JPH03204211A - 作製膜研磨法を用いた弾性表面波基板 - Google Patents
作製膜研磨法を用いた弾性表面波基板Info
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- JPH03204211A JPH03204211A JP19290A JP19290A JPH03204211A JP H03204211 A JPH03204211 A JP H03204211A JP 19290 A JP19290 A JP 19290A JP 19290 A JP19290 A JP 19290A JP H03204211 A JPH03204211 A JP H03204211A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）基板表面に成長させた膜は、一般
に凹凸のある膜となるので、弾性表面波基板としては不
適当であり、その表面を研磨し、滑らかな基板面とする
ことにより、弾性表面波に適した伝搬損失の小さな、そ
の膜面にインターディジタル変換器の作製の容易な基板
が得られる。特に、基板面に成長させたダイヤモンド膜
或いはダイヤモンドに近い結晶構造の膜は、大きな凹凸
のある表面となるので、その表面を研磨し、滑らかな基
板面とした基板とすることにより、大きな伝搬速度の弾
性表面波基板が得られので、超高周波に適した基板が得
られる。これらの基板面に圧電体薄膜及びインターディ
ジタル変換器を作製した弾性表面波基板の応用に関する
発明である。
に凹凸のある膜となるので、弾性表面波基板としては不
適当であり、その表面を研磨し、滑らかな基板面とする
ことにより、弾性表面波に適した伝搬損失の小さな、そ
の膜面にインターディジタル変換器の作製の容易な基板
が得られる。特に、基板面に成長させたダイヤモンド膜
或いはダイヤモンドに近い結晶構造の膜は、大きな凹凸
のある表面となるので、その表面を研磨し、滑らかな基
板面とした基板とすることにより、大きな伝搬速度の弾
性表面波基板が得られので、超高周波に適した基板が得
られる。これらの基板面に圧電体薄膜及びインターディ
ジタル変換器を作製した弾性表面波基板の応用に関する
発明である。
（従来技術）基板面に音速の大きなダイヤモンドを作製
した基板を用いた弾性表面波フィルタなどが研究されて
いるが、ダイヤモンドは大きな粒状として成長するため
、表面の凹凸が激しく高周波での応用は不可能であった
。
した基板を用いた弾性表面波フィルタなどが研究されて
いるが、ダイヤモンドは大きな粒状として成長するため
、表面の凹凸が激しく高周波での応用は不可能であった
。
（発明の目的）基板面に大きな音速、半導体などの優れ
た特性の膜を付着させた後、膜の凹凸を研磨により平滑
な面とすることにより、伝搬損失の小さい超高周波迄応
用可能な弾性表面波変換器及びフィルタを得ることを目
的としている。更に、ダイヤモンドの研磨に用いる炭素
に対する拡散係数の大きな鉄属などの膜を基板面に付着
させた後、ダイヤモンドを成長させた基板の作製法とこ
れを研磨して得られるダイヤモンド基板の弾性表面波変
換器への応用を目的としている。
た特性の膜を付着させた後、膜の凹凸を研磨により平滑
な面とすることにより、伝搬損失の小さい超高周波迄応
用可能な弾性表面波変換器及びフィルタを得ることを目
的としている。更に、ダイヤモンドの研磨に用いる炭素
に対する拡散係数の大きな鉄属などの膜を基板面に付着
させた後、ダイヤモンドを成長させた基板の作製法とこ
れを研磨して得られるダイヤモンド基板の弾性表面波変
換器への応用を目的としている。
（発明の概要）基板面に成長させた凹凸のある膜表面を
研磨し、平滑な面を得た後、その表面に圧電体膜及びイ
ンターディジタル変換器を作製し、弾性表面波変換器或
いはフィルタを得ることを目的とした発明及び鉄属膜上
に成長させたダイヤモンド膜の弾性表面波変換器及びフ
ィルタを得ることを目的とした発明に関する特許である
。
研磨し、平滑な面を得た後、その表面に圧電体膜及びイ
ンターディジタル変換器を作製し、弾性表面波変換器或
いはフィルタを得ることを目的とした発明及び鉄属膜上
に成長させたダイヤモンド膜の弾性表面波変換器及びフ
ィルタを得ることを目的とした発明に関する特許である
。
（実施例）基板表面に成長させた凹凸のある膜の表面を
研磨することにより、平滑な基板面とした基板を弾性表
面波基板として用いる。第１図のようにシリコンなどの
基板面に気相成長法などにより成長させたダイヤモンド
膜は、凹凸が大きい。
研磨することにより、平滑な基板面とした基板を弾性表
面波基板として用いる。第１図のようにシリコンなどの
基板面に気相成長法などにより成長させたダイヤモンド
膜は、凹凸が大きい。
この基板面に作製したインターディジタル変換器の例を
第２図に示す。蒸着したアルミ膜は凹凸のため一部が薄
くなっていることが分かる。
第２図に示す。蒸着したアルミ膜は凹凸のため一部が薄
くなっていることが分かる。
凹凸のある基板表面を研磨法或いはダイヤモンドの高温
下に保持した鉄屑などの金属板上で、しゆう動させるこ
とによる研磨法を用いて、凹凸の小さな平滑な表面を得
た基板を弾性表面波用の基板として用いる。その例とし
て、第３図のように、研磨した基板１の上のダイヤモン
ド基板２の表面にインターディジタル変換器４（一方向
性変換器も含む）を作製し、更にその上に圧電体膜３を
付着させることにより、弾性表面波変換器或いはフィル
タが得られる。また、第４図のように、圧電体薄膜３の
上にインターディジタル変換器（一方向性変換器を含む
）を付着させた構造の弾性表面波変換器或いはフィルタ
も本特許に含まれるものとする。この場合、第３図でイ
ンターディジタル変換器の上の面の圧電体薄膜の表面に
導電体膜を付着させた構造成いは第４図でインターディ
ジタル変換器に対応するダイヤモンド面と圧電体膜の面
に導電体膜を挿入した構造も本特許に含まれるものとす
る。
下に保持した鉄屑などの金属板上で、しゆう動させるこ
とによる研磨法を用いて、凹凸の小さな平滑な表面を得
た基板を弾性表面波用の基板として用いる。その例とし
て、第３図のように、研磨した基板１の上のダイヤモン
ド基板２の表面にインターディジタル変換器４（一方向
性変換器も含む）を作製し、更にその上に圧電体膜３を
付着させることにより、弾性表面波変換器或いはフィル
タが得られる。また、第４図のように、圧電体薄膜３の
上にインターディジタル変換器（一方向性変換器を含む
）を付着させた構造の弾性表面波変換器或いはフィルタ
も本特許に含まれるものとする。この場合、第３図でイ
ンターディジタル変換器の上の面の圧電体薄膜の表面に
導電体膜を付着させた構造成いは第４図でインターディ
ジタル変換器に対応するダイヤモンド面と圧電体膜の面
に導電体膜を挿入した構造も本特許に含まれるものとす
る。
また、ダイヤモンドの作製法として、基板面に鉄、ニッ
ケルなどの炭素に対する拡散係数の大きな薄膜を付着さ
せた後、気相成長法などを用いて作製されたダイヤモン
ド膜或いはダイヤモンドに近い結晶構造の膜の作製法と
この基板の凹凸のある表面を研磨することにより、滑ら
かな基板面とした基板を用いた弾性表面波基板も本特許
に含まれるものとする。
ケルなどの炭素に対する拡散係数の大きな薄膜を付着さ
せた後、気相成長法などを用いて作製されたダイヤモン
ド膜或いはダイヤモンドに近い結晶構造の膜の作製法と
この基板の凹凸のある表面を研磨することにより、滑ら
かな基板面とした基板を用いた弾性表面波基板も本特許
に含まれるものとする。
（発明の効果）本発明は、膜の優れた特性を弾性表面波
基板として応用する方法として、凹凸の大きな基板を平
滑にすることにより、弾性表面波デバイスの応用範囲を
広げるものである。特に、ダイヤモンドは地球上でもっ
とも音速の大きな物質であり、これを弾性表面波に応用
することにより、ＧＨｚ帯の弾性表面波デバイスが容易
に得られるので、本発明は有効である。
基板として応用する方法として、凹凸の大きな基板を平
滑にすることにより、弾性表面波デバイスの応用範囲を
広げるものである。特に、ダイヤモンドは地球上でもっ
とも音速の大きな物質であり、これを弾性表面波に応用
することにより、ＧＨｚ帯の弾性表面波デバイスが容易
に得られるので、本発明は有効である。
第１図は、基板上に成長したままのダイヤモンド膜の表
面の写真である。 第２図は、第１図で得られた研磨されていないダイヤモ
ンド膜面に作製されたインターディジタル変換器の写真
である。 第３図は、研磨したダイヤモンド基板の表面にインター
ディジタル変換器を付着させ、更にその表面に圧電体薄
膜を付着させた構造の弾性表面波変換器及びフィルタの
鳥かん図である。 第４図は、研磨したダイヤモンド膜２の上に圧電体膜を
付着させ、更にその表面にインターディジタル電極を付
着させた構造の弾性表面波変換器及びフィルタの鳥かん
図である。 ｌ・・・基板、 ２ ・・ダイヤモンド膜、 ３・・・圧電体膜、 ・インターディジタル変換器。
面の写真である。 第２図は、第１図で得られた研磨されていないダイヤモ
ンド膜面に作製されたインターディジタル変換器の写真
である。 第３図は、研磨したダイヤモンド基板の表面にインター
ディジタル変換器を付着させ、更にその表面に圧電体薄
膜を付着させた構造の弾性表面波変換器及びフィルタの
鳥かん図である。 第４図は、研磨したダイヤモンド膜２の上に圧電体膜を
付着させ、更にその表面にインターディジタル電極を付
着させた構造の弾性表面波変換器及びフィルタの鳥かん
図である。 ｌ・・・基板、 ２ ・・ダイヤモンド膜、 ３・・・圧電体膜、 ・インターディジタル変換器。
Claims (4)
- （１）基板表面に成長させた凹凸のある膜の表面を研磨
することにより、滑らかな基板面とした基板を用いた弾
性表面波基板。 - （２）特許請求の範囲第１項において、基板表面に成長
させたダイヤモンド膜或いはダイヤモンドに近い結晶構
造の膜の凹凸のある表面を研磨することにより、滑らか
な基板面とした基板を用いた弾性表面波基板。 - （３）基板面に鉄、ニッケルなどの炭素に対する拡散係
数の大きな薄膜を付着させた後、気相成長法などを用い
て作製されたダイヤモンド膜或いはダイヤモンドに近い
結晶構造の膜の作製法とこの基板の凹凸のある表面を研
磨することにより、滑らかな基板面とした基板を用いた
弾性表面波基板。 - （４）特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項
において得られた基板面にインターディジタル変換器を
作製した後圧電体膜を成長させた基板或いは得られた基
板面に圧電体膜を成長させた後にインターディジタル変
換器を作製した弾性表面波基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19290A JPH03204211A (ja) | 1990-01-03 | 1990-01-03 | 作製膜研磨法を用いた弾性表面波基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19290A JPH03204211A (ja) | 1990-01-03 | 1990-01-03 | 作製膜研磨法を用いた弾性表面波基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03204211A true JPH03204211A (ja) | 1991-09-05 |
Family
ID=11467133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19290A Pending JPH03204211A (ja) | 1990-01-03 | 1990-01-03 | 作製膜研磨法を用いた弾性表面波基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03204211A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080028585A1 (en) * | 2000-02-04 | 2008-02-07 | Agere Systems Inc. | Method of isolation for acoustic resonator device |
-
1990
- 1990-01-03 JP JP19290A patent/JPH03204211A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080028585A1 (en) * | 2000-02-04 | 2008-02-07 | Agere Systems Inc. | Method of isolation for acoustic resonator device |
| US8631547B2 (en) * | 2000-02-04 | 2014-01-21 | Agere Systems Inc. | Method of isolation for acoustic resonator device |
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