JPH03204483A - 無しゅう動真空ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 の１ 本発明は、無しゆう動真空ゲートバルブに関するもので
ある。

Ｌ東△且且 半導体の高度集積化や、構造の多様、複雑化が進むに従
って、その製造工程における雰囲気の清浄度の保持に対
する要求は、益々高くなって来ている。

ゲートバルブは、半導体製造設備の構成部材として欠く
ことの出来ない要素部品であるが、その弁体の開閉動作
のために必要とされる機構のかなりの部分が、真空領域
内に設けられている。例えば、弁体のパツキンを弁座に
押圧して、それらの間にシールを保持するための力を伝
達するための機構としては、例えば、リンク機構を使用
したものや、くさびを押し込む形式のものや、ころを使
用したものなどが知られているが、これらの機構は、原
則として、真空領域内に設置されている。また、弁体を
操作するための弁棒の途中に、そのストロークを吸収す
るためにリンク機構が、設けられることもあるが、この
リンク機構も、真空領域内に設けられることが少なくな
い。

更に、これらの各種の機構が真空領域内に組み込まれた
場合に、これらの機構の動作が、転勤であるか、しゆう
動であるかには無間係に、摩擦作用を伴う時には、摩擦
の結果として微細な粒子（異材質の粒子）の発生するこ
とを免れることが出来ず、真空雰囲気の高度の清浄度と
いう要求を損なうので、このような機構は、使用するこ
とは出来ない。また、動作に摩擦を伴う場合には、その
摩擦抵抗の減少の対策として、何らかの潤滑作用を与え
ることが必要となるが、真空内においては、この対策は
、非常に困難であるので、高頻度の連続運転の場合には
、摩擦部に固渋現象が生じ易く、機械装置の側からも、
＊ｎｉ部分に摩擦部分を含むことは、その解決のために
、困難な条件となる。

このような困難ないしは問題点を解決するための一つの
手段として、本出願人は、既に、特願平１−４９９９３
号として「無しゆう動真空ゲートバルブ」の発明を提案
している（平成１年３月３日特許出願）。この提案によ
る「無しゆう動真空ゲートバルブ」は、使用の結果、お
おむね所期の作用及び効果を発揮することの出来ること
が、確認されている。

しかしながら、その反面、この［無しゆう動真空ゲート
バルブ」の構成を一層簡易化し、それによって、その全
体の占める容積を一層小さくするという要望が、高まっ
て来た。

そこで、本発明は、先に提案されたものと同様に、弁体
の操作のために必要な運動機構の内で、摩擦を必要とす
る部分は、すべて真空雰囲気の外部に設置し、真空雰囲
気内においては、回動ないしはしゅう動する部材を無く
シ、シかも、全体として小形である、高度の清浄度を要
求される真空雰囲気内において使用するのに適している
［無ししゆう動ゲートバルブ」を得ることに加え、これ
を、その弁体開閉機構を一層簡素化し、全体の占める容
積を小さなものとし、更に、弁座と弁体との間のシール
が、−層確実に行われるように改善とした［無しゆう動
真空ゲートバルブ」を得ることを、その課題とするもの
である。

７ｔ・めの 本発明は、この課題を解決するために、外部に対して気
密に保持可能となっている弁箱と、その１側壁にあけら
れた開口部と、弁箱内に置かれ、弁箱の開口部の周辺に
形成された弁座を開閉するための弁体とから成り立って
おり、弁箱の外部に、弁体の弁座に対するシール自在な
開閉運動を行わせるための弁体開閉機構が設けられてお
り、この弁体開閉機構は、弁体を弁座の面に対してほぼ
垂直な方向に動かす運動と、弁体をこの弁座から間隔を
置かれた状態において、この方向に対してほぼ垂直な方
向に動かす運動とを連続して行わせるようになっている
無ししゆう運動真空ゲートバルブにおいて、弁体開閉機
構が、弁箱内において弁体に取り付けられ且つ弁体の弁
座の面に対するほぼ垂直な運動方向に対してほぼ垂直方
向に弁箱を緩く貫通して延長している弁体操作棒と、弁
箱の外部において弁操作欅に中央部を固着された水平な
腕部材及びその各端部から一体に垂直に垂下された１対
の脚部材から成る旋回枠と、旋回枠の水平な腕部材の上
に、弁体操作棒と同軸心に取り付けられ且つピストン欅
を弁体操作棒に連結された空気シリンダと、弁箱に固着
され且つ弁体操作棒の延長方向に対して平行に延長され
ている１対の支持架台と、各支持架台に取り付けられる
と共に旋回枠の水平な腕部材の各端部を、それぞれ、押
圧するように配置された１対の空気シリンダと、旋回枠
の各脚部材の下方部分を支持架台の下方部分に旋回自在
に連結しているピン部材と成り立っている無しゆう動真
空ゲートバルブを特徴とするものである。

支−亘一」 以下、本発明を、それが長方形状の弁開口部を有する無
しゆう動真空ゲートバルブとして実施されたＰ４ｈの実
施例を示す添付図面の第１及び２図に基づいて説明する
。なお、このようなゲートバルブは、現在、半導体ウエ
フェハーの製造ラインにおける使用の需要が高いもので
あり、また、このゲートバルブは、高真空度の保持の必
要性と、使用頻度が高く、シかも、長寿命の要求も高い
ものである。

まず、本発明によるゲートバルブが、第１及び２図には
、横断面が長方形状の中空箱状の気密にシールされた弁
箱１を有しており、この弁箱１が、その頂壁１゜、長短
の側壁１３．１□及び底壁１．から成り立っているもの
として示されているが、図においては、底壁１３を水平
にすると共に側壁り、１ｚを垂直に配置されて示されて
おり、また、第１図には、その長い方の側壁１．が、画
面に対して平行であるように描かれている。

第１図に示すように、弁箱１の長い方の側壁１．の一つ
の下部には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘに対して対称的
に、長方形状の開口部２が、その長い辺２．．２２を底
壁１．に対して平行であると共にその短い辺２．を底壁
１．に対して垂直にあけられており、この開口部２の周
囲には、弁座３が形成されている（第２図参照〉。なお
、他の長い方の側Ｍ１．の下部には、第２１１に示すよ
うに、開口部２に対応する他の開口部２°が、その長い
辺２°１．２″２及び短い辺２“、を、開口部２の各辺
２．．２２及び２．に、それぞれ、対応するように、あ
けられている。また、弁箱１の頂壁１゜の上面には、弁
箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘに対して対称的に各１組の垂直
な支持架台５が配置されているが、各支持架台５は、１
対の、間隔を置かれた、先端部近くに幅の狭い部分を形
成された、はぼ長方形の板状の支持体５３．５□から成
り立っており、これらの支持体５．．５．は、それぞれ
、弁箱１の短い側壁１２に対して平行となるように間隔
を置かれて、その下端部において弁箱１の頂壁１゜の上
に垂直に固着されている。

更に、弁箱１の内部には、その弁座３と協同して開口部
２を開閉自在に閉鎖するために、この開口部２の平面輪
郭に相似する、やや大きな平面輪郭を有している長方形
の盤状の弁体ｌＯが、その一つの平らな面が、弁座３に
対して、はぼ平行となるように配置されており、その弁
座３に対向する面には、開口部２の周囲において弁座３
に接触するように、Ｏリング１１が取り付けられている
（第２図参照）。なお、第２図には、弁体１０が弁座３
から間隔を置かれて離れている、開口部２の開口状態に
おいて示されている。また、この弁体１０は、第１及び
２図から分かるように、その弁座３と反対側の平らな面
から、ある深さに、平面輪郭が、弁体１０の平面輪郭に
相似ではあるが、やや小さなものであるくぼみ１０．が
形成されており、また、このくぼみ１０．の中には、こ
のくぼみ１０、の平面輪郭に相似であるが、これよりも
、やや小さな平面輪郭を有している長方形状の、ある厚
さを有している、はぼ板状の弁体押圧部材１２が、その
外周辺を、くぼみｌＯｌの内周辺から、あるすきまを有
すると共にくぼみ１０．の底面からも、ある間隔を置か
れて配置されている。なお、弁体押圧部材１２の弁体１
０の、くぼみ１０．の底面に面する側の面には、弁押圧
部材１２の平面輪郭よりも小さな平面輪郭を有する長方
形状の、ある高さの段部１２１が形成されていると共に
その中心部からは、半球状の突起】２２が突出しており
、その頂部が、くぼみ１０＋の底面と接触をするように
しである。更に、弁体１０と５弁体押圧部材１２とは、
弁体１０のくぼみ１０．の内周辺と、弁体押圧部材１２
の段部１２．の外周辺とを、数個のコイルばね１３を介
して、適宜な手段により相互に連結することにより、弁
体１０を弁体押圧部材１２に対して弾性的に連結しであ
る。

また、弁箱１の内部には、その頂壁１゜に、弁箱１の垂
直中心線ｘ−ｘを中心としてあけられた円筒状の開口１
４を緩く貫通して、同様に、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘ
内に軸心を有している丸棒状の弁体操作棒１５が、弁箱
１の外部から挿入されており、その下端部には、弁体押
圧部材１２が、その外面の中心部において固着されてい
る。更に、この弁体操作棒１５は、その弁箱１の頂壁１
゜の中心にあけられた円筒状の開口１４を緩く貫通して
延長され、その上端部の近くにおいて、弁箱１の頂壁１
ｏの長手方向に延びている旋回枠２０の水平な腕部材２
０．の中央部にあけられた円筒状の開口を、緩く貫通す
るようにされている。なお、この旋回枠２０は、この水
平な腕部材２０１と、その各端部に垂直に垂下するよう
に固着された１対の脚部材２０２とから構成されている
が、各脚部材２０□は、各支持架台５を構成している垂
直な１対の支持体５．及び５２と平行に且つこれらの間
の間隔の垂直中心線の上に、中心線を置かれており、こ
のようにして、旋回枠２０は、水平な腕部材２０．と、
１対の垂直な脚部材２０２とから成り立っている縦断面
がコの字状の板部材から形成されている。また、この旋
回枠２０は、その各垂直な脚部材２０□の下端部を、弁
箱１の頂壁１゜から間隔を置かれると共にその下端部近
くにおいて、各支持架台５を構成している各１対の垂直
な支持体５．及び５□の下端部近くに、弁箱１の頂壁１
゜の横方向に対して平行に取り付けられた各１本のピン
２５が、緩く貫通することにより、このピン２５を介し
て、支持架台５に旋回自在に連結されている。

更に、この旋回枠２０の水平な腕部材２０．には、弁箱
１の垂直中心線Ｘ−Ｘと同一の軸心を有している空気シ
リンダ３５が、そのシリンダ底端部において、上方に向
けて垂直に固着されており、そのピストン〈図示されて
いない）は、弁体操作棒１５の上端部に固着されている
。なお、弁箱１の頂壁１゜にあけられた円筒状の開口１
４と、弁体操作棒１５との間のすきまを弁箱１に対して
シールするために、弁箱１の頂壁１゜の外面と、弁箱ｌ
の外部の弁体操作棒１５との間には、弁体操作棒１５を
緩く包囲してベローズ３８が配置されており、その各端
部は、それぞれ、頂壁１゜及び弁体操作棒１５に固着さ
れており、弁箱１の内部を気密に保持するようにしであ
る。

また、各支持架台５の上端部近くには、同一水平線上に
、それぞれ、１個の空気シリンダ４０が、その基端部に
おいて固定してあり、その他端部の中心部をピストン棒
４１が貫通しており、その端部には、半球状の形状を有
する押圧部材４２が固着されており、二の押圧部材４２
の頂部は、旋回枠２０の水平な腕部材２０１と、垂直な
脚部材２０２との、それぞれの中心線の交差部において
、旋回枠２０に接触するようにされている。

本発明の１実施例は、上記のような構成を有しているが
、次に、その作動を説明する。

まず、第１及び２図は、弁体１０が、弁座３から離れて
おり２弁箱１にあけられた開口部２，２“を相互に連通
させている開放の第一段階の終了ないしは閉鎖の第二段
階の開始の状態において示されており、この状態におい
ては、弁体１０は、弁座３から間隔を置かれて水平方向
に相互に重なりきっている。また、この状態においては
、空気シリンダ３５のピストン棒（図示されていない）
及び空気シリンダ４０のピストン棒４１は、それぞれ、
最大延伸行程及び引き込み行程状態にあるが、この状態
から、開放の第二段階として、空気シリンダ３５の作動
により、そのピストン棒を引き込ませ、これらの図で見
て、上方に引き上げると、このピストン棒は、それに固
着された弁体操作棒１５が、弁体押圧部材１２及びコイ
ルばね１３を介して、弁体１０を上昇させ、その弁体１
０が、弁箱１の開口部２．２′に干渉しない位置まで上
昇され、完全開放状態となる。

逆に、このようにして、完全に開放状態にある弁体１０
を、弁箱１にあけられた開口部２．２°の相互の連通を
阻止するために弁座３を閉鎖するように作動をさせるに
は、まず、閉鎖の第一段階として、空気シリンダ３５の
作動により、そのピストン棒及び弁体操作棒１５、弁体
押圧部材１２及びコイルばね１３を介して弁体１０を第
１及２図に示す状態に持ち来すようにする。この状態に
おいては、空気シリンダ３５のピストン棒は、最大延伸
行程状態にあり、また、旋回枠２０の垂直な脚部材２０
□の外縁は、支持架台５を構成している支持体５１及び
５□に取り付けられているピン２５の中心を通る垂直面
に対して、はぼ平行となっており、また、各空気シリン
ダ４０のピストン棒４１は、その引き込み行程の状態に
ある。

そこて、閉鎖の第二段階として、空気シリンダ４０を、
そのピストン棒４１が、その最大延伸行程の端部に向か
って移動するように作動させると、各ピストン棒４１は
、押圧部材４２を介して、旋回枠２０を構成している水
平な腕部材２０．と、脚部材２０２との交差部分を押圧
し、旋回枠２０をピン２５の回りに、第２図で見て、反
時計方向に旋回させるようにする。従って、旋回枠２０
の水平な腕部材２０１は、これに取り付けられた空気シ
リンダ３５のピストンに連結されて弁体操作棒１５を空
気シリンダ３５と一緒に、第２［１で見て、反時計方向
に旋回させる。これにより、弁体操作棒１５の下端部に
、中心部において固着されている弁体押圧部材１２は、
その段部１２１の面の中心部に形成された半球状の突起
１２、の頂面により、弁体１０に形成されたくぼみ１０
１の底面を、その中心部において押圧するので、弁体１
０は、弁座３に対して押圧され、弁体１０に設置された
Ｏリング１１を弁座３に対して強大力により押圧し、弁
体１０と、弁座３との間における完全なシールを行うよ
うになり、弁箱１にあけられた開口部２．２゛の相互の
連通を完全に阻止する。なお、この場合、弁体１０は、
弁体押圧部材１２に、数組のコイルばね１３を介して連
結されているので、弁体１０の弁座３に対する押圧力は
、両部材３．１０の間の接触面に均等に分布されること
が、確実とされる。

逆に、この閉鎖状態にある弁体１０を弁座３から開放さ
せるには、まず、開放の第一段階として、空気シリンダ
４０を作動させ、そのピストン棒４１を引き込ませると
、旋回枠２０は、それを構成している脚部材２０．と、
弁箱１の頂壁ｌ。との間に、適宜な手段により配置して
いる戻しコイルばね４５の作用により、ピン２５の回り
に、第２図でみて時計方向に旋回され、第１及び２図に
示す状態に持ち来され、その水平な腕部材２０．と一体
となっている空気シリンダ３５、従って、そのピストン
に連結されている弁体操作棒１５を、同図に示す状態と
し、弁体１０を弁座３から引き離す、そこで、開放の第
二段階として、空気シリンダ３５の作動により、そのピ
ストン棒を引き込ませ、これにより、弁体１０を垂直に
上方へ移動させれば良い。

このように、本発明によるゲートバルブにおいては、弁
箱１に設けられた開口部２．２゛の連通及び阻止を行う
ためには、開口部２の開閉動作を行うために、弁体１０
に、２種類の運動を与えることを必要としている。すな
わち、その一つは、弁体１０を、それが開口部２を閉鎖
している状態から、第２図に示す開口部２と、弁体１０
とが間隔を置いて重なっている位置へ開口部２から動か
し、又は、この第２図に示す位置から、開口部２まで動
かす運動であり、他の一つは、この第２図に示す位置か
ら、弁体１０が開口部２．２′から完全に間隔を置かれ
た状態となるまで、又は、第２図に示す状態となるまで
、上方、又は、下方に移動させる運動である。そして、
これらの運動は、いずれも、弁箱１の外部に設置された
弁体開閉機構、すなわち、旋回枠２０、空気シリンダ３
５及び空気シリンダ４０などの各種の部材により行われ
、また、これらの２種類の運動の間において、弁箱１の
内部においては、弁体１０と弁座３との間には、どのよ
うな摩擦運動も生ずることが一切無く、従って、弁箱１
は、常に、清浄に保持されることとなる。

更に、これらの運動の内、弁体１０を上下運動させる場
合に必要とされる力は、弁箱１内が真空の場合には、シ
ール用ベローズ３８の有効径と、内外の気圧の圧力差に
より決まる、弁箱１の内部に引き込まれる側の力と、弁
体１０及び弁体操作棒１５の重量との和となり、それに
、シール用ベローズ３８のばね反力が加減される。弁箱
１内が大気である場合には、その分だけ力は減少される
が、いずれの場合も、この力は、相対的には小さいので
、弁体１０を定位置に保持したり、移動させたりするた
めの空気シリンダ３５の内径は、比較的に小さくて良い
。

また、弁体１０の開閉運動の内、弁体１０を上下に動か
すための運動は、その上下動作の行程は、開口部２の上
下方向の寸法、すなわち、長方形状の開口部２の短い辺
２３の長さに対応して決まるが、一般的には、本実施例
の場合のように、短い辺２．の方向が、上下運動方向と
一致する長方形状の開口部２の場合には、大きくない。

次に、弁体１０の開閉運動の内、弁＃、１０を弁座３に
押圧するための運動は、シールパツキンとしてＯリング
１１を押圧し、これを完全な気密性が保持出来るまで変
形させる必要があるので、第一の運動に比べ、空気シリ
ンダ４０の行程は小さいが、大きな駆動力を必要とする
。なお、本実施例のような長方形状の開口部２を有して
いるゲートバルブの場合には、小寸法の場合の２００　
ｋ８から、大寸法の堝き０７００に、〜Ｂｏｏｋｇであ
るので、空気シリンダ４０としては、大内径で、短行程
のものが必要となる。

なお、上記の実施例においては、弁座３は、垂直面であ
るものとしであるが、これをわずかに傾斜するように形
成すると、閉鎖時に、弁体１０及び０リング１１はやや
傾斜された状態において弁座３に着座し、そのシール状
態を一層確実なものとすることが出来る。

また、この弁体１０と弁座３との間の閉塞運動、あるい
は、その弁体１０の上下運動は、それらのための空気シ
リンダ４０及び空気シリンダ３５のピストンの各側の加
圧と、放圧とによる方法と、復帰ばねにより、片側だけ
の加圧、又は、放圧とによる方法とがあり、両方とも可
能である。

更に、以上の実施例においては、弁箱１が垂直に配置さ
れるものとして説明をしたが、半導体ウェファ−などの
製造ラインの構成上の都合や、作業の便利のために、操
作機構を、図示の実施例の場合とは、逆として設置され
る場合もあるが、この場合には、上の説明とは、上下の
表現は反対となるが、基本的な作動に関しては、何らの
相違も無いものである。

ただ、弁体操作棒１５に加わる垂直方向の荷重の内、内
外の圧力差によるものと、弁体１０、弁体操作棒１５の
重量との間の関係は、和では無く差となるが、いずれに
しても、量的には小さなものであるので、基本構造の設
計に影響する程の相違とはならず、−般的には、同−設
計の構造で対処することが可能である。

また、弁体１０を弁体押圧部材１２に支持するために、
両者の間に、ばね部材として、数組のコイルばね１３が
介装されているが、この構成は、弁体１０に設けられて
いる０リング１１の全長に渡って弁座３を押圧する力を
均等とするためのものであり、本実施例の場合における
ように、長方形状の開口部２を持つ弁の構造においては
、弁体押圧部材１２の中央部から伝達される押圧力を、
開口部２の長手方向に均等に配分するのに、必要なもの
である。また、この場合、開口部２の上下方向に対して
も均等な力が配分されるように考慮されなければならな
い。なぜならば、若しも、０リング１１と、弁座３との
間の接触状態に不均等があり、いわゆる、片当たりの状
況となると、接触圧力の少ない部分におても十分な気密
性が維持されるだけの０リング１１の変形を与えなけれ
ばならないが、この場合、接触圧力の大きな部分におい
ては、必要以上のひずみが加わるので、いわゆる、へな
りを生じ易くなるだけでは無く、全体として大きな押圧
力を必要とすることにもなるからである。

なお、本実施例によるものと、従来構造のバルブとの比
較実験により、本発明によるものは、０リング１１の均
等な接触状態を維持するために必要とされる押圧力は、
従来のものに比べ、約５０１に低減させることの出来る
ことが確認された。また、これにより、本発明によるバ
ルブは、その動作機構や、空気シリンダの寸法を小形と
することができ、また、０リングのへなりを抑制するこ
とが可能となる。

最後に、以上には、本発明による弁を半導体ウェファ−
の搬送機構に使用されることが多い、長い辺の寸法が比
較的に大きな長方形状の開口部を有するゲートバルブに
使用されるものとして説明されたが、本発明によるバル
ブは、その外、円形その他の開口部形状を有する各種の
ゲートバルブなどや、加速器などの真空装置の分野のゲ
ートバルブにも使用可能であることは、熱論のことであ
る。

先駐ニヱ１ 本発明は、上記のような構成及び作用を有しているので
、先に提案されたバルブの渇きと同様に、弁体の操作の
ために必要な運動機構の内で、摩擦を必要とする部分は
、すべて５真空雰囲気の外部に設置し、真空雰囲気内に
おいては、回動ないしはしゅう動する部材を無くシ、シ
かも、全体として小形である、高度の清浄度を要求され
る真空雰囲気内において使用するのに適している無しゆ
う動真空ゲートバルブを提供することが出来るという効
果を発揮する他、これらの効果に加えて、先に提案され
たものにおいては、内外部の旋回枠を必要としていたの
を、本発明においては、これらの旋回枠の代わりに、た
だ１個の旋回枠を使用すれば足りるので、バルブ全体の
外部輪郭を、−層小さなものとすることが出来、また、
弁体を弁体押圧部材に、数組のコイルばねなどのばね部
材により連結するようにしたので、弁体の弁座に対する
押圧力を、−層、均等とすることが出来るという効果も
、発揮するものである。

４、　［Ｎ面の藺草な説明 第１図は、本発明の１実施例を、左半分には正面図で、
右半分には縦断面図で示す図、第２図は、第１図の一部
分を、第１図の■−■線により切断して示した一部縦断
側面図である。

ｌ・・・弁箱、２・・・開口部、３・・・弁座、５・・
・支持架台、１０・・・弁体、１１・・０リング、１３
・・・コイルばね、１５・・・弁体操作棒、２０・・・
旋回枠、２５・・・ピン、３５．４０・・・空気シリン
ダ、３８・・・ベローズ、４５・・・戻しばね。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、外部に対して気密に保持可能となっている弁箱と、
   その１側壁にあけられた開口部と、弁箱内に置かれ、弁
   箱の開口部の周辺に形成された弁座を開閉するための弁
   体とから成り立つており、弁箱の外部に、弁体の弁座に
   対するシール自在な開閉運動を行わせるための弁体開閉
   機構が設けられており、この弁体開閉機構は、弁体を弁
   座の面に対してほぼ垂直な方向に動かす運動と、弁体を
   この弁座から間隔を置かれた状態において、この方向に
   対してほぼ垂直な方向に動かす運動とを連続して行わせ
   るようになっている無ししゆう運動真空ゲートバルブに
   おいて、弁体開閉機構が、弁箱内において弁体に取り付
   けられ且つ弁体の弁座の面に対するほぼ垂直な運動方向
   に対してほぼ垂直方向に弁箱を緩く貫通して延長してい
   る弁体操作棒と、弁箱の外部において弁操作棒に中央部
   を固着された水平な腕部材及びその各端部から一体に垂
   直に垂下された１対の脚部材から成る旋回枠と、旋回枠
   の水平な腕部材の上に、弁体操作棒と同軸心に取り付け
   られ且つピストン棒を弁体操作棒に連結された空気シリ
   ンダと、弁箱に固着され且つ弁体操作棒の延長方向に対
   して平行に延長されている１対の支持架台と、各支持架
   台に取り付けられると共に旋回枠の水平な腕部材の各端
   部を、それぞれ、押圧するように配置された１対の空気
   シリンダと、旋回枠の各脚部材の下方部分を支持架台の
   下方部分に旋回自在に連結しているピン部材と成り立っ
   ていることを特徴とする無しゆう動真空ゲートバルブ。 ２、弁箱の外部に延長している弁体操作棒と、その弁箱
   の貫通部との間に、シール部材としてのベローズが弁棒
   操作棒を包囲して配置されており、その各端部が、弁体
   操作棒及び弁箱に気密に固着されている請求項１記載の
   無しゆう動真空ゲートバルブ。 ３、弁体が、弁体操作棒の下端部に取り付けられた弁体
   押圧部材に、数組のばね部材を介して取り付けられてお
   り、また、弁体押圧部材が、弁体を、そのほぼ中心部に
   おいて押圧するようにした請求項１又は２記載の無しゆ
   う動真空ゲートバルブ。