JPH0320945A - 走査電子顕微鏡用試料ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は走査電子顕微鏡用試料ステージの改良に関する
。

［従来の技術］ 走査電子顕微鏡用試料ステージにおいては、試料ステー
ジを手動でＸ−Ｙ移動又は傾斜させる場合、操作ツマミ
などを回転させて駆動するようにしている。

このような機構の駆動装置では、駆動速度は操作ツマミ
の１回転当たりの移動量で決まり、例えば、操作ツマミ
１回転当たりの移動量がＸ−Ｙ移動で０．　　５ｗＩ１
であったり、又，傾斜角度が１０１のように決められて
いる。

［発明が解決しようとする課題コ しかしながら、このような試料ステージで手動で試料移
動を行うは場合、試料移動範囲が大きかったり、又、傾
斜角度が大きい場合には、目的の位置まで移動するのに
、操作ツマミを何回も回転させなければならず試料移動
に時間を要する欠点があった。

本発明はこのような従来の問題を解決し、１つの操作ツ
マミで試料移動を敏速に、且つ、正確にに行え得る査電
子顕微鏡用試料ステージを提供することを目的としてい
る。

［課題を解決するための手段］ そのため本発明は、試料室内に配置され試料を載置した
サブステージと、該サブステージを移動可能に載置した
試料台と、該試料台を試料室外より移動させるための駆
動手段と、該駆動手段よりの駆動力を前記サブステージ
に選択して伝達するための補助駆動手段とを備えたこと
を特徴としている。

［実施例コ 以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。

図は本発明を傾斜動に適用した場合の一実施例を示す概
略ブロック図である。図において、１は試料、２は試料
１を保持するサブステージ、３は試料台、４は試料台３
を傾斜するための傾斜装置で、該傾斜装置４は、ウオー
ム４ａとウオームホイル４ｂで構成されいる。５はウオ
ーム４ａｌ：操作ツマミ６の回転を伝えるためのシャフ
トである。

７はウームホイル４ｂを回転可能に支持するための支持
部材で、８は試料ステージ取り付けフランジである。９
は前記シャフト５に固定された第１歯車、１０はクラッ
チ１１を介して前記第１歯車９の回転が伝達される第２
歯車、１２は第３歯車、１３は第４歯車である。前記第
１歯車の回転はそれぞれの歯車を介して第４歯車１３に
伝達される。

該第４歯車１３が回転することにより、試料台３に移動
可能に配置されたサブステージ２が傾斜するようになっ
ている。１４はクラッチ１１を制御するための制御スイ
ッチである。１５は対物レンズで、１６は試料室である
。

この様に構成された走査電子顕微鏡用試料ステージにお
いて、通常の操作では、先ず、第１歯車９の回転が第２
ｍ車１０に伝わらないように制御スイッチ１４を操作し
てクラッチ１１を「断」状態にしておく。この状態で、
操作ツマミ６を回転させると、シャフト５が回転し、こ
の回転がウオーム４ａに伝わり、従って、ウオームホイ
ル４ｂも回転し、ウオームホイル４ｂに支持された試料
台３が回転するため試料１が傾斜する。この場合の傾斜
は、操作ツマミ６を１回転させた場合に、試料台３が傾
斜する角度、例えば１０゜であるとすると試料１も１０
゜傾斜する。

次に、試料１の傾斜を増速させる場合は、第１歯車９の
回転が第２歯車１０に伝達されるように制御スイッチ１
４を操作してクラッチ１１を「接続」状態にする。この
状態で、操作ツマミ６を回転させると、この回転力はウ
オーム４ａ，ウオームホイル４ｂを介して伝達され試料
台３が回転するため試料１が傾斜する。一方、操作ツマ
ミ６の回転はシャフト５に固定された第１歯車９に伝達
されクラッチ１１を介して第２歯車１０に伝達される。

この回転力はそれぞれの歯車を介して第４歯車１３に伝
達され、サブステージ２が傾斜する。

この場合のサブステージ２の傾斜角は、操作ツマミ６を
１回転させた場合に、例えば１０”のようにそれぞれの
歯車比が設定されていたとする。従って、操作ツマミ６
を１回転させると、試料台３の傾斜角が１０°で、その
上に載置されたサブステージ２がさらに１０°傾斜する
ため、試料１は全体で２０°傾斜することとなる。従っ
て、このような試料ステージにおいては、試料傾斜を行
うは場合、試料傾斜範囲が大きくても、目的の傾斜角ま
で容易に傾斜させることができ、従来装置のように操作
ツマミを何回も回転させる必要はなく、試料傾斜に時間
を要することはない。

上記実施例は例示であり、変形して実施することができ
る。上記実施例では、操作ツマミ６を１回転させた場合
に、サブステージ２の傾斜角度はそれぞれの歯車比によ
って決定されたが、歯車比を設定しておき、クラッチ１
１に供給する励磁電流を変化させその励磁の強度を変化
させることによりクラッチの滑りを利用しサブステージ
２の傾斜角を調整するようにしてもよい。

又、上記実施例では試料傾斜の場合について説明したが
、本発明は試料傾斜のみに限定されるものではなく、Ｘ
−Ｙ移動についても適用するこができる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、試料台
を試料室外より移動させ、この駆動手段よりの駆動力を
サブステージに伝達するための補助駆動機構を備えて試
料移動を行うようにしたので、試料移動範囲が大きくて
も操作ツマミを何回も回転させることなく敏速に試料移
動を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示す概略ブロック図である。 １：試料、２：サブステージ、３：試料台、４：傾斜装
置、５：シャフト、６：操作ツマミ、７：支持部材、８
：フランジ、９：第１歯車、１０：第２歯車、１１：ク
ラッチ、１２：第３歯車、１３：第４歯車、１４：制御
スイッチ、１５：対物レンズ、１６：試料室。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料室内に配置され試料を載置したサブステージと、該
   サブステージを移動可能に載置した試料台と、該試料台
   を試料室外より移動させるための駆動手段と、該駆動手
   段よりの駆動力を前記サブステージに選択して伝達する
   ための補助駆動手段とを備えた走査電子顕微鏡用試料ス
   テージ。