JPH0320612A - 回転体検査装置 - Google Patents
回転体検査装置Info
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- JPH0320612A JPH0320612A JP15612789A JP15612789A JPH0320612A JP H0320612 A JPH0320612 A JP H0320612A JP 15612789 A JP15612789 A JP 15612789A JP 15612789 A JP15612789 A JP 15612789A JP H0320612 A JPH0320612 A JP H0320612A
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- Japan
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- displacement
- sampling
- memory
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
《発明の分野）
この発明は、回転体外形の偏心量、真円度等を測定する
回転体検査装置に関する。
回転体検査装置に関する。
《発明の概要）
この発明は、回転体の半径方向の寸法変化を検出するよ
うに配置された磁気誘導式の変位センサから回転体が１
回転する間に得られる検出値の最大値と最小値との差を
求めて出力するようにしたものである。
うに配置された磁気誘導式の変位センサから回転体が１
回転する間に得られる検出値の最大値と最小値との差を
求めて出力するようにしたものである。
《従来技術とその問題点》
従来、回転体の偏心量を測定するのに、光学式の変位セ
ンサが用いられている。この変位センサは、第４図に示
すように投光部１から測定する対象物体２に光線を照射
し、その反射光をレンズ３でとらえて受光部４に結像さ
せ、この結像から測定対象の変位量を三角測量法の原理
により検出することができる．すなわち対象物体２に変
位量Ｘが発生して、受光部４で変位量ｙが検出されると
，４求める変位量Ｘは次式により得られる。
ンサが用いられている。この変位センサは、第４図に示
すように投光部１から測定する対象物体２に光線を照射
し、その反射光をレンズ３でとらえて受光部４に結像さ
せ、この結像から測定対象の変位量を三角測量法の原理
により検出することができる．すなわち対象物体２に変
位量Ｘが発生して、受光部４で変位量ｙが検出されると
，４求める変位量Ｘは次式により得られる。
（ ｘ ｏ＋ ｊ！ ｔａｎθ）
ただし、ｉは投光部１とレンズ３間の距離、ｆはレンズ
３の焦点距離、θはレンズ３に入射する光軸の反射角で
ある。
３の焦点距離、θはレンズ３に入射する光軸の反射角で
ある。
こうして得られる変位量Ｘを、回転体が一周する間監視
し、その最大値と最小値の差から偏心量が得られる． しかしながら、このような光学式変位センサは、測定で
きる回転体が制限されてしまう。例えば、表面が鏡面仕
上げされていると、測定が不可能となり、また表面の光
沢にむらがあるとやはり正常に測定できないことがある
． また、検査現場の環境が悪く、例えば装置に振動が加え
られていると光線の照射ビームに位置ずれをおこし測定
誤差が大きくなる。
し、その最大値と最小値の差から偏心量が得られる． しかしながら、このような光学式変位センサは、測定で
きる回転体が制限されてしまう。例えば、表面が鏡面仕
上げされていると、測定が不可能となり、また表面の光
沢にむらがあるとやはり正常に測定できないことがある
． また、検査現場の環境が悪く、例えば装置に振動が加え
られていると光線の照射ビームに位置ずれをおこし測定
誤差が大きくなる。
同様に、ほこりの多い雰囲気中では、装置の投受光窓が
くもってしまい、受光レベルが低下して誤差の発生が増
加する． このように従来用いられている光学式変位センサは、使
用上の制限があり、また測定結果の信頼度の点でもかな
らずしも充分ではないという問題がある。
くもってしまい、受光レベルが低下して誤差の発生が増
加する． このように従来用いられている光学式変位センサは、使
用上の制限があり、また測定結果の信頼度の点でもかな
らずしも充分ではないという問題がある。
（発明の目的）
この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、その目的とするところは、回転体の表面状態がどの
ような場合であっても確実に検査でき、しかも検査現場
の環境が悪い状態であっても充分な精度で検査をおこな
うことのできる回転体検査装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、回転体の表面状態がどの
ような場合であっても確実に検査でき、しかも検査現場
の環境が悪い状態であっても充分な精度で検査をおこな
うことのできる回転体検査装置を提供することにある。
《発明の構或と効果》
この発明は、上記目的を達戒するために、検査される回
転体を保持するとともに所定速度で回転駆動する回転機
構部と、保持された回転体外形の半径方向変位を検出す
る磁気誘導式の変位センサと、変位センサから出力され
る変位量を上位の制御装置に指定された回数サンプリン
グする手段と、サンプリングして得られた変位データの
最大値および最小値を記憶するメモリと、サンプリング
して得られた変位値とメモリに記憶されている最大値と
を比較し、サンプリング値がより大きい場合にメモリの
最大値データを更新する手段と、サンプリングして得ら
れた変位値とメモリに記憶されている最小値とを比較し
、サンプリング値がより小さい場合にメモリの最小値デ
ータを更新する手段と、指定された回数のサンプリング
が終了すると、メモリ内の最大値データと最大値データ
の差を算出する手段と、算出された最大最小値差を上位
の制御装置へ送る出力回路を備えたことを特徴とする。
転体を保持するとともに所定速度で回転駆動する回転機
構部と、保持された回転体外形の半径方向変位を検出す
る磁気誘導式の変位センサと、変位センサから出力され
る変位量を上位の制御装置に指定された回数サンプリン
グする手段と、サンプリングして得られた変位データの
最大値および最小値を記憶するメモリと、サンプリング
して得られた変位値とメモリに記憶されている最大値と
を比較し、サンプリング値がより大きい場合にメモリの
最大値データを更新する手段と、サンプリングして得ら
れた変位値とメモリに記憶されている最小値とを比較し
、サンプリング値がより小さい場合にメモリの最小値デ
ータを更新する手段と、指定された回数のサンプリング
が終了すると、メモリ内の最大値データと最大値データ
の差を算出する手段と、算出された最大最小値差を上位
の制御装置へ送る出力回路を備えたことを特徴とする。
この発明はこのように、回転体の半径方向の寸法変化を
検出するように配置された磁気誘導式の変位センサから
回転体が１回転する間に得られる検出値の最大値と最小
値との差を求めて出力するようにしたので、回転体表面
の光学的な状態に無関係に検査でき、しかも検査現場の
環境条件が悪い場合でも、正確な検査結果を得ることが
できる．また、検出した変位量にもとづいた内部処理に
より偏心量が出力されるため、後処理が容易になる。
検出するように配置された磁気誘導式の変位センサから
回転体が１回転する間に得られる検出値の最大値と最小
値との差を求めて出力するようにしたので、回転体表面
の光学的な状態に無関係に検査でき、しかも検査現場の
環境条件が悪い場合でも、正確な検査結果を得ることが
できる．また、検出した変位量にもとづいた内部処理に
より偏心量が出力されるため、後処理が容易になる。
さらに磁気誘導式変位センサは、接触により検知した物
理的な変位量を電気量に変換する構造であるため動作が
安定し、長寿命の検査装置を得ることができる． 《実施例の説明｝ 次に、この発明の実施例を図面にもとづいて説明する． 第ｌ図は、この発明にかかる回転体検査装置の全体横或
を示す図である． 図に示すように、この装置は、センサヘッド５とコント
ローラ６とからなる磁気誘導式の変位センサと、センサ
ヘッド５のブランジャ５ａ先端に回転体Ｗが当接するよ
うに回転体Ｗを支持する回転テーブル７と、回転テーブ
ル７を回転駆動するモータ８と、モータ８の回転動作を
制御するモータ駆動部９とから横或されている．回転テ
ーブル７の中心に位置するピン１０は、測定する回転体
Ｗが中空形状をしている場合に、回転テーブル７に取付
けられて、回転体Ｗの中空部と嵌合し、回転体Ｗの位置
決めをおこなうためのものである。
理的な変位量を電気量に変換する構造であるため動作が
安定し、長寿命の検査装置を得ることができる． 《実施例の説明｝ 次に、この発明の実施例を図面にもとづいて説明する． 第ｌ図は、この発明にかかる回転体検査装置の全体横或
を示す図である． 図に示すように、この装置は、センサヘッド５とコント
ローラ６とからなる磁気誘導式の変位センサと、センサ
ヘッド５のブランジャ５ａ先端に回転体Ｗが当接するよ
うに回転体Ｗを支持する回転テーブル７と、回転テーブ
ル７を回転駆動するモータ８と、モータ８の回転動作を
制御するモータ駆動部９とから横或されている．回転テ
ーブル７の中心に位置するピン１０は、測定する回転体
Ｗが中空形状をしている場合に、回転テーブル７に取付
けられて、回転体Ｗの中空部と嵌合し、回転体Ｗの位置
決めをおこなうためのものである。
ここで用いられる磁気誘導式の変位センサは、センサヘ
ッド５内部にインダクトシンを備え変位検出対象に接触
したブランジャ５ａの出没量に応して電気信号を発生し
、それをコントローラ６が測定値に変換し出力するよう
に構威されており、極めて猜度のよい測定が可能である
。
ッド５内部にインダクトシンを備え変位検出対象に接触
したブランジャ５ａの出没量に応して電気信号を発生し
、それをコントローラ６が測定値に変換し出力するよう
に構威されており、極めて猜度のよい測定が可能である
。
第２図は、コントローラ６の内部ｉｌｌ威を示すブロッ
ク図である． センサヘンド５から送られたセンサ信号は、信号処理部
６１において、変位量をあらわす数値データに変換され
て演算部６２へ送られる。
ク図である． センサヘンド５から送られたセンサ信号は、信号処理部
６１において、変位量をあらわす数値データに変換され
て演算部６２へ送られる。
演算部６２は、入力された数値データと最大値（ＭＡＸ
）メモリ６３に格納さている最大値データとを比較し、
入力された数値データの方が太きければＭＡＸメモリ６
３の記憶内容を入力データに更新し、また同様に、入力
された数値データと最小値（ＭＩＮ）メモリ６４に格納
されている最小値データとを比較し、入力された数値デ
ータの方が小さければＭＩＮメモリ６４の記億内容を入
力データに更新する。なお、メモリ６３．６４に格納さ
れている初３ｔＩＩ値としては、最小４！（ＭＩＮ）に
センサの測定レンジの最大値を、最大値（ＭＡＸ）にセ
ンサの測定レンジの最小値をそれぞれ格納しておく。つ
まり、センサの測定レンジが、例えば−１０一〜＋１０
問であれば、最小値（ＭＩＮ）に＋１０ｍｍ，最大値（
ＭＡＸ）に−１０問をそれぞれ格納する． さらに、演算部６２は、入力された数値データの比較処
理が予め指定されたサンプリング回数に達すると、ＭＡ
Ｘメモリ６３に格納されているデータからＭＩＮメモリ
６４に格納されているデータを減算し、その差を偏心量
として差データ（ＭＡＸ−ＭＩＮ）メモリ６５へいった
ん格納した後に、出力部６６へ送る。
）メモリ６３に格納さている最大値データとを比較し、
入力された数値データの方が太きければＭＡＸメモリ６
３の記憶内容を入力データに更新し、また同様に、入力
された数値データと最小値（ＭＩＮ）メモリ６４に格納
されている最小値データとを比較し、入力された数値デ
ータの方が小さければＭＩＮメモリ６４の記億内容を入
力データに更新する。なお、メモリ６３．６４に格納さ
れている初３ｔＩＩ値としては、最小４！（ＭＩＮ）に
センサの測定レンジの最大値を、最大値（ＭＡＸ）にセ
ンサの測定レンジの最小値をそれぞれ格納しておく。つ
まり、センサの測定レンジが、例えば−１０一〜＋１０
問であれば、最小値（ＭＩＮ）に＋１０ｍｍ，最大値（
ＭＡＸ）に−１０問をそれぞれ格納する． さらに、演算部６２は、入力された数値データの比較処
理が予め指定されたサンプリング回数に達すると、ＭＡ
Ｘメモリ６３に格納されているデータからＭＩＮメモリ
６４に格納されているデータを減算し、その差を偏心量
として差データ（ＭＡＸ−ＭＩＮ）メモリ６５へいった
ん格納した後に、出力部６６へ送る。
出力部６６は、図示しないＲＳ−２３２Ｃケーブルを介
して、パソコン等のホストコンピュータへ偏心量を出力
する． ホストコンピュータでは、入力された偏心量の適否判定
や、加工精度の等級決定等をおこなう．第３図は、この
実施例における実際のサンプリング数の設定を示した説
明図である． モータ駆動部９に、この装置の検査に最適な回転テーブ
ル７の回転数として例えば１２Ｏｒｐｍを設定しておく
と、回転体Ｗが１回転に要する時間は５ ０ ０ｍｓｅ
ｃとなる。また上位のパソコン等のホストコンピュータ
にサンプリング数ｎを設定した後、差データの要求コマ
ンド（ＲＤコマンド）をコントローラ６へ送ると、設定
したサンプリング数ｎに応じてデータのサンプリング間
隔Ｔ（Ｔ＝ ５ ０ ０ｍｓｅｃ／ ｎ ） 、サンプ
リング角度θ（θ＝３６０”／ｎ）が決定される。回転
体Ｗの回転とともに、これら間隔Ｔおよび角度θのタイ
ミングで測定値が取り込まれて、順次コントローラ６内
部で処理され、回転体Ｗが１周した時点で最大値データ
と最小値データとの差が求められ、差データとして出力
される． なお、コントローラ６において差データを算出する場合
に、ノイズ等の異常データを除去し、信頼性を増すため
、上位Ｌ個のＭＡＸデータ、下位Ｌ個のＭＩＮデータを
それぞれメモリに格納し、任意の１番目（１≦ｌ≦Ｌ）
の差データを演算、出力することもできる。
して、パソコン等のホストコンピュータへ偏心量を出力
する． ホストコンピュータでは、入力された偏心量の適否判定
や、加工精度の等級決定等をおこなう．第３図は、この
実施例における実際のサンプリング数の設定を示した説
明図である． モータ駆動部９に、この装置の検査に最適な回転テーブ
ル７の回転数として例えば１２Ｏｒｐｍを設定しておく
と、回転体Ｗが１回転に要する時間は５ ０ ０ｍｓｅ
ｃとなる。また上位のパソコン等のホストコンピュータ
にサンプリング数ｎを設定した後、差データの要求コマ
ンド（ＲＤコマンド）をコントローラ６へ送ると、設定
したサンプリング数ｎに応じてデータのサンプリング間
隔Ｔ（Ｔ＝ ５ ０ ０ｍｓｅｃ／ ｎ ） 、サンプ
リング角度θ（θ＝３６０”／ｎ）が決定される。回転
体Ｗの回転とともに、これら間隔Ｔおよび角度θのタイ
ミングで測定値が取り込まれて、順次コントローラ６内
部で処理され、回転体Ｗが１周した時点で最大値データ
と最小値データとの差が求められ、差データとして出力
される． なお、コントローラ６において差データを算出する場合
に、ノイズ等の異常データを除去し、信頼性を増すため
、上位Ｌ個のＭＡＸデータ、下位Ｌ個のＭＩＮデータを
それぞれメモリに格納し、任意の１番目（１≦ｌ≦Ｌ）
の差データを演算、出力することもできる。
また、同様に異常データを除去し信頼性を増すため、有
効測定データの上限、下限を設定し、その設定範囲に含
まれる測定データのみにより差データを演算、出力する
こともできる。
効測定データの上限、下限を設定し、その設定範囲に含
まれる測定データのみにより差データを演算、出力する
こともできる。
以上のようにこの実施例では、モータ駆動部９に測定し
ようとする回転体Ｗの回転速度を設定し、上位のホスト
からサンプリング数ｎを指定すると、指定内容に応じた
データのサンプリング間隔Ｔ、サンプリング角度θによ
り、磁気誘導式の変位センサが回転体Ｗの半径方向の変
位を検出し、回転体Ｗが１回転したところで、検出した
測定値の最大と最小の差が求められて出力されるため、
回転体Ｗの真円度、偏心量の測定が簡単になるとともに
測定結果の信頼性にもすぐれる． また、回転体Ｗに対して、センサヘソド５のプランジャ
５ａが接触しながらその表面の変位を検出するため、回
転体Ｗ表面の光学的条件と無関係に測定することが可能
となり、従来の光学式変位センサでは不可能であった鏡
面仕上げの回転体についての測定も可能になる．
ようとする回転体Ｗの回転速度を設定し、上位のホスト
からサンプリング数ｎを指定すると、指定内容に応じた
データのサンプリング間隔Ｔ、サンプリング角度θによ
り、磁気誘導式の変位センサが回転体Ｗの半径方向の変
位を検出し、回転体Ｗが１回転したところで、検出した
測定値の最大と最小の差が求められて出力されるため、
回転体Ｗの真円度、偏心量の測定が簡単になるとともに
測定結果の信頼性にもすぐれる． また、回転体Ｗに対して、センサヘソド５のプランジャ
５ａが接触しながらその表面の変位を検出するため、回
転体Ｗ表面の光学的条件と無関係に測定することが可能
となり、従来の光学式変位センサでは不可能であった鏡
面仕上げの回転体についての測定も可能になる．
第１図はこの発明にかかる回転体検査装置を示す全体構
威図、第２図はコントローラの内部構戒を示すブロック
図、第３図はサンプリング数の設定を示す説明図、第４
図は従来の光学式変位センサの原理を示す説明図である
． ９・・・モータ駆動部 ６ｌ・・・信号処理部 ６２・・・演算部 ６３・・・最大｛１（ＭＡＸ）メモリ ６４・・・最小値（ＭＩＮ）メモリ ６５・・・差データ（ＭＡＸ−ＭＩＮ）メモリ６６・・
・出力部 ｎ・・・サンプリング数 Ｔ・・・サンプリング間隔 Ｗ・・・回転体 θ・・・サンプリング角度
威図、第２図はコントローラの内部構戒を示すブロック
図、第３図はサンプリング数の設定を示す説明図、第４
図は従来の光学式変位センサの原理を示す説明図である
． ９・・・モータ駆動部 ６ｌ・・・信号処理部 ６２・・・演算部 ６３・・・最大｛１（ＭＡＸ）メモリ ６４・・・最小値（ＭＩＮ）メモリ ６５・・・差データ（ＭＡＸ−ＭＩＮ）メモリ６６・・
・出力部 ｎ・・・サンプリング数 Ｔ・・・サンプリング間隔 Ｗ・・・回転体 θ・・・サンプリング角度
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、検査される回転体を保持するとともに所定速度で回
転駆動する回転機構部と、 保持された回転体外形の半径方向変位を検出する磁気誘
導式の変位センサと、 変位センサから出力される変位量を上位の制御装置に指
定された回数サンプリングする手段と、サンプリングし
て得られた変位データの最大値および最小値を記憶する
メモリと、 サンプリングして得られた変位値とメモリに記憶されて
いる最大値とを比較し、サンプリング値がより大きい場
合にメモリの最大値データを更新する手段と、 サンプリングして得られた変位値とメモリに記憶されて
いる最小値とを比較し、サンプリング値がより小さい場
合にメモリの最小値データを更新する手段と、 指定された回数のサンプリングが終了すると、メモリ内
の最大値データと最大値データの差を算出する手段と、 算出された最大最小値差を上位の制御装置へ送る出力回
路と、 を備えたことを特徴とする回転体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15612789A JPH0320612A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 回転体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15612789A JPH0320612A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 回転体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320612A true JPH0320612A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15620916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15612789A Pending JPH0320612A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 回転体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320612A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05196410A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 機械の円運動精度測定方法および装置 |
| JPH109279A (ja) * | 1996-06-05 | 1998-01-13 | Gkn Automot Ag | 自在継手の十字部材ユニット |
| JP2006194838A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Asmo Co Ltd | 電機子コアの検査方法及び検査装置 |
| CN106382882A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-08 | 南京航空航天大学 | 一种旋转机械转静间隙场的测试系统及测试方法 |
-
1989
- 1989-06-19 JP JP15612789A patent/JPH0320612A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05196410A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 機械の円運動精度測定方法および装置 |
| JPH109279A (ja) * | 1996-06-05 | 1998-01-13 | Gkn Automot Ag | 自在継手の十字部材ユニット |
| US6183369B1 (en) | 1996-06-05 | 2001-02-06 | Gkn Automotive Ag | Sealing assembly for a cross member unit for universal joints |
| JP2006194838A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Asmo Co Ltd | 電機子コアの検査方法及び検査装置 |
| CN106382882A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-08 | 南京航空航天大学 | 一种旋转机械转静间隙场的测试系统及测试方法 |
| CN106382882B (zh) * | 2016-10-17 | 2019-04-09 | 南京航空航天大学 | 一种旋转机械转静间隙场的测试系统及测试方法 |
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