JPH0320705B2 - - Google Patents
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- JPH0320705B2 JPH0320705B2 JP5462782A JP5462782A JPH0320705B2 JP H0320705 B2 JPH0320705 B2 JP H0320705B2 JP 5462782 A JP5462782 A JP 5462782A JP 5462782 A JP5462782 A JP 5462782A JP H0320705 B2 JPH0320705 B2 JP H0320705B2
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- JP
- Japan
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- substance
- laser beam
- measured
- concentration
- chamber
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はカース分光法を用いた定量分析方法
および装置に関する。
および装置に関する。
カース分光法は、高出力レーザおよびダイレー
ザの発達にともなつて進歩してきた非線形ラマン
分光法の１種で、常のラマン分光法と比較して
105倍程度の検出感度を有していることからして
その応用面に多くの期待がもたれている。
ザの発達にともなつて進歩してきた非線形ラマン
分光法の１種で、常のラマン分光法と比較して
105倍程度の検出感度を有していることからして
その応用面に多くの期待がもたれている。
このカース分光法の原理を簡単に説明すると次
のようになる。第１図に示すように物質（ラマン
活性物質）RMに振動数ω1の励起レーザ光と、物
質RMのストークス光と同じ振動数（ストークス
振動数）ω2（＝ω1−Ω、ただしΩは物質RMの分
子の固有振動数）のレーザ光とを合せて照射する
と、物質RMの反ストークス光（振動数ω3＝ω1
＋Ω）が共鳴的に極めて強力、かつビーム状に発
生する。この現象は第２図のエネルギーダイアグ
ラムに示すように４光子過程としてとらえること
ができる。またこのときの反ストークス光の強度
I3は I3∝I1 2・I2・N2 ……(1) （ただし、Ｎは物質RMの密度、I1は振動数ω1の
レーザ光の強度、I2は振動数ω2レーザ光の強度） で与えられる。したがつて上記反ストークス光
の強度I3を検出すれ物質RMの濃度を検出するこ
とができる。カース分光法は上記原理にもとづく
もので、上記反ストークス光の強度I3を検出する
ことにより測定すべき物質の濃度を求めるように
している。
のようになる。第１図に示すように物質（ラマン
活性物質）RMに振動数ω1の励起レーザ光と、物
質RMのストークス光と同じ振動数（ストークス
振動数）ω2（＝ω1−Ω、ただしΩは物質RMの分
子の固有振動数）のレーザ光とを合せて照射する
と、物質RMの反ストークス光（振動数ω3＝ω1
＋Ω）が共鳴的に極めて強力、かつビーム状に発
生する。この現象は第２図のエネルギーダイアグ
ラムに示すように４光子過程としてとらえること
ができる。またこのときの反ストークス光の強度
I3は I3∝I1 2・I2・N2 ……(1) （ただし、Ｎは物質RMの密度、I1は振動数ω1の
レーザ光の強度、I2は振動数ω2レーザ光の強度） で与えられる。したがつて上記反ストークス光
の強度I3を検出すれ物質RMの濃度を検出するこ
とができる。カース分光法は上記原理にもとづく
もので、上記反ストークス光の強度I3を検出する
ことにより測定すべき物質の濃度を求めるように
している。
ところで、このカース分光法による検出は、実
際には励起レーザ光の強度の変動や光学系の条件
等で大きく変動するため、従来のカース分光法を
用いた定量分析装置（濃度測定装置）は既知の基
準物質が入れられているレフアレンスセルからの
信号を基準として被測定系からの信号強度を補正
し、これによつて濃度を測定するようにしてい
た。
際には励起レーザ光の強度の変動や光学系の条件
等で大きく変動するため、従来のカース分光法を
用いた定量分析装置（濃度測定装置）は既知の基
準物質が入れられているレフアレンスセルからの
信号を基準として被測定系からの信号強度を補正
し、これによつて濃度を測定するようにしてい
た。
第３図はかかる従来のカース分光法を用いた定
量分析装置を示すもので、セルＡには被測定物質
が充填され、セルＢには所定濃度の基準物質が充
填されている。振動数ω1の励起レーザ光はミラ
ー１で反射されてダイクロイツクミラー２に導か
れ、また振動数ω2のレーザ光はダイクロイツク
ミラー２に加えられる。ダイクロイツクミラー２
は振動数ω1の励起レーザ光と振動数ω2のレーザ
光を合成し、この合成光をビームスプリツター
２′で２分して、その１方をレンズ４、セルＡ、
レンズ５、プリズム６を介して分光器７に加え、
他方をミラー３、レンズ８、セルＢ、レンズ９、
プリズム１０を介して分光器１１に加える。分光
器７，１１にはそれぞれデテクタ７ａ，１１ａが
配設されており、分光器７，１１に加えられる光
の強度が電気信号として検出される。
量分析装置を示すもので、セルＡには被測定物質
が充填され、セルＢには所定濃度の基準物質が充
填されている。振動数ω1の励起レーザ光はミラ
ー１で反射されてダイクロイツクミラー２に導か
れ、また振動数ω2のレーザ光はダイクロイツク
ミラー２に加えられる。ダイクロイツクミラー２
は振動数ω1の励起レーザ光と振動数ω2のレーザ
光を合成し、この合成光をビームスプリツター
２′で２分して、その１方をレンズ４、セルＡ、
レンズ５、プリズム６を介して分光器７に加え、
他方をミラー３、レンズ８、セルＢ、レンズ９、
プリズム１０を介して分光器１１に加える。分光
器７，１１にはそれぞれデテクタ７ａ，１１ａが
配設されており、分光器７，１１に加えられる光
の強度が電気信号として検出される。
しかし、上記従来の方式は分光器７、デテクタ
７ａを含む第１の信号検出系と、分光器１１、デ
テクタ１１ａを含む第２信号検出系の２系統の信
号検出系を必要とし、また光軸調整も２系統で行
わなければならないのでコスト的に高くなるとと
もに調整操作においても手間がかかつた。
７ａを含む第１の信号検出系と、分光器１１、デ
テクタ１１ａを含む第２信号検出系の２系統の信
号検出系を必要とし、また光軸調整も２系統で行
わなければならないのでコスト的に高くなるとと
もに調整操作においても手間がかかつた。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、
構成が簡単でかつ調整箇所を半減したカース分光
法を用いた定量分析方法および装置を提供するこ
とを目的とする。
構成が簡単でかつ調整箇所を半減したカース分光
法を用いた定量分析方法および装置を提供するこ
とを目的とする。
そこで、この発明では振動数ω1の励起レーザ
光とともに被測定物質に加える振動数ω2のレー
ザ光を発振振動数の線巾の広い（広帯域の）もの
とし、かつ基準物質として被測定物質とラマン振
動数が近いもの（上記線巾の広いレーザ光でカバ
ーできるもの）を用い、更に被測定物質を充填す
る第１のセルと基準物質を充填する第２のセルと
を入力レーザ光に対して直列に配置し、上記第１
のセルおよび第２のセルを通過したレーザ光を波
長毎に異なるチヤンネルで同時に検出するマルチ
チヤンネルのデテクタに加え、マルチチヤンネル
のデテクタのそれぞれ異なるチヤンネルに生じる
前記被測定物質に対応する信号出力と前記基準物
質に対応する信号出力との強度比から前記被測定
物質の濃度を検出するようにし、１つの検出系で
濃度の正確な検出ができるようにしている。
光とともに被測定物質に加える振動数ω2のレー
ザ光を発振振動数の線巾の広い（広帯域の）もの
とし、かつ基準物質として被測定物質とラマン振
動数が近いもの（上記線巾の広いレーザ光でカバ
ーできるもの）を用い、更に被測定物質を充填す
る第１のセルと基準物質を充填する第２のセルと
を入力レーザ光に対して直列に配置し、上記第１
のセルおよび第２のセルを通過したレーザ光を波
長毎に異なるチヤンネルで同時に検出するマルチ
チヤンネルのデテクタに加え、マルチチヤンネル
のデテクタのそれぞれ異なるチヤンネルに生じる
前記被測定物質に対応する信号出力と前記基準物
質に対応する信号出力との強度比から前記被測定
物質の濃度を検出するようにし、１つの検出系で
濃度の正確な検出ができるようにしている。
以下、この発明の一実施例を添付図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第４図は、この発明の一実施例を示したもの
で、第３図に示した装置と同様の機能を果す部分
には説明の便宜上同一の付号を付している。すな
わち、セルＡは被測定物質充填用のセル、セルＢ
は基準物質充填用のセルである。この実施例では
励起用レーザ光としてYAGレーザ光（波長
532nm）YAGを用い、この励起用レーザ光YAG
とともに測定系に加える他のレーザ光として広帯
域のダイレーザ光Dyeを用いている。YAGレー
ザ光YAGはミラー１２で反射されてダイクロイ
ツクミラー１３に導かれ、またダイレーザ光Dye
はダイクロイツクミラー１３にYAGレーザ光
YAGと直角な方向から加えられる。ダイクロイ
ツクミラー１３はYAGレーザ光YAGを反射させ
るとともにダイレーザ光Dyeを透過させるもの
で、YAGレーザ光YAGとダイレーザ光Dyeはこ
のダイクロイツクミラー１３により合成される。
この合成光はレンズ１４、セルＡ、レンズ１５、
レンズ１６、セルＢ、レンズ１７、プリズム１８
を介して分光器１９に加えられ、デテクタ１９ａ
によつて検出される。ここでデテクタ１９ａは分
光器１９によつて受光された光を各波長毎にそれ
ぞれ異なるチヤンネルで同時に検出するいわゆる
マルチチヤンネルのデテクタが用いられる。な
お、レンズ１４，１５，１６，１７はレーザ光収
束用または再収束用のレンズで、レーザ光の収束
性が保たれるのであれば必ずしも必要ではない。
で、第３図に示した装置と同様の機能を果す部分
には説明の便宜上同一の付号を付している。すな
わち、セルＡは被測定物質充填用のセル、セルＢ
は基準物質充填用のセルである。この実施例では
励起用レーザ光としてYAGレーザ光（波長
532nm）YAGを用い、この励起用レーザ光YAG
とともに測定系に加える他のレーザ光として広帯
域のダイレーザ光Dyeを用いている。YAGレー
ザ光YAGはミラー１２で反射されてダイクロイ
ツクミラー１３に導かれ、またダイレーザ光Dye
はダイクロイツクミラー１３にYAGレーザ光
YAGと直角な方向から加えられる。ダイクロイ
ツクミラー１３はYAGレーザ光YAGを反射させ
るとともにダイレーザ光Dyeを透過させるもの
で、YAGレーザ光YAGとダイレーザ光Dyeはこ
のダイクロイツクミラー１３により合成される。
この合成光はレンズ１４、セルＡ、レンズ１５、
レンズ１６、セルＢ、レンズ１７、プリズム１８
を介して分光器１９に加えられ、デテクタ１９ａ
によつて検出される。ここでデテクタ１９ａは分
光器１９によつて受光された光を各波長毎にそれ
ぞれ異なるチヤンネルで同時に検出するいわゆる
マルチチヤンネルのデテクタが用いられる。な
お、レンズ１４，１５，１６，１７はレーザ光収
束用または再収束用のレンズで、レーザ光の収束
性が保たれるのであれば必ずしも必要ではない。
第５図は、第４図に示した装置による測定例を
示したものである。このグラフは横軸に波長を示
し、縦軸に信号強度を示す。この測定例では被測
定物質としてシランガスSiH4（ラマン波数2190cm
-1）基準物質として一酸化炭素CO（ラマン波数
2143cm-1）を用いている。第５図に示すグラフに
おいて、ピーク(A)はシランガスSiH4によるもの
で、波長602.2nmの位置に現われる。またピーク
(B)は一酸化炭素COによるもので、波長600.4nm
の位置に現われる。このピーク(A)と(B)の強度比か
ら被測定物質（この場合はシランガスSiH4）の
濃度を知ることができる。なお絶対濃度の校正
は、別の方法で測定した濃度既知の被測定物質を
用いて基準物質との比を測定し、この比を基準と
して行う。
示したものである。このグラフは横軸に波長を示
し、縦軸に信号強度を示す。この測定例では被測
定物質としてシランガスSiH4（ラマン波数2190cm
-1）基準物質として一酸化炭素CO（ラマン波数
2143cm-1）を用いている。第５図に示すグラフに
おいて、ピーク(A)はシランガスSiH4によるもの
で、波長602.2nmの位置に現われる。またピーク
(B)は一酸化炭素COによるもので、波長600.4nm
の位置に現われる。このピーク(A)と(B)の強度比か
ら被測定物質（この場合はシランガスSiH4）の
濃度を知ることができる。なお絶対濃度の校正
は、別の方法で測定した濃度既知の被測定物質を
用いて基準物質との比を測定し、この比を基準と
して行う。
第６図は、プラズマ放電によるシランガス
SiH4の濃度の変化を測定する装置にこの発明を
適用した場合の実施例を示したものである。プラ
ズマチヤンバー２０には弁２１を介してシランガ
スSiH4が充填される。そしてこのときのシラン
ガスSiH4の絶対圧が圧力計２２によつて計測さ
れる。なお電極２３ａ，２３ｂはプラズマ用電
極、弁２４はプラズマチヤンバー２０内のガス排
出用の弁である。またレフアレンスセル２５には
COボンベ２６から弁２７，２８を介して一酸化
炭素COが充填される。
SiH4の濃度の変化を測定する装置にこの発明を
適用した場合の実施例を示したものである。プラ
ズマチヤンバー２０には弁２１を介してシランガ
スSiH4が充填される。そしてこのときのシラン
ガスSiH4の絶対圧が圧力計２２によつて計測さ
れる。なお電極２３ａ，２３ｂはプラズマ用電
極、弁２４はプラズマチヤンバー２０内のガス排
出用の弁である。またレフアレンスセル２５には
COボンベ２６から弁２７，２８を介して一酸化
炭素COが充填される。
この状態でレーザ光（YAGレーザ光YAGとダ
イレーザ光Dyeの合成合光）w1＋w2をレンズ２
９で収束してプラズマチヤンバー２０内に照射
し、プラズマチヤンバー２０を通過した光をレン
ズ３０で再収束させてレフアレンスセル２５に照
射し、レフアレンスセル２５を通過し、レンズ３
１で収束された光のうち反ストークス光に関する
ものはダイクロイツクミラー３２でレーザ光w1
＋w2と分離され図示しない分光器に導かれる。
分光器ではマルチチヤンネルのデテクタで各波長
毎の受光強度を測定することにより第５図に示す
ようなグラフを得る。このときの被測定物質
（SiH4）と基準物質（CO）のピーク比が以下の
シランガス濃度測定の基準となる。
イレーザ光Dyeの合成合光）w1＋w2をレンズ２
９で収束してプラズマチヤンバー２０内に照射
し、プラズマチヤンバー２０を通過した光をレン
ズ３０で再収束させてレフアレンスセル２５に照
射し、レフアレンスセル２５を通過し、レンズ３
１で収束された光のうち反ストークス光に関する
ものはダイクロイツクミラー３２でレーザ光w1
＋w2と分離され図示しない分光器に導かれる。
分光器ではマルチチヤンネルのデテクタで各波長
毎の受光強度を測定することにより第５図に示す
ようなグラフを得る。このときの被測定物質
（SiH4）と基準物質（CO）のピーク比が以下の
シランガス濃度測定の基準となる。
次にプラズマチヤンバー２０の電極２３ａ，２
３ｂ間で放電を起し、このときの被測定物質
（SiH4）と基準物質（CO）ピーク比を測定する。
ところでプラズマチヤンバー内のシランガス濃度
は放電に変化するがレフアレンスセル内の一酸化
ガス濃度は変化していない。したがつて上記ピー
ク比からシランガスの濃度変化を測定することが
できる。
３ｂ間で放電を起し、このときの被測定物質
（SiH4）と基準物質（CO）ピーク比を測定する。
ところでプラズマチヤンバー内のシランガス濃度
は放電に変化するがレフアレンスセル内の一酸化
ガス濃度は変化していない。したがつて上記ピー
ク比からシランガスの濃度変化を測定することが
できる。
なお上記実施例ではプラズマ放電中におけるシ
ランガス濃度の変化の測定にこの発明を適用した
場合を示したが、これはあくまでも１例を示した
もので、この発明は種々の定量分析分野に適用で
きることを理解すべきである。例えばエンジン内
の燃焼過程の定量的分析にもこの発明は有効であ
る。
ランガス濃度の変化の測定にこの発明を適用した
場合を示したが、これはあくまでも１例を示した
もので、この発明は種々の定量分析分野に適用で
きることを理解すべきである。例えばエンジン内
の燃焼過程の定量的分析にもこの発明は有効であ
る。
また第４図，第６図にも示した実施例において
いずれも入力レーザ光に対して被測定物質系（セ
ルＡまたはプラズマチヤンバー２０）、基準物質
系（セルＢまたはレフアレンスセル２５）の順に
配設したが、この逆にしてもよい。すなわち入力
レーザ光がまず基準物質系を通り、次に被測定物
質系に入力するように構成してもよい。
いずれも入力レーザ光に対して被測定物質系（セ
ルＡまたはプラズマチヤンバー２０）、基準物質
系（セルＢまたはレフアレンスセル２５）の順に
配設したが、この逆にしてもよい。すなわち入力
レーザ光がまず基準物質系を通り、次に被測定物
質系に入力するように構成してもよい。
またこの発明で用いる基準物質としてはラマン
振動数が基準物質に充分近いもの（励起レーザ光
とともに加える他のレーザ光でカバーできるも
の）であればいかなるものでも使用できる。
振動数が基準物質に充分近いもの（励起レーザ光
とともに加える他のレーザ光でカバーできるも
の）であればいかなるものでも使用できる。
以上説明したようにこの発明によれば１つの測
定系により正確な定量分析が可能となり、コスト
的に低くすることができるとともに調整可箇所も
減少し操作が簡単になるという効果がある。
定系により正確な定量分析が可能となり、コスト
的に低くすることができるとともに調整可箇所も
減少し操作が簡単になるという効果がある。
第１図，第２図はこの発明で用いるカース分光
法の原理を説明する図、第３図はこの発明の従来
例を説明する図、第４図はこの発明の一実施例を
説明する図、第５図はこの発明による測定例を示
すグラフ、第６図はこの発明の他の実施例を示す
図である。 １，３，１２…ミラー、２…ダイクロイツクミ
ラー、２′…ビームスプリツター、７，１１，１
９…分光器、１３，３２…ダイクロイツクミラ
ー、２０…プラズマチヤンバー、２５…レフアレ
ンスセル、Ａ，Ｂ…セル。
法の原理を説明する図、第３図はこの発明の従来
例を説明する図、第４図はこの発明の一実施例を
説明する図、第５図はこの発明による測定例を示
すグラフ、第６図はこの発明の他の実施例を示す
図である。 １，３，１２…ミラー、２…ダイクロイツクミ
ラー、２′…ビームスプリツター、７，１１，１
９…分光器、１３，３２…ダイクロイツクミラ
ー、２０…プラズマチヤンバー、２５…レフアレ
ンスセル、Ａ，Ｂ…セル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定物質が充填された第１の系に基準物質
が充填された第２の系を直列に配設するとともに
励起用の第１のレーザ光と前記被測定物質および
前記基準物質のストークス振動数をともに含む第
２のレーザ光とを合せて前記第１および第２の系
に加え、前記第１の系および第２の系を通過した
レーザ光を分光器に入射してマルチチヤンネルの
デテクタで検出し、該マルチチヤンネルのデテク
タのそれぞれ異なるチヤンネルに生じる前記被測
定物質に対応する信号出力と前記基準物質に対応
する信号出力との強度比から前記被測定物質の濃
度を検出するようにしたカース分光法を用いた定
量分析方法。 ２ 前記被測定物質はシランガスまたはジシラン
ガスであり、前記基準物質は一酸化炭素である特
許請求の範囲第１項記載のカース分光法を用いた
定量分析方法。 ３ 励起用の第１のレーザ光を発振する第１の手
段と、被測定物質および基準物質のストークス振
動数をともに含む第２のレーザ光を発振する第２
の手段と、前記第１のレーザ光および第２のレー
ザ光を合せて入力レーザ光を形成する第３の手段
と、前記被測定物質が充填された第１の室と、前
記入力レーザ光に対して前記第１の室に直列に配
設され、所定濃度の前記基準物質が充填された第
２の室と、前記第１の室および第２の室を通過し
たレーザ光を波長毎に異なるチヤンネルで検出す
るマルチチヤンネルのデテクタを有する分光器と
を具え、前記マルチチヤンネルのデテクタのそれ
ぞれ異なるチヤンネルに生じる前記被測定物質に
対応する信号出力と前記基準物質に対応する信号
出力との強度比から前記被測定物質の濃度を検出
するようにしたカース分光法を用いた定量分析装
置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57054627A JPS58171650A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | カ−ス分光法を用いた定量分析方法および装置 |
| GB08307878A GB2120779B (en) | 1982-03-31 | 1983-03-22 | Quantitative analysis in accordance with cars |
| FR8305130A FR2524635A1 (fr) | 1982-03-31 | 1983-03-29 | Procede et appareil d'analyse quantitative conformement au principe dit de " spectroscopie raman anti-stokes coherente " |
| DE3311335A DE3311335C2 (de) | 1982-03-31 | 1983-03-29 | Meßmethode und Vorrichtung zur quantitativen Analyse eines Probenmaterials nach dem Prinzip der kohärenten Anti-Stokes-Raman-Spektroskopie |
| US06/480,482 US4573792A (en) | 1982-03-31 | 1983-03-30 | Method of and apparatus for quantitative analysis in accordance with CARS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57054627A JPS58171650A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | カ−ス分光法を用いた定量分析方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171650A JPS58171650A (ja) | 1983-10-08 |
| JPH0320705B2 true JPH0320705B2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=12975982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57054627A Granted JPS58171650A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | カ−ス分光法を用いた定量分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58171650A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7567112B2 (ja) * | 2020-05-18 | 2024-10-16 | 株式会社エーティーエー | 差分検出共役補償ｃａｒｓ計測装置 |
-
1982
- 1982-03-31 JP JP57054627A patent/JPS58171650A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58171650A (ja) | 1983-10-08 |
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