JPH03185847A

JPH03185847A - ユニバーサルプローブカード

Info

Publication number: JPH03185847A
Application number: JP1325628A
Authority: JP
Inventors: Shogo Shiraishi; 白石　省吾
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-12-15
Filing date: 1989-12-15
Publication date: 1991-08-13
Also published as: US5124646A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、半導体基板に造込んだ能動またはは受動素子
や抵抗などの回路部品の試験工程に利用するもので、特
に、いわゆるダイソータ（ＤｌｅＳｏｒｔｅｒ）試験に
おける半導体基板ブロービング（Ｐｒｏｂｉｎｇ）が利
用するものである。

（従来の技術）半導体基板に造込んだ能動または受動素子や抵抗などの
回路部品の試験工程には、いわゆるプローブカード（Ｐ
ｒｏｂｅ　Ｃａｒｄ）が利用されており、被検査半導体
基板に形成する導電性金属例えばＡρまたはＡ１合金（
Ａρ−Ｓ　ｉ、　Ａｌ２−３　Ｌ−Ｃｕ）などで形成す
るバット（Ｐａｄ、電極）数に応じたプローブ針を設置
したものである。従って、被検査半導体基板言替えると
形成した各能動または受動素子や抵抗などの特性を検査
可能にしたもので、第１図ａ、ｂにより要部を説明する
。即ち、第１図ａに明らかなようにボード１の中央部に
は、円形の孔部２が形成されており、更にボード１端部
には、ＩＣテスターとの接続用コネクター３を設けて、
これと電気的に接続したプローブ針３を孔部２の中心に
向かって配置して被検査半導体基板のパッドと接触させ
る。このために、ボード１の一面に取付けるＡρクリン
グには、専用治具を使って予め所定の間隔にプローブ針
３を接着剤により固着する（第１図す参照）。図に示す
ようにＡｌｌリング４に形成した角度に沿わせることに
よって傾斜させると共に先端を鉛直方向に折曲げてパッ
ドとの接触に備える。次にボード１にＡｌｌリング４を
固定することによりプローブ針３を備えたプローブカー
ドが得られる。

一方、最近のように集積度が向上した半導体素子では、
パッド数が多くなっているために、必要なプローブ針も
量的に増えているのが現状である。

（発明が解決しようとする課題）このように、現在使われているプローブカードは、パッ
ド数の多少により即ち半導体素子の品種毎に揃えなけれ
ばならず、経費増大が避けられない。しかも、プローブ
針は、固定されているために交換作業にも手間ひまがか
かり、多くの時間が要るので経費増大をもたらす難点が
ある。しかも、Ａ１１リングに接着した複数のプローブ
針から、損傷し′た一部または何等かの理由で交換する
ことは作業性の上で極めて困難である。

本発明は、このような事情により成されたもので、特に
プローブ針の交換が簡単でしかも、半導体素子の品種に
係わらず利用できるプローブカードを提供することを目
的とするものである。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）互いに対面して配置する固定用ボード及びパフォーマン
スボードと、固定用ボードに取付けるシリンダーと、固
定用ボードを貫通して突出すシリンダー端部と、固定用
ボードに対面するパフォーマンスボード表面から裏面に
かけて挿出入自在に設置し、シリンダー端部により押圧
可能なプローブ針を本発明に係わるユニバーサル（Ｕｎ
ｉｖｅｒｓａｌ）プローブカードの特徴がある。

（作　用）本発明では、固定用ボードにシリンダーを、この固定用
ボードに対面して配置するパフォーマンスボードにプロ
ーブ針を取付け、半導体素子の品種毎のプローブ針設定
をキー人力により簡単に行えるようにした点に本発明に
係わる一汎用（ユニバーサル）プローブカードの特徴が
ある。

（実施例）本発明の実施例を第２図乃至第５図を参照して説明する
。即ち、相対向して固定用ボード１０及びパフォーマン
スボード１１を配置し、前者には、エアーシリンダー１
２を設置するのに対して後者は、プローブ針１３を設置
する。ダイソータ試験を行う本発明に係わるユニバーサ
ルプローブカードは、第３図に明らかなように相対面し
た固定用ボード１０とパフォーマンスボード１１を配置
し、固定用ボードｌＯには、プローブ針１３をパフォー
マンスボード１１内外に鉛直方向に出入自在とするため
にエアーシリンダー１２を設置する。エアーシリンダー
１２のピストン端部１７は平坦に整形すると共に、プロ
ーブ針１３の端部１８も同じように整形する。プローブ
針１３をパフォーマンスボード１１に取付けるに当たっ
ては、スプリング１９でプローブ針１３の周りを囲みエ
アーシリンダー１２のピストン端１８の稼働による押圧
により下降可能なように凹部２０を形成してあり、押圧
状態も紙面の右側に明らかにした。

また、固定用１０に設置するエアーシリンダー１２は、
第４図に示すように複数個設置すると共に、パフォーマ
ンスボード１１には、第５図ａの上面図に示すように１
００８ｍの間隔で複数のパフォーマンスボード孔部２１
を形成している。この各孔部２１の周りには、上記のよ
うに凹部２０が形成されていると共にスプリング１９が
付設されており、かつ、プローブ針１３・・・が各孔部
２１に対応して配置されている。また、固定用ボードＩ
Ｏにもプローブ針１３・・・数に応じてエアーシリンダ
ー１２を配置してユニバーサルタイプとしている。また
、プローブ針１３・・・は、スプリング１９の設置によ
りエアーシリンダー１２が稼働していない場合には、被
測定半導体ウェーハのパッドとは接触しない。

このようなプローブカードを利用してダイソータ試験を
行うには、プローバ装置本体（図示せず）の操作パネル
のキーボードに品種名を人力することにより自動的に必
要なプローブ針１３をエアーシリンダー１２のピストン
端部１７が押圧して位置が決定される。

具体的に説明すると、被測定半導体基板１４の品種毎の
測定パッドの位置座標がプローバ本体にソフト入力（Ｐ
−ＲＯＭ使用）しである。この座標の設定には、予め被
測定半導体基板１４のセンターをＯとし、第５図すに明
らかにしたように図の右上を１ピンとしてセンターに対
してＸ−イμｍ。

Ｙ−ロμｍと決定するが、座標決定例として表−１を提
出する。

表−１１ｃ　　　Ｘ座標　　Ｙ座標８　　１３９２　　　１００７７　　　２４３　　　　　ｆｉ８４Ｉｆ−８，９３８９−２６８６８４１１−１４１２１００９１２−１２９１７４８１５−１４１３２１７１５−１４１３−１５１３−１２９７−５４５このように決定されたパッドのＸ５Ｙ座標は、上記のよ
うにプローバ本体にソフト入力し、その後の測定方法を
以下に述べる。先ず、プローバ本体に設けられた操作パ
ネルのキーボードにより被測定半導体基板１４の品種名
をキー人力、各パッドの座標位置に対応するエアーシリ
ンダー１２が稼働、プローブ針１３を押圧する、を経て
所定の測定がＩＣテスターにより開始される。

このようなユニバーサルプローブカードの固定用ボード
またはパフォーマンスボードのいずれかにＩＣテスター
との接続用コネクターを設置するには、従来技術と同じ
である。

［発明の効果］本発明に係わるユニバーサルプローブカードは、品種毎
のプローブカードが不要なので汎用即ちユニバーサルに
使用されることができるために経費削減が達成され、そ
の上専用の治具も省略できる上にプローブカード製造工
数が少なくなるので、経費削減の一助となる。しかも、
プローブ針カハフォーマンスボードに固定されないので
、交換が容易になり、作業性が改善されるので、−本単
位の交換もでき、更に、修理費も大幅に削減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ、ｂは、従来のプローブカードの上面図及び断
面図、第２図は、ダイシングラインを設けた被処理半導
体ウェーハの上面図、第３図は、本発明に係わるプロー
ブカードの要部を示す断面図、第４図は、固定カードに
おけるエアーシリンダーの配置状況を明らかにした上面
図、第５図ａは、パフォーマンスボードに形成した孔部
の状態を示す上面図、第５図すは、パッド座標決定説明
用に提出した図である。１・・・ボード、　　　　　　２・・・孔部、３．１３
・・・プローブ針、　１０・・・固定用ボード、１１・
・・パフォーマンスボード、１２・・・エアーシリンダー１４・・・被測定半導体基板、１５・・・ダイシングライン、１Ｂ・・・被測定半導体ウェーハ、１９・・・ストリング、２０・・・凹部、１７・・・ピストン端部、１８・・・プローブ針端部、２１・・・パフォーマンスボード孔部。

Claims

【特許請求の範囲】

　互いに対面して配置する固定用ボード及びパフォーマ
ンスボードと、固定用ボードに配置するシリンダーと、
固定用ボードを貫通して突出するシリンダー端部と、固
定用ボードに対面するパフォーマンスボード表面から裏
面にかけて出入自在に設置し、シリンダー端部により押
圧可能なプローブ針を具備することを特徴とするユニバ
ーサルプローブカート。