないことになる。
温度上昇の主因である電磁コイル4への通電電圧を、上
記変位量λが同一量となるべく設定した場合、本発明装
置の方がより強い吸着力(磁力)を得ることが可能であ
る。換言すれば、本発明装置と従来装置が、同一の研削
力に耐え得る最低吸着力を上記変位量λ1.λ2の時に
得られるとしたー場合、従来装置の変位量λ2をλ1に
抑えようとすると、従来装置では必要な吸着力が得られ
ないことになる。
なお、本発明は図示例のようなシュータイブ研削盤(主
軸2が水平状態)のほか、平面研削盤(主軸2が鉛直状
態)など他の研削盤にも適用可能である。
軸2が水平状態)のほか、平面研削盤(主軸2が鉛直状
態)など他の研削盤にも適用可能である。
(発明の効果)
以上詳述したように、本発明によれば、温度変化により
工作物吸着面の軸方向変位に最も影響を与え易いチャッ
ク軸芯が、磁気特性に優れる低熱膨張合金で形成されて
いるから、以下に列挙するようなすぐれた効果を発揮し
うる研削盤の電磁チャック装置を提供することができる
。
工作物吸着面の軸方向変位に最も影響を与え易いチャッ
ク軸芯が、磁気特性に優れる低熱膨張合金で形成されて
いるから、以下に列挙するようなすぐれた効果を発揮し
うる研削盤の電磁チャック装置を提供することができる
。
(1)研削盤の始動後に機械各部に発熱が生じても、工
作物吸着面の軸方向変位量、つまり主軸の軸受(基準位
置〉から上記工作物吸着面までの距離寸法の増加量はき
わめて少なく、工作物吸着面に吸着支持された工作物の
軸方向位置もほとんど変化せず、その軸方向仕上幅寸法
もバラツキなく均一となる。
作物吸着面の軸方向変位量、つまり主軸の軸受(基準位
置〉から上記工作物吸着面までの距離寸法の増加量はき
わめて少なく、工作物吸着面に吸着支持された工作物の
軸方向位置もほとんど変化せず、その軸方向仕上幅寸法
もバラツキなく均一となる。
したがって、上記距離寸法の変化量は、上記仕上幅寸法
の許容範囲が狭く、高い工作精度が要求される工作物の
加工に当たっても、常時許容範囲内に抑えることができ
、よって、従来必須の作業であった、研削盤の始動時か
ら上記距離寸法が安定するまでの加工寸法の補正作業も
、不要ないし減少され、加工能率の大幅な向上が図れる
。
の許容範囲が狭く、高い工作精度が要求される工作物の
加工に当たっても、常時許容範囲内に抑えることができ
、よって、従来必須の作業であった、研削盤の始動時か
ら上記距離寸法が安定するまでの加工寸法の補正作業も
、不要ないし減少され、加工能率の大幅な向上が図れる
。
(2)また、近時の製品に求められる高くかつ厳しい仕
上許容寸法も容易に満足することができ、その通用範囲
が非常に広くなる。
上許容寸法も容易に満足することができ、その通用範囲
が非常に広くなる。
(3)工作物の軸方向加工位置が変化することがないた
め、その研削取代も変化せず常時一定にでき、これによ
り、研削砥石車の寿命が大幅に伸びて、ドレスの必要回
数も大幅に減少させることができる。
め、その研削取代も変化せず常時一定にでき、これによ
り、研削砥石車の寿命が大幅に伸びて、ドレスの必要回
数も大幅に減少させることができる。
第1図は、本発明に係る一実施例であるシュータイブ研
削盤の電磁チャック装置を示す側面断面図、第2図は、
研削盤始動後の温度変化に伴う同電磁チャック装置の軸
方向距離寸法の変位量を、従来の電磁チャック装置のも
のと比較して示す線図である。 ■・・・電磁チャック装置、2・・・主軸、3・・・チ
ャック軸芯、4・・・電磁コイル、5・・・バッキング
プレート、5a・・・工作物吸着面、W・・・工作物、
L・・・軸方向距離寸法
削盤の電磁チャック装置を示す側面断面図、第2図は、
研削盤始動後の温度変化に伴う同電磁チャック装置の軸
方向距離寸法の変位量を、従来の電磁チャック装置のも
のと比較して示す線図である。 ■・・・電磁チャック装置、2・・・主軸、3・・・チ
ャック軸芯、4・・・電磁コイル、5・・・バッキング
プレート、5a・・・工作物吸着面、W・・・工作物、
L・・・軸方向距離寸法
Claims (3)
- (1)研削盤の主軸の先端部に、周囲に電磁コイルを巻
装されてなるチャック軸芯が、前記主軸と同心状に取り
付けられるとともに、該チャック軸芯の先端側に、工作
物を磁気的に吸着支持する工作物吸着面が設けられてな
るものであって、前記チャック軸芯が、磁気特性に優れ
る低熱膨張合金からなることを特徴とする研削盤の電磁
チャック装置。 - (2)前記低熱膨張合金がインバー合金である請求項第
1項記載の研削盤の電磁チャック装置。 - (3)前記チャック軸芯の先端に、耐摩耗性に優れる磁
性金属材料からなるバッキングプレートが設けられ、 該バッキングプレートの先端面が前記工作物吸着面とさ
れている請求項第1項または第2項記載の研削盤の電磁
チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320332A JPH03184735A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 研削盤の電磁チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320332A JPH03184735A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 研削盤の電磁チャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03184735A true JPH03184735A (ja) | 1991-08-12 |
Family
ID=18120300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1320332A Pending JPH03184735A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 研削盤の電磁チャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03184735A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020035102A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Spannsystem für eine schleifmaschine |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4839303A (ja) * | 1971-09-28 | 1973-06-09 | ||
| JPS5231987B2 (ja) * | 1973-09-21 | 1977-08-18 |
-
1989
- 1989-12-08 JP JP1320332A patent/JPH03184735A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4839303A (ja) * | 1971-09-28 | 1973-06-09 | ||
| JPS5231987B2 (ja) * | 1973-09-21 | 1977-08-18 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020035102A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Spannsystem für eine schleifmaschine |
| CN112272598A (zh) * | 2018-08-16 | 2021-01-26 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 用于研磨机的安装系统 |
| JP2021534007A (ja) * | 2018-08-16 | 2021-12-09 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲーSchaeffler Technologies AG & Co. KG | 研削盤用のクランプシステム |
| US12070804B2 (en) | 2018-08-16 | 2024-08-27 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Mounting system for a grinding machine |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4449027A (en) | Electrode mounting device | |
| US10207332B2 (en) | Work holder and work machining method | |
| US6857950B2 (en) | Polishing apparatus, semiconductor device manufacturing method using the polishing apparatus, and semiconductor device manufactured by the manufacturing method | |
| US5804095A (en) | Magnetorheological fluid composition | |
| CN105382692B (zh) | 一种u形薄壁回转件快速定心定位夹紧装置 | |
| JPH0777704B2 (ja) | 微小研磨方法 | |
| Qian et al. | Precision internal grinding with a metal-bonded diamond grinding wheel | |
| JPH03184735A (ja) | 研削盤の電磁チャック装置 | |
| JP7171891B2 (ja) | 研削盤用のクランプシステム | |
| JP2005022059A (ja) | 研削盤及び研削方法 | |
| US5083054A (en) | Permanent magnet field type dc machine | |
| US5569061A (en) | Method and device for magneto-abrasive machining of parts | |
| JP5206194B2 (ja) | 砥石のツルーイング方法およびツルーイング装置 | |
| KR101143425B1 (ko) | 하이브리드형 정압에어베어링 | |
| JP2004291157A (ja) | 平面研削装置およびそれを用いた加工方法 | |
| JPH11333601A (ja) | 主軸装置 | |
| US2790274A (en) | Centric and centerless grinders with magnetic workrests | |
| US2933862A (en) | Magnetic driving and supporting apparatus | |
| JPH01310859A (ja) | ポリシング加工機 | |
| JP2004174683A (ja) | 砥石保持機構 | |
| JP2001205559A (ja) | レドーム研削装置 | |
| WO1999047304A1 (en) | Large batch magnetic float polishing equipment | |
| JPH03184761A (ja) | 磁気研削装置 | |
| JPH03184762A (ja) | 磁気研削装置 | |
| JP2001025910A (ja) | 研削装置のワーク保持機構 |