JPH03191051A - ガスバリアフイルム - Google Patents
ガスバリアフイルムInfo
- Publication number
- JPH03191051A JPH03191051A JP33211489A JP33211489A JPH03191051A JP H03191051 A JPH03191051 A JP H03191051A JP 33211489 A JP33211489 A JP 33211489A JP 33211489 A JP33211489 A JP 33211489A JP H03191051 A JPH03191051 A JP H03191051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- gas barrier
- vapor deposition
- pet
- barrier property
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 25
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 abstract description 13
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 5
- 235000013305 food Nutrition 0.000 abstract description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 abstract 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000012785 packaging film Substances 0.000 description 3
- 229920006280 packaging film Polymers 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Packages (AREA)
- Wrappers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はレトルト食品等の包装用フィルムに用いられる
ガスバリアフィルムに関する。
ガスバリアフィルムに関する。
(従来の技術)
従来、ドライプロセスによるガスバリアフィルムとして
は、A1蒸着フィルム等がある。構造としてはプラスチ
ックフィルムの少なくとも片面上にAノを100OA程
度蒸着したものを表面ハードコート及びラミネートして
、食品包装用フィルムに用いられている。しかし、A!
単一層によるガスバリア性は1〜10 cc / tl
、24hr 、atm程度であり、1 cc / r
l 、24hr、atm以下のガスバリア性はクラック
及びピンホール等により困難である。
は、A1蒸着フィルム等がある。構造としてはプラスチ
ックフィルムの少なくとも片面上にAノを100OA程
度蒸着したものを表面ハードコート及びラミネートして
、食品包装用フィルムに用いられている。しかし、A!
単一層によるガスバリア性は1〜10 cc / tl
、24hr 、atm程度であり、1 cc / r
l 、24hr、atm以下のガスバリア性はクラック
及びピンホール等により困難である。
(発明が解決しようとする課題)
A1等の単一層のフィルムでは、クラック及びピンホー
ルの発生は抑えられない。本発明はlcc/ tl 、
24hr、atm以下のハイバリアな特性を有するドラ
イプロセス法で製作したガスバリアフィルムを提供する
ものである。
ルの発生は抑えられない。本発明はlcc/ tl 、
24hr、atm以下のハイバリアな特性を有するドラ
イプロセス法で製作したガスバリアフィルムを提供する
ものである。
(課題を解決するための手段)
本発明はクラック、ピンホールの実質的にないガスバリ
ア性にすぐれたフィルムである。
ア性にすぐれたフィルムである。
すなわち本発明は、プラスチックフィルムの少な(とも
片面に、少なくとも2層の異なる無機酸化物薄層が設け
れたことを特徴とするガスバリアフィルムである。
片面に、少なくとも2層の異なる無機酸化物薄層が設け
れたことを特徴とするガスバリアフィルムである。
本発明において好ましく適用されるドライプロセスとは
蒸着法、スパッタ法等の超高真空内での薄膜成形法を示
す。
蒸着法、スパッタ法等の超高真空内での薄膜成形法を示
す。
蒸着法とは抵抗加熱、誘導加熱、電子線加熱等によりる
つぼに入った材料を加熱、蒸発させて基盤に付着させる
方法である。その際、材料、目的によって加熱温度、加
熱方式が異なり、最も適したものを選ばなければならな
い。又、真空槽内に酸素等の反応ガスを導入し、酸素反
応を起こされる反応性蒸着もある。
つぼに入った材料を加熱、蒸発させて基盤に付着させる
方法である。その際、材料、目的によって加熱温度、加
熱方式が異なり、最も適したものを選ばなければならな
い。又、真空槽内に酸素等の反応ガスを導入し、酸素反
応を起こされる反応性蒸着もある。
スパッタ方法とは真空槽内に放電ガス(Ar管)を導入
し、ターゲット、基板間に高周波−電圧、直流電圧を与
えて放電ガスをプラズマ化し、ターゲットに衝突させ、
材料を飛ばして基板に付着させる方法である。又、酸素
等の反応ガスを導入し、酸化反応を起こさせる反応性ス
パッタもある。
し、ターゲット、基板間に高周波−電圧、直流電圧を与
えて放電ガスをプラズマ化し、ターゲットに衝突させ、
材料を飛ばして基板に付着させる方法である。又、酸素
等の反応ガスを導入し、酸化反応を起こさせる反応性ス
パッタもある。
多層膜構成にするにはプラスチックフィルムの進行方向
に少なくとも2個以上の蒸着源、スパッタ源を配置した
プラスチックフィルムの少なくとも片面に蒸着及びスパ
ッタを行う。
に少なくとも2個以上の蒸着源、スパッタ源を配置した
プラスチックフィルムの少なくとも片面に蒸着及びスパ
ッタを行う。
本発明において、プラスチックフィルムとは有機重合体
を溶解又は溶融押出したもので、必要に応じて長手方向
、幅方向に延伸したものである。
を溶解又は溶融押出したもので、必要に応じて長手方向
、幅方向に延伸したものである。
有機重合体の代表的なものとしては、ポリエステル、ポ
リエチレン、ナイロンθ、ポリアミド、ポリイミドなど
がある。
リエチレン、ナイロンθ、ポリアミド、ポリイミドなど
がある。
本発明は単一層をプラスチックフィルム上に設けたもの
(単一コート)では抑えられないクラックやピンホール
の発生を多層膜すなわち二層以上積層する事で抑え、1
cc / rl 、24hr、atm以下のハイバリ
アなフィルムを実現するものである。
(単一コート)では抑えられないクラックやピンホール
の発生を多層膜すなわち二層以上積層する事で抑え、1
cc / rl 、24hr、atm以下のハイバリ
アなフィルムを実現するものである。
クラックやピンホールの発生の原因としては、フィルム
上に付着したダスト等によるピンホールの発生、又は膜
内応力、フィルムへのテンションの不均一さ、及び薄膜
形成する際の熱等によりクラックが発生する。これらの
原因を克服する事は困難である。
上に付着したダスト等によるピンホールの発生、又は膜
内応力、フィルムへのテンションの不均一さ、及び薄膜
形成する際の熱等によりクラックが発生する。これらの
原因を克服する事は困難である。
本発明ではプラスチックフィルム上に単一層コートした
場合に発生するクラックやピンホールをさらにその上に
別の材料、この場合1層目の材料と密着性が良く、且つ
緻密な構造を有しガスバリア性の良いものをコートする
事でクラックやピンホールに蓋をする。何層も積層する
と、プラスチックフィルムを透過して来たガスが1層目
のクラックやピンホールを通っても、2層目で遮断され
るのでよリハイバリアなフィルムが実現できる。
場合に発生するクラックやピンホールをさらにその上に
別の材料、この場合1層目の材料と密着性が良く、且つ
緻密な構造を有しガスバリア性の良いものをコートする
事でクラックやピンホールに蓋をする。何層も積層する
と、プラスチックフィルムを透過して来たガスが1層目
のクラックやピンホールを通っても、2層目で遮断され
るのでよリハイバリアなフィルムが実現できる。
(実施例)
実施例 I
PETフィルムの片面上に8102及びAl2O3から
なる多層膜コートを行った。コーティングはロール・ツ
ウ・ロール方式EB蒸着装置を使用した。810□単一
層コートの場合と比較した結果を第1表に示す。
なる多層膜コートを行った。コーティングはロール・ツ
ウ・ロール方式EB蒸着装置を使用した。810□単一
層コートの場合と比較した結果を第1表に示す。
〈製作方法〉
BE蒸着装置はフィルムを装着した後、1×10−”T
orr以下に排気して製膜を行った。PETフィルムの
厚さは12μmのものを使用した。
orr以下に排気して製膜を行った。PETフィルムの
厚さは12μmのものを使用した。
I X 10−”Tarr以下に排気後、排気速度を下
げて真空槽内に酸素を導入する。
げて真空槽内に酸素を導入する。
その際、酸素雰囲気は5 X 10−3Torrに設定
した。蒸発源は今回、ドラムの円周上に3個配置した。
した。蒸発源は今回、ドラムの円周上に3個配置した。
蒸発材料はPETフィルムの回転方向に81、Af、8
1の順に行った。電子ビームの投入電力はAfが70K
W1S1が8に!で行い、PETフィルムの速度は2
m/winとした。また、蒸発源のスリットの幅は50
mmとした。真空槽内構造図を第1図に示す。ドラムは
一10℃ま冷媒で冷却する事でPETフィルム表面を室
温に保持した。製作公定を示すと、PETフィルム装着
→真空排気→酸素導入→シャッターを閉めて蒸着開始→
ドラムを回転→シャッターを開けてコーティングの順序
で行う。
1の順に行った。電子ビームの投入電力はAfが70K
W1S1が8に!で行い、PETフィルムの速度は2
m/winとした。また、蒸発源のスリットの幅は50
mmとした。真空槽内構造図を第1図に示す。ドラムは
一10℃ま冷媒で冷却する事でPETフィルム表面を室
温に保持した。製作公定を示すと、PETフィルム装着
→真空排気→酸素導入→シャッターを閉めて蒸着開始→
ドラムを回転→シャッターを開けてコーティングの順序
で行う。
〈ガスバリアフィルムの構造〉
PETフィルム12μm上にSiO□300A、A1□
03400A 、St 0□300人をコーティング(
積層)した。
03400A 、St 0□300人をコーティング(
積層)した。
実施例 2
PETフィルムの片面上ニS I 02.A I 20
2からなる多層膜コートを行った。比較結果を第1表に
示す。
2からなる多層膜コートを行った。比較結果を第1表に
示す。
〈製膜方法〉
ロール・ツウ・ロール方式EB蒸着装置を用い、実施例
1と同様の方法で製膜した。その際、蒸着材料はPET
フィルムの回転方向にAf、Sl、Afの順に行った。
1と同様の方法で製膜した。その際、蒸着材料はPET
フィルムの回転方向にAf、Sl、Afの順に行った。
又、電子ビームの投入電力はAノが70KW1Slが8
0KWで行い、PETフィルムの速度は2 m/win
とした。
0KWで行い、PETフィルムの速度は2 m/win
とした。
〈ガスバリアフィルムの構造〉
PETフィルム12.czm上にAf□03300A
1 Sl 0240OA 、Af20z 300人をコ
ーティングした。
1 Sl 0240OA 、Af20z 300人をコ
ーティングした。
(発明の効果)
本発明はレトルト食品包装用等のガイバリアフィルムに
関するもので、従来のカスバリアフィルムよりも格段に
良いガス遮断性ををするものであり、レトルト食品包装
用等のハイガスバリア性が必要な包装用フィルムとして
有用なフィルムである。
関するもので、従来のカスバリアフィルムよりも格段に
良いガス遮断性ををするものであり、レトルト食品包装
用等のハイガスバリア性が必要な包装用フィルムとして
有用なフィルムである。
第1表
第1図はこの発明の実施例1.2の蒸着装置の構造図で
ある。
ある。
Claims (1)
- (1)プラスチックフイルムの少なくとも片面に、少な
くとも2層の異なる無機酸化物薄層が設けられたことを
特徴とするガスバリアフイルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33211489A JPH03191051A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | ガスバリアフイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33211489A JPH03191051A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | ガスバリアフイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03191051A true JPH03191051A (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=18251311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33211489A Pending JPH03191051A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | ガスバリアフイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03191051A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0848369A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Toppan Printing Co Ltd | 透明ガスバリア材 |
| JP2005199515A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 透明蒸着フィルムおよびその製造法 |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP33211489A patent/JPH03191051A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0848369A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Toppan Printing Co Ltd | 透明ガスバリア材 |
| JP2005199515A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 透明蒸着フィルムおよびその製造法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8425738B2 (en) | Method for depositing of barrier layers on a plastic substrate as well as coating device therefor and a layer system | |
| JP2011194585A (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
| AU2003262703A1 (en) | Plasma treated metallized film | |
| JP2001073133A (ja) | 真空薄膜形成装置および真空薄膜形成方法 | |
| JP6648800B1 (ja) | 金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法 | |
| US20060159860A1 (en) | Plasma treated metallized film | |
| JPS63222849A (ja) | 包装用フイルム | |
| TWI849108B (zh) | 真空成膜裝置及真空成膜方法 | |
| JPH10130815A (ja) | 蒸着薄膜形成装置 | |
| JP2865971B2 (ja) | 薄膜製造装置 | |
| JP3956627B2 (ja) | 高水蒸気バリアフイルム及びその製造方法 | |
| JP3293618B2 (ja) | 透明蒸着フィルム及びその製造方法 | |
| JP3398563B2 (ja) | 複合薄膜の製造方法及び製造装置 | |
| CN222226542U (zh) | 镀膜设备 | |
| CN102165089B (zh) | 用于在塑料衬底上沉积阻挡层的方法以及其涂覆装置和层系统 | |
| JPS62222078A (ja) | 帯板連続複合コ−テイング設備 | |
| JP2870937B2 (ja) | 金属蒸着フィルムの製造方法 | |
| JPH10154325A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPS61278032A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
| JP2007182601A (ja) | 巻取式複合真空表面処理装置及びフィルムの表面処理方法 | |
| JPH0693447A (ja) | 蒸着フィルムの製造装置 | |
| JPH08144041A (ja) | 巻取り式真空蒸着装置 | |
| JP2001344750A (ja) | コーティング装置 | |
| JPH08325710A (ja) | 金属酸化物蒸着方法 | |
| JPH09157847A (ja) | 両面蒸着フィルムの製造装置 |