JPH03201354A - Ｘ線イメージ管 - Google Patents
Ｘ線イメージ管Info
- Publication number
- JPH03201354A JPH03201354A JP33928589A JP33928589A JPH03201354A JP H03201354 A JPH03201354 A JP H03201354A JP 33928589 A JP33928589 A JP 33928589A JP 33928589 A JP33928589 A JP 33928589A JP H03201354 A JPH03201354 A JP H03201354A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- mask
- ray image
- envelope
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- X-Ray Techniques (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はイメージセンサの分野で利用される。
本発明はＸ線イメージ管に関し、とくにその陽極部の改
良に関する。
良に関する。
（ロ）従来技術
一般に、Ｘ線イメージ管、例えばＸ線蛍光増幅管は第２
図に示すように構成され、主としてガラスよりなる真空
外囲器１０の入力側内部には、入力面１４が配設され、
出力側内部には、陽極１８が配設されると共に、出力面
２０が配設されている。 また、真空外囲器１０内の側
壁に集束電極ｌ′Ｉ３が沿設されている。 なお、１２
は入力窓である。
図に示すように構成され、主としてガラスよりなる真空
外囲器１０の入力側内部には、入力面１４が配設され、
出力側内部には、陽極１８が配設されると共に、出力面
２０が配設されている。 また、真空外囲器１０内の側
壁に集束電極ｌ′Ｉ３が沿設されている。 なお、１２
は入力窓である。
Ｘ線源から放射されたＸ線は被写体を透過して入力面１
４に入射する。 この入射面１４により被写体による透
過Ｘ線像は光電子像に変換され、さらにこの光電子像は
陽極１８、集束電極１６により加速、集束され、出力面
２０に入射して光電子像が可視像に変換される。
４に入射する。 この入射面１４により被写体による透
過Ｘ線像は光電子像に変換され、さらにこの光電子像は
陽極１８、集束電極１６により加速、集束され、出力面
２０に入射して光電子像が可視像に変換される。
ところで、出力面２０は図示例のように真空外囲器１０
の後部より構成されていたが、これでは出力面２０の発
光の反射が多く、コントラストが悪い。 このため、近
年では出力面を形成する基板を真空気密窓として別体の
ものを用い、これを支持するために窓支持環を必要とし
たＸ線イメージ管が開発されており、そのうち特開昭６
４−７６６４５号公報に開示されたものが第４図に図示
されている。
の後部より構成されていたが、これでは出力面２０の発
光の反射が多く、コントラストが悪い。 このため、近
年では出力面を形成する基板を真空気密窓として別体の
ものを用い、これを支持するために窓支持環を必要とし
たＸ線イメージ管が開発されており、そのうち特開昭６
４−７６６４５号公報に開示されたものが第４図に図示
されている。
この図面において、２４が真空気密窓、２６が窓支持環
ないしコバールリング、２２は出力蛍光体層であり、窓
支持環２６が２つにより構成されており、その１つは真
空外囲器１０に接続され、他のものは真空気密窓２４と
接続されている。
ないしコバールリング、２２は出力蛍光体層であり、窓
支持環２６が２つにより構成されており、その１つは真
空外囲器１０に接続され、他のものは真空気密窓２４と
接続されている。
ところで、前記特許公開公報は出力面の改良について、
いわゆる真空気密型Ｘ線イメージ管を提案しているが、
陽極とくにアノードを光電子の軌道を規制するマスクと
の関係からどのように構成ないし固定するかについて言
及していない。
いわゆる真空気密型Ｘ線イメージ管を提案しているが、
陽極とくにアノードを光電子の軌道を規制するマスクと
の関係からどのように構成ないし固定するかについて言
及していない。
真空気密型Ｘ線イメージ管以前のもの、つまり出力面を
真空外囲器（バルブ）の後部により構成したものについ
ては、従来例として第２図、第３図のものが存在する。
真空外囲器（バルブ）の後部により構成したものについ
ては、従来例として第２図、第３図のものが存在する。
第２図の図示例では、矢視８Ａのところでバルブ１０の
ネック部とアノード１８間にばね板を入れてアノード１
８を固定している。
ネック部とアノード１８間にばね板を入れてアノード１
８を固定している。
第３図の図示例では、集束電極１８ｂよりセラミック棒
１８ｄをつるし、アノード１８ａはセラミック棒１８ｄ
により固定されている。 また、光電子の軌道を規制す
るマスク１８ｃはアノード１８ａの内部に入れられて固
定されている。
１８ｄをつるし、アノード１８ａはセラミック棒１８ｄ
により固定されている。 また、光電子の軌道を規制す
るマスク１８ｃはアノード１８ａの内部に入れられて固
定されている。
このような従来例については、アノード１８ａは電子レ
ンズの一部として入力面側からの光電子線を結像させる
部分として使われており、またマスク１８ｃはアノード
１８ａの内部に入れられ、結像部以外で光る不要な散乱
電子線などによる画像をとり除く手段として使われてい
る。
ンズの一部として入力面側からの光電子線を結像させる
部分として使われており、またマスク１８ｃはアノード
１８ａの内部に入れられ、結像部以外で光る不要な散乱
電子線などによる画像をとり除く手段として使われてい
る。
なお、第４図に示すような真空気密型Ｘ線イメージ管で
は、図示していないが、マスクは２つの支持環２６ａ、
２６ｂ間にはさみ込まれているらしい。
は、図示していないが、マスクは２つの支持環２６ａ、
２６ｂ間にはさみ込まれているらしい。
本発明の目的は、発光の反射が少ない出力面を構成する
真空気密窓を用いる型式において、集束電極及びマスク
との固定配置について組立て精度の高い、Ｘ線イメージ
管を提供することである。
真空気密窓を用いる型式において、集束電極及びマスク
との固定配置について組立て精度の高い、Ｘ線イメージ
管を提供することである。
（ニ）課題を解決するための手段
前記した目的は、真空外囲器内のＸ線入力側に入力面が
設けられ、出力側にアノードが配設され、また外囲器内
側壁に集束電極が沿設され、外囲器後部に出力面として
真空気密窓が用いられ、その内面に出力蛍光体層が形成
され、外囲器後部に接続された支持環と、真空気密窓を
支持するためのもう１つの支持環とを有するＸ線イメー
ジ管において、アノード形状の一部をなすマスクとして
これを外囲器接続の支持環内側壁とアノードの水平拡が
り部とを介して固定することにより、達成される。
設けられ、出力側にアノードが配設され、また外囲器内
側壁に集束電極が沿設され、外囲器後部に出力面として
真空気密窓が用いられ、その内面に出力蛍光体層が形成
され、外囲器後部に接続された支持環と、真空気密窓を
支持するためのもう１つの支持環とを有するＸ線イメー
ジ管において、アノード形状の一部をなすマスクとして
これを外囲器接続の支持環内側壁とアノードの水平拡が
り部とを介して固定することにより、達成される。
（ホ）作用
従来のマスクをアノードの延長としてその形状の一部と
して１１ｆ５Ｌさせる。 アノード形状の一部をなすマ
スクを真空気密窓ないしガラス出力端の窓支持体ないし
コパーリングを利用して固定する。
して１１ｆ５Ｌさせる。 アノード形状の一部をなすマ
スクを真空気密窓ないしガラス出力端の窓支持体ないし
コパーリングを利用して固定する。
このようなマスクに対して主たるアノード形状を連結、
固定する。
固定する。
（へ）実施例
本発明の好適な実施例は、図面に基づいて説明される。
第５図は従来例のものを示しており、アノード１８ａは
２つの支持環２６ａ、２６ｂの間にはさみ込むようにし
て固定されている。
２つの支持環２６ａ、２６ｂの間にはさみ込むようにし
て固定されている。
図中に１１．１２で示した電極間距離、電極間の同軸関
係が精密に保つことができないため、電子レンズの組立
て精度も上らないという問題を生じている。 精密に保
つことが全く不可能なわけでないが、そのような部品を
作ることは割高なコストがかかることになる。
係が精密に保つことができないため、電子レンズの組立
て精度も上らないという問題を生じている。 精密に保
つことが全く不可能なわけでないが、そのような部品を
作ることは割高なコストがかかることになる。
そこで、第１図は本発明の一実施例を示した要部断面図
である。
である。
本発明によれば、バルブ側支持環ないしコバーリング２
６ａに対してアノード形状の一部も兼ねるマスク１８０
′をねじ１８ｅにより固定して、集束電極１８ｂとの距
離Ｌ１を保ち、距離１１を一定にする。マスク側のねじ
孔はねじ軸より大きく余裕があり、マスク１８０′とア
ノード１８ａとを固定するときに同軸関係１２を一定に
保つようにする。
６ａに対してアノード形状の一部も兼ねるマスク１８０
′をねじ１８ｅにより固定して、集束電極１８ｂとの距
離Ｌ１を保ち、距離１１を一定にする。マスク側のねじ
孔はねじ軸より大きく余裕があり、マスク１８０′とア
ノード１８ａとを固定するときに同軸関係１２を一定に
保つようにする。
幸いにも、マスク１８０′の開孔と集束電極１８ｂの位
置間係は、集束電極１８ｂとアノード１８ａの位置関係
はどの精度を要求されないため、本発明の構成により電
子レンズのネｈ度ないしイメージ・インテンシファイア
の解像度を乱すことがない。 しかも、部品精度を一体
もの程に求められることもない。
置間係は、集束電極１８ｂとアノード１８ａの位置関係
はどの精度を要求されないため、本発明の構成により電
子レンズのネｈ度ないしイメージ・インテンシファイア
の解像度を乱すことがない。 しかも、部品精度を一体
もの程に求められることもない。
（ト）効果
本発明によれば、アノード部を主たるアノード部とアノ
ード部の一部形状を負担するマスク部との２つに分け、
それを組合わせることによりアノード部として機能を果
たすようにすることで、電極間相互の組立て精度、つま
り電子レンズとしての精度を容易に向上させることがで
きる。
ード部の一部形状を負担するマスク部との２つに分け、
それを組合わせることによりアノード部として機能を果
たすようにすることで、電極間相互の組立て精度、つま
り電子レンズとしての精度を容易に向上させることがで
きる。
第１図は本発明の１実施例を示した要部断面図、第２図
は一般のＸ線イメージ管の半断面図、第３図は集束電極
を有するＸ線イメージ管の破断要部断面図、第４図は真
空気密型式の要部断面図、第５図は従来例の要部断面図
である。 １８ａはアノード、１８ｂは集束電極、１８ｃはマスク
、１８ｅは固定ねじ、２２は出力蛍光体、２４は真空気
密窓ないしガラス基体、２６は支持環である。
は一般のＸ線イメージ管の半断面図、第３図は集束電極
を有するＸ線イメージ管の破断要部断面図、第４図は真
空気密型式の要部断面図、第５図は従来例の要部断面図
である。 １８ａはアノード、１８ｂは集束電極、１８ｃはマスク
、１８ｅは固定ねじ、２２は出力蛍光体、２４は真空気
密窓ないしガラス基体、２６は支持環である。
Claims (1)
- １、真空外囲器内のＸ線入力側に入力面が設けられ、出
力側にアノードが配設され、また外囲器内側壁に集束電
極が沿設され、外囲器後部に出力面として真空気密窓が
用いられ、その内面に出力蛍光体層が形成され、外囲器
後部に接続された支持環と、真空気密窓を支持するため
のもう１つの支持環とを有するＸ線イメージ管において
、アノード形状の一部をなすマスクとしてこれが外囲器
接続の支持環内側壁とアノードの水平拡がり部とを介し
て固定されていることを特徴とする、Ｘ線イメージ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33928589A JP2906501B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Ｘ線イメージ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33928589A JP2906501B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Ｘ線イメージ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201354A true JPH03201354A (ja) | 1991-09-03 |
| JP2906501B2 JP2906501B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=18326008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33928589A Expired - Lifetime JP2906501B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | Ｘ線イメージ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906501B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007095631A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Toshiba Corp | Ｘ線イメージ管 |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP33928589A patent/JP2906501B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007095631A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Toshiba Corp | Ｘ線イメージ管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2906501B2 (ja) | 1999-06-21 |
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