JPH03201355A - 大気圧イオン化質量分析装置 - Google Patents
大気圧イオン化質量分析装置Info
- Publication number
- JPH03201355A JPH03201355A JP1343540A JP34354089A JPH03201355A JP H03201355 A JPH03201355 A JP H03201355A JP 1343540 A JP1343540 A JP 1343540A JP 34354089 A JP34354089 A JP 34354089A JP H03201355 A JPH03201355 A JP H03201355A
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- Japan
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- chamber
- specimen
- ionization chamber
- ion
- ionization
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、大気圧イオン化（ＡＰＩ）イオン源で生成さ
れたイオンを導入して分析する質量分析装置に関する。
れたイオンを導入して分析する質量分析装置に関する。
［従来技術］
大気圧イオン化質量分析装置では、大気圧イオン化法、
例えば、コロナ放電によるイオン化法、ペニングイオン
化法、イオンスプレィによるイオン化法等により大気圧
またはそれに近い圧力下で生じたイオンを真空雰囲気中
にある質量分析部へ導入して質量分析している。
例えば、コロナ放電によるイオン化法、ペニングイオン
化法、イオンスプレィによるイオン化法等により大気圧
またはそれに近い圧力下で生じたイオンを真空雰囲気中
にある質量分析部へ導入して質量分析している。
従来、例えば針電極を用いたＡＰＩイオン源を備えた質
量分析装置は、第４図のような構造をしている。
量分析装置は、第４図のような構造をしている。
図において、１はＡＰＩイオン源でガラス製の筒体２、
コロナ放電室３、コロナ放電室３に設けられた針電極４
と試料ガス導入口５からなる。６はＡＰＩイオン源１に
ピンホールを有するコーン７を介して連通ずる中間排気
室である。この中間排気室６には、大気側から流入する
ガスや不要な溶媒を減少させるためのスキマー８と、導
入された試料イオンを収束、加速するレンズ系９が設け
られており、スキマー８で仕切られた部屋ａ、 ｂは
真空ポンプ１０ａ、１０ｂによって適宜な真空度に保た
れている。１１は高真空に維持されている質量分析部で
ある。
コロナ放電室３、コロナ放電室３に設けられた針電極４
と試料ガス導入口５からなる。６はＡＰＩイオン源１に
ピンホールを有するコーン７を介して連通ずる中間排気
室である。この中間排気室６には、大気側から流入する
ガスや不要な溶媒を減少させるためのスキマー８と、導
入された試料イオンを収束、加速するレンズ系９が設け
られており、スキマー８で仕切られた部屋ａ、 ｂは
真空ポンプ１０ａ、１０ｂによって適宜な真空度に保た
れている。１１は高真空に維持されている質量分析部で
ある。
このような構成において、試料ガスは例えばアルゴンガ
ス等のキャリアガスと共に試料ガス導入口５から放電室
３に導入される。そして、放電室３に設けられた針電極
４と図示しない対向電極との間で発生させたコロナ放電
によって、まずキャリアガス原子又はイオンが作成され
る。このようにして得られた励起されたキャリアガス原
子又はイオンは、試料をイオン化する。
ス等のキャリアガスと共に試料ガス導入口５から放電室
３に導入される。そして、放電室３に設けられた針電極
４と図示しない対向電極との間で発生させたコロナ放電
によって、まずキャリアガス原子又はイオンが作成され
る。このようにして得られた励起されたキャリアガス原
子又はイオンは、試料をイオン化する。
このようにして生成された試料イオンの一部は、コーン
７のピンホールを介して適宜な真空度に保たれている中
間排気室６に導入され、他の試料イオンは外部に流出す
る。試料イオンは、中間排気室６のスキマー８に開けら
れた開口と、中間排気室５に導入された試料イオンを収
束、加速するレンズ系９とを通り、質量分析部１１に導
入されて質量分析される。
７のピンホールを介して適宜な真空度に保たれている中
間排気室６に導入され、他の試料イオンは外部に流出す
る。試料イオンは、中間排気室６のスキマー８に開けら
れた開口と、中間排気室５に導入された試料イオンを収
束、加速するレンズ系９とを通り、質量分析部１１に導
入されて質量分析される。
［発明が解決しようとする問題点コ
前述した従来技術においては、試料ガス導入口から放電
室に導入された試料が、ＡＰＩイオン源によって全てイ
オン化されておらず、イオン化されていない試料分子が
試料イオンと共に中間排気室６に導入されていた。その
ため、試料によっては十分な測定感度を得ることができ
なかった。
室に導入された試料が、ＡＰＩイオン源によって全てイ
オン化されておらず、イオン化されていない試料分子が
試料イオンと共に中間排気室６に導入されていた。その
ため、試料によっては十分な測定感度を得ることができ
なかった。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、どの様な
試料でも十分な１ｌＦＩ定感度を得ることができるイオ
ン源を、簡単な構成で提供することを主な目的とするも
のである。
試料でも十分な１ｌＦＩ定感度を得ることができるイオ
ン源を、簡単な構成で提供することを主な目的とするも
のである。
［問題点を解決するための手段］
前記目的を達成するため、本発明の質量分析装置用イオ
ン源は、大気圧あるいはそれに近い圧力で動作する大気
圧イオン源で生成されたイオンを、大気圧イオン源にピ
ンホールを介して連通ずる中間排気室を介して質量分析
部に導入して質量分析するようにした大気圧イオン源質
量分析装置において、前記中間排気室内のイオン通路に
イオンがその内部を通過し得るようにイオン化室を設け
るように構成したことを特徴としている。
ン源は、大気圧あるいはそれに近い圧力で動作する大気
圧イオン源で生成されたイオンを、大気圧イオン源にピ
ンホールを介して連通ずる中間排気室を介して質量分析
部に導入して質量分析するようにした大気圧イオン源質
量分析装置において、前記中間排気室内のイオン通路に
イオンがその内部を通過し得るようにイオン化室を設け
るように構成したことを特徴としている。
［作用］
中間排気室内のイオン通路に、イオンがその内部を通過
できるようにイオン化室を設けて、イオン化されずに中
間排気室に導入されていた試料分子が、追加されたイオ
ン化室に導入されて、電子衝撃、化学イオン化等によっ
てイオン化されるようにした。
できるようにイオン化室を設けて、イオン化されずに中
間排気室に導入されていた試料分子が、追加されたイオ
ン化室に導入されて、電子衝撃、化学イオン化等によっ
てイオン化されるようにした。
［実施例］
以下本発明の実施例を添附図面に基づいて詳述する。
第１図は本発明の一実施例装置の要部を示した概略図で
ある。第１図中、第４図に示した従来例と同一の構成要
素には、同一の番号を付しである。
ある。第１図中、第４図に示した従来例と同一の構成要
素には、同一の番号を付しである。
第１図において、中間排気室６のスキマー８で仕切られ
た部屋すのイオン通路には、イオンがその内部を通過て
きる入射口１２と出射口１３を備えたイオン化室１４が
設けられている。このイオン化室１４にはフィラメント
１５から発生した電子線を内部に導入する開口１６が設
けられ、さらに、分析に必要なエネルギーを与える電圧
が印加されている。
た部屋すのイオン通路には、イオンがその内部を通過て
きる入射口１２と出射口１３を備えたイオン化室１４が
設けられている。このイオン化室１４にはフィラメント
１５から発生した電子線を内部に導入する開口１６が設
けられ、さらに、分析に必要なエネルギーを与える電圧
が印加されている。
この様な構成において、ＡＰＩイオン源から入射口１２
を介してイオン化室１４にイオン化されていない試料分
子が、試料イオンと共に導入される。このイオン化され
ていない試料分子が、フィラメント１５から発生させた
電子線によってイオン化され、前述した試料イオンと共
にイオン化室１４から抑し出され、質量分析部１１へ導
入されて質量分析される。
を介してイオン化室１４にイオン化されていない試料分
子が、試料イオンと共に導入される。このイオン化され
ていない試料分子が、フィラメント１５から発生させた
電子線によってイオン化され、前述した試料イオンと共
にイオン化室１４から抑し出され、質量分析部１１へ導
入されて質量分析される。
したがって、中間排気室のスキマー８で仕切られた部屋
すにイオン化室を設けて、ＡＰＩイオン源から入射口１
２を介してイオン化室に試料イオンと共に導入されたイ
オン化されていない試料分子が、電子衝撃によってイオ
ン化されるため、試料イオンが従来装置より増えてｔＰ
１定感度が向上する。
すにイオン化室を設けて、ＡＰＩイオン源から入射口１
２を介してイオン化室に試料イオンと共に導入されたイ
オン化されていない試料分子が、電子衝撃によってイオ
ン化されるため、試料イオンが従来装置より増えてｔＰ
１定感度が向上する。
第２図は本発明の他の一実施例装置の要部を示した概略
図である。第２図中、第４図に示した従来例と同一の構
成要素には、同一の番号を付しである。第２図において
、イオン化室１４にはフィラメント１５から発生した電
子線を内部に導入する開口１６と、導入管１７を介して
反応ガスを内部に導入する開口１８が設けられている。
図である。第２図中、第４図に示した従来例と同一の構
成要素には、同一の番号を付しである。第２図において
、イオン化室１４にはフィラメント１５から発生した電
子線を内部に導入する開口１６と、導入管１７を介して
反応ガスを内部に導入する開口１８が設けられている。
そして、イオン化室１４内にフィラメント１５から発生
させた電子線を開口１６を介して導入する。
させた電子線を開口１６を介して導入する。
次に開口１８から導入管１７を介して導入した反応ガス
を電子線によってイオン化させる。そして、第１図で述
べたと同様に、ＡＰＩイオン源から入射口１２を介して
イオン化室１４にイオン化されていない試料分子が、試
料イオンと共に導入される。このイオン化されていない
試料分子が、前述した電子線によりイオン化した反応ガ
スイオンとの化学反応によってイオン化され、前述した
試料イオンと共にイオン化室１４から押し出され、質量
分析部１１へ導入されて質量分析される。
を電子線によってイオン化させる。そして、第１図で述
べたと同様に、ＡＰＩイオン源から入射口１２を介して
イオン化室１４にイオン化されていない試料分子が、試
料イオンと共に導入される。このイオン化されていない
試料分子が、前述した電子線によりイオン化した反応ガ
スイオンとの化学反応によってイオン化され、前述した
試料イオンと共にイオン化室１４から押し出され、質量
分析部１１へ導入されて質量分析される。
尚、本実施例装置において、フィラメントにより発生さ
せた電子線で化学イオン化するようにしたが、フィラメ
ントの替りに、グロー放電発生装置を設けて、グロー放
電により化学イオン化させても良い。
せた電子線で化学イオン化するようにしたが、フィラメ
ントの替りに、グロー放電発生装置を設けて、グロー放
電により化学イオン化させても良い。
第３図は本発明の他の一実施例装置の要部を示した概略
図である。第３図では、イオン化室１９は入射口１２と
してスキマー８の開口を利用して構成されている。この
イオン化室１９にはフィラメント１５から発生した電子
線を内部に導入する開口１６が設けられている。
図である。第３図では、イオン化室１９は入射口１２と
してスキマー８の開口を利用して構成されている。この
イオン化室１９にはフィラメント１５から発生した電子
線を内部に導入する開口１６が設けられている。
尚、本実施例装置でも反応ガスを内部に導入する開口を
設けて、第２図の実施例装置と同様に化学イオン化によ
ってイオン化しても良い。又、グロー放電発生装置を設
けて、グロー放電により化学イオン化させても良い ［効果］ 以上詳述したように本発明によれば、中間排気室内のイ
オン通路に、イオンがその内部を通過できるようにイオ
ン化室を設けて、イオン化されずに中間排気室に導入さ
れていた試料分子が、追加されたイオン化室に導入され
て、電子衝撃、化学イオン化等によってイオン化される
ようにしたので、どの様な試料でも十分なａＰｊ定感度
を得ることができるイオン源を堤供することができる。
設けて、第２図の実施例装置と同様に化学イオン化によ
ってイオン化しても良い。又、グロー放電発生装置を設
けて、グロー放電により化学イオン化させても良い ［効果］ 以上詳述したように本発明によれば、中間排気室内のイ
オン通路に、イオンがその内部を通過できるようにイオ
ン化室を設けて、イオン化されずに中間排気室に導入さ
れていた試料分子が、追加されたイオン化室に導入され
て、電子衝撃、化学イオン化等によってイオン化される
ようにしたので、どの様な試料でも十分なａＰｊ定感度
を得ることができるイオン源を堤供することができる。
第１図は本発明の実施例装置の要部を示す概略図、第２
図は本発明の他の実施例装置の要部を示す概略図、第３
図は本発明の他の実施例装置の要部４図は従来例装置の
概略図で 部を示す概略図、 ある。 １：ＡＰＩイオン源 ３：コロナ放電室 ５：試料ガス導入口 ア：コーン ９：レンズ系 １１：質量分析部 １３：出射口 １４．１９：イオン化室 １５：フィラメント １６．１８：開口 ２：筒体 ４：針電極 ６：中間排気室 ８：スキマー １０：真空ポンプ １２：入射口 １７：導入管
図は本発明の他の実施例装置の要部を示す概略図、第３
図は本発明の他の実施例装置の要部４図は従来例装置の
概略図で 部を示す概略図、 ある。 １：ＡＰＩイオン源 ３：コロナ放電室 ５：試料ガス導入口 ア：コーン ９：レンズ系 １１：質量分析部 １３：出射口 １４．１９：イオン化室 １５：フィラメント １６．１８：開口 ２：筒体 ４：針電極 ６：中間排気室 ８：スキマー １０：真空ポンプ １２：入射口 １７：導入管
Claims (1)
- 大気圧あるいはそれに近い圧力で動作する大気圧イオン
源で生成されたイオンを、大気圧イオン源にピンホール
を介して連通する中間排気室を介して質量分析部に導入
して質量分析するようにした大気圧イオン化質量分析装
置において、前記中間排気室内のイオン通路にイオンが
その内部を通過し得るようにイオン化室を設けたことを
特徴とする大気圧イオン化質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1343540A JPH03201355A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 大気圧イオン化質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1343540A JPH03201355A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 大気圧イオン化質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201355A true JPH03201355A (ja) | 1991-09-03 |
Family
ID=18362311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1343540A Pending JPH03201355A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 大気圧イオン化質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03201355A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011053078A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Tokyo Institute Of Technology | プラズマを用いた検出方法および検出器 |
| JP2015515733A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-05-28 | レコ コーポレイションＬｅｃｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 高速応答を有する電子衝撃イオン源 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291494A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer |
| JPS5381289A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-18 | Hitachi Ltd | Ion-molecule reaction mass spectrometer |
| JPS60133648A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-16 | Shimadzu Corp | 誘導結合プラズマをイオン源とする質量分析装置 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP1343540A patent/JPH03201355A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291494A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer |
| JPS5381289A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-18 | Hitachi Ltd | Ion-molecule reaction mass spectrometer |
| JPS60133648A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-16 | Shimadzu Corp | 誘導結合プラズマをイオン源とする質量分析装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011053078A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Tokyo Institute Of Technology | プラズマを用いた検出方法および検出器 |
| JP2015515733A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-05-28 | レコ コーポレイションＬｅｃｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 高速応答を有する電子衝撃イオン源 |
| JP2017098267A (ja) * | 2012-04-26 | 2017-06-01 | レコ コーポレイションＬｅｃｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 高速応答を有する電子衝撃イオン源 |
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