JPH03199907A - 貫通孔の大きさを測定するための方法と装置 - Google Patents
貫通孔の大きさを測定するための方法と装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＝３＝
＝４＝
本発明は、工作物にエネルギビーム、特にレーザビーム
によって形成された高精度の貫通孔の大きさを穿孔中に
測定するための方法であって、各貫通孔が連続する複数
のエネルギパルスによって形成される形式のもの、及び
工作物にエネルギビーム、特にレーザビームによって形
成された高精度の貫通孔の大きさを穿孔中に測定するた
めの装置に関する。
によって形成された高精度の貫通孔の大きさを穿孔中に
測定するための方法であって、各貫通孔が連続する複数
のエネルギパルスによって形成される形式のもの、及び
工作物にエネルギビーム、特にレーザビームによって形
成された高精度の貫通孔の大きさを穿孔中に測定するた
めの装置に関する。
ドイツ連邦共和国特許出願第１７９０１２８号公報によ
り工作物、特に時計石にレーザビームを用いて貫通孔を
形成する方法及び装置は公知であり、この場合に各貫通
孔は連続する複数のパルスを用いて拡大され、パルスの
焦点が孔軸に対して横方向にずらされる。所望の孔直径
は、個別のエネルギパルスの焦点の偏心距離を形成しよ
うとす貫通孔の孔軸に関連して相応に調節することによ
って、形成する貫通孔の孔軸に対してリング状に作用す
る個別のエネルギパルスによってあらかじめ正確に規定
される。このために有利には焦点を光学的な軸に対して
横方向へずらすための運動可能な光学的な手段を備えた
光学系が用いられる。この公知の方法においては、パル
スの数及び強さが孔直径、工作物厚さ、材料特性、及び
ほかのパラメータに関連して経験的に求められねばなら
ない。
り工作物、特に時計石にレーザビームを用いて貫通孔を
形成する方法及び装置は公知であり、この場合に各貫通
孔は連続する複数のパルスを用いて拡大され、パルスの
焦点が孔軸に対して横方向にずらされる。所望の孔直径
は、個別のエネルギパルスの焦点の偏心距離を形成しよ
うとす貫通孔の孔軸に関連して相応に調節することによ
って、形成する貫通孔の孔軸に対してリング状に作用す
る個別のエネルギパルスによってあらかじめ正確に規定
される。このために有利には焦点を光学的な軸に対して
横方向へずらすための運動可能な光学的な手段を備えた
光学系が用いられる。この公知の方法においては、パル
スの数及び強さが孔直径、工作物厚さ、材料特性、及び
ほかのパラメータに関連して経験的に求められねばなら
ない。
前記公知技術に対し、特許請求の範囲第１項に記載の本
発明に基づく方法においては利点として、貫通孔のその
つどの大きさが加工過程中に連続的に適当な測定値に変
換され、この測定値がパルス時間若しくはパルス強さを
制御若しくは調整するため並びにエネルギビームを中断
する若しくはエネルギ源を遮断するために用いられる。
発明に基づく方法においては利点として、貫通孔のその
つどの大きさが加工過程中に連続的に適当な測定値に変
換され、この測定値がパルス時間若しくはパルス強さを
制御若しくは調整するため並びにエネルギビームを中断
する若しくはエネルギ源を遮断するために用いられる。
これによって、所定の大きさの貫通孔を、所定の時間内
で厚さ及び特性の異なる材料に形成することができ、こ
の場合エネルギ供給が貫通孔の目標大きさの達成された
際に自動的に中断される。測定値は本発明に基づき所定
のコスタントな圧力で工作物の穿孔箇所に供給されて貫
通孔を流過する流体から求められる。これによってわず
かな費用で、溶接、ろう付け、切断若しくはパーフォレ
ーションにおいて公知であって工作物の反射されたビー
ムに関連したレーザの出力制御とは逆に、エネルギビー
ム及びエネルギビームの作用に影響されない著しく正確
な結果が得られる。公知の制御出力においてはビームの
所定の強さの達成された後にレーザが遮断され若しくは
レーザビームがカバーによって中断される。
で厚さ及び特性の異なる材料に形成することができ、こ
の場合エネルギ供給が貫通孔の目標大きさの達成された
際に自動的に中断される。測定値は本発明に基づき所定
のコスタントな圧力で工作物の穿孔箇所に供給されて貫
通孔を流過する流体から求められる。これによってわず
かな費用で、溶接、ろう付け、切断若しくはパーフォレ
ーションにおいて公知であって工作物の反射されたビー
ムに関連したレーザの出力制御とは逆に、エネルギビー
ム及びエネルギビームの作用に影響されない著しく正確
な結果が得られる。公知の制御出力においてはビームの
所定の強さの達成された後にレーザが遮断され若しくは
レーザビームがカバーによって中断される。
特許請求の範囲第２項から第９項に本発明の有利な方法
が記載しである。貫通孔を流過する流体から適当な測定
値を導き出すために、単位時間当たりの流量が貫通孔の
下流側に接続された流量測定器によって検出されかつ評
価される。別の有利な方法では、測定値が流体の穿孔中
に生じる圧力降下に基づいて高感度の圧力センサを用い
て貫通孔のそのつどの大きさの関数として求められる。
が記載しである。貫通孔を流過する流体から適当な測定
値を導き出すために、単位時間当たりの流量が貫通孔の
下流側に接続された流量測定器によって検出されかつ評
価される。別の有利な方法では、測定値が流体の穿孔中
に生じる圧力降下に基づいて高感度の圧力センサを用い
て貫通孔のそのつどの大きさの関数として求められる。
流体は有利にはガス若しくは混合気、若しくは特にビー
ム誘導されたプラズマへ影響を及ぼす保護ガスである。
ム誘導されたプラズマへ影響を及ぼす保護ガスである。
レーザビームを用いて材料を加工する際にビーム出力が
高い場合にはプラズマが形式され、このプラズマはレー
ザ光の吸収に基づき工作物へのエネルギ伝達を阻止する
。吸収に重要な役割を果たす電子を無害にするために、
加工箇所がヘリウム若しくは別の適当な保護ガスで負荷
される。
高い場合にはプラズマが形式され、このプラズマはレー
ザ光の吸収に基づき工作物へのエネルギ伝達を阻止する
。吸収に重要な役割を果たす電子を無害にするために、
加工箇所がヘリウム若しくは別の適当な保護ガスで負荷
される。
本発明の方法を実施するために本発明に基づく装置にお
いては、工作物を受容するための圧密に閉鎖可能な圧力
室を設けてあり、圧力室に穿孔箇所を負荷する流体のた
めの流入通路及び流出通路が接続されており、圧力室が
ビーム源に向いた端部をエネルギビームのための透過可
能な材料から威るカバーによって圧密に閉じられている
。本発明の有利な構成では圧力室内に感圧式のセンサを
配置してあり、センサの出力信号が目標値発信器によっ
て生ぜしめられた信号と比較されるようになっている 次ぎに図面を用いて本発明の実施例を具体的に説明する
。
いては、工作物を受容するための圧密に閉鎖可能な圧力
室を設けてあり、圧力室に穿孔箇所を負荷する流体のた
めの流入通路及び流出通路が接続されており、圧力室が
ビーム源に向いた端部をエネルギビームのための透過可
能な材料から威るカバーによって圧密に閉じられている
。本発明の有利な構成では圧力室内に感圧式のセンサを
配置してあり、センサの出力信号が目標値発信器によっ
て生ぜしめられた信号と比較されるようになっている 次ぎに図面を用いて本発明の実施例を具体的に説明する
。
図面には公知形式のレーザ１を示してあり、レザは唯一
の波長の平行ビーム束２を生ぜしめる。平行ビーム束２
は垂直な管３を通過している。管はモータで調節可能な
光学的な個別の部材（図示せず）を備えており、この光
学的な部材はレーザビームを所定の焦点Ｐに集中させる
ようになっており、焦点は加工しようとする工作物４の
端部に位置している。実施例では工作物４は面板であり
、この面板に、集中されたレーザビームを用いて所定の
大きさの貫通孔が形成される。面板状の工作物４は燃料
噴射ノズルの構成部分であって、この場合には高強度の
金属材料若しくはセラミック材料から戒っている管３は
調節可能な光学系を有しており、この光学系を用いてレ
ーザビームの焦点Ｐが貫通孔の孔軸と合致する光学的な
軸５に対して横に移動させられる。各貫通孔は密接に束
ねられたレーザビームの複数のパルスによって形式され
、レーザビームパルスの直径は加工終了の後の貫通孔の
目標直径よりも小さくなっている。有利には１つのレー
ザビームパルス若しくは連続の複数のビームパルスを用
いて工作物４の孔面の範囲のに目標直径よりも小さな直
径の中心貫通孔が形成される。次いでこの中心貫通孔が
該中心貫通孔の周囲に沿って目標直径に合わせて別のレ
ーザビームパルスをかけることによって拡大される。個
々のビームパルスの焦点は孔軸に対して同心的に１つの
円に若しくは１つの螺旋に沿って順次にずらされる。特
に中心貫通孔を形式した後のパルスの焦点は一様に若し
くは孔軸に対して点対称に分配される。必要なビームパ
ルスの数及びビームパルスのエネルギは、形式しようと
する孔の直径に応じて種々に選ばれこの場合少なくとも
加工の開始時にはエネルギの増大したビームパルスで加
工が行われる。
の波長の平行ビーム束２を生ぜしめる。平行ビーム束２
は垂直な管３を通過している。管はモータで調節可能な
光学的な個別の部材（図示せず）を備えており、この光
学的な部材はレーザビームを所定の焦点Ｐに集中させる
ようになっており、焦点は加工しようとする工作物４の
端部に位置している。実施例では工作物４は面板であり
、この面板に、集中されたレーザビームを用いて所定の
大きさの貫通孔が形成される。面板状の工作物４は燃料
噴射ノズルの構成部分であって、この場合には高強度の
金属材料若しくはセラミック材料から戒っている管３は
調節可能な光学系を有しており、この光学系を用いてレ
ーザビームの焦点Ｐが貫通孔の孔軸と合致する光学的な
軸５に対して横に移動させられる。各貫通孔は密接に束
ねられたレーザビームの複数のパルスによって形式され
、レーザビームパルスの直径は加工終了の後の貫通孔の
目標直径よりも小さくなっている。有利には１つのレー
ザビームパルス若しくは連続の複数のビームパルスを用
いて工作物４の孔面の範囲のに目標直径よりも小さな直
径の中心貫通孔が形成される。次いでこの中心貫通孔が
該中心貫通孔の周囲に沿って目標直径に合わせて別のレ
ーザビームパルスをかけることによって拡大される。個
々のビームパルスの焦点は孔軸に対して同心的に１つの
円に若しくは１つの螺旋に沿って順次にずらされる。特
に中心貫通孔を形式した後のパルスの焦点は一様に若し
くは孔軸に対して点対称に分配される。必要なビームパ
ルスの数及びビームパルスのエネルギは、形式しようと
する孔の直径に応じて種々に選ばれこの場合少なくとも
加工の開始時にはエネルギの増大したビームパルスで加
工が行われる。
図面から明らかなように、工作物４のために運動可能な
閉鎖ブロック６内に工作物受容部を設けてあり、工作物
受容部が工作物を垂直方向及び水平方向にレーザビーム
の軸５に対してセンタリングして固定する。工作物受容
部は閉鎖ブロック６内に形式された垂直貫通孔７及びこ
の垂直貫通孔７内に固定されたスリーブ８の端面によっ
て構成されており、この場合垂直貫通孔の直径は工作物
４の外径に合わせられている閉鎖ブロック６は装入位置
と閉鎖位置との間で垂直方向に運動可能に配置されてい
る。閉鎖ブロックの装入位置では、貫通孔の形式されて
いない工作物４が上側から工作物受容部７．８内に装入
される。閉鎖位置では閉鎖ブロック６が定置のブロック
９の下面に接触していて、ブロック内に形式された圧力
室ｌＯを圧密に閉鎖している。
閉鎖ブロック６内に工作物受容部を設けてあり、工作物
受容部が工作物を垂直方向及び水平方向にレーザビーム
の軸５に対してセンタリングして固定する。工作物受容
部は閉鎖ブロック６内に形式された垂直貫通孔７及びこ
の垂直貫通孔７内に固定されたスリーブ８の端面によっ
て構成されており、この場合垂直貫通孔の直径は工作物
４の外径に合わせられている閉鎖ブロック６は装入位置
と閉鎖位置との間で垂直方向に運動可能に配置されてい
る。閉鎖ブロックの装入位置では、貫通孔の形式されて
いない工作物４が上側から工作物受容部７．８内に装入
される。閉鎖位置では閉鎖ブロック６が定置のブロック
９の下面に接触していて、ブロック内に形式された圧力
室ｌＯを圧密に閉鎖している。
圧力室１０は実施例では垂直貫通孔７及び光学的な軸５
に対して同心的に延びる垂直孔から戊っており、この垂
直孔は管３に向いた端部をレーザビームの通過可能な材
料から成る窓１１によって圧密に閉じられている。この
ためにブロックにねじ結合可能な圧力リング１２を設け
てあり、この圧力リングが窓１１を部分的にブロック９
内に埋め込まれたシールリング１３に圧着している。
に対して同心的に延びる垂直孔から戊っており、この垂
直孔は管３に向いた端部をレーザビームの通過可能な材
料から成る窓１１によって圧密に閉じられている。この
ためにブロックにねじ結合可能な圧力リング１２を設け
てあり、この圧力リングが窓１１を部分的にブロック９
内に埋め込まれたシールリング１３に圧着している。
圧力室ｌＯは逆の側からそのつど工作物受容部７，８内
に存在する工作物４によって閉じられており、工作物は
閉鎖ブロック６の閉鎖位置では、中央に開口１５を備え
かつ定置のブロック９にねじ固定されたシールプレート
１４に圧着されている。
に存在する工作物４によって閉じられており、工作物は
閉鎖ブロック６の閉鎖位置では、中央に開口１５を備え
かつ定置のブロック９にねじ固定されたシールプレート
１４に圧着されている。
ブロック９は、圧力室１０内に開口する２つの横孔１６
，１７を有している。上側の横孔１６には圧力発生機（
図示せず）、例えばポンプを接続してあり、この圧力発
生機は流体、特に保護ガスを圧力室１０内に供給する。
，１７を有している。上側の横孔１６には圧力発生機（
図示せず）、例えばポンプを接続してあり、この圧力発
生機は流体、特に保護ガスを圧力室１０内に供給する。
圧力室と圧力発生機との間に配置された減少弁１８が圧
力室内へ流入する流体の圧力を所定のコンスタントな値
に維持する。
力室内へ流入する流体の圧力を所定のコンスタントな値
に維持する。
横孔１７内には圧力センサ１９を配置してあり、この圧
力センサがそのつどの圧力室・充填圧力を検出する。圧
力センサ１９の出力信号の実際値がコンパレータ２０に
供給されるようになっており、コンパレータが目標値発
信器２１１１ ２− に接続されている。実際値と目標値との差信号が導線２
２を介してレーザｌに配属された制御切換回路２３に記
憶される。
力センサがそのつどの圧力室・充填圧力を検出する。圧
力センサ１９の出力信号の実際値がコンパレータ２０に
供給されるようになっており、コンパレータが目標値発
信器２１１１ ２− に接続されている。実際値と目標値との差信号が導線２
２を介してレーザｌに配属された制御切換回路２３に記
憶される。
前述の装置の作業形式は次の通りである：圧力室１０が
閉じられかつ未加工の工作物４が装着されている場合に
、圧力発生機を接続した後に減少弁１８及び横孔１６を
介して流体、特に保護ガスが圧力室１０内に流入する。
閉じられかつ未加工の工作物４が装着されている場合に
、圧力発生機を接続した後に減少弁１８及び横孔１６を
介して流体、特に保護ガスが圧力室１０内に流入する。
減少弁１８が圧力室１０内へ流入する流体の単位時間当
たりの流量をコンスタントに保ち、かつ圧力室内の所定
の充填圧力に達すると流体の流入を遮断する。
たりの流量をコンスタントに保ち、かつ圧力室内の所定
の充填圧力に達すると流体の流入を遮断する。
次いでレーザ１が接続され、工作物４内に連続的に複数
のエネルギーパルスをかけることによって正確に規定さ
れた大きさの貫通孔が形式される。このために最初のビ
ームパルス若しくは連続的なビームパルスを用いて目標
直径よりも直径の小さい中心貫通孔を形式して、次いで
この中心貫通孔が焦点を管３の適当な調節によって孔軸
に対して横方向へずらされる別のレーザパルスを用いて
目標大きさに拡大されるようになっている。このような
処置形式及びこれに必要な手段はドイツ連邦共和国特許
出願公開第１９７１２８号公報に記載されている。
のエネルギーパルスをかけることによって正確に規定さ
れた大きさの貫通孔が形式される。このために最初のビ
ームパルス若しくは連続的なビームパルスを用いて目標
直径よりも直径の小さい中心貫通孔を形式して、次いで
この中心貫通孔が焦点を管３の適当な調節によって孔軸
に対して横方向へずらされる別のレーザパルスを用いて
目標大きさに拡大されるようになっている。このような
処置形式及びこれに必要な手段はドイツ連邦共和国特許
出願公開第１９７１２８号公報に記載されている。
工作物４が穿孔されると、圧力室１０内の圧力降下が生
じる。それというのは減少弁１８を介して供給される流
体量が工作物に形式された貫通孔及びスリーブ８を介し
て逃がされる流体量よりも小さいからである。圧力降下
は、貫通孔の大きさの増大に伴って著しくなる。圧力降
下は圧力センサ１９によって検出され、電気信号として
コンパレータ２０に伝えられる。貫通孔の拡大に伴って
圧力センサからの電気信号の値が目標値発信器２１によ
ってコンパレータ２０内に記憶されている信号の値に近
付く。両方の信号の差が所定の値０になると、レーザ１
が制御切換回路２３を介して遮断される。
じる。それというのは減少弁１８を介して供給される流
体量が工作物に形式された貫通孔及びスリーブ８を介し
て逃がされる流体量よりも小さいからである。圧力降下
は、貫通孔の大きさの増大に伴って著しくなる。圧力降
下は圧力センサ１９によって検出され、電気信号として
コンパレータ２０に伝えられる。貫通孔の拡大に伴って
圧力センサからの電気信号の値が目標値発信器２１によ
ってコンパレータ２０内に記憶されている信号の値に近
付く。両方の信号の差が所定の値０になると、レーザ１
が制御切換回路２３を介して遮断される。
圧力センサ１９によって圧力室内の圧力降下の関数とし
て生ぜしめられる信号を連続的に若しくは時間的な間隔
を置いて目標値発信器２１の目標値信号と比較し、穿孔
過程中にパルスエネルギを強める若しくは弱めてレーザ
出力を調整することも可能である。このことは例えば、
厚さ若しくは材料特性の異なる工作物を順次に加工した
い場合に行なわれる。
て生ぜしめられる信号を連続的に若しくは時間的な間隔
を置いて目標値発信器２１の目標値信号と比較し、穿孔
過程中にパルスエネルギを強める若しくは弱めてレーザ
出力を調整することも可能である。このことは例えば、
厚さ若しくは材料特性の異なる工作物を順次に加工した
い場合に行なわれる。
正圧を用いて加工する代わりに、横孔１６に接続された
適当なポンプによって圧力室ｌＯ内に所定の大きさの負
圧が生ぜしめられてもよい。圧力室内の負圧はスリーブ
１８の周囲の圧力に対して降下する。圧力降下はセンサ
によって検出され、出力制御若しくはレーザビーム中断
のための回路装置を介して評価される。
適当なポンプによって圧力室ｌＯ内に所定の大きさの負
圧が生ぜしめられてもよい。圧力室内の負圧はスリーブ
１８の周囲の圧力に対して降下する。圧力降下はセンサ
によって検出され、出力制御若しくはレーザビーム中断
のための回路装置を介して評価される。
貫通孔のそのつどの大きさの評価可能な測定値は選択的
に流体の単位時間当たりの流量によって得られる。この
ために圧力室ｌＯ内に流量測定器２４を配置してあり、
流量測定器は出力側でレーザ１の調整回路２３に接続さ
れている。流量測定器は流体の正圧に基づく圧力室から
の流体の流出量を検出するように若しくは流体の負圧に
基づく圧力室内への周囲空気の流入量を検出するように
構成されている。重要なことは、所定のコンスタントな
圧力で工作物の穿孔箇所に供給され貫通孔を通過する流
体の流量を検出することである。
に流体の単位時間当たりの流量によって得られる。この
ために圧力室ｌＯ内に流量測定器２４を配置してあり、
流量測定器は出力側でレーザ１の調整回路２３に接続さ
れている。流量測定器は流体の正圧に基づく圧力室から
の流体の流出量を検出するように若しくは流体の負圧に
基づく圧力室内への周囲空気の流入量を検出するように
構成されている。重要なことは、所定のコンスタントな
圧力で工作物の穿孔箇所に供給され貫通孔を通過する流
体の流量を検出することである。
流体としては有利には保護ガス、例えばヘリウムが用い
られ、イオンと電子との再結合が高められて、プラズマ
内の電子密度が減少せしめられる。このようなプラズマ
は周知のように放射エネルギの一部を吸収してかつ工作
物を発生するレーザビームに対して遮蔽する。遮蔽はプ
ラズマが工作物表面から分離することによって行われる
。プラズマの遮蔽作用は、貫流する残留ビームが工作物
において熔融若しくは蒸発過程を維持しておくためには
十分でない程度に大きい。
られ、イオンと電子との再結合が高められて、プラズマ
内の電子密度が減少せしめられる。このようなプラズマ
は周知のように放射エネルギの一部を吸収してかつ工作
物を発生するレーザビームに対して遮蔽する。遮蔽はプ
ラズマが工作物表面から分離することによって行われる
。プラズマの遮蔽作用は、貫流する残留ビームが工作物
において熔融若しくは蒸発過程を維持しておくためには
十分でない程度に大きい。
る。
ｌ・・・レーザ、２・・・平行ビーム束、３・・・管、
４・・・工作物、５・・・軸、６・・・閉鎖ブロック、
７・・・垂＝１５ ＝１６＝
４・・・工作物、５・・・軸、６・・・閉鎖ブロック、
７・・・垂＝１５ ＝１６＝
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、工作物にエネルギビームによつて形成された高精度
の貫通孔の大きさを穿孔中に測定する方法であって、各
貫通孔が連続する複数のエネルギパルスによって形成さ
れる形式のものにおいて、測定値を所定のコンスタント
な圧力で工作物（４）の穿孔箇所に供給されて貫通孔を
流過する流体から取り出すことを特徴とする、貫通孔の
大きさを測定するための方法。 ２、測定値を流体の単位時間当たりの流量から貫通孔の
そのつどの大きさの関数として取り出す請求項１記載の
方法。 ３、測定値を流体の穿孔中に生じる圧力降下に基づき貫
通孔のそのつどの大きさの関数として取り出す請求項１
記載の方法。 ４、流体としてガス若しくは混合気を用いる請求項１か
ら３のいずれか１項記載の方法。５、ガスとしてビーム
誘導されたプラズマへ影響を及ぼすための保護ガスを用
いる請求項４記載の方法。 ６、工作物（４）の穿孔箇所の範囲に所定のコンスタン
トな負圧を生ぜしめ、穿孔中に生じる圧力降下を貫通孔
のそのつどの大きさの関数として測定して評価する請求
項１から５のいずれか１項記載の方法。 ７、工作物（４）の穿孔箇所の範囲に所定のコンスタン
トな負圧を生ぜしめ、穿孔中に大気圧に対して生じる圧
力降下を貫通孔のそのつどの大きさの関数として測定し
て評価する請求項１から４のいずれか１項記載の方法。 ８、穿孔中の圧力降下を目標値と比較し、これによって
生ぜしめられた所定の大きさの差信号をエネルギビーム
の中断のために用いる請求項６又は７記載の方法。 ９、穿孔中の圧力降下を所定の時間間隔で複数回、大き
さの異なる目標値と比較し、これによって生ぜしめられ
た差信号をエネルギビームの出力制御のために評価する
請求項６又は７記載の方法。 １０、工作物にエネルギビームによって形成された高精
度の貫通孔の大きさを穿孔中に測定するための装置にお
いて、工作物（４）のための圧密に閉鎖可能な圧力室（
１０）を設けてあり、圧力室に穿孔箇所を負荷する流体
のための流入通路（１６）及び流出通路（１７）が接続
されており、圧力室がビーム源に向いた端部をエネルギ
ビームのための透過可能な材料から成る窓（１１）によ
って圧密に閉じられていることを特徴とする、貫通孔の
大きさを測定するための装置。 １１、圧力室（１０）が窓（１１）と逆の側を、加工し
ようとする工作物（４）によって圧密に閉鎖可能である
請求項１０記載の装置。 １２、工作物受容部（７、８）が運動可能な閉鎖ブロッ
ク（６）内に設けられており、閉鎖ブロックが工作物（
４）の装着の後に圧力室（１０）の窓（１１）と逆の側
に接触されて圧力室を圧密に閉鎖するようになっている
請求項１０又は１１記載の装置。 １３、圧力室（１０）が内実の材料から成るブロック（
９）の孔として形成されており、該ブロックが流体を供
給するための別の少なくとも１つの孔（６）を有してい
る請求項１０から１２のいずれか１項記載の装置。 １４、圧力室（１０）内に感圧式のセンサ（１９）を配
置してあり、センサの出力信号が目標値発信器（２１）
によって生ぜしめられた信号と比較されるようになって
いる請求項１０から１３のいずれか１項記載の装置。 １５、閉鎖ブロック（６）の孔（７）内に工作物（４）
の貫通孔を流過する流体の量を検出する流量測定器（２
４）を配置してあり、流量測定器の出力信号がレーザ（
１）を制御若しくは遮断するために評価されるようにな
っている請求項１２又は１３記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3942299A DE3942299C2 (de) | 1989-12-21 | 1989-12-21 | Verfahren und Vorrichtung zum laufenden Messen der Größe von Durchgangsbohrungen |
| DE3942299.2 | 1989-12-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199907A true JPH03199907A (ja) | 1991-08-30 |
| JP3037404B2 JP3037404B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=6396023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2330959A Expired - Fee Related JP3037404B2 (ja) | 1989-12-21 | 1990-11-30 | 貫通孔の大きさを測定するための方法と装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5089685A (ja) |
| JP (1) | JP3037404B2 (ja) |
| DE (1) | DE3942299C2 (ja) |
| GB (1) | GB2239206B (ja) |
| IT (1) | IT1243966B (ja) |
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| WO2015071729A1 (en) | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Laser machining method and laser machining apparatus |
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- 1989-12-21 DE DE3942299A patent/DE3942299C2/de not_active Expired - Fee Related
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- 1990-10-29 US US07/606,067 patent/US5089685A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-11-30 JP JP2330959A patent/JP3037404B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| DE3942299A1 (de) | 1991-07-04 |
| JP3037404B2 (ja) | 2000-04-24 |
| DE3942299C2 (de) | 1995-04-27 |
| GB2239206B (en) | 1993-12-15 |
| IT1243966B (it) | 1994-06-28 |
| US5089685A (en) | 1992-02-18 |
| IT9022286A1 (it) | 1991-06-22 |
| IT9022286A0 (it) | 1990-12-04 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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