JPH03207811A - 真空炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は線材あるいは帯材等の連続材に対し・それを
連続的に真空加＃！室に逼し・ながら熱処理を施すよう
にした真空炉に間する． ［従来の技術コ 上記のような真空炉は通常次のように構成し・てあ；Ｓ
．内部を通過させる連続材を加熱する為の加熱手段を鑵
えている真空加熱室には、連続材の導入口と連続材の導
出口とを備えさせ、更に導入口の前段側には連続材の送
り装置を配設し、導出口の後段側には連続材の巻取装置
を配設している．上記導入口と導出口はシールロールで
シールし・上記送り装置や巻取装置は真空容器の外に配
置している． ［発明が解決しようとする！！！Ｉ］ この従来の真空炉では上記のようなシールロールその池
のシール装置が必須的に必要である．しかしそのような
シール装置の使用は、そこを通る連続材に傷を付けて製
品品質を損なう可能性があるという問題点があった・ 本発明は上記従来技術の問題点（技術的課題）を解沃す
る為になされたもので、透り装置から真空加納室への連
続材の８勤及び真空加＃Ｖ室から巻取装置への連続材の
移動をいずれも同条件の真空下で行なうことができるよ
うにすることによって、真空加熱室の導入口及び導出口
でのシールの必要性が輝く、もって上記従来技術の如き
傷の発生の可能性を固より無くして良質の製品の提供を
可能にてきるようにした真空炉を提洪することを目的と
するものである。

［ｆｆａを解決する為の手段コ 上記目的を達成する為に、本願発明は前記請求の範囲記
載の通りの手段を講したものであって、その作用は次の
逼りてある。

［作用コ 連続材は送り装置から真空加熱室へ送られる。

連続材は真空加熱室を通過しながら所定の加μを受ける
，ざら２こ連ａｔ才は真空加熱室から巻取装置へ至り巻
き取られる。これらは包囲壁で囲まれた内部において同
条沖の真空下で行われろ。

［実施例コ 以下本願の実施例を示す図面について説明する。

ｌは包囲璧として例示する真空チャンハーで５中空に形
成されかつ内部の密閉が可＃εに陳成してある。２はチ
ャンハ−１内の中央部に定めた真空加熱室で、断熱壁３
て取り囲まれている．４，５は夫々断＃壁３に形成した
真空加熱室２の導入口、導出口である．６は真空加熱室
２に備えられている加熱手段で、例えば電熱ヒータてあ
る。

次に７は真空加熱室２における導入０４の前段側ζこ定
めたｉｆ７室で、上記包囲壁のうち断＃！ｕ３よりも前
側の前包囲壁１ａて取囲まれている。８は前室における
送入口で、開閉装置１０によって開閉されるようにした
辱９により閉ざされている。１１は前室に備えた送り装
置である。次にＩ３は前室７に連設した送入用パージ室
で、送入口８を通して連通ずるようになっている。Ｉ４
はパージ室１３における連続材の搬入口で、開閉自在の
扉１５により閉ざされている。ｌ６は連続材の送大装置
で、シリンダｌ７とそのピストンロフトに取付けた受台
１８とにより構成し・である。

次に２０は真空加熱室２における導出口５の漫段刷に定
めた後室、２日は後Ｍ２０に連設した取出用パージ室を
夫々示す。これら及びその各々に関連するｌ１ｌ或は前
記前室７及び送入用パージ室１３と均等であるので、そ
れらζこついては以下に符号と各々の名称のみを列記し
て各々に間する重複する説明を省略する。即ち．　ｌｂ
ｉよ後包悄壁、２Ｉは取出口、２２は扉、２３は開Ｗｉ
装置、２４はｔｌ取装置、２７は搬出口、２８は扉、２
９は取出装置、３０はシリンダ、３１は受台である。

次に、３２，　３３．　３４は夫々真空チャンバー１、
送入用パージ室１３．取出用バーシ室２６内を真空排気
する為のボンブ、３５は送り装ｆｕｌｌと巻取装ｆｆｉ
２４との間の各所において連続材を支える為のロールを
夫々示す。

次に上記Ｉｌ１成の真空炉による連続材の熱処理につい
て説明する。真空チャ冫ハ−１内がボンブ３２によって
真空排気される。従って、送り装置１１と真空加熱室２
と巻取装（ｌ２４とは同条件の真空下におかれろ。連続
材は例えばロールに巻かれた状態：こおいて、扉ｌ５を
開けて速人用ハーン室１３内に搬入され、受台１８の上
に置かれろ。連続材としては銅、アルミニウム、チタン
、ステンレスなとの帯ｔ才あるいは線材がある。１１１
５を閉し・た後バーシ室１３内はボンブ３３によって真
空排気ざれる。次に盾９が間かれ、受台ｌ８が上昇ざれ
て上記ロールに巻かれた状態の連続材：ｉ送り装置１１
に装填ざれる。

装填後受台１８は下降し扉９が閉しられる。

次に送り！！ｆｆｉｌｔｌｌから上記連続争才が符号３
６て示す如く真空加熱室２に通され，その先端が巻取Ｂ
　ｔｌ　２４に巻かれる。該通板あるいは通線は周知の
手法で行なわれる。上記の状態において加熱手段６が作
動され、連続材３６は送り装置１１から送り出され、真
空加熱室２を通過する過程で所定の加熱を受げ、然る後
巻取装置２４に巻き取られる。尚この作業中において送
入用パージ室１３においては復圧、吹の連続材の搬入、
再減圧が行なわれる。

上記のように連続材３６を真空加熱室２に連続的に通過
させなから１テなう加熱が完了し・て一回の連続ｔオ３
６の全長が巻取装置２４に巻取られてしまうと、予め取
出用ハーノ室２６がボンブ３４によって真空排気ざれた
状態：こおいて１２２が開かれ、受台３１が上昇して加
坤が完了した連続社のロールを受け、取出用バーノ室２
６に降ろされろ。そして＄２２が閉しられろ。その後真
空チャンハ−１及び送入用バーン室１３においては前記
と同様の操作が繰り返される。上記取出用ハーシ室２６
に降ろされた連続材は、それが高４状態で空スに触れる
と酸］ヒされ易いものの場合、その温度が酸化が生し難
くなる例えば２００℃以下になるまて取出用バーン室２
６に置かれる。その１董パージ室２６が復圧され廓２８
が間かれて、熱処理の完了した連続材が搬出される。

上記の如き構成の真空炉では真空チャンバー１内を完全
密閉できるので、真空加熱室２の到達真空度は例えばｔ
ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空を達成できる。

また本装置は長期間の操業によってもシールに間しての
劣化を生ずる箇所が無いから、上記の如き高真空を長間
に渡って安定に達成できる。尚前記従来構成のものの場
合は真空加熱室の到達真空度：よＩＱ−’Ｔｏｒｒ程度
が限界であった。また長間間の操業によって例えばシー
ルロールに劣化が生ずる可能性がある為、その安定性に
不安があった。本装置では上記の如くそのような限界を
大幅にクリアーし、その上充分な安定性が得られる。

また上記装置では不良品発生（連続ナ才表面の着色）率
を前記従来の構成のものに比へて大幅に低下させられる
。例えは真空加熱室内がＩＯＴｏｒｒの窒素雰囲気の条
件のもとて処理を行なったところ、前記従来の構成のも
のでは５％の不良品発生があったのに対し・、本装置で
は０．１％以下であった。

［発明の効果］ 以上のように本願発明にあっては、連続材３６を熱処理
する場合、送り装ｌＦｌｌｂ）ら送り出す連続材３６を
真空加熱室２に通し、巻取装置２４て巻取ることによっ
て、連続的に熱処理できる効果があるは勿論のこと、 送り装置１１と真空加熱室２と巻取Ｈ置２４とは同条件
の真空下におくことのできる構成たから、送り装置ｌ１
と真空加熱室２との間においても、また、真空加熱室２
と巻取装置２４との間においても共にノールを必要とせ
ぬ特長がある。このことは、真空加熱室二二おける導入
口と導出口とにおいて夫々ンール装置を必要としていた
前記従来技術のものては、それらの場所においてンール
装置により連続けに傷が１寸く可能性があったのに対し
、本願発明て：ｉそのような可能性を固より排除する二
とかできて、良質の製品の提供を可能にてきる効果があ
る。

ざらに本願発明にあって取出用パージ室２６を設けた場
合には、次の連続材を上記の如く連続的に熱処理する作
業を継続させたままで、上記のような熱処理を終えた連
続材を取出用パージ室において体ませることによって、
それを酸化が起きない７二度まで充分に低温１ヒさせる
ことができ、能率良くシ・かも製品の酸化をもたらす二
となく熱処理作業を進められる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本願の実施例を示すもので、第１図は縦断面図。 １・・・包囲璧、２・・・真空加熱室、１１・・・送り
装置、２４・・・巻取装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内部を通過させる連続材を加熱する為の加熱手段を
   備えている真空加熱室には、連続材の導入口と連続材の
   導出口とを備えさせ、更に導入口の前段側には連続材の
   送り装置を配設し、導出口の後段側には連続材の巻取装
   置を配設している真空炉において、上記真空加熱室、送
   り装置及び巻取装置は、送り装置から真空加熱室への連
   続材の移動及び真空加熱室から巻取装置への連続材の移
   動をいずれも同条件の真空下で行ない得るようにする為
   の包囲壁で包囲したことを特徴とする真空炉。 ２、包囲壁において送り装置を包囲する前包囲壁には送
   入用パージ室を連設し、巻取装置を包囲する後包囲壁に
   は取出用パージ室を連設したことを特徴とする請求項１
   記載の真空炉。