JPH03200628A

JPH03200628A - フローティング搬送装置

Info

Publication number: JPH03200628A
Application number: JP1344399A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kato; 隆司加藤
Original assignee: Shin Meiva Industry Ltd
Current assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Priority date: 1989-12-28
Filing date: 1989-12-28
Publication date: 1991-09-02
Anticipated expiration: 2011-02-28
Also published as: JPH0818679B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ワークをフローティング状態で搬送するフロ
ーティング搬送装置に関するものである。

（従来の技術）従来より、クリーンルームでＩＣやディスク等を製造す
る場合、ＩＣの基板となるウェハーやディスク材料を工
程間で搬送することがあり、このような搬送に使用され
る搬送装置として、従来、ベルト式のコンベア装置が知
られている。このベルト式コンベア装置は、工程間に同
行式の複数本のベルトを掛は渡し、この同行するベルト
上にワークとしてのウェハー等を載置して搬送する周知
構造のものである。

（発明が解決しようとする課題）ところが、このベルト式コンベア装置は、ウェハー等を
ベルト上に載置する構造であるので、ベルト上のダスト
がウェハー等の下面に付着するのは避けられ得ない。こ
のため、このダストの付着によりＩＣやディスク等の品
質が悪影響を受けるという問題がある。

本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもので、その目的
は、ウェハーやディスク等、ダストの付着が問題となる
ワークを発塵なく搬送できるようにすることにある。

（課題を解決するための手段）上記の目的を達成すべく、請求項（１）に係る発明では
、ウェハーやディスク等のワークをエア吹出しによる非
接触状態で搬送するようにすることにより、ワークへの
ダストの付着を回避するようにした。

すなわち、この発明では、各々、エアの吹出しによりワ
ークを非接触状態で吸引する複数の吸引器をワーク搬送
方向に並設するとともに、該各吸引器の搬送方向左右両
側に、ワークの左右方向の移動を規制するガイドを配置
してワーク搬送路を設ける。さらに、上記搬送路に、ワ
ークに対し搬送方向後側に向かう推力を与える推力付与
手段を設ける。

また、請求項（２）に係る発明では、上記推力付与手段
を、具体的に、吸引器に対応して複数設けられたエアブ
ロ−装置とし、該エアブロ−装置からのエアの吹出しに
よりワークを搬送方向後側に移動させるように構成する
。

さらに、請求項（３）に係る発明では、ワーク搬送路に
沿って搬送されるワークが通過したことを検出するワー
ク検出手段を配設し、該ワーク検出手段によりワークの
通過が検出されたときに、ワーク検出手段よりも前側の
吸引器及びエアブロ−装置からのエアの吹出しを停止さ
せるように制御する制御手段を設ける。

（作用）上記の構成により、請求項（１）に係る発明では、ワー
クは吸引器の各々からのエアの吹出しにより吸引されて
ワーク搬送路内で非接触状態（フローティング状態）に
保持される。そして、ワーク搬送路にはワークの左右方
向の移動を規制するガイドが設けられているため、推力
付与手段の作動に伴ってワークはワーク搬送路から左右
に飛び出すことなく後方に移動し、このことによりワー
クが非接触状態で搬送される。従って、ワークにダスト
が付着する問題は解消され、ワークを無発塵状態で搬送
することができる。

また、請求項（２）に係る発明では、推力付与手段は、
エアブロ−装置からのエア吹出しによりワークを移動さ
せるものであるため、ワークを非接触状態で後方に移動
させることができ、発塵の低減により有利である。

さらに、請求項（３）に係る発明では、ワーク搬送路に
沿ってワークが搬送されるとき、そのワークの通過がワ
ーク検出手段によって検出され、この検出手段に出力を
受けた制御手段により、ワーク検出手段よりも前側に位
置する吸引器及びエアブロ−装置からのエアの吹出しが
停止する。すなわち、これら各吸引器ないしエアブロ−
装置はワーク通過後のワーク搬送路に位置していてワー
クの吸引ないし推力付与に寄与しないものであり、この
吸引器及びエアブロ−装置からのエアの吹出しを停止さ
せることによって、エネルギーの消費を低減することが
できる。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図及び第２図は本発明の実施例に係るフローティン
グ搬送装置の全体構成を示しており、この搬送装置は例
えばディスク等のワークＷを前側（図で左側）から後側
（同右側）にフローティング状態で搬送するものである
。図において、１はワークＷを供給するワーク供給側テ
ーブル、２はワークＷを受は取るワーク受給側テーブル
である。

この両テーブル１．２間の上方にはワーク搬送方向（図
では左右方向）に水平に延びる搬送路形成部材３が配設
され、搬送路形成部材３は長手方向に分割された複数の
分割ユニットを組み合わせてなり、その下面の左右方向
（図で紙面と直交する方向）の幅はワークＷの外径より
も若干大とされている。また、搬送路形成部材３には複
数の吸弓器４，４．・・・が前後方向に等間隔をあけて
一列に並設されている。この各吸引器４は、搬送路形成
部材３下面に開口してエアを下方に吹き出すエア吹出口
５を有しており、このエア吹出口５からエアを吹き出さ
せることで、ワークＷをエアのベルヌーイ効果により非
接触状態で吸引するものである。そして、これらの吸引
器４．４．・・・は搬送路形成部材３の分割ユニット毎
に所定数（図では５つ）でグループ化され、各グループ
の吸引器４゜４、・・・のエア吹出口５，５．・・・は
まとめられて１本のエア吹出管６に接続され、このエア
吹出管６は図外のエア供給源に接続されている。また、
上記各エア吹出管６には開閉弁７が配設されており、開
閉弁７を開閉することで、グループの吸引器４゜４、・
・・の各々を同時に作動又は作動停止させるようにして
いる。

また、第３図にも示すように、搬送路形成部材３の左右
側面には下部を搬送路形成部材３の下面よりも下方に延
長した板状のガイド８，８が取り付けられており、各吸
引器４によって吸引されたワークＷが左右方向に移動す
るのを両ガイド８８により規制するようにしている。そ
して、この搬送路形成部材３の吸引器４．４．・・・及
びガイド８．８によりワークＷを後方に搬送するワーク
搬送路９が構成されている。

搬送路形成部材３にはエアブロ−通路１０，１０、・・
・が形成されている。この各エアブロ−通路１０の下流
部分は対応する吸引器４の左右両側を下方に向かって後
方（図で右方）に向かうように斜めに貫通し、その各々
の下流端は搬送路形成部材３下面において吸引器４の吹
出口５の左右両側に開口しており、この下流端開口から
エアを搬送路９内に向けて後側斜め下方に吹き出させる
ようにしている。これらのエアブロ−通路１０，１０゜
・・・は吸引器４．４．・・・のグループに対応して所
定数毎にグループ化され、各グループのエアブロ−通路
１０，１０．・・・の上流端はまとめられて１本のエア
吹出管１１に接続され、このエア吹出管１１は上記エア
供給源に接続されている。また、上記エア吹出管１１に
は開閉弁１２が配設されており、開閉弁１２を開閉する
ことで、グループのエアブロ−通路１０．　１０．・・
・からのエアの吹出し又は吹出停止を同時に切り換える
ようにしている。

また、搬送路形成部材３の前端にはエアシリンダからな
る前側の吸引器昇降シリンダ１５がブラケット１４を介
して取り付けられている。この昇降シリンダ１５は、下
方に延びるピストンロッド１５ａを有し、該ピストンロ
ッド１５ａの下端（先端）には昇降体１６が固定されて
いる。この昇降体１６の後端には上記ワーク供給側テー
ブル１の真上に対応する位置に、上記搬送路９の各吸引
器４と同様のエア吹出口１８を有する吸引器１７がエア
吹出管１９を介して垂設され、この吸引器１７は、シリ
ンダ１５の収縮により昇降体１６が上昇端位置にあると
きに上記搬送路９の各吸引器４と同じ高さ位置に停止す
るようになっている。

また、上記エア吹出管１９はエア供給源に接続され、そ
の途中には開閉弁２０が配設されており、シリンダ１５
の伸長により昇降体１６が下降端位置に位置付けられた
とき、開閉弁２０を開弁して吸引器１７のエア吹出口１
８からエアを吹き出させることにより、ワーク供給側テ
ーブル１上のワークＷを非接触状態で吸引するようにし
ている。

上記昇降体１６の前後中間部には上下方向のシリンダ軸
線を有するガイド昇降シリンダ２１が取り付けられ、こ
のシリンダ２１のピストンロッド２１ａ下端には、上記
昇降体１６下方のエア吹出管１９周りに同心状に配置さ
れたリング２２が固定され、このリング２２には円筒網
状のガイド２３が取り付けられており、シリンダ２１が
伸長状態にあるときに、上記吸引器１７で吸引されたワ
ークＷの側方への移動をガイド２３により規制するよう
にしている。

また、昇降体１６の前端にはエアブローノズル２４が取
り付けられ、このエアブロ−ノズル２４の上流端は開閉
弁２５を介してエア供給源に接続されている。エアブロ
−ノズル２４は昇降体１６から下方に垂下され、下部は
後方に彎曲して水平に延び、その後端には上記吸引器１
７に吸引されたワークＷの外周前縁に向かってエアを吹
き付けるエア吹出口２４ａが形成されている。

この大地例では、上記搬送路形成部材３のエアブロ−通
路１０，１０．・・・及びエアブロ−ノズル２４により
、吹き出されたエア流でワークＷに対し後方に向かう推
力を与えるようにした推力付与装置１３がｔＭ　ｂＸさ
れている。

上記搬送路形成部材３の後端には上記前側の吸引器昇降
シリンダ１５と同様の構成を持った後側の吸引器昇降シ
リンダ２８がブラケット２７を介して取り付けられてい
る。この昇降シリンダ２８は下方に延びるピストンロッ
ド２８ａを有し、このピストンロッド２８ａの下端には
昇降体２つが固定されている。この昇降体２９には、上
記ワーク受給側テーブル２の真上に対応する前端位置に
上記と同様の吸引器３０がエア吹出管３２を介して垂設
され、この吸引器３０は、シリンダ２８の収縮により昇
降体２つが上昇端位置にあるときに上記搬送路９の各吸
引器４と同じ高さ位置に停止するようになっている。ま
た、上記エア吹出管３２は開閉弁３３を介してエア供給
源に接続されており、シリンダ２８の収縮によって昇降
体２つが上昇端位置に位置付けられたときに、吸引器３
０のエア吹出口３１からエアを吹き出させることにより
、ワーク搬送路９の後端から搬出されたワークＷを受は
取って非接触状態で吸引保持するとともに、シリンダ２
８の伸長により昇降体２９を下降させ、その下降端位置
で開閉弁３３を閉弁して吸引器３０からのエア吹出しを
停止することにより、ワーク受給側テーブル２上にワー
クＷを載置するようにしている。

そして、昇降体２つの前後中間には上下方向のシリンダ
軸線を有するガイド昇降シリンダ３４が取り付けられ、
このシリンダ３４のピストンロッド３４ａ下端には、昇
降体２９下方のエア吹出管３２周りに同心状に配置され
たリング３５が固定され、このリング３５には円筒網状
のガイド３６が取り付けられており、シリンダ３４が伸
長状態にあるときに、上記吸引器３０で吸引されたワー
クＷの側方への移動をガイド３６で規制するようにして
いる。

第４図に示すように、上記各開閉弁７，１２゜２０．２
５．３３は制御装置３７により開閉制御されるように構
成されている。この制御装置３７には、ワーク搬送路９
に沿って搬送されるワークＷか通過したことを検出する
ため複数（０個：ｅは整数）のワーク通過確認用センサ
Ｓ１〜Ｓ＃の出力信号が人力されている。すなわち、上
記搬送路形成部材３において吸引器４．４．・・・の各
グループの前側にはそれぞれ搬送路形成部材３の下面に
開口するセンサ取付孔３８，３８．・・・が形成され、
この各取付孔３８には所定高さ位置にワークＷの近接に
よって出力信号が変化するワーク通過確認用センサＳ１
〜Ｓ、−１が嵌装されている。また、上記後側の昇降シ
リンダ２８を支持するブラケット２７には上記と同様の
ワーク通過確認用センサＳ、が垂設されている。これら
のセンサＳ１〜Ｓ、は、ワークＷが搬送路９を搬送され
、又は搬送路９から搬出されたときに各センサＳ１〜Ｓ
、の位置を通過すると、出力信号の変化によりワークＷ
の通過を検出するようにしている。

そして、制御装置３７では、上記センサＳ１〜Ｓ、の出
力信号（エア吹出停止信号）を受けて所定の開閉弁７，
１２，２０．３３を閉弁し、ワークＷの通過を検出した
センサＳ１〜Ｓ、よりも搬送路９の前側に位置する吸引
器１７又はグループの吸引器４，４．・・・と、エアブ
ロ−ノズル２４又はエアブロ−通路１０とにそれぞれ連
通ずる開閉弁２０，２５，７．１２を閉じて、吸引器１
７゜４及びエアブロ−ノズル２４又はエアブロ−通路１
０からのエアの吹出しを停止するようにしている。

尚、第１図では吸引器１７．４から吹き出されるエアブ
ロ−をＡ。、Ａ１．・・・にて、またエアブロ−ノズル
２４及びエアブロ−通路１０から吹き出されるエアブロ
−をＢ。、Ｂ１．・・・にてそれぞれ示しており、セン
サＳ１〜Ｓ、の出力信号によって停止するエアブロ−を
示すと以下の表のようになる。

次に、上記フローティング搬送装置のワーク搬送作動に
ついて説明する。

作動開始状態では、前側及び後側の吸引器昇降シリンダ
１５．２８はいずれも収縮していて、昇降体１６．２９
が上昇端位置にある。また、前側昇降体１６のガイド昇
降シリンダ２１は伸長していて、ガイド２３が下降端位
置にあり、一方、後側昇降体２９の同シリンダ３４は収
縮していて、ガイド３６は上昇端位置にある。この状態
から、先ず、第１図に示す如く、前側の吸引器昇降シリ
ンダ１５が伸長して昇降体１６が下降し、その下降端位
置で吸引器１７がワーク供給側テーブル１のワークＷの
真上位置に近接停止する。次いで、開閉弁２０が開いて
、エア供給源から供給されたエアが上記吸引器１７のエ
ア吹出口１８から吹き出され、この吸引器１７からの吹
出エアのベルヌーイ効果によりワークＷが吸引器１７に
一定間隔をあけた非接触状態で持ち上げられる。

この後、上記シリンダ１５が収縮して昇降体１６が上昇
し、これに伴って吸引器１７がワークＷを吸引したまま
上昇する。その際、ワークＷは吸引器１７により非接触
状態で吸引されているので、通常の構造ではワークＷが
側方に飛び出す虞れがあるが、この実施例では、シリン
ダ２１の伸長によりガイド２３がワークＷの周りに配置
されているため、ワークＷの側方移動がガイド２３によ
って規制され、よってワークＷが側方に飛び出すことは
ない。

そして、昇降体１６が上昇端位置に達すると、ワークＷ
はワーク搬送路９と同じ高さ位置に停止し、次いで、開
閉弁７．３３が開いて、エア供給源から供給されたエア
がワーク搬送路９における各吸引器４及び後側の吸引器
昇降シリンダ２８の吸引器３０のエア吹出口５，３１か
ら吹き出されるとともに、開閉弁１２が開弁じてエアが
各エアブロ−通路１０の下流端開口からワーク搬送路９
内に後側斜め下方に向けて吹き出される。しかる後、第
２図で実線にて示す如く、開閉弁２５が開いてエアブロ
−ノズル２４におけるエア吹出口２４ａからエアが吹き
出され、それと同時に、上記ガイド昇降シリンダ２１が
収縮する。そのため、ワークＷの後側はガイド２３によ
る規制がなくなり、ワークＷはエアブロ−ノズル２４か
らのエアにより後方に押されて搬送路９の前端（始端）
に進入する。この搬送路９では、その吸引器４，４゜・
・・の各々からエアが吹き出されているため、この吹出
エアのベルヌーイ効果によりワークＷが各吸引器４に一
定間隔をあけた非接触状態で吸引されるとともに、エア
ブロ−通路１０．１０．・・・の下流端開口からの吹出
エアによりワークＷが後方へ押される。このことにより
ワークＷはワーク搬送路９内をフローティング状態で搬
送される。

そのとき、搬送路９の左右側方にはガイド８゜８が配置
されているため、フローティング状態にあるワークＷが
左右側方に飛び出そうとしても、それはガイド８，８に
よって規制されることとなり、ワークＷを確実に搬送す
ることができる。

ワーク搬送路９の後端（終端）に達したワークＷはワー
ク搬送路９から引き続いて後側昇降シリンダ２８の吸引
器３０下方に移動し、ガイド３６によりワークＷの側方
及び後方が規制され、吸引器３０からの吹出エアによる
吸引作用により非接触状態で吸引される。そして、この
吸引後、ガイド昇降シリンダ３４が伸長してガイド３６
がワークＷの周りを囲み、その状態で吸引器昇降シリン
ダ２８が伸長して昇降体２つが下降する。そのとき、ワ
ークＷの水平移動がガイド３６によって規制されるので
、ワークＷの飛出しが規制される。

昇降体２９が下降端位置に停止すると、開閉弁３３が閉
弁して吸引器３０からのエアの吹出しが停止し、その吸
引効果に消失によりワークＷはワーク受給側テーブル２
上に移載される。以上で、１つのワークＷに対する搬送
動作が終了し、以後、各ワークＷについて同様の動作が
繰り返される。

このような搬送動作中、ワークＷがセンサＳ１〜Ｓ、の
位置を通過すると、該センサＳ１〜Ｓ。

からエア吹出停止信号となる信号が出力され、この信号
を受けた制御装置３７により、センサＳ１〜Ｓ、よりも
前側にある吸引器１７．４及び推力付与装置１３のエア
ブロ−ノズル２４又はエアブロ−通路１０に連通ずる開
閉弁２０，７，２５゜１２が閉弁されて、その吸引器１
７，４及びエアブロ−ノズル２４又はエアブロ−通路１
０からのエアの吹出しが停止する。具体的には、ワーク
搬送路９の前端位置にあるセンサＳ１がワークＷの通過
を検出したとき、開閉弁２０．２５が閉じて前側昇降シ
リンダ１５の吸引器１７及びエアブロ−ノズル２４から
のエア吹出しが停止する。また、搬送路９の前端から２
番目以降にあるセンサＳ２〜Ｓ、−１がワークＷの通過
を検出したときには、同様にして、開閉弁７．１２が閉
弁して、該センサＳ２〜Ｓｓ−＋直前に位置するグルー
プの吸引器４．４．・・・及び該グループに対応するエ
アブロ−通路１０，１０．・・・からのエア吹出しが停
止する。

さらに、後側ブラケット２７上のセンサＳ、によるワー
クＷの通過の検出により、開閉弁７．１２が閉じて搬送
路９後端に位置するグループの吸引器４．４．・・・及
びエアブロ−通路１０．　１０．・・・からのエア吹出
しが停止する。このようにセンサ位置よりも前側、換言
すればワークＷの吸引及びその搬送移動のための使用が
終了した不要の吸引器１７．４及びエアプローノズル２
４又はエアプロー通路１０からのエアの吹出しが停止さ
れるので、エアの吹出しに伴うエネルギーロスを低減す
ることができる。

また、この実施例では、ワークＷの搬送移動をエアブロ
−によって行うため、ワークＷを機械的に押す場合のよ
うにワークＷと他の部材と接触がなく、発塵を低減する
ことができる。

（発明の効果）以上説明したように、請求項（１）に係る発明によると
、エアの吹出しによりワークを非接触状態で吸引する複
数の吸引器を前後方向に並設するとともに、該各吸引器
の左右側方に、ワークの左右方向の移動を規制するガイ
ドを配置してワーク搬送路を設け、この搬送路に、ワー
クに対し後方に向かう推力を与える推力付与手段を設け
たので、ワークを非接触状態によりダストを付着させる
ことなく無発塵状態で連続搬送することができ、延いて
はワーク品質の向上に寄与することができる。

また、請求項（２）に係る発明によると、上記推力付与
手段を、エアブロ−装置からのエアの吹出しによりワー
クを搬送方向後側に移動させるように構成したので、ワ
ークを非接触状態で後方に移動させることができ、発塵
の低減により有利である。

さらに、請求項（３）に係る発明によれば、上記ワーク
搬送路に沿って搬送されるワークが通過したことを検出
するワーク検出手段を配設し、該ワーク検出手段により
ワークの通過が検出されたときに、ワーク検出手段より
も前側の吸引器及びエアブロ−装置からのエアの吹出し
を停止させるようにしたことにより、ワークの吸引ない
し後方への移動に不要な吸引器及びエアブロ−装置を休
止させることができ、エネルギー消費を低減することが
できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は供給側テーブル
上のワークを吸引保持する状態を示すフローティング搬
送装置の要部断面図、第２図は同搬送開始前の状態を示
す第１図相当図、第３図は第１図の■−■線断面図、第
４図は制御系統のブロック図である。４．１７．３０・・・吸引器８．２３．３６・・・ガイド９・・・ワーク搬送路１０・・・エアブロ−通路１３・・・推力付与装置２４・・・エアブロ−ノズル３７・・・制御装置Ｓ１〜Ｓ、・・・ワーク通過確認センサ（ワーク検出手
段）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ワークをフローティング状態で搬送する搬送装置
であって、ワーク搬送方向に並設され、各々エアの吹出しによりワ
ークを非接触状態で吸引する複数の吸引器と、該各吸引
器のワーク搬送方向左右両側に配設され、ワークの左右
方向の移動を規制するガイドとからなるワーク搬送路を
備えるとともに、上記搬送路に設けられ、ワークに対し搬送方向後側に向
かう推力を与える推力付与手段を備えてなることを特徴
とするフローティング搬送装置。
（２）推力付与手段は、吸引器に対応して複数設けられ
たエアブロー装置からなり、該エアブロー装置からのエ
アの吹出しによりワークを後方に移動させるように構成
されていることを特徴とする請求項（１）記載のフロー
ティング搬送装置。
（３）ワーク搬送路に沿って搬送されるワークが通過し
たことを検出するワーク検出手段と、該ワーク検出手段
によりワークの通過が検出されたときに、ワーク検出手
段よりも前側の吸引器及びエアブロー装置からのエアの
吹出しを停止させるように制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とする請求項（２）記載のフローティング搬
送装置。