JPH03188340A - 高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ - Google Patents
高圧ガス配管用の圧力変動検出センサInfo
- Publication number
- JPH03188340A JPH03188340A JP32720889A JP32720889A JPH03188340A JP H03188340 A JPH03188340 A JP H03188340A JP 32720889 A JP32720889 A JP 32720889A JP 32720889 A JP32720889 A JP 32720889A JP H03188340 A JPH03188340 A JP H03188340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- substrate
- pressure gas
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高圧下のガス配管内の微少な圧力変動を検出す
る圧力変動検出センサに関する。
る圧力変動検出センサに関する。
従来、この種の圧力変動検出センサは、ダイアフラムが
耐圧構造となっている密閉型のものか、ダイアフラムが
センサの内部に配置されている差圧型のものであった。
耐圧構造となっている密閉型のものか、ダイアフラムが
センサの内部に配置されている差圧型のものであった。
（発明が解決しようとする課題）
上述した従来の圧力変動検出センサは、密閉型の場合、
ダイヤフラムが耐圧構造のために、圧力変動に対するダ
イヤフラムの変形が小さく、つまり感度が低く、音波等
の低レベルの圧力変動を検出できないという欠点があり
、差圧型の場合、ダイヤフラムがセンサーの内部に位置
しているためにダンピングが大きく低周波の圧力変動の
検出は可能であるが高周波の音波等では検出が困難とい
う欠点がある。また、音波等の検出ということからマイ
クロフォンを使用することが考えられるが、通常の音波
の検出に使用されるマイクロフォンは常圧の環境下で使
用されることを前提として作られているために、高圧下
での使用は不可能である。また、特殊なものとして圧電
素子を使った水中マイクロフォンがあるが、これは液体
中で使うことを前提として作られており、これを気体中
で用いるとインピーダンスが合わず感度が低下してしま
う。
ダイヤフラムが耐圧構造のために、圧力変動に対するダ
イヤフラムの変形が小さく、つまり感度が低く、音波等
の低レベルの圧力変動を検出できないという欠点があり
、差圧型の場合、ダイヤフラムがセンサーの内部に位置
しているためにダンピングが大きく低周波の圧力変動の
検出は可能であるが高周波の音波等では検出が困難とい
う欠点がある。また、音波等の検出ということからマイ
クロフォンを使用することが考えられるが、通常の音波
の検出に使用されるマイクロフォンは常圧の環境下で使
用されることを前提として作られているために、高圧下
での使用は不可能である。また、特殊なものとして圧電
素子を使った水中マイクロフォンがあるが、これは液体
中で使うことを前提として作られており、これを気体中
で用いるとインピーダンスが合わず感度が低下してしま
う。
本発明は上記の欠点に鑑み、音波を検出できるように感
度が高く、かつ高圧気体中で圧力変動を検出できる高圧
ガス配管用の圧力変動検出センサを提供することを目的
とする。
度が高く、かつ高圧気体中で圧力変動を検出できる高圧
ガス配管用の圧力変動検出センサを提供することを目的
とする。
本発明の高圧ガス配管用の圧力変動検出センサは、
高圧ガス配管からの分岐管のフランジに取り付けられる
基板と、 側壁に圧力バランス用の貫通孔が形成され、取り付けの
際、分岐管側となる該基板の一面に突設された筒状部材
と、 該筒状部材の開放端を覆うように該筒状部材に取り付け
られたダイアフラムと、 該ダイアフラムに配設した圧力センサで該ダイアフラム
の変形を検出し、検出結果を該基板に配設したシール部
を貫通して該基板の他面に導出する圧力変動導出手段と
を有する。
基板と、 側壁に圧力バランス用の貫通孔が形成され、取り付けの
際、分岐管側となる該基板の一面に突設された筒状部材
と、 該筒状部材の開放端を覆うように該筒状部材に取り付け
られたダイアフラムと、 該ダイアフラムに配設した圧力センサで該ダイアフラム
の変形を検出し、検出結果を該基板に配設したシール部
を貫通して該基板の他面に導出する圧力変動導出手段と
を有する。
筒状部材は開放端の一方は基板により閉塞され、他方は
ダイアフラムにより覆われているので一つの部屋を形成
し、筒状部材の側壁の貫通孔がダイアプラムの正面と背
面の圧力をバランスさせ、音波がダイアフラムに当ると
ダイアフラムが振動してダイアフラムに配設された圧力
センサを駆動し、圧力センサがダイアフラムの振動に伴
なう変形を信号として出力する。
ダイアフラムにより覆われているので一つの部屋を形成
し、筒状部材の側壁の貫通孔がダイアプラムの正面と背
面の圧力をバランスさせ、音波がダイアフラムに当ると
ダイアフラムが振動してダイアフラムに配設された圧力
センサを駆動し、圧力センサがダイアフラムの振動に伴
なう変形を信号として出力する。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ
の第１の実施例を示す断面図である。
の第１の実施例を示す断面図である。
本実施例は高圧ガスが流れる高圧ガス配管８から直角に
分岐して延びる分岐管８のフランジに取り付けられるも
のである。
分岐して延びる分岐管８のフランジに取り付けられるも
のである。
金属性の高圧フランジ１は、外縁 に沿って設けられた
取り付は孔９を介してボルト９１およびナツト９□によ
り分岐管８のフランジに取り付けられる。また、高圧フ
ランジ１の中央にはリード線を通す貫通孔ＩＩが設けら
れ、その貫通孔ＩＩにはリード線６を絶縁かつ気密に固
定する接着剤、例えばハーメチックシール７が施されて
いる。高圧フランジ１の下面で貫通孔ＩＩの周囲には取
り付は部１２が高圧フランジＩＩに爆接されている。円
筒状のサポート部２は、上部が取り付は部１２にねし止
めされ、下部の開口部がダイアフラム３で覆われている
。またサポート部２の側壁には圧力バランス用の貫通孔
２重が設けられている。ガイド５は、ダイアフラム３の
上下に一定間隔をあけてサポート部２に取り付けられて
おり、ダイアフラム３が過度に大きく振れるのを制限し
ている。圧電セラミック４はダイアフラム３に取り付け
られており、ダイアフラム３の変形に従って出力を変化
させる。この変化はリード線６により導出される。
取り付は孔９を介してボルト９１およびナツト９□によ
り分岐管８のフランジに取り付けられる。また、高圧フ
ランジ１の中央にはリード線を通す貫通孔ＩＩが設けら
れ、その貫通孔ＩＩにはリード線６を絶縁かつ気密に固
定する接着剤、例えばハーメチックシール７が施されて
いる。高圧フランジ１の下面で貫通孔ＩＩの周囲には取
り付は部１２が高圧フランジＩＩに爆接されている。円
筒状のサポート部２は、上部が取り付は部１２にねし止
めされ、下部の開口部がダイアフラム３で覆われている
。またサポート部２の側壁には圧力バランス用の貫通孔
２重が設けられている。ガイド５は、ダイアフラム３の
上下に一定間隔をあけてサポート部２に取り付けられて
おり、ダイアフラム３が過度に大きく振れるのを制限し
ている。圧電セラミック４はダイアフラム３に取り付け
られており、ダイアフラム３の変形に従って出力を変化
させる。この変化はリード線６により導出される。
次に第１図の実施例の動作について説明する。
本実施例は高圧ガス配管８の分岐管８！に取り付けられ
るので高圧ガスの静圧がダイアフラム３にかかる。また
、ダイアフラム３の背面には貫通孔２．を経由した静圧
がかかるのでダイアフラム３の正面の圧力と背面の圧力
は完全にバランスしている。高圧ガス配管の高圧ガスを
介して何らかの音波が伝わるとダイアフラムは振動し、
振動によるダイアフラムの変形が圧電セラミック７によ
りリード線６を介して外部に出力される。
るので高圧ガスの静圧がダイアフラム３にかかる。また
、ダイアフラム３の背面には貫通孔２．を経由した静圧
がかかるのでダイアフラム３の正面の圧力と背面の圧力
は完全にバランスしている。高圧ガス配管の高圧ガスを
介して何らかの音波が伝わるとダイアフラムは振動し、
振動によるダイアフラムの変形が圧電セラミック７によ
りリード線６を介して外部に出力される。
第２図は本発明の第２の実施例の一部を示す断面図であ
る。
る。
本実施例は第１図の実施例のダイアフラム３としてステ
ンレス板を用いたものであって、ステンレス板１３は強
度か大であるのでガイド５を省略して簡略化している。
ンレス板を用いたものであって、ステンレス板１３は強
度か大であるのでガイド５を省略して簡略化している。
第３図は本発明の第３の実施例の一部を示す断面図であ
る。
る。
本実施例は圧電セラミックの代りにガイド１５の間に挟
んだエレクトレットフィルム１６を用いている。ガイド
１５およびエレクトレットフィルム１６は、絶縁体１７
でサポート部２から絶縁され、絶縁体１７とは接着剤１
７皿で接着されている。また、ノイズの妨害を受けぬよ
うリード線６１はインピーダンス変換器１０を介して、
外部に信号導出するリード線６２に接続されている。
んだエレクトレットフィルム１６を用いている。ガイド
１５およびエレクトレットフィルム１６は、絶縁体１７
でサポート部２から絶縁され、絶縁体１７とは接着剤１
７皿で接着されている。また、ノイズの妨害を受けぬよ
うリード線６１はインピーダンス変換器１０を介して、
外部に信号導出するリード線６２に接続されている。
上記の各実施例では高圧フランジ１、サポート部２等を
金属材料として記載しているが、強度が十分であわば絶
縁体でもよいことは明らかである。
金属材料として記載しているが、強度が十分であわば絶
縁体でもよいことは明らかである。
以上説明したように本発明は、正面背面の気体圧力がバ
ランスされたダイアフラムに配設された圧力センサにダ
イアフラムの変形に対応する信号を出力させることによ
り、たとえ高圧ガス中でも音波を高感度に検出できる効
果がある。
ランスされたダイアフラムに配設された圧力センサにダ
イアフラムの変形に対応する信号を出力させることによ
り、たとえ高圧ガス中でも音波を高感度に検出できる効
果がある。
第１図は本発明の高圧ガス配管用圧力変動検出センサの
第１の実施例を示す断面図、第２図、第３図はそれぞれ
本発明の第２、第３の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・高圧フランジ、１、．２．．１５．・・・貫通孔
、 ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・旧・・・・
・サポート部、２２・・・・・・・・・・・・・・・川
・・・・・・ねじ、３・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・ダイアフラム、４・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電セ
ラミック、５．１５・軸・・・・・・・・・・・・・・
・ガイド、６．６．．５．・・・・・・・・・リード線
、７・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・ハーメチックシール、８・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・高圧ガス配管、８
１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
分岐管、９・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・取り付は孔、９、・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・ボルト、９２・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト、０・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・インピーダンス変換器、３・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・ステンレス板、６・・
・・・・・・・・・・・・・川・・・・・・・・・エレ
クトレットフィルム７ 絶縁体、 ７Ｉ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・接着剤。
第１の実施例を示す断面図、第２図、第３図はそれぞれ
本発明の第２、第３の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・高圧フランジ、１、．２．．１５．・・・貫通孔
、 ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・旧・・・・
・サポート部、２２・・・・・・・・・・・・・・・川
・・・・・・ねじ、３・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・ダイアフラム、４・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電セ
ラミック、５．１５・軸・・・・・・・・・・・・・・
・ガイド、６．６．．５．・・・・・・・・・リード線
、７・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・ハーメチックシール、８・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・高圧ガス配管、８
１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
分岐管、９・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・取り付は孔、９、・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・ボルト、９２・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト、０・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・インピーダンス変換器、３・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・ステンレス板、６・・
・・・・・・・・・・・・・川・・・・・・・・・エレ
クトレットフィルム７ 絶縁体、 ７Ｉ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・接着剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 高圧ガス配管からの分岐管のフランジに取り付けられる
基板と、 側壁に圧力バランス用の貫通孔が形成され、取り付けの
際、分岐管側となる該基板の一面に突設された筒状部材
と、 該筒状部材の開放端を覆うように該筒状部材に取り付け
られたダイアフラムと、 該ダイアフラムに配設した圧力センサで該ダイアフラム
の変形を検出し、検出結果を該基板に配設したシール部
を貫通して該基板の他面に導出する圧力変動導出手段と
を有する高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32720889A JPH03188340A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32720889A JPH03188340A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03188340A true JPH03188340A (ja) | 1991-08-16 |
Family
ID=18196523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32720889A Pending JPH03188340A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 高圧ガス配管用の圧力変動検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03188340A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003344363A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 気液二相流のフローパターン判別方法 |
| US20100143816A1 (en) * | 2007-01-29 | 2010-06-10 | Eduard Saar | Fuel cell system with sensor for detecting pressure fluctuations in a fluid supply train |
| JP2013213535A (ja) * | 2012-04-02 | 2013-10-17 | Sekisui Chem Co Ltd | 配管網の監視装置 |
| JP2021162093A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社フクハラ | 圧縮空気圧回路における温度及び湿度測定用センサ管構造 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP32720889A patent/JPH03188340A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003344363A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 気液二相流のフローパターン判別方法 |
| US20100143816A1 (en) * | 2007-01-29 | 2010-06-10 | Eduard Saar | Fuel cell system with sensor for detecting pressure fluctuations in a fluid supply train |
| JP2013213535A (ja) * | 2012-04-02 | 2013-10-17 | Sekisui Chem Co Ltd | 配管網の監視装置 |
| JP2021162093A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社フクハラ | 圧縮空気圧回路における温度及び湿度測定用センサ管構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10587942B1 (en) | Liquid-resistant packaging for electro-acoustic transducers and electronic devices | |
| CN105122021B (zh) | 声传感器 | |
| CN110726422B (zh) | 一种传感器 | |
| US5327504A (en) | Device to improve the bass reproduction in loudspeaker systems using closed housings | |
| US20050084128A1 (en) | Directional microphone | |
| JPS63218832A (ja) | 管内圧力変化検知変換器 | |
| US5802198A (en) | Hermetically sealed condenser microphone | |
| US4690242A (en) | Sound actuated switch | |
| CN106921920B (zh) | 一种薄膜密封的活塞发声器 | |
| US5161200A (en) | Microphone | |
| US6693849B1 (en) | Piezoelectric audio transducer | |
| US3766333A (en) | Shock insensitive transducer | |
| WO2022000792A1 (zh) | 振动传感器 | |
| CN108696812B (zh) | 光纤光栅麦克风 | |
| US4162476A (en) | Acceleration balanced hydrophone II | |
| US2506608A (en) | Piezoelectric transducer | |
| CN211784057U (zh) | 一种线性宽量程压力波传感器 | |
| US2560066A (en) | Hydrophone mounting | |
| CN206585758U (zh) | 一种薄膜密封的活塞发声器 | |
| JPH0643055A (ja) | 容量形圧力センサ | |
| US20250159402A1 (en) | Compact vibration sensor | |
| US20240064474A1 (en) | Sound and vibration sensor | |
| CA2093437A1 (en) | Probe for measuring acoustic fields of high intensity | |
| Ma et al. | A Low Frequency Mems Thermal Vector Hydrophone With Acoustic Velocity Horn | |
| WO1995022878A3 (en) | A background noise reducing microphone |