JPH03202680A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH03202680A JPH03202680A JP34306789A JP34306789A JPH03202680A JP H03202680 A JPH03202680 A JP H03202680A JP 34306789 A JP34306789 A JP 34306789A JP 34306789 A JP34306789 A JP 34306789A JP H03202680 A JPH03202680 A JP H03202680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- cryopump
- cold
- free copper
- radiation shield
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は超高真空装置等に使用され、超高真空を遠戚す
るクライオポンプに関し、特に超高真空に到達する時間
の短縮を図ったクライオポンプに関する。
るクライオポンプに関し、特に超高真空に到達する時間
の短縮を図ったクライオポンプに関する。
（従来の技術とその課題〉
従来のクライオポンプの一例は第１図に示すように、一
端が被排気容器の排気口１０に接続され、ケーシング９
の内部に小型冷凍機１が設けられている。この小型冷凍
機１の中間及び上端には第一及び第二コールドステージ
２．３がそれぞれ固定されている。前記第一コールドス
テージ２には上向きにコツプ状の輻射シールド４が接続
されており、この輻射シールド４の上端の開口部にはバ
ッフル７が設けられている。
端が被排気容器の排気口１０に接続され、ケーシング９
の内部に小型冷凍機１が設けられている。この小型冷凍
機１の中間及び上端には第一及び第二コールドステージ
２．３がそれぞれ固定されている。前記第一コールドス
テージ２には上向きにコツプ状の輻射シールド４が接続
されており、この輻射シールド４の上端の開口部にはバ
ッフル７が設けられている。
前記第二コールドステージ３には下向きに、かつ前記輻
射シールド４の内側にコンブ状の第一クライオパネル５
と、更にこの第一クライオパネル５の内側で前記第二コ
ールドステージ３の周囲に接近して第二クライオパネル
８が設けられている。
射シールド４の内側にコンブ状の第一クライオパネル５
と、更にこの第一クライオパネル５の内側で前記第二コ
ールドステージ３の周囲に接近して第二クライオパネル
８が設けられている。
これら第一クライオパネル５の内面及び第二クライオパ
ネル８の外面には活性炭６が貼付しである。
ネル８の外面には活性炭６が貼付しである。
このような構成のクライオポンプを動作させると、図示
しない粗引き用真空ポンプで粗引きした後、小型冷凍機
１を運転して第一及び第二コールドステージ２．３を冷
却する。これらに固定されている輻射シールド４、第一
クライオパネル５、第二クライオパネル８及び活性炭６
もそれぞれ各コールドステージ２．３との固定部分から
熱伝導により冷却されて行く。
しない粗引き用真空ポンプで粗引きした後、小型冷凍機
１を運転して第一及び第二コールドステージ２．３を冷
却する。これらに固定されている輻射シールド４、第一
クライオパネル５、第二クライオパネル８及び活性炭６
もそれぞれ各コールドステージ２．３との固定部分から
熱伝導により冷却されて行く。
しかし、従来のクライオポンプでは輻射シールド４、第
一クライオパネル５及び第二クライオパネル８は低温で
の熱伝導度が考慮されていない一般工業用の銅或いは銅
合金が使用されている。このため各パネル４．５．８が
各ステージ２．３に固定されている部分と、それらから
遠い部分とに大きな温度差が生じ、パネル全体を均一な
低温度にすることは困難であった。
一クライオパネル５及び第二クライオパネル８は低温で
の熱伝導度が考慮されていない一般工業用の銅或いは銅
合金が使用されている。このため各パネル４．５．８が
各ステージ２．３に固定されている部分と、それらから
遠い部分とに大きな温度差が生じ、パネル全体を均一な
低温度にすることは困難であった。
従って、各パネル４．５．８の各コールドステ、−ジ、
２．３に固定されている部分から遠い部分では充分な冷
却が行われず、極高真空で、なお残留する水素等のガス
の吸着が不充分になり、極高真空への到達を困難として
いた。
２．３に固定されている部分から遠い部分では充分な冷
却が行われず、極高真空で、なお残留する水素等のガス
の吸着が不充分になり、極高真空への到達を困難として
いた。
又、極高真空への到達時間が長くなる。
本発明は上述の問題を解決して、極高真空への到達を容
易としたクライオポンプを提供することを課題とする。
易としたクライオポンプを提供することを課題とする。
（課題を達成するための手段）
上述の課題を達成するために、真空槽内に設けた第一及
び第二コールドステージ２．３と、この第一又は第二コ
ールドステージ２．３に一端が固定されている輻射シー
ルド４、第一クライオパネル５及び第二クライオパネル
８とを設け、この輻射シールド４、第一クライオパネル
５及び第二クライオパネル８を前記各コールドステージ
２．３を通して極低温に冷却するクライオポンプにおい
て、前記各パネル４．５．８の材料を極低温用無酸素銅
としたものである。
び第二コールドステージ２．３と、この第一又は第二コ
ールドステージ２．３に一端が固定されている輻射シー
ルド４、第一クライオパネル５及び第二クライオパネル
８とを設け、この輻射シールド４、第一クライオパネル
５及び第二クライオパネル８を前記各コールドステージ
２．３を通して極低温に冷却するクライオポンプにおい
て、前記各パネル４．５．８の材料を極低温用無酸素銅
としたものである。
（作用）
第３図に示すように、従来の無酸素銅に比べて極低温領
域で良好な熱伝導度を有し、かつ、第２図に示すように
材料自身からのアウトガス量の少ない極低温用無酸素銅
を用いた各パネルを用いることにより、各コールドステ
ージからの冷却効率を高くして各パネルの先端まで均一
に、しかも急速に冷却することが出来る。
域で良好な熱伝導度を有し、かつ、第２図に示すように
材料自身からのアウトガス量の少ない極低温用無酸素銅
を用いた各パネルを用いることにより、各コールドステ
ージからの冷却効率を高くして各パネルの先端まで均一
に、しかも急速に冷却することが出来る。
（実施例）
構造としては前述の従来例と同様である。即ち、第１図
に示すように、一端が被排気容器の排気口１０に接続さ
れ、ケーシング９の内部に小型冷凍機ｌが設けられてい
る。この小型冷凍機ｌの中間及び上端には第一及び第二
コールドステージ２．３が固定されている。前記第一コ
ールドステージ２には上向きにコツプ状の輻射シールド
４が接続されており、この輻射シールド４の上端の開口
部にはバッフル７が設けられている。
に示すように、一端が被排気容器の排気口１０に接続さ
れ、ケーシング９の内部に小型冷凍機ｌが設けられてい
る。この小型冷凍機ｌの中間及び上端には第一及び第二
コールドステージ２．３が固定されている。前記第一コ
ールドステージ２には上向きにコツプ状の輻射シールド
４が接続されており、この輻射シールド４の上端の開口
部にはバッフル７が設けられている。
前記第二コールドステージ３には下向きに、かつ前記輻
射シールド４の内側にコンブ状の第一クライオパネル５
と、更にこの第一クライオパネル５の内側で前記小型冷
凍機ｌの周囲に接近して第二クライオパネル８が設けら
れている。これら第一クライオパネル５の内面及び第二
クライオパネル８の外面には活性炭６が貼付しである。
射シールド４の内側にコンブ状の第一クライオパネル５
と、更にこの第一クライオパネル５の内側で前記小型冷
凍機ｌの周囲に接近して第二クライオパネル８が設けら
れている。これら第一クライオパネル５の内面及び第二
クライオパネル８の外面には活性炭６が貼付しである。
上述の構成において、輻射シールド４、第一クライオパ
ネル５及び第二クライオパネル８は材料として極低温用
無酸素銅を使用している。極低温用無酸素銅としては、
例えば日立電線製の商品名ｒＣＧ−ＯＦＣＪを用いる。
ネル５及び第二クライオパネル８は材料として極低温用
無酸素銅を使用している。極低温用無酸素銅としては、
例えば日立電線製の商品名ｒＣＧ−ＯＦＣＪを用いる。
又、バッフル７についても極低温用無酸素銅を使用する
ことが好ましい。
ことが好ましい。
なお、輻射シールド４、第一クライオパネル５、第二ク
ライオパネル８及びバッフル７の形状は第１図のような
形状でなくても良く、気体分子が排気し易く、又、再び
クライオポンプの中に入った気体分子が飛び出し難い形
状であれば良い。
ライオパネル８及びバッフル７の形状は第１図のような
形状でなくても良く、気体分子が排気し易く、又、再び
クライオポンプの中に入った気体分子が飛び出し難い形
状であれば良い。
次に本発明のクライオポンプの動作について説明する。
粗引き用真空ポンプで粗引きした後、小型冷凍機１を運
転して各コールドステージを冷却すると、この冷熱は第
一及び第二コールドステージ２．３から輻射シールド４
、第一クライオパネル５、第二クライオパネル８に伝達
されるが、輻射シールド４、第一及び第二クライオパネ
ル５．８は極低温でも熱伝導率の高い極低温用無酸素ｆ
ｉＪ製であるので、全体が均一に冷却され易い。
転して各コールドステージを冷却すると、この冷熱は第
一及び第二コールドステージ２．３から輻射シールド４
、第一クライオパネル５、第二クライオパネル８に伝達
されるが、輻射シールド４、第一及び第二クライオパネ
ル５．８は極低温でも熱伝導率の高い極低温用無酸素ｆ
ｉＪ製であるので、全体が均一に冷却され易い。
なお、バッフル７も極低温用無酸素銅製である場合には
この部分も均一温度になり易い。
この部分も均一温度になり易い。
この結果、第３図に示すように、従来の無酸素銅を使用
した場合に比べて特に極低温の範囲で顕著な差がある。
した場合に比べて特に極低温の範囲で顕著な差がある。
又、第２図に示すように、ステンレス鋼や銅合金を使用
した場合に比べてアウトガス量が著しく少なく、排気速
度の低下を防止し易い。
した場合に比べてアウトガス量が著しく少なく、排気速
度の低下を防止し易い。
第１図はクライオポンプの一例の断面図、第２図は材料
によるアウトガス量の特性図、第３図は本発明に使用し
た極低温用無酸素銅と従来の無酸素銅との温度と熱伝導
度の関係図である。 ２：第一コールドステージ、 ３：第二コールドステー
ジ、 ４：輻射シールド、 ５：第一クライオパネ
ル、 ８：第二クライオパネル。 ＄３０ 手 続 補 正 書 （自発） タライオボンプ 株式会社 日本製鋼所
によるアウトガス量の特性図、第３図は本発明に使用し
た極低温用無酸素銅と従来の無酸素銅との温度と熱伝導
度の関係図である。 ２：第一コールドステージ、 ３：第二コールドステー
ジ、 ４：輻射シールド、 ５：第一クライオパネ
ル、 ８：第二クライオパネル。 ＄３０ 手 続 補 正 書 （自発） タライオボンプ 株式会社 日本製鋼所
Claims (1)
- 真空槽内に設けた第一及び第二コールドステージと、こ
の第一又は第二コールドステージに一端が固定されてい
る輻射シールド、第一クライオパネル及び第二クライオ
パネルとを設け、この輻射シールド、第一クライオパネ
ル及び第二クライオパネルを前記各コールドステージを
通して極低温に冷却するクライオポンプにおいて、前記
各パネルの材料を極低温用無酸素銅としたことを特徴と
するクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34306789A JPH03202680A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34306789A JPH03202680A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03202680A true JPH03202680A (ja) | 1991-09-04 |
Family
ID=18358681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34306789A Pending JPH03202680A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03202680A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008202491A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Edwards Kk | クライオパネル冷却構造とその冷却方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4843610U (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-06 |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP34306789A patent/JPH03202680A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4843610U (ja) * | 1971-09-23 | 1973-06-06 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008202491A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Edwards Kk | クライオパネル冷却構造とその冷却方法 |
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