JPH0320158U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0320158U JPH0320158U JP7952689U JP7952689U JPH0320158U JP H0320158 U JPH0320158 U JP H0320158U JP 7952689 U JP7952689 U JP 7952689U JP 7952689 U JP7952689 U JP 7952689U JP H0320158 U JPH0320158 U JP H0320158U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- protrusions
- thermal head
- substrate
- polycrystalline silicon
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
第1図はこの考案のサーマルヘツドの構成を示
す要部拡大断面図、第2図A〜Dはその製造工程
を示す各断面図である。 1……シリコン基板、2……発熱素子、6……
隆起部、7……発熱抵抗層、11……突起、12
……絶縁膜、20……多結晶シリコン層。
す要部拡大断面図、第2図A〜Dはその製造工程
を示す各断面図である。 1……シリコン基板、2……発熱素子、6……
隆起部、7……発熱抵抗層、11……突起、12
……絶縁膜、20……多結晶シリコン層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板上に多結晶シリコンよりなる発熱抵抗層を
形成してなるサーマルヘツドにおいて、 前記基板上に突起を形成し、この突起に絶縁膜
を方向性蒸着により山形状に披着し、この絶縁膜
上に前記発熱抵抗層を形成したことを特徴とする
サーマルヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952689U JPH0320158U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952689U JPH0320158U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320158U true JPH0320158U (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=31623759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7952689U Pending JPH0320158U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320158U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200814A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Meiji Milk Prod Co Ltd | チーズ包装機 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP7952689U patent/JPH0320158U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200814A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Meiji Milk Prod Co Ltd | チーズ包装機 |