JPH03199143A - マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法 - Google Patents
マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法Info
- Publication number
- JPH03199143A JPH03199143A JP33835589A JP33835589A JPH03199143A JP H03199143 A JPH03199143 A JP H03199143A JP 33835589 A JP33835589 A JP 33835589A JP 33835589 A JP33835589 A JP 33835589A JP H03199143 A JPH03199143 A JP H03199143A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- mask
- pattern
- laser
- marking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、マスク及びこのマスクを用いてガラスへの
マーキングを行うマーキング方法に関するものである。
マーキングを行うマーキング方法に関するものである。
[従来の技術]
従来、ガラスの表面にマーキングを施す方法として、主
としてサンドブラスト法が行われていた。この方法はマ
ーキングしようとするガラスの表面に、砂を高速で吹付
けることにより、ガラスの表面の一部を削り取ってマー
キングするというものである。
としてサンドブラスト法が行われていた。この方法はマ
ーキングしようとするガラスの表面に、砂を高速で吹付
けることにより、ガラスの表面の一部を削り取ってマー
キングするというものである。
[発明が解決しようとする課題]
このサンドブラスト法によるマーキング方法は、マーキ
ングのために吹付けられた砂の粉末が全部除去されずに
、ガラスの表面に付着して残ることがある。ガラスの表
面に砂の粉末の残った部分があると、マー5キング終了
後、ガラスを積み重ねたりする際にガラスの表面に砂に
よる傷が出来たりするという問題がある。その上、この
サンドブラスト法は運転コストが高く、自動化が難しい
という問題もある。
ングのために吹付けられた砂の粉末が全部除去されずに
、ガラスの表面に付着して残ることがある。ガラスの表
面に砂の粉末の残った部分があると、マー5キング終了
後、ガラスを積み重ねたりする際にガラスの表面に砂に
よる傷が出来たりするという問題がある。その上、この
サンドブラスト法は運転コストが高く、自動化が難しい
という問題もある。
ここで、電子部品等のマーキングに応用されているレー
ザマーキング法を、ガラスのマーキングに適用すれば、
上記欠点を解消できると考えられる。
ザマーキング法を、ガラスのマーキングに適用すれば、
上記欠点を解消できると考えられる。
しかし、既に商品化されているレーザマーキング装置の
うち、YAGレーザはガラスへの透過率が高いので使用
不可能である。一方、TEA−GO,レーザは10.6
Itmの赤外線レーザなので、ガラスの吸収率が高く、
マーキングが可能であると考えられる。そこで、T E
A−Co□レーザな所望のパターンでガラスに照射し
て実験してみたところ、一応マーキングは可能であるけ
れども、マーキングが鮮明にできなかった。
うち、YAGレーザはガラスへの透過率が高いので使用
不可能である。一方、TEA−GO,レーザは10.6
Itmの赤外線レーザなので、ガラスの吸収率が高く、
マーキングが可能であると考えられる。そこで、T E
A−Co□レーザな所望のパターンでガラスに照射し
て実験してみたところ、一応マーキングは可能であるけ
れども、マーキングが鮮明にできなかった。
T E A−CO,レーザなガラスに照射して文字等を
マーキングしようとした場合に、マーキングが鮮明にで
きない原因を分析してみると、T E A −Co2レ
ーザの照射を受けたガラスの表面はレーザ光による熱歪
みによってガラス表面にマイクロクラックが生じ、この
状態で表面をブラシ等でこすると、ガラスの結晶の大き
さに応じて塊状に飛散する。この時、大きな塊でガラス
が飛散すると、照射パターン通りに鮮明なマーキングを
することがてきないことが判明した。
マーキングしようとした場合に、マーキングが鮮明にで
きない原因を分析してみると、T E A −Co2レ
ーザの照射を受けたガラスの表面はレーザ光による熱歪
みによってガラス表面にマイクロクラックが生じ、この
状態で表面をブラシ等でこすると、ガラスの結晶の大き
さに応じて塊状に飛散する。この時、大きな塊でガラス
が飛散すると、照射パターン通りに鮮明なマーキングを
することがてきないことが判明した。
第4図はT E A−GO,レーザの照射を受けて塊状
に飛散したガラスの表面の説明図で、同図(イ)はパタ
ーンrHJの文字がマーキングされた状態を示し、同図
(ロ)は同図(イ)のパターンの斜線部分を拡大した図
である。
に飛散したガラスの表面の説明図で、同図(イ)はパタ
ーンrHJの文字がマーキングされた状態を示し、同図
(ロ)は同図(イ)のパターンの斜線部分を拡大した図
である。
第4図(ロ)から明らかなように、照射パターンの境界
付近で、ある部分は大きな塊となってガラスの破片が飛
散してしまい、マーキングの歪みが大きくなるという問
題がある。
付近で、ある部分は大きな塊となってガラスの破片が飛
散してしまい、マーキングの歪みが大きくなるという問
題がある。
レーザ光照射によって取除かれたガラス表面のマーキン
グパターン部分は、スリガラス状になって透明感かなく
なって、散乱光によってマーキングか鮮明に見えるので
あるが、ガラス破片の大きな塊か抜けてしまうと、その
部分がスリガラス状にならず、視認性が悪くなる。 こ
の発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
TEA−CO2レーザをガラスに照射した時に生じるガ
ラスの大きな塊状の飛散を防止して実用に耐え得る鮮明
なマーキングを可能にしたマスクと、このマスクを用い
たガラスへのマーキング方法を提供することを目的とす
る。
グパターン部分は、スリガラス状になって透明感かなく
なって、散乱光によってマーキングか鮮明に見えるので
あるが、ガラス破片の大きな塊か抜けてしまうと、その
部分がスリガラス状にならず、視認性が悪くなる。 こ
の発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
TEA−CO2レーザをガラスに照射した時に生じるガ
ラスの大きな塊状の飛散を防止して実用に耐え得る鮮明
なマーキングを可能にしたマスクと、このマスクを用い
たガラスへのマーキング方法を提供することを目的とす
る。
[課題を解決するための手段]
上記の目的を遠戚するために、この請求項(1)におけ
るマスクは、金属製の基板部と、マーキングしようとす
るパターンに形成された金属製のメツシュ部とからなる
ものであり、また請求項(2)におけるマーキング方法
は、TEA−Co2レーザ発振装置から発振されたレー
ザ光を前記マスクに照射し、このマスクを透過したレヲ
ザ光をガラスの表面に結像させるものである。
るマスクは、金属製の基板部と、マーキングしようとす
るパターンに形成された金属製のメツシュ部とからなる
ものであり、また請求項(2)におけるマーキング方法
は、TEA−Co2レーザ発振装置から発振されたレー
ザ光を前記マスクに照射し、このマスクを透過したレヲ
ザ光をガラスの表面に結像させるものである。
[作用]
上記のマスクを用いれば、剥離するガラスの塊の大きさ
はメツシュ部の網の目の大きさにより制限されて小さな
ものとなり、マーキングされたパターンは鮮明なものと
なる。
はメツシュ部の網の目の大きさにより制限されて小さな
ものとなり、マーキングされたパターンは鮮明なものと
なる。
[実施例]
第2図はこの発明の一実施例であるT E A −CO
tレーザによるマーキングを行う装置の説明図である。
tレーザによるマーキングを行う装置の説明図である。
第2図において、lはT E A−Co2レーザ発振装
置、2はこのT E A−co2レーザ発振装置lから
のレーザ光をワークの方向に反射する折返しミラー、3
aは金属製の基板部、3bはマーキングしようとするパ
ターンに形成された金属製のメツシュ部、4はこの基板
部3a、メツシュ部3bを有するマスクである。5はこ
のマスク4からのパターン像を結像させるためのメニス
カスレンズ、6はマーキングしようとするガラスからな
るワーク、7はマーキングされるパターンである。
置、2はこのT E A−co2レーザ発振装置lから
のレーザ光をワークの方向に反射する折返しミラー、3
aは金属製の基板部、3bはマーキングしようとするパ
ターンに形成された金属製のメツシュ部、4はこの基板
部3a、メツシュ部3bを有するマスクである。5はこ
のマスク4からのパターン像を結像させるためのメニス
カスレンズ、6はマーキングしようとするガラスからな
るワーク、7はマーキングされるパターンである。
第2図の装置において、T E A−CO2レーザ発振
装置lから発振されたT E A−Cotレーザは折返
しミラー2で反射し、マスク4のメツシュ部3bを透過
して、メニスカスレンズ5によってワーク6のガラス表
面にパターン7となって結像する。
装置lから発振されたT E A−Cotレーザは折返
しミラー2で反射し、マスク4のメツシュ部3bを透過
して、メニスカスレンズ5によってワーク6のガラス表
面にパターン7となって結像する。
このマーキングの方法ては、ガラス表面のパターン7を
形成しようとする部分にメツシュ状のレーザ光を照射す
ると、その照射された部分と照射されない部分とで熱歪
みか細かく生じ、その後、その歪んだ部分をブラッシン
グすることにより多少の衝撃か与えられ、レーザ光照射
が行われた部分の表面のガラスが小さな破片となって剥
離される。
形成しようとする部分にメツシュ状のレーザ光を照射す
ると、その照射された部分と照射されない部分とで熱歪
みか細かく生じ、その後、その歪んだ部分をブラッシン
グすることにより多少の衝撃か与えられ、レーザ光照射
が行われた部分の表面のガラスが小さな破片となって剥
離される。
第2図の実施例では、メツシュ部3bを通過したレーザ
光のみによってパターン7が形成されることになるので
、レーザ光照射により剥離されるガラスの塊の大きさは
、大きな結晶の部分でも、第3図(イ)に示すように大
きくなることはなく、第3図(ロ)の如く、小さな塊の
みが飛散してできたくぼみにより、スリガラス状のパタ
ーン7が形成される。即ち、レーザ光をマスク4に照射
した時、マスク4上に、形成されているメツシュ部3b
の網の目の線によって、ガラス表面の熱歪みが細かくか
かることにより剥離されるガラス粒子の大きさは、メツ
シュ部3bの網の目の大きさにほぼ制限されて小さなも
のとなり、鮮明なパターンが得られる。第3図は金属製
のメツシュ部の像がガラス表面に結像された場合のガラ
スの飛散状態を説明するための図である。
光のみによってパターン7が形成されることになるので
、レーザ光照射により剥離されるガラスの塊の大きさは
、大きな結晶の部分でも、第3図(イ)に示すように大
きくなることはなく、第3図(ロ)の如く、小さな塊の
みが飛散してできたくぼみにより、スリガラス状のパタ
ーン7が形成される。即ち、レーザ光をマスク4に照射
した時、マスク4上に、形成されているメツシュ部3b
の網の目の線によって、ガラス表面の熱歪みが細かくか
かることにより剥離されるガラス粒子の大きさは、メツ
シュ部3bの網の目の大きさにほぼ制限されて小さなも
のとなり、鮮明なパターンが得られる。第3図は金属製
のメツシュ部の像がガラス表面に結像された場合のガラ
スの飛散状態を説明するための図である。
第1図はこの発明の実施例のマスクの詳細を示す平面図
である。
である。
第1図のマスク4は金属製の基板部3aと、マーキング
しようとするパターンに形成されたメツシュ部3bとか
らなり、このマスク4の製作にはフォトエツチングやレ
ーザな用いる方法等が可使である。
しようとするパターンに形成されたメツシュ部3bとか
らなり、このマスク4の製作にはフォトエツチングやレ
ーザな用いる方法等が可使である。
以下、その製作方法の一例として、フォトエツチングに
よる場合について説明する。
よる場合について説明する。
まず、マスクとなるべき金属製基板の両面の表面全体に
感光剤を塗布し、さらにその感光剤の表面に金属の細線
を格子(網)状に張付けた後、このマスクの両面にマー
キングしたいパターンの形状で光を照射する0次に、先
に張付けた金属の細線を除去して後、酸液等で洗浄する
と、メツシュの像の中にパターン部分が蝕刻されて打抜
かれ、第1図に示すようなマスク4が形成される。
感光剤を塗布し、さらにその感光剤の表面に金属の細線
を格子(網)状に張付けた後、このマスクの両面にマー
キングしたいパターンの形状で光を照射する0次に、先
に張付けた金属の細線を除去して後、酸液等で洗浄する
と、メツシュの像の中にパターン部分が蝕刻されて打抜
かれ、第1図に示すようなマスク4が形成される。
尚、薄い基板であれば片面たけても打抜きできる。
上記実施例として、具体的には、ワークとしては窓ガラ
ス等に使われている青板を用い、lショットが10Jo
ul/cm”以上のエネルギーのレーザ光を照射してマ
ーキングを行った。そして、フォトエツチングにより製
作するメツシュ部3bの網の目の大きさとしてはワーク
であるガラスの材質によっても異なるが、剥離される塊
の大きさの直径が0.1〜0.2□になるようにメツシ
ュ部3bの網の目の大きさ(開口率)を決めた。また、
照射するレーザのショツト数も、ワークであるガラスの
材質に応して決まるものであるので、それに応じてショ
ツト数を決めた。
ス等に使われている青板を用い、lショットが10Jo
ul/cm”以上のエネルギーのレーザ光を照射してマ
ーキングを行った。そして、フォトエツチングにより製
作するメツシュ部3bの網の目の大きさとしてはワーク
であるガラスの材質によっても異なるが、剥離される塊
の大きさの直径が0.1〜0.2□になるようにメツシ
ュ部3bの網の目の大きさ(開口率)を決めた。また、
照射するレーザのショツト数も、ワークであるガラスの
材質に応して決まるものであるので、それに応じてショ
ツト数を決めた。
また、t51図の実施例において、レーザのビーム整形
用に、折返しミラー2とマスク4との間にシリンドリカ
ルレンズのようなビーム整形レンズを設けても良い。
用に、折返しミラー2とマスク4との間にシリンドリカ
ルレンズのようなビーム整形レンズを設けても良い。
[発明の効果]
以上説明したとおり、この発明のマスクは、金属製の基
板部と、マーキングしようとするパターンに形成された
金属製のメツシュ部とからなるのて、マーキングのため
に剥離されるガラスの塊の大きさはメツシュ部の網の目
の大きさによって制限されて小さくなるので、鮮明なパ
ターンが形成される。
板部と、マーキングしようとするパターンに形成された
金属製のメツシュ部とからなるのて、マーキングのため
に剥離されるガラスの塊の大きさはメツシュ部の網の目
の大きさによって制限されて小さくなるので、鮮明なパ
ターンが形成される。
第1図はこの発明の実施例のマスクの詳細を示す平面図
、第2図はこの発明の一実施例であるT E A−CO
□レーザによるマーキングを行う装置の説明図、第3図
は金属製のメツシュ部の像かガラス表面に結像された場
合のガラスの飛散状態を説明するための図、第4図はT
E A−CO□レーザの照射を受けて塊状に飛散した
ガラスの表面の説明図で、同図(イ)はパターンrHJ
の文字がマーキングされた状態、同図(ロ)は同図(イ
)のパターンの斜線部分を拡大した図である。 図中。 1:TEA−Co□レーザ発振装置 2:折返しミラー 3a:金属製の基板部 3b:メツシュ部 4:マスク5:メニスカス
レンズ 6:ワーク 7:パターン
、第2図はこの発明の一実施例であるT E A−CO
□レーザによるマーキングを行う装置の説明図、第3図
は金属製のメツシュ部の像かガラス表面に結像された場
合のガラスの飛散状態を説明するための図、第4図はT
E A−CO□レーザの照射を受けて塊状に飛散した
ガラスの表面の説明図で、同図(イ)はパターンrHJ
の文字がマーキングされた状態、同図(ロ)は同図(イ
)のパターンの斜線部分を拡大した図である。 図中。 1:TEA−Co□レーザ発振装置 2:折返しミラー 3a:金属製の基板部 3b:メツシュ部 4:マスク5:メニスカス
レンズ 6:ワーク 7:パターン
Claims (2)
- (1)金属製の基板部と、マーキングしようとするパタ
ーンに形成された金属製のメッシュ部とからなることを
特徴とするレーザマーキング用のマスク。 - (2)TEA−CO_2レーザ発振装置から発振された
レーザ光を、請求項(1)に記載のマスクに照射し、該
マスクを透過したレーザ光をガラスの表面に結像させる
ことを特徴とするガラスへのマーキング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33835589A JP2795941B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33835589A JP2795941B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199143A true JPH03199143A (ja) | 1991-08-30 |
| JP2795941B2 JP2795941B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=18317374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33835589A Expired - Fee Related JP2795941B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2795941B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601857A1 (en) * | 1992-12-09 | 1994-06-15 | Menicon Co., Ltd. | Method of marking an ophthalmic lens |
| WO2003022505A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Cardinal Ig Company | Laser etching indicia apparatus |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP33835589A patent/JP2795941B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601857A1 (en) * | 1992-12-09 | 1994-06-15 | Menicon Co., Ltd. | Method of marking an ophthalmic lens |
| WO2003022505A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Cardinal Ig Company | Laser etching indicia apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2795941B2 (ja) | 1998-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0195777B1 (en) | Formation of features in optical material | |
| TW312082B (ja) | ||
| JPH0351514B2 (ja) | ||
| JP3208730B2 (ja) | 光透過性材料のマーキング方法 | |
| CN87106576A (zh) | 激光划线装置和方法 | |
| US5221422A (en) | Lithographic technique using laser scanning for fabrication of electronic components and the like | |
| JPH11156568A (ja) | 透明材料のマーキング方法 | |
| JPH03199143A (ja) | マスク及びマスクを用いたガラスへのマーキング方法 | |
| JP2002372641A (ja) | 光導波路の製造方法、光導波路および波長変換デバイス | |
| JP2000312983A (ja) | レーザマーキング方法 | |
| JP2002365461A (ja) | 光導波路の製造方法、光導波路および波長変換デバイス | |
| JPH06155920A (ja) | マーキング方法 | |
| JPH03199142A (ja) | ガラスへのマーキング方法 | |
| JP3849272B2 (ja) | 水晶基板のエッチング方法 | |
| JP2795954B2 (ja) | ガラスへのマーキング方法 | |
| JP3412416B2 (ja) | ガラスマーキング方法 | |
| JP2795953B2 (ja) | ガラスへのマーキング方法 | |
| JP3797702B2 (ja) | ガラス基材のレーザ加工方法、この方法によって得られる回折格子及びマイクロレンズアレイ | |
| JP2004306127A (ja) | 薄膜パターニング加工方法 | |
| JPS60260393A (ja) | 微細パターンの光加工方法 | |
| JPS5923512A (ja) | 半導体ウエハ−のレ−ザマ−キング方法 | |
| JP3797703B2 (ja) | ガラス基材のレーザ加工方法 | |
| JP2004354535A (ja) | 光学媒質の光入出射部処理方法 | |
| JP4344629B2 (ja) | 金型クリーニング方法 | |
| JP2004351746A (ja) | レーザ走査によるガラスの描画方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080626 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090626 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |