JPH03205432A - ポリイミドフィルムおよびその製造方法 - Google Patents

ポリイミドフィルムおよびその製造方法

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JPH03205432A JP2182640A JP18264090A JPH03205432A JP H03205432 A JPH03205432 A JP H03205432A JP 2182640 A JP2182640 A JP 2182640A JP 18264090 A JP18264090 A JP 18264090A JP H03205432 A JPH03205432 A JP H03205432A
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Yasuhiko Ota
太田 靖彦
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔〔産業上の利用分野〕 本発明は、機械的性質や寸法変化か広い温度範囲にわた
り安定したポリイミドフィルムおよびその製造方法に関
する。
より詳細には、耐熱性および機械的特性の優れた熱可塑
性ポリイミドからなるポリイミドフイルム、および熱可
塑性ポリイミドを溶融押出法てシτト状に或形し、つい
で特定条件下に一軸延伸または二軸延伸により分子配向
させ、次いて熱処理して前記ポリイミドフィルムを製造
する方法に関する。
〔従来の技術〕
近年に至り、電気、電子工業、自動車工業、原子力工業
などへの産業用材料は長期にわたる信頼性の向上、小型
化、軽量化をめざしており、そこに使用されるプラスチ
ックフィルムも耐熱性、機械的特性、寸法安定性に優れ
たものが要求されてきている。
従来から熱可塑性耐熱性ボリマーとして、例えば、ポリ
フェニレンスルフィド、ポリアリールヶトン、ポリアリ
ールスルホン、ポリアリレート、ポリエステル、ボリカ
ーボネート等が知られ、上述の耐熱性の要請に応えるプ
ラスチックフィルムの検討が行われたが、これらのポリ
マーは耐熱性か充分でなく、工業材料としての適性が不
充分なため用途か限られていた。
現在、最高の耐熱性を有するフィルム素材としては、ポ
リイミド系フィルム(例えば、宇部興産社製;商品名「
ユーピレックスJ、デュポン社製;商品名「カプトン」
など)が挙げられる。しかし、これらポリイミドは溶融
成形か出来ないため、前駆体であるポリアミック酸を流
延し、溶媒除去後、熱処理する、いわゆる、溶液流延法
でフイルムが製造される。そのため生産性も悪く、コス
トも高い。
また、かかる素材として、式(I) で表される繰り返し構造単位を有するポリイミドが、例
えば、特開昭62−205124号公報に開示されてい
る。しかし、この方法て得られるフイルムは、ガラス転
移温度付近の240℃を越える温度ではフイルムの機械
強度の低下、軟化をきたし、さらに280゜Cを越える
と不透明となり、脆くなるなど十分な耐熱性を有してい
ない。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の課題は、上記式(I)で表される繰り返し構造
単位を有するポリイミドを素材とした、耐熱性、機械的
特性および寸法安定性か優れたポリイミドフイルムを提
供すること、およびこのようなポリイミドフィルを製造
する方法を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは、これらの課題を解決すべく鋭意検討を行
った結果、式CI) で表される繰り返し構造単位のポリイミドを素材とする
特有の物性を有するポリイミドフイルムか、優れた耐熱
性と機械的特性を有することを見出し、このような性能
を有するポリイミドフイルムを製造する新規な方法を完
威した。
すなわち、本発明は、式(1) で表される繰り返し単位を有するポリイミドてあって、
23゜Cでの密度か1.335 〜1.390g/c&
および/または厚さ方向の屈折率か1.605〜1.6
80,かつ透明であることを特徴とするポリイミドフィ
ルムであり、このようなポリイミドフィルムを、前記式
(I)て表される繰り返し構造のポリイミドを一般的な
溶融威形法により押出し、冷却キャストして未延伸フィ
ルムを得、これを一軸方向または二軸方向に延伸し分子
配向させ、次いで熱処理により固定せしめて製造する方
法である。
これらの方法は、より詳細には、前記式(1)で表され
る繰り返し構造単位を有するポリイミドを用いて溶融押
出法で得られた未延伸フィルムを、230〜320゜C
の範囲で一方向または直角をなす二方向に1.5〜10
倍延伸し、次いで250゜C以上融点未満の温度で緊張
下に熱固定するものである。
すなわち、未延伸フィルムを、■230〜300 ’C
の範囲で一方向に1.5〜5.0倍延伸し、、次いで2
50゜C以上融点未満の温度で緊張下に熱固定する、ま
たは■240〜300°Cの範囲で一方向に1.5〜3
.0倍延伸し、該延伸方向と直角方向に250〜320
゜Cの範囲て1.5〜3.0倍延伸し、次いて250゜
C以上融点未満の温度で緊張下に熱固定する、あるいは
■250〜300゜Cの範囲で互いに直角をなす二方向
に面積倍率が2〜10倍で同時に延伸し、次いて250
゜C以上融点未満の温度で熱固定する等の方法である。
さらには、■各種の延伸法において、延伸中にお{プる
フィルムの水分含有率か0.1%以上3%未満とするこ
とにより、150゜C以上ガラス転移温度未満の温度範
囲で、延伸することも可能な方法である。
本発明において、ポリイミドは前記式〔I〕で表される
繰り返し構造単位を有するものである。
このポリイミドはビロメリット酸二無水物(以下、酸無
水物と称す)と4,4“−ビス(3−アミノフェノキシ
)ビフェニル(以下、ジアミンと称す)との重合反応に
よる下記式(II) で表されるポリアミド酸を経由し、イミド化することに
よって得ることかできる。
また、このポリイミドは上記酸無水物とジアミンをそれ
ぞれ95モル%以上含むことか好ましい。
上記以外の酸無水物またはジアミンを5モル%以上含有
させて得たポリイミドは結晶性か低下し、非晶鎖部分が
増加するので、延伸によって分子配向させても、熱処理
による固定が不充分となり、寸法安定性が低下するので
好ましくない。
本発明のポリイミドフィルムは、上記ポリイミドを原料
として用い、一般に溶融威形法により非品性のフイルム
を製造し、これを冷却キャストして未延伸フィルムを得
、さらに一軸方向または二輪方向に延伸し、熱処理して
結晶化せしめて得ることができる。
本発明におけるポリイミドフィルムは、延伸によりフイ
ルム内面に分子配向させたものであり、分子配向の程度
はフィルム内面の直角な二方向(X,y方向)と厚さ方
向(2方向)のそれぞれの屈折率(nx. nア,n8
)から、とくに厚さ方向の屈折率から判別できる。フィ
ルム内面の例えばX方向に配向すると、n.は増大し、
n, , n,は減少するため、フイルム内面の複屈折
率(IIX − ny)は増大する。また、例えばフィ
ルム内面のX方向、y方向に配向すると、 o8、n,
は共に増大し、n8のみ減少する。このように厚さ方向
の屈折率は、フイルム内面の分子配向の程度を表すもの
てある。
本発明に於で、厚さ方向の屈折率n.は、1. 605
〜1.680か好ましい。未配向の状態(未延伸フイル
ム)ではnz =1.690てあり、n2か1. 68
0を越えると、高温で透明性か失われ、脆化し易いなど
の問題かあり、好ましくない。
また、n2が1. 605未満では、フィブリル化が著
しくなり、割れや裂けか入り易く、実用的てはない。厚
さ方向の屈折率は1. 615〜1. 675の範囲が
特に好ましい。
本発明におけるポリイミドはその密度が1. 335〜
1. 390g/cm’の範囲であることが望ましい。
密度は四塩化炭素一トルエンなどの有機溶媒混合系また
は硫酸ナトリウム水溶液などの無機塩水溶液などを用い
た密度勾配管法によって測定する。
密度が1. 3858/cm’未満ては、高温、特に2
50’C以上での寸法変化が大きく好ましくなく、また
1.390g/Cm′1以上では結晶化か著しくなり、
割れたり、裂けたり、機械的性質に欠けるので好ましく
ない。
とくに好ましい密度の範囲は、1. 340〜1.37
0g/cm3である。
本発明におけるポリイミドは厚さ方向の屈折率と密度か
共に前記の範囲てあることか特に好ましい。
以下、本発明のポリイミドフィルムの製造方法を詳細に
述へる。
本発明の方法て原料として使用されるポリイミドは、上
記の酸無水物とジアミンを重合反応させ、ついでイミド
化して得られるものである。
中でも、特に好ましく使用されるポリイミドは、溶融粘
度が、通常、400゜C、200sec− ’の剪断速
度のもとて100〜60万ポイズの範囲のものが挙げら
れる。100ボイズ未満では溶融成形時にゲル化しやす
く、フィルムの面状態を損ない、機械強度も低下する傾
向があり、一方、60万ポイズを越えると溶融成形か困
難となり、フィルムか脆く、延伸が困難である等の問題
か生じるので、好ましくは上記範囲の溶融粘度を有する
ポリイミドか多用される。
これらのポリイミドを用い、溶融押出法、カレンダー法
等によって未延伸のフィルムを作成する。
その最も好ましい作成方法としては、300〜450゜
Cの温度で押出機等により溶融し、スリット状ノズルよ
り押出し、100〜250゜Cの表面温度を有するキャ
スティングロール上で冷却し未延伸フイルム(無定形の
フイルム)を得る方法が挙げられる。
本発明方法の主たる特徴は、上記で得られた未延伸のフ
イルムを、特定の条件で延伸・熱固定するところにある
。
この延伸・熱固定に使用される未延伸フイルムは、その
密度か1. 350g/cnf以下であることが望まし
く、 1.350を越えるとフィルムが脆くなり後工程
の延伸時に延伸破れか発生するので好ましくない。
この未延伸フイルムの延伸・熱固定は、230〜320
゜Cの範囲で一方向または直角をなす二方向に1.5〜
10倍延伸し、次いで250 ’C以上融点未満の温度
で緊張下に熱固定するものであり、延伸処理の特定条件
によってつぎの態様に分けられる。
■230〜300゜Cの範囲で一方向に1.5〜5.0
倍延伸し、次いで250゜C以上融点未満の温度て緊張
下に熱固定する方法(以下、一軸延伸法と言う)、■2
40〜300°Cの範囲で一方向に1.5〜3.0倍延
伸し、ついで該延伸方向と直角方向に250〜320゜
Cの範囲て1.5〜3.0倍延伸し、次いで250゜C
以上融点未満の温度で緊張下に熱固定する方法(以下、
逐次二軸延伸法と言う)、 ■250〜300゜Cの範囲で互いに直角をなす二方向
に面積倍率が2〜10倍で同時に延伸し、次いで250
℃以上融点未満の温度で熱固定する方法(以下、同時二
軸延伸法と言う)、 ■各種の延伸法において、延伸中におけるフィルムの水
分含有率が0.1%以上3%未満とすることにより、1
50゜C以上ガラス転移温度未満の温度範囲で延伸する
方法、等である。
各態様のさらなる詳細は次のとおりである。
■一軸延伸法: 前記の未延伸フイルムを特定温度範囲で一方向に延伸し
、ついで熱固定して一軸延伸フィルムを製造する方法で
ある。
一軸延伸の具体的条件は、230〜300゜C1好まし
くは250〜290゜Cの温度範囲で、一方向に1.5
〜5,0倍延伸するものである。このような条件で未延
伸フィルムを一軸配向させる。
延伸温度か230゜C未満ては延伸が困難てあり、30
0゜Cを越えるどフィルムか透明性を失い、脆化し、延
伸することかできないので好ましくない。
また延伸倍率か1.5倍未満では、後ての熱処理工程で
皺か入ったり、脆いフィルムか得られたりして好ましく
なく、5,0倍を越えると延伸中に高度に配向し、延伸
時に破れを起こしたりするなど不都合な問題か起きて好
ましくない。
延伸させる手段としては一対以上のロール群を用いて延
伸する方法、テンターを用いて延伸する方法、ロールを
用いた圧延による延伸方法等の従来技術を用いることが
できる。
延伸時の延伸速度は1〜ioo. ooo%/minの
範囲が好ましい。また、延伸前にフィルムを結晶化が進
行しない程度に予熱することは、円滑な延伸かできて好
ましい。
このようにして得られた一軸延伸フイルムは、ついて、
250゜C以上融点未満、好ましくは270〜370゜
Cの範囲で、 1〜5, 000秒間、緊張下または制
限収縮下で熱固定する。
■逐次二軸延伸法 前記の未延伸フィルムを特定温度範囲で一方向に延伸し
、その後、その直角方向に特定温度範囲で延伸し、つい
て熱固定して二軸延伸フイルムを製造する方法である。
二軸延伸の具体的条件は、一段目の延伸か240〜30
0゜C1好ましくは250〜290゜Cの温度範囲で、
一方向に1.5〜3.0倍延伸し、二段目の延伸が一段
目の延伸方向と直角方向に、250〜320″C、好ま
しくは260〜310’Cの温度範囲で、1.5〜3,
0倍延伸する。このような条件で未延伸フイルムを二軸
配向させる。
延伸させる手段としては一対以上のロール群を用いて延
伸する方法、テンターを用いて延伸する方法、ロールを
用いた圧延による延伸方法等の従来技術を用いることが
できる。
その際、一段目の延伸温度が240゜C未満では延伸が
困難てあり、300゜Cを越えるとフィルムか透明性を
失い脆化し延伸することか出来ないので好ましなく、ま
た延伸倍率が1.5倍未満では後での熱処理工程で皺か
入ったり、脆いフィルムか得られたりして好ましくなく
、3.0倍を越えると延伸中に高度に配向し、二段目の
延伸時に破れを起こしたりするなと不都合な問題が起き
て好ましくない。
また、二段目の延伸温度が250゜C未満では延伸が困
難であり破れか多発し、また320℃を越えるとフィル
ムの脆化、フィルムの破れ等のトラブルか発生し好まし
くない。また延伸倍率は配向の効果、フィルムの破れな
どから1.5〜3.0倍か好ましい。
延伸時の延伸速度は1〜100. 000%/minの
範囲が好ましい。また、延伸前にフィルムを結晶化か進
行しない程度に予熱することは、円滑な延伸かできて好
ましい。
このようにして得られた二軸延伸フィルムは、ついで2
50゜C以上融点未満、好ましくは270〜370゜C
の範囲で、 l〜5, 000秒間、緊張下または制限
収縮下で熱固定する。
■同時二輪延伸法 前記の未延伸フィルムを特定温度範囲で互いに直角をな
す二方向に面積倍率が2〜10倍の範囲て同時に延伸し
、次いで250゜C以上融点未満の温度で熱固定して二
軸延伸ポリイミドフィルムを製造する方法である。
同時二軸延伸の具体的条件は、未延伸フィルムを250
〜300℃、好ましくは260〜290゜Cの温度範囲
、面積倍率で2〜10倍の範囲で延伸ことにより二軸延
伸フィルムが得られる。このような条件で未延伸フィル
ムを二軸配向させる。
延伸温度か250’C未満では延伸応力か高く延伸が不
可能であり、300゜Cを越えると上記逐次二軸延伸に
おける一段目の延伸時と同様になり好ましくない。また
、延伸倍率がその面積比で2倍未満では後での熱処理工
程で皺になったり脆いフィルムが得られたりして好まし
くなく、lO倍を越える倍率では延伸できない。
これらの延伸方法において、延伸速度はl−10o, 
ooo%/minの範囲が好ましい。また、延伸前にフ
ィルムを結晶化か進行しない程度に予熱することはスム
ーズな延伸かできて好ましい。
このようにして得られた二軸延伸フィルムは、ついで、
250゜C以上融点未満、好ましくは270〜370゜
Cの範囲でl〜5000秒間、緊張下または制限収縮下
て熱固定する必要がある。
■延伸する際の未延伸フイルムの水分含有率を特定する
方法 この態様は本発明に使用するポリイミドを未延伸のポリ
イミドフィルムにして、延伸・熱固定をするに際して、
水分含有率を特定の範囲に調整し、従来非常に難しいと
されていたガラス転移温度未満の温度で延伸し、優れた
性能のポリイミドフィルムを製造する方法である。
即ち、延伸中に、少なくとも0.1%の水分を含有した
未延伸フィルムを15 0 ’C以上ガラス転移温度未
満の範囲で延伸する方法である。
この本発明の製造方法に供するフィルムは延伸中の水分
含有率か少なくとも0.1%であることか好ましい。そ
の水分含有率が0.1%末満てはフィルムの剛性が増し
、延伸時の張力か増大して延伸が困難となったり、ある
いはミクロボイドの発生によりフィルムが失透し機械強
度か著しく低下するなどの問題が生じ好ましくない。水
分含有率の上限は特に限定されないが通常3%未満であ
る。
特に好ましい水分含有率は0.2〜2%である。
本発明で用いるポリイミドは、通常の雰囲気に置いた状
態では0.5%以上の水分を含有し、温水中に浸漬する
ことで約3%の水分を吸収させることができる。
この本発明の製造方法における延伸温度は150゜C以
上ガラス転移温度未満の温度範囲て、延伸倍率は1.2
〜2.5倍が好ましい。ガラス転移温度を越えた温度で
の延伸は延伸時の水分含有率の低下かおこり、また桶度
の配向か起こったりして延伸が困難になる。
本発明の方法において、延伸方法は上記フィルムを1対
以上のロール群を用いたロール延伸方法、あるいはテン
タ一方式によって一軸延伸または二軸延伸することかで
きる。
この延伸方法において、延伸速度はlO〜toooo%
/minの範囲か好ましい。
このようにして得られた延伸フィルムは密度を上昇させ
、寸法変化特性、機械特性を向上させるために250゜
C以上融点未満、好ましくは270〜370゜Cの範囲
でl〜5000秒間、緊張下または制限収縮下で熱固定
される。このような熱処理によりフィルムの寸法安定性
等の特性が向上させられるが、フィルムは特に表面を粗
面に加工しない状態では本質的には透明である。
このようにして得られたポリイミドフィルムは高温下で
の電気絶縁用フィルム、記録媒体用ベースフィルム、誘
電体フィルム等に有用である。
本発明におけるフィルムの厚さは用途により異なり特に
限定しないが、通常0.1μm以上5mm未満である。
〔効果〕
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、従来のポリ
イミド系フィルム以上の耐熱性と熱的、機械的特性に優
れた、実用的なフィルムを製造するのに極めて有効な方
法である。
また、本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、延伸
中のフィルムの水分含有率を調整することにより従来非
常に延伸が困難とされていたガラス転移温度未満での延
伸ができるばかりでなく、熱成形が可能で、従来のポリ
イミド系フィルム以上の耐熱性や機械特性に優れた、実
用的なフィルムを製造するのに極めて有効な方法てある
。
さらに、本発明のポリイミドフィルムは、耐熱性、耐薬
品性に優れ、しかも機械的性質や寸法安定生にも優れる
ために、電線被覆、モーター、トランス等のライナー絶
縁材、フレキシブルプリント回路基板、コンデンサーな
どの電気、電子部品や、記録媒体ベースフィルムなどの
精密部品の分野に好適に用いることがてき、産業界に貢
献すること大である。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
尚、実施例において記述したポリイミドの特性値の測定
法を以下に示す。
(1)屈折率 アッペ屈折率計(アタゴ社製4−T)を用いて硫黄/沃
化メチレンを中間液として、23゜Cにおいて偏向法に
より厚さ方向の屈折率を測定した。
(2)密度 トルエン一四塩化炭素系密度勾配管法により23゜Cて
測定した。
(3)ガラス転移温度 DSC法(DuPont社製、DuPont 1090
 thermalAnal.yser)により4℃/m
inの昇温速度により測定した。
(4)引張試験 試料のX方向(溶融押出法のフイルムの流れ方向)、y
方向(フィルム内面のX方向と直角方向)につき、それ
ぞれ引張試験をASTM D−882に準じて行い、破
断強度と初期弾性率を用いた。
(5)加熱収縮率 J[S C−2318に準じ、280゜C×2時間加熱
後の収縮率を測定した。
(6)ハンダ耐熱性 試料を260゜Cのハンダ浴の表面に30秒間浮遊させ
変形が無ければ○、変形したものは×と表示した。
未延伸フイルムの製造例 かきまぜ機、還流冷却器および窒素導入管を備えた反応
容器に、4,4′−ビス(3−アミノフエノキシ)ビフ
ェニル368. 4g ( 1モル)と、N,N−ジメ
チルアセトアミド2, 500gを装入し、窒素雰囲気
下に、ピロメリッ1・酸二無水物213.7g (0.
98モル)を溶液温度の上昇に注意しなから分割して加
え、さらに無水フタル酸5. 92g(0. 04モル
)を加えて室温で約20時間かきまぜ、さらに30. 
3g(0. 3モル)の1・リエチルアミンおよび30
. 6g(0. 3モル)の無水酢酸を約30分かけて
添加し、その後30分かき混ぜた。
この溶液に2, 500gのメタノールを挿入し、30
゜Cにおいてポリイミド粉を濾別した。得られたポリイ
ミド粉をメタノールおよびアセトンで洗浄した後、窒素
雰囲気下に、300℃で8時間乾燥して、528g(収
率96%)のポリイミド粉を得た。得られたポリイミド
の溶融粘度は高下式フローテスター(島津製作所製、C
FT−500)を用いて測定し、2007秒の見掛け剪
断速度、400゜Cでの見掛け粘度で6, 400ボイ
ズであった。
得られたポリイミド粉を180゜Cで24時間乾燥し、
25mmベント式押出機により、410’Cで溶融し、
直径2mmのノズルより押出し、自然冷却により約1.
8mmのス1・ランドを得た。これを長手方向に約3m
mに切断しペレットを得た。このポリイミドペレッ1・
の溶融粘度は6. 500ボイズてあった。
このペレットを180’Cで24時間乾燥し、25mm
押出機に供給し、410°Cで加熱溶融し、幅150m
mのスリットダイ(隙間1.0mm)から押出し、22
0゜Cの口−ルで引き取り約0. 5mmのフィルムを
得た。得れた未延伸フィルムは密度1. 327g/a
m3であり、X線回折では結晶に帰属されるピークは認
められなかった。
実施例1〜4 未延伸フイルム(大きさ10cm角)をストレッチャー
(東洋精機製作所製X4HDHT)に装着し、第1表に
示す条件下でX方向(溶融押出法のフィルムの流れ方向
どする)にのみ延伸し、フイルムをそのま1保持し、3
00゜Cに昇温してから30分間熱処理した。いずれの
例においても延伸および熱処理の間に破れや不均一な延
伸は認められず良好な状態であり、得られたフイルムの
物性は第1表に示すように耐熱性、寸法安定性、機械的
特性に優れたものであった。
比較例l 未延伸フイルムは密度1.327g/cm3、厚さ方向
の屈折率は1. 690であり、機械的特性か十分てな
く、寸法安定性、ハンダー耐熱性に劣るものであった。
結果を第1表に示す。
比較例2〜4 未延伸フイルムを第1表に示す条件下で延伸したが、延
伸温度220゜Cでは延伸倍率か不均一となり、部分的
に白化し、機械的特性に劣るものであった。また、延伸
温度を310゜Cとした比較例3では、予熱延伸時に結
晶化か起こり、延伸時に破れを起こした。又、延伸倍率
を5.5倍とした比較例4では、物性は良好であるか非
常に裂け易いものであり、延伸時に破れ易いものであっ
た。結果の詳細を第1表に示す。
実施例5〜12、比較例5〜l2 未延伸フイルムを第l表に示す条件下て二軸延伸および
熱処理した。実施例の延伸条件下ではいずれも均一に延
伸され、破れ等もなく、得られたフイルムの耐熱性、機
械的特性、寸法安定性についていずれも良好であった。
しかし、比較例の条件下では延伸状態が良くなかったり
、あるいは寸法安定性、機械的特性に劣る場合かあり、
良くないものであった。結果を詳細に第1表に示す。
実施例13〜l7、比較例l3〜l5 未延伸フイルムを第2表に示す条件下て加湿した。この
加湿試料の水分含有率“を平沼式水分測定器で測定した
。この加湿試料を予め第2表に示す予熱条件下で保持し
、その後、素早く取り出し、水分含有率を測定し、それ
を延伸時の水分含有率とした。
加湿試料を第2表に示す予熱条件下、延伸条件下で延伸
し、その後、試料をそのまま保持して昇温し300 ’
Cで30分間熱処理した。
実施例の条件下では、いずれも均一な延伸状態であり、
得られたフイルムも機械的特性は十分てあった。しかし
、比較例の水分含有率、延伸条件下では失透したり、破
れたりして機械強度も十分ではなかった。
結果を詳細に第2表に示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で表される繰り返し構造単位を有するポリイミドからな
    る延伸フィルムであって、23℃における厚さ方向の屈
    折率が1.605〜1.680であるポリイミドフィル
    ム。 2)式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で表される繰り返し構造単位を有するポリイミドからな
    る延伸フィルムであって、23℃における密度が1.3
    35〜1.390g/cm^3であるポリイミドフィル
    ム。 3)式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で表される繰り返し構造単位を有するポリイミドからな
    る延伸フィルムであって、23℃における密度が1.3
    35〜1.390g/cm^3、且つ厚さ方向の屈折率
    が1.605〜1.680であるポリイミドフィルム。 4)式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で表される繰り返し構造単位を有するポリイミドを用い
    てフィルムを製造するに際し、未延伸フィルムを加熱延
    伸し、次いで緊張下に熱固定することを特徴とするポリ
    イミドフィルムの製造方法。 5)未延伸フィルムを230〜320℃の温度で一方向
    または直角をなす二方向に1.5〜10倍延伸し、次い
    で緊張下に250℃以上、該フィルムの融点未満の温度
    で熱固定することを特徴とする請求項4記載のポリイミ
    ドフィルムの製造方法。 6)未延伸フィルムを230〜300℃の温度で一方向
    に1.5〜5.0倍延伸することを特徴とする請求項4
    または5記載のポリイミドフィルムの製造方法。 7)未延伸フィルムを240〜300℃の温度で一方向
    に1.5〜3.0倍延伸し、次いで該延伸方向と直角方
    向に250〜320℃の範囲で1.5〜3.0倍延伸す
    ることを特徴とする請求項4または5記載のポリイミド
    フィルムの製造方法。 8)未延伸フィルムを250〜300℃の温度で互いに
    直角をなす二方向に同時に延伸し面積倍率を2〜10倍
    とすることを特徴とする請求項4または5記載のポリイ
    ミドフィルムの製造方法。 9)未延伸フィルムを延伸するに際し、未延伸フィルム
    を150℃以上、該フィルムのガラス転移温度未満の温
    度で、延伸中の水分が0.1〜3%の範囲で延伸するこ
    とを特徴とする請求項4記載のポリイミドフィルムの製
    造方法。
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