JPH0318994B2

JPH0318994B2 -

Info

Publication number: JPH0318994B2
Application number: JP60057636A
Authority: JP
Inventors: Yuputonaa Berunaa; Roote Ryudeigaa; Zehoruto Geruto
Original assignee: BEE II AA ESU HORUSHUNKUSU UNTO ENTOBITSUKURUNKUSURABOA FUYUA ANGEBANTE SHUTORAARUTEHINITSUKU GmbH
Current assignee: BEE II AA ESU HORUSHUNKUSU UNTO ENTOBITSUKURUNKUSURABOA FUYUA ANGEBANTE SHUTORAARUTEHINITSUKU GmbH
Priority date: 1984-03-26
Filing date: 1985-03-22
Publication date: 1991-03-13
Also published as: JPS60231586A; DE3574837D1; EP0156231A3; ATE48778T1; US4667080A; EP0156231A2; EP0156231B1; DE3411126A1

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はCO₂レーザ等の高出力密度エネルギビ
ームによつてワークを加工する装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、レーザ加工装置はその価格が高い。こ
のため、この装置の基本的な部分を各種の加工の
場合に共用できるようにすることが好ましい。こ
のため、各加工の種類に対応した各種の加工用ア
ダプタをこの装置に取付けることがなされてい
る。これらのアダプタを取付けることによつて、
同じ装置の基本的な部分を共用して溶接、切断、
表面処理等の各種の作業をおこなうことができ
る。

また、レーザ装置はワークの種類や姿勢にも対
応できるように構成され、レーザビームを水平ま
たは鉛直方向に照射できるように構成されてい
る。このため、作業に対応してレーザビームの案
内をなす光学装置が必要となる。

しかし、従来の装置は単に加工作業の種類その
他の条件に対応するだけのもので、ワークの加工
コストその他の点で満足すべきものではなかつ
た。

また、この装置は溶接に使用される場合が多い
が、このような場合には頻繁に清掃をおこなう必
要があつた。すなわち、溶接するワークの近傍に
ある光学装置にはワークからの煙や溶融金属粒子
等が付着する。このため、この光学装置の反射
鏡、集束鏡等の保守が面倒であつた。このため、
これら鏡は着脱自在に構成されている。従来のレ
ーザ加工装置ではこの鏡の着脱機構が高価であつ
た。また、清掃した鏡を再度取付ける場合に再調
整が必要であつた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は以上の事情に基づいてなされたもの
で、各種の作業に経済的に広汎に対応でき、また
保守が簡単な光学系を備えたレーザ加工装置を提
供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段とその作用〕

本発明は、切断用アダプタ、溶接用アダプタ、
位置決治具、光学装置の鏡等の各ユニツトを着脱
継手によつて容易に着脱できるようにしたもので
ある。そしてこれによつて上記の各ユニツトは光
学装置のケーシング等に迅速に着脱され、また正
確に装置される。

これらの着脱継手は光学系のケーシングの各種
ユニツトの取付け開口の部分に設けられ、好まし
くはそれぞれ同じ寸法に形成されている。また、
この光学装置のケーシングの開口には溶接ヘツ
ド、切断ヘツド等は装着できず、これらは寸法の
異なる着脱継手によつて取付けられる。したがつ
て、作業が異なる場合にこれらアダプタを容易に
交換できるとともに、これらアダプタは間違つた
開口に装着不能であり、この装置の故障を防止で
きる。

また、本発明の実施例によれば、この着脱継手
は２個の部分から構成され、第１の部分は上記光
学装置の外側に配置される閉塞部材であり、また
第２の部分は上記光学装置に装着されるアダプタ
の端部の形状に対応した部材である。この後者の
部品はユニツトの端面からケーシング側に離れた
位置に円環状の溝を備えた簡単な構造をなしてい
る。また、この着脱継手の他の部材にはユニツト
の溝に嵌合する少なくとも２組のクランプ機構を
備えている。これらはケーシングの開口の縁部に
着脱自在に嵌合し、外側から螺子によつて固定さ
れる。このクランプ機構はＬ字形をなし、開口の
中心に向けて突部が突設されており、この突部の
寸法はユニツトの溝に対応している。

このような着脱継手によれば、光学装置に対応
する供給要素またはアダプタに簡単に接続でき、
このアダプタはケーシングに対してわずかに隙間
のあるクランプの間に押圧される。また、このア
ダプタや供給機構を交換するには、このクランプ
をゆるめ、別のユニツトをこのケーシングの開口
に置き、このクランプを再度締付けるだけでよ
い。これらのユニツトはこのケーシングに摩擦力
等によつて保持される。

また、この光学装置のケーシングに装着する一
組の要素の数以上の開口が形成されている場合に
は、これら使用しない開口に盲蓋をしてこのケー
シング内の鏡等を保護する。これら盲蓋は上記ア
ダプタを取付ける着脱継手によつて取付けられ
る。

また、ケーシングの開口端がカバーによつて閉
塞され、このカバーには鏡が設けられている場合
には、このカバーは上記着脱継手によつて着脱自
在に接続される。このユニバーサル継手は上記の
アダプタを接続する継手と同様のもので、このカ
バーに対応するように構成されている。

この鏡付のカバーをケーシングに対して位置決
めし、またその回転を防止するため、本発明の装
置には回転防止機構が設けられている。この機構
は互いに対向した２個の（スプリングで付勢され
た）ボール受から構成されている。これらは装着
される一方の部材、たとえばカバーに取付けら
れ、他方の部材、たとえばケーシングの穴内には
これらボール受に嵌合するボールが設けられてい
る。

この光学装置から取外した鏡を検査、清掃した
後、これを取付ける場合、上記のボール受によつ
てこの鏡が縦軸に対して所定位置に正確に保持さ
れる。

〔実施例〕

以下、図を参照して本発明の実施例を説明す
る。この装置のエネルギ源としては、CO₂レーザ
等の高出力のレーザ発振器２０が用いられる。こ
のCO₂レーザ発振器２０のビーム出力側には望遠
鏡２１が配置され、また（水平の）保護筒２２に
よつて屈曲用の鏡２３が接続されている。この鏡
２３は上記の保護筒２２を通つて水平に入射した
ビームを鉛直方向に反射するものである。そし
て、この鏡２３で入射したビームは別の（鉛直
な）保護筒２４を通つて加工用の光学装置２５に
送られる。この光学装置２５は入射したビームを
内部で２回反射するように構成され、鉛直なビー
ムを水平方向に反射し、このビームをさらに反射
してこの水平方向に対して直交する方向にビーム
を出力する。

第２図に示す如く、この実施例の場合にはこの
レーザビームは光学装置２５から集束されたビー
ム２６として鉛直に射出される。この集束された
レーザビーム２６はワーク２７の切断や溶接に使
用される（第１図）。また、この光学装置２５の
出力端の下方には加工用のアダプタ２８（第２図
に部分的に示す）が配置され、このアダプタは溶
接用アダプタまたは切断用アダプタ等、作業の種
類に対応したものである。

また、この光学装置２５の構成を第２図に示
す。この光学装置は水平なケーシング２９を備え
ており、このケーシングの縦断面形状は細長状を
なし、また横断面形状は正方形をなしている。こ
のケーシング２９の中央部には縦方向に開口した
貫通孔３０が形成されている。また、このケーシ
ング２９の両端部３１，３２はそれぞれフランジ
状のカバー３３，３４によつて閉塞されている。

この実施例の場合、このケーシング２９は合計
４個の孔が形成されている。このケーシング２９
の一端部３１の部分にはこのケーシング上壁３
５、上記鏡からの反射ビームの入口開口３６が形
成されている。また、この他の３個の開口すなわ
ち出口開口３７，３８，３９はこのケーシング２
９の他端部に形成されている。これらの出口開口
のうち出口開口３７はこのケーシング２９の底壁
４０に形成され、また他の２個の出口開口３８，
３９はこのケーシング２９の対向する側壁に形成
されている。これらの出口開口３７，３８，３９
の軸は光学装置２５の軸に垂直な平面内に配置さ
れ、またこの光学装置２５内には上記集束された
レーザビーム２６の縦軸が含まれている。

また、このレーザビームを反射する鏡がこの光
学装置２５のケーシング２９内に収容されてい
る。この実施例では、円筒状の屈曲鏡４４および
同様に円筒状の集束鏡４５がこのケーシング２９
内に収容されている。この屈曲鏡４４は上記の入
口開口３６に対応している。この鏡には、光学装
置２５の縦軸４２に対して45゜傾斜した反射面４
６が形成されている。これによつて、このケーシ
ング２９の入口開口３６から入射したビームはこ
の屈曲鏡４４によつて反射され、この反射された
水平のレーザビーム４８は光学装置２５に入射す
るレーザビーム４７と同様の形状をなしている。
この屈曲鏡４４で反射したレーザビーム４８は集
束鏡４５に送られ、上記の出口開口３７，３８，
３９に交互に分配される。この集束鏡４５は楕円
面すなわち凹反射面４９を有している。この反射
面４９はこの光学装置２５の縦軸４２に対して傾
斜し、ビーム90゜屈曲させるように構成されてい
る。この集束鏡４５が第２図に示す如くこのよう
に配置されているので、水平のレーザビーム４８
は鉛直方向に反射され、同時にこの集束鏡４５の
凹反射面４９によつて集束されたレーザビーム２
６となる。この実施例では、この光学装置２５の
集束鏡４５によつて集束されたレーザビーム２６
の集点５０はこのケーシング２９の外部のアダプ
タ２８の部分に位置している。

これら鏡（屈曲鏡４４；集束鏡４５）はケーシ
ング２９の端部のカバー３３，３４にそれぞれ取
付けられている。この屈曲鏡４４はこのカバー３
４の内面にこの光学装置２５の軸方向の外側から
このカバーに螺装された螺子５１によつて取付け
られている。この実施例では、２本の円柱状の位
置決めピン５２が使用され、これら屈曲鏡４４お
よび集束鏡４５がこれらカバー３３，３４に対し
て回転しないように正確に位置決されている。

また、第２図に示す如く、この屈曲鏡４４およ
び集束鏡４５の直径はこのケーシング２９の貫通
孔３０の直径よりわずかに小さく形成されてい
る。これによつて、これら鏡が熱膨張した場合の
干渉が防止される。

第１図ないし第３図に示す実施例では、保護筒
２４の下端はこのケーシング２９の入口開口３６
に対応し、また加工用のアダプタ２８は底壁４０
の出口開口３７に対応している。この保護筒２４
およびアダプタ２８は着脱継手５３を介して光学
装置２５に接続されている。このケーシング２９
の入口開口３６および出口開口３７，３８，３９
にはそれぞれ着脱継手５３が設けられ、これらは
基本的には同様な構成をなし、この実施例では、
上記の入口開口３６と出口開口３７，３８，３９
が同じ径であり、これらは同一の寸法を有してい
る。

これら着脱継手５３の構成を第５図および第６
図に示す。これらの継手５３は２個のクランプ５
４を備え、これらは螺子５５によつてこのケーシ
ング２９の上壁３５に取付けられている。これら
クランプ５４はＬ字形の断面形状を備え、その突
部５６はこの入口開口３６の中心を指向してい
る。また、この突部５６はこのケーシング２９の
上壁３５よりわずかに突出し、その下面とこの上
壁３５の間に空間５７が形成されている。

また、この実施例の場合には、保護筒２４のケ
ーシング２９側の下端部外周に環状の溝５８が形
成されている。溝５８はこの保護筒２４の端面か
ら離間した位置に設けられ、ケーシング２９の上
壁３５に回転自在に嵌合している。この環状の溝
５８と端面５９との間の距離は、上記クランプ５
４の突部５６がこの溝５８内に嵌合し、またこの
環状の溝５８より先のリング部６０および端面５
９が上記突部５６と上壁３５との間の空間５７内
に嵌合するように設定されている。そして、この
クランプ５４がケーシング２９に締付けられる
と、この突部５６が保護筒２４のリング部６０を
ケーシング２９に対して固定する。

また、上記の代りに第２図に示す如く保護筒２
４またはアダプタ２８は互いに離間した２個のカ
ラー６２，６３が取付けられ、これらの間に環状
の溝６１が形成されている。

また、第５図に示す如く、この保護筒２４の端
面５９には中心位置決め用の嵌合凸部６４が形成
されている。この嵌合凸部の直径は保護筒２４の
外径より小さく形成されている。この嵌合凸部６
４はケーシング２９の上壁３５の入口開口３６の
嵌合部６５に嵌合する。この嵌合部６５はこの保
護筒２４をこの光学装置２５のケーシング２９に
対して中心に位置決する。

このように構成された着脱継手５３を使用すれ
ば、２本の螺子５５をゆるめるだけで保護筒２４
の嵌合凸部６４（充分に短く形成されている）を
嵌合部６５から引抜くことができ、この保護筒２
４および光学装置２５を上記クランプ５４の突部
５６が上記環状の溝５８から抜けるまでこれらを
ずらすことができる。また組立の場合には上記と
は逆に保護筒２４をクランプ５４とその突部５６
の間に押し込み、環状の溝５８に嵌合させる。こ
の保護筒２４とケーシング２９の径方向の位置決
は上記の嵌合凸部６４が嵌合部６５に嵌合するこ
とによつてなされる。そして、螺子５５によつて
このクランプ５４の突部５６を締付け、リング部
６０を介してこの保護筒２４をケーシング２９に
固定する。

このような着脱継手５３は上記出口開口３７，
３８，３９にも取付けられ、上記の加工用のアダ
プタ２８をこの光学装置２５に取付ける。これら
入口開口３６および出口開口３７，３８，３９に
装着されている着脱継手５３は同一の寸法であ
る。

また、この実施例では、前記のカバー３３，３
４もこのような着脱継手６６によつてケーシング
２９に取付けられている。これらのユニバーサル
継手は上記の保護筒２４やアダプタ２８を取付け
る上記の着脱継手５３と同様な構成である。すな
わち、２個のクランプ６７が１個の螺子５８によ
つてケーシング２９の端面３１，３２に取付けら
れ、これらクランプ６７は上記の端面３１，３２
の対角線上に互に対向している。上記のカバー３
３，３４には上記クランプ６７に嵌合する４個の
溝部６９が形成されている。これらの溝部６９は
上記円形のカバー３３，３４が嵌合するようにミ
ーリング加工等の機械加工によつて形成される。
これら溝部６９は２個ずつ対をなして互に対向し
て配置され、これら２対の溝部６９は互いに90゜
ずれて配置されている。上記カバー３３，３４は
上記の光学装置２５に対して互に90゜ずれ、かつ
その縦軸４２に対応して螺子によつて固定されて
いる。このように、特にカバー３４がケーシング
２９に対して回転することによつて、前記の集束
鏡４５は前記（底壁）の出口開口３７または２個
の（側壁の）出口開口３８，３９のうち作業をお
こなう開口に対応する。

また、これらカバー３３，３４の着脱継手６６
はこれらカバー３３，３４の内面に径方向の位置
決のためのスピゴツト７０を備えており、この円
柱状のスピゴツト７０は端面３１，３２を通つて
ケーシング２９の貫通孔３０内に嵌合し、この光
学装置２５の屈曲鏡４４および集束鏡４５を径方
向に位置決する。

また、これらの着脱継手６６には径方向の位置
決と回転防止のための機構が備えられている。第
２図に示す如く、２個の対向したボール受７１が
各カバー３３，３４に取付けられており、これら
カバー３３，３４がこのケーシング２９の端面３
１，３２に対して回転しないように固定されてい
る。第３図に示す如く、これらボール受は上記溝
部６９の形成されていない部分のカバー３３，３
４の縁部に設けられている。

第７図には、これらボール受７１すなわち回転
防止機構を示す。これらボール受７１はカバー３
４に形成された盲穴７２内に収容されている。そ
して、このボール受７１のケーシング２９の端面
３２側にはボール７３が設けられ、このボールは
圧縮スプリング７４によつて上記の端面３２に押
圧されている。このボール受７１はこの盲穴７２
から離れる方向に付勢され、そのボール７３はケ
ーシング２９の端面３２に接触するカバー３４の
面から突出している。そして、このボール受７１
のボール７３は上記の端面３２に形成された盲穴
７５に嵌合する。この盲穴７５は上記ボール受７
１の盲穴７２より小径に形成され、上記のボール
７３がこの（小径の）盲穴７５の上縁に完全に嵌
合するように構成されている。このような構成に
よつて、このカバー３４はケーシング２９に対し
て正確にその中心に位置決される。

このカバー３４の２個のボール受７１に対して
ケーシング２９には合計４個の（小径な）盲穴７
５が形成されている。これら盲穴７５はこの端面
３２に等分に配置され、互に90゜離間して配置さ
れ、上記カバー３４のボール受７１は互に対向す
る２個の盲穴７５内に嵌合するように構成されて
いる。また、上記のカバー３４を集束鏡４５とと
もにこのケーシング２９の軸４２まわりに90゜回
転すると、上記とは別の２個の盲穴７５内にこの
ボール受７１が嵌合し、位置決がなされる。した
がつて、これら90゜づつに配置された（小径の）
盲穴７５に順次嵌合することによつて、この光学
装置２５の集束鏡４５が３個の出口開口３７，３
８，３９に順次対応することができる。

また、このケーシング２９のカバー３３側の端
面３１には、必要なだけの２個の（小径の）盲穴
７５が形成され、屈曲鏡４４を回転不能に固定し
ている。

また、保護筒２４および加工用アダプタ２８
は、上記と同様な方法、すなわち着脱継手５３に
対応したボール受７６によつてこの光学装置２５
に対して回転不能に固定されている。この実施例
の場合には、第４図に示す如く、この着脱継手４
３は前記のカバー３３，３４の場合と比較してた
だ１個のボール受７６を備えている。この場合、
このボール受７６はケーシング２９に取付けら
れ、また（小径の）盲穴７７はケーシング２９の
底壁４０に向けて突出したカラー６２に形成され
ている。また、加工用のアダプタ２８は同様の位
置で接続され、着脱継手５３のボール受７６に嵌
合する（小径の）盲穴７７は１個だけ設けられて
いる。したがつて、あらかじめ調整されているア
ダプタ２８を別に再調整せずに取付けることがで
きる。また、保護筒２４はボール受７６を用いて
この光学装置２５に同様に回転不能に取付けるこ
とができる。

第１１図および第１２図にはこの光学装置２５
のケーシング２９にカバー９１，９２を取付ける
別の構成を示す。図中、カバー９１，９２は対角
状に配置された取付ねじ９３によつて取付けられ
ている。そして、工具を使用せずに手でこのカバ
ー９１，９２を着脱できるようにこれら取付ねじ
は凹凸のある頭部９４を備えている。この取付ね
じ９３の中央部９５は、上記カバー９１，９２の
貫通孔９６およびケーシング２９の中央孔９７内
に挿入され、この光学装置２５のケーシング２９
に対してカバー９１，９２の調整をなす。したが
つて、鏡（屈曲鏡４４；集束鏡４５）はこのカバ
ー９１，９２の取外し前と同じ位置に取付けられ
る。

上記各カバー９１，９２には対称に配置された
大きな４個の貫通孔９６が形成されている。これ
によつて、このカバー９１，９２はケーシング２
９に対して互に90゜ずつずれた４個の異なる位置
に取付けられる。

また、この実施例のものには、ケーシング２９
の下部の出口開口３７に雌ねじ９８が形成されて
おり、加工用アダプタ９９が取付けられる。よつ
て、このアダプタ９９は工具や着脱継手５３のク
ランプ５４等を使用せずに、手によつてこのケー
シング２９に簡単に着脱できる。

また、使用されない出口開口、たとえば第３図
の側壁の出口開口３８，３９は盲フランジ７８に
よつて閉塞されている。この実施例では、構造を
簡単にするためこれら出口開口にはケーシング２
９に着脱継手５３が接続されておらず、このケー
シング２９に対して２個のねじ７９によつて取付
けられている。この盲フランジ７８を取付けるね
じは上記のクランプ５４を取外した後のこのクラ
ンプ５４取付用のねじ孔に装着される。

第９図には、光学装置２５に内視鏡を取付けた
実施例を示す。この装置は、カバー３４にその中
心から水平方向にずれた位置に内視鏡（図示せ
ず）を収容する収容孔８６が形成されている。こ
の収容孔８６は集束鏡４５の反射面４９の直前ま
で達する盲穴状に形成されている。この収容孔８
６の端部の直前にはこの収容孔８６から分岐し、
集束されたレーザビーム２６の縦軸４３上に配置
された鉛直で小径の観察孔８７が形成されてい
る。この観察孔８７の直径はたとえば２mmと比較
的小径に形成され、反射面４９の面積の減少はわ
ずかでありレーザビームの出力には影響は生じな
い。そして、たとえばこの加工用アダプタ２８を
最初に装着した際に、レーザを停止した状態で光
学照準装置が取付けられる。そして、同様にして
この加工用アダプタ２８はワーク２７に対してこ
の装置によつて位置決される。

第８図にはさらに別の実施例を示し、この実施
例は使用されていない（側壁の）出口開口３８，
３９に着脱継手５３を介して負圧継手８８が接続
されるように構成されている。この負圧継手８８
はガス源に接続され、作動中にこの光学装置２５
内にアダプタ２８を介して侵入したじんあい、煙
等を排出し、鏡の反射面４６，４９を保護するよ
うに構成されている。そして、この光学装置２５
内に上記継手８８を介して保護ガスまたは冷却ガ
スを供給するように構成されている。また、ガス
の流入および流出用の継手８８を対向して設けれ
ば、この光学装置２５内に水平のガスの流れが生
じ、このガス流によつてじんあい、煙がこの光学
装置２５内に侵入するのを防止できる。

上記の実施例の屈曲鏡４４および集束鏡４５は
銅材料で形成されている。これら鏡にはその熱負
荷によつてわずかの影響が生じるが、作動中にこ
れら鏡を調整する必要はない。

また、これら銅製の鏡の表面は高精度に研摩さ
れているか、またはスパツタリング等によつて蒸
着がなされている。

また、第２図および第３図にはケーシング２９
の上壁３５に２個の継手すなわち冷却材入口８９
と冷却材出口９０が設けられている。そして、こ
れらの継手を介して、このケーシング２９の壁内
には図示しない冷均通路が形成され、冷却材が循
環される。また、カバー３３，３４にもこの冷却
通路を延長してもよい。この場合、ケーシング２
９の端面とカバー３３，３４との間にはシール材
を設けてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図はレーザ加工装置の側面図、第２図は光
学装置の縦断面図、第３図は光学装置の端面図、
第４図は閉塞されていない開口を有する光学装置
の底面図、第５図は第２図の部の着脱継手の拡
大図、第６図は第５図の平面図、第７図は第２図
のボール受の部分の拡大図、第８図は別の実施
例の光学装置の平面方向の断面図、第９図は第２
図の光学装置に内視鏡用の孔を設けた第３の実施
例を示す図、第１０図は第４の実施例の光学装置
を示す図、第１１図は第５の実施例の縦断面図、
第１２図は第１１図の加工ヘツドを示す図であ
る。２０……レーザ発振器、２２……保護筒、２３
……屈曲鏡、２４……保護筒、２５……光学装
置、２８……加工アダプタ、２９……ケーシン
グ、３１，３２……端部、３３，３４……カバ
ー、３６……入口開口、３７，３８，３９……出
口開口、４４……屈曲鏡、４５……集束鏡、５３
……着脱継手、５４……クランプ。

Claims

【特許請求の範囲】１ CO₂レーザビーム等の高出力密度エネルギビ
ームを用いた加工装置であつて、レーザビームを
反射する光学装置を備え、この光学装置はCO₂レ
ーザ発振器および実施する作業に対応した加工用
アダプタが接続され、この光学装置はレーザの入
口開口を備えたケーシングを有し、このケーシン
グ内には屈曲鏡および集束鏡が収容されたものに
おいて、上記のケーシング２９の少なくとも上記
の出口開口３７，３８，３９には上記の光学装置
２５を加工用アダプタ２８にねじ結合によつて交
換可能にかつ正確に中心合せして結合する着脱継
手５３が設けられ、この光学装置２５に対応する
加工用アダプタ２８が交換自在に取り付けられ、
また上記の着脱継手５３，６６は中心合せした状
態で回転不能に結合するものであることを特徴と
するCO₂レーザビーム等の高出力エネルギビーム
を用いた加工装置。２前記出口開口３７，３８，３９およびこのケ
ーシング２９内にレーザビームを導入する入口開
口３７には同じ構造の着脱継手５３が設けられて
いることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項
記載の装置。３前記ケーシング２９の開口端２１，３２はカ
バー３３，３４によつて閉塞され、１個の着脱継
手６６がこのケーシング２９上に上記各カバー３
３，３４に対応して設けられていることを特徴と
する前記特許請求の範囲第１項記載の装置。４前記の着脱継手５３，６６には一組のクラン
プ５４，６７がケーシング２９の外側に位置して
設けられ、また加工用アダプタ２８、保護筒２４
およびカバー３３，３４には上記クランプに対応
した少なくとも１個の溝５８，６９が形成されて
いることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項
記載の装置。５前記入口開口３６、出口開口３７，３８，３
９またはケーシング２９の端部３１，３２の縁部
には互いに対向するクランプ５４，６７が配置さ
れていることを特徴とする前記特許請求の範囲第
１項ないし第４項のいずれか１に記載の装置。６前記クランプ５４，６７はケーシング２９に
外側からねじ止めされていることを特徴とする前
記特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか
１に記載の装置。７前記クランプ５４，６７はＬ字状をなし、そ
の突部５６は前記加工用アダプタ２８、保護筒２
４およびカバー３３，３４の溝６９内に嵌合する
ように構成されていることを特徴とする前記特許
請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１に記
載の装置。８前記加工用アダプタ２８および保護筒２４に
は前記クランプ５４の突部５６に嵌合する同様の
環状の溝５８が形成されていることを特徴とする
前記特許請求の範囲第１項ないし第７項のいずれ
か１に記載の装置。９前記加工用アダプタ２８および保護筒２４の
外周には互いに離間した複数のカラー６２，６３
が設けられ、また前記環状の溝は前記クランプ５
４およびその突部５６に対応した寸法に形成され
ていることを特徴とする前記特許請求の範囲第１
項ないし第８項のいずれか１に記載の装置。１０前記溝部６９はカバー３３，３４の外周面
に形成され、これらはこのカバー３３，３４の外
周を機械加工で切削して形成され、これら溝部６
９は90゜ずつ互いに離間して互いに対向した対を
なして配置されていることを特徴とする前記特許
請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１に記
載の装置。１１前記加工用アダプタ２８等の着脱継手５
６，６９あるいは前記カバー３３，３４には径方
向の位置決をする要素６４，７０が設けられてい
ることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項な
いし第１０項のいずれか１に記載の装置。１２前記加工用アダプタ２８および保護筒２４
のケーシング２９側の端面には円筒状の嵌合凸部
６４が形成され、これに対応した形状の凹部６５
が入口開口３６および出口開口３７，３８，３９
の上縁部に形成され、これらに上記嵌合凸部６４
が嵌合することを特徴とする前記特許請求の範囲
第１項ないし第１１項のいずれか１に記載の装
置。１３前記カバー３３，３４はケーシング２９の
貫通孔３０に嵌合する円筒状の嵌合凸部７０を備
え、また光学装置２５の鏡４５，４４がこのカバ
ー３３，３４に取り付けられていることを特徴と
する前記特許請求の範囲第１項ないし第１１項の
いずれか１に記載の装置。１４前記着脱継手５３，６６には、前記加工用
アダプタ２８、保護筒２４あるいは鏡４４，４５
が取り付けられたカバー３３，３４をこの光学装
置２５に対して回転しないように固定する機構が
設けられていることを特徴とする前記特許請求の
範囲第１項ないし第１３項のいずれか１に記載の
装置。１５前記着脱継手５３，６６に取り付けられた
回転防止機構は少なくとも１個のボール受である
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項ない
し第１４項のいずれか１に記載の装置。１６前記加工用アダプタ２８およびカバー３
３，３４のボール受け７１，７６はこれに対向す
る部分２９，２８，３３，３４の対応部分に形成
された盲穴７５，７７内に収容され、これら盲穴
内には上記ボール受７１，７６のスプリングで付
勢されたボール７３が一部嵌合し、一度調整され
た加工用アダプタ２８およびカバー３３，３４の
回転方向の位置決めをなすことを特徴とする前記
特許請求の範囲第１項ないし第１４項のいずれか
１に記載の装置。１７２個のボール受７１が設けられ、またこれ
らに対応してケーシング２９には盲穴７５が形成
され、カバー３３，３４およびこれらのカバー３
３，３４に取り付けられた鏡４４，４５の回転方
向の位置決めをなすことを特徴とする前記特許請
求の範囲第１項ないし第１５項のいずれか１に記
載の装置。１８前記ケーシング２９に装着される加工用ア
ダプタ２８および保護筒２４の着脱継手５３には
少なくとも１個のボール受７６が設けられ、また
この加工用アダプタ２８および保護筒２４に対応
して少なくとも１個の盲穴７７が形成されている
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項ない
第１５項のいずれか１に記載の装置。１９前記ケーシング２９には、このケーシング
２９の縦軸４２に直交する平面内に互いに90゜離
間した等しい寸法の出口開口３７，３８，３９が
形成されていることを特徴とする前記特許請求の
範囲第１項ないし第１８項のいずれか１に記載の
装置。２０前記ケーシング２９の少なくとも１個の不
使用の出口開口３７，３８，３９には前記着脱継
手５３に設けられた負圧継手８８が接続され、前
記光学装置２５内からじんあい、煙等を排出する
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項ない
し第１９項のいずれか１に記載の装置。２１前記盲フランジ８２には光学観察装置８５
を取り付けるための観察孔８４が形成され、この
盲フランジはケーシング２９の使用されていない
出口開口３７，３８，３９に着脱継手５３によつ
て取り付けられていることを特徴とする前記特許
請求の範囲第１項ないし第１９項のいずれか１に
記載の装置。２２前記観察装置８５を収容する収容孔３６は
前記カバー３３，３４に形成され、前記鏡４５の
反射面４９の中央部に形成されていることを特徴
とする前記特許請求の範囲第１項ないし第２１項
のいずれか１に記載の装置。