JPH03209683A - 磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、硬質の磁気ディスクを高速回転させながら、
磁気ディスクと対向するように配置させた磁気ヘッドに
より磁気記録及び再生を行なう磁気記録再生装置に関し
、スライダの媒体対向面の幅方向両端縁に凹部を設け、
凹部間を空気ベアリング面として利用するようにした磁
気ヘッドを用いることにより、高密度記録、高速アクセ
ス、クラッシュ防止、耐久性向上及び浮上特性向上に極
めて有効な磁気記録再生装置を提供できるようにしたも
のである。

〈従来の技術〉 この種の磁気記録再生装置は、周知のように、アルミニ
ウムでなる剛性基体上に、磁性微粒子塗布法、メツキ法
またはスパッタ法等の手段によって、磁性薄膜を形成し
た硬質の磁気ディスクを、高速回転（例えば３６００ｒ
ｐｍ）させることにより、磁気ディスクと浮上型磁気ヘ
ッドとの間に動圧を発生させ、磁気ヘッドを、微小な空
気ベアリングによる浮上量を保って浮上させながら、磁
気記録再生を行なう。

従来、この種の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなる
スライダの磁気ディスクと対向する媒体対向面側に、２
本のレール部を間隔を隔てて設け、このレール部の表面
を空気ベアリング面として作用させると共に、磁気ディ
スクとの組合せにおいて、空気流入端となるレール部の
一端部側に、テーパ部を設けた構造となっていた。読み
書き素子は、テーパ部とは反対側の空気流出端部側に付
着される。

ところで、この種の磁気記録再生装置において、高密度
磁気記録を達成するためには、磁気ヘッドの浮上量をで
きるだけ小さくし、スペーシングロスを減少させる必要
がある。浮上量を低下させて、スペーシングロスを減少
させようとする場合、解決しなければならない２つの問
題がある。一つは磁気ディスクに関して生じる問題であ
り、もう一つは磁気ヘッドに関して生じる問題である。

まず、磁気ディスクにおいては、その表面性や高速回転
時の振動等の影響を受けて、磁気ディスクの表面に磁気
ヘッドが衝突し、磁気ディスクの損傷及びヘッドクラッ
シュ等の問題を生じ易くなり、耐久性が低下するという
問題を解決しなければならない。この問題点解決を狙フ
た従来技術としては、特開昭６４−５５０７２号公報が
知られている。この従来技術では、磁気ディスクの表面
粗さＲＭＡｘを１００Å以下とし、磁気ヘッドの浮上開
始浮上量を０．０１μｍ〜０．０４μｍの範囲に設定す
ることにより、低浮上量領域での磁気記録再生時の高速
回転時に、磁気ディスクの表面に磁気ヘッドが接触する
のを阻止し、耐久性を向上させると共に、スペーシング
ロスを減少させるようにしてあった。

次に、磁気ヘッドにおいては、主として、小型化によっ
て、高密度記録に対応している。小型化は、浮上量減少
、スペーシングロス低下に有効である上に、ジンバルと
の組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシュ防止
及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バネ
圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好
に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。更に、
小型化によるヘットの質量減少は、ジンバルを支持する
アームのアクセス運動の高速化をもたらす。

しかし、従来型の磁気ヘッドは、媒体対向面側にレール
部及びテーパ部を有する複雑な構造となっており、小型
化には限界があった。これを解決する手段として、特開
昭６４−２１７１３号公報には、スライダの媒体対向面
を、レール部のない平面状とした磁気ヘッドが開示され
ている。

第１５図はかかる磁気ヘッドの一例の斜視図であり、２
１はスライダ、２２は読み書き素子、２３．２４は取出
電極を示す。

スライダ２１は媒体対向面２１１が、レール部及びテー
パ面を持たない平面状となっており、この面２１１の全
体を空気ベアリング面として作用させるようになってい
る。

読み書き素子２２は、磁気ディスクとの組合せにおいて
、空気流出端部側となる端面に付着させである。読み書
き素子２２は幅方向の略中間部に配置されている。

取出電８ｉ２３．２４は、読み書き素子２２を構成する
導体コイル膜の両端に接続されている。

磁気ディスク装置として使用する場合は、媒体対向面２
１１とは反対側の面２１２を、図示しないヘッド支持装
置（ジンバル）に接着し、媒体対向面２１１を磁気ディ
スクの表面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を
行なう、いわゆる、コンタクト、スタート、ストップ方
式によって駆動される。磁気ディスクが静止していると
きは、ヘッド支持装置のバネ圧により媒体対向面２１１
が磁気ディスクの表面に押付けられているが、磁気ディ
スクが回転すると、スライダ１の媒体対向面２１１に揚
力動圧が発生し、この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と
釣り合う浮上量で動作する。

第１５図に示す磁気ヘッドは、スライダ２１の媒体対向
面２！１がレール部のない単純な平面状となっているた
め、小型化が容易であり、小型化による上記利点を確保
できる。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した磁気ヘッドは、加工歪等の影響
を受けて、媒体対向面２１１が、第１６図に誇張して示
すように、幅方向の中間部で凹となることがある。媒体
対向面２１１が凹面になると、磁気ディスクとの組合せ
において、ヘッドタッチが悪くなり、スペーシングロス
が大きくなると共に、ヘッドクラッシュを生じ易くなり
、耐久性が低下する。このため、特開昭６４−５５０７
２号公報に開示された磁気ディスクとの組合せにおいて
も、浮上最減少、スペーシングロス低下、クラッシュ防
止及び耐久性向上に、充分な成果を上げることができな
かった。

更に、全体形状が立方体状であるため、媒体対向面２１
１の面積縮小により、媒体対向面２１１とは反対側の面
２１２の面積も縮小されてしまう。面２１２は、ヘッド
支持装置が取付けられる部分であるので、面２１２の面
積縮小により、ヘッド支持装置の取付は面積が小さくな
る。このため、小型化するほど、ヘッド支持装置を取付
けるのに必要な面積が小さくなり、取付けが困難になる
。

そこで本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決し
、高密度記録、高速アクセス、クラッシュ防止、耐久性
向上及び浮上特性向上に極めて有効な磁気記録再生装置
を提供することである。

〈課題を解決するための手段〉 上述する課題を解決するため、本発明は、磁気ディスク
と、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するヘッド支
持装置とを含み、前記磁気ディスクを回転させながら前
記磁気ヘッドと前記磁気ディスクとの間で磁気記録再生
を行なう磁気記録再生装置であフて、 前記磁気ディスクは、剛性基体上に磁気記録層を有して
おり、 前記磁気ヘッドは、スライダに読み書き素子を備えてお
り、 前記スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮
想したとき、前記媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方
向に沿う凹部を有し、前記凹部間が空気ベアリング面と
なっており、 前記読み書き素子は、長さ方向の一端側において前記凹
部間に配置されていること を特徴とする。

〈作用〉 スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮想し
たとき、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方向に沿う
凹部を有しているので、凹部によって加工歪が削除され
、媒体対向面の凹面化が補正される。このため、ヘッド
タッチが良好で、スペーシングロスが小さく、ヘッドク
ラッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。

特に、表面粗さＲＭＡＸを１００Å以下とした磁気ディ
スクとの組合せにおいては、浮上開始点を相対速度２　
ｍ／ｓ以下に設定し、ＣＳＳ　（コンタクト、スタート
、ストップ）耐久性を１０万回以上パスまで向上させる
ことができる。このことは、低浮上量領域でも、磁気デ
ィスクの表面に磁気ヘッドが接触することがなくなり、
耐久性が上がることを意味する。

スライダは、媒体対向面の幅方向の両＋４縁に長さ方向
に沿う凹部を有し、空気ベアリング面を構成する中間部
の幅が狭くなり、面積が縮小される。このため、低浮上
量で、スペーシングロスが少なく、高密度記録に適した
磁気ヘッドが得られる。

スライダの媒体対向面とは反対側の面は、空気ベアリン
グ面の縮小化による影響を受けないので、ヘッド支持装
置との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を上げる
ことができる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る磁気記録再生装置の正面図、第２
図は同じくその平面図、第３図及び第４第は磁気ヘッド
とヘッド支持装置の組立構造を拡大して示す図である。

図において、１は磁気ディスク、２は磁気ヘッド、３は
ジンバル系ヘッド支持装置、４は位置決め装置である。

磁気ディスク１は図示しない回転駆動機構により、矢印
ａの方向に回転駆動される。磁気ヘッド２はヘッド支持
装置３によって支持され、位置決め装置４により、回転
直径０１上で、矢印ｂ１またはｂ２の方向に駆動されて
位置決めされ、所定のシリンダにおいて、磁気記録が行
なわれる。磁気ヘッド２の駆動方式としては、上述の直
線駆動の他に、回転駆動も採用できる。

磁気ディスク１は表面粗さＲＭＡ×が１００Å以下、望
ましくは５０Å以下の表面性の良好な媒体とする。磁気
ディスク１は、第５図に示すように、剛性基体１０１０
表面に真空成膜法によって磁気記録層１０２を形成しで
ある。磁気記録層１０２はｙ−Ｆｅ２０３またはＣｏ−
Ｎｉ　、　Ｇｏ−Ｃｒ等の磁性薄膜として形成する。真
空成膜法によって形成される磁気記録層１０２の膜厚は
０．５μｍ程度以下であるので、剛性基体１０１の表面
性がそのまま記録層１０２の表面性として反映される。

従って、剛性基体１０２としては、表面粗さＲ、ＡＸが
１００Å以下のものを使用する。そのような剛性基体の
具体例としては、ガラス、化学強化されたソーダアルミ
ノ珪酸ガラスまたはセラミックを主成分とする剛性基体
が通している。

磁気記録層１０２は、γ−Ｆｅ２Ｏ３等の磁性酸化鉄や
磁性窒化物で構成することができる。また、磁性層が金
属や合金などの場合には、第５図に示すように、表面に
酸化物層、窒化物層１０２ａを設けるか、または第６図
に示すように、表面を酸化度［１０２ｂとするのが望ま
しい。こうすることにより、磁気記録層１０２の耐久性
が向上し、掻く低浮上量で記録再生する場合や、コンタ
クト。

スタート、ストップ時においても、磁気ディスク１の損
傷を防止できる。酸化物層及び窒化物層１０２ａは、反
応性スパッタ、反応性蒸着等によって形成できる。また
、酸化皮膜１０２ｂは、Ｇｏ−Ｎｉ　またはＧｏ−Ｃｒ
等のように、鉄、コバルト、ニッケルのうち、少なくと
も一種を含む金属または合金でなる磁気記録層１０２の
表面を、反応性プラズマ処理等により、意図的に酸化し
て形成できる。磁気ディスク１は、磁気記録層１０２の
記録残留磁化が膜面に対して垂直方向の成分を主成分と
する垂直記録、膜面的成分を主成分とする面内記録のい
ずれであってもよい。図示は省略したが、磁気記録層１
０２の表面に潤滑剤を塗布してもよい。

第７図は磁気ヘッド２の拡大斜視図を示している。図に
おいて、第１５図と同一の参照符号は同一性ある構成部
分を示している。スライダ２１は、媒体対向面２１１の
幅方向の両端縁に、長さ方向に沿う凹部２１３．２１４
を有し、凹部２１３−２１４間が段部を持たない空気ベ
アリング面２１５となっている。凹部２１３．２１４の
深さｈｓ＆び幅ｄ、は、スライダ２１の全幅Ｗ２を１．
２ｍｍ、全長を１．１ｍｍ、厚みを０．５５ｍｍに選定
した具体例では、０．１ｍｍ程度が適当である。

読み書ぎ素子２２は、長さ方向の一端側において凹部２
１３−２１４間の空気ベアリング面２１５にギャップが
位置するように配置されている。読み書き素子２２は、
メタル、イン、ギャップ型または薄膜素子の何れでもよ
い。本実施例では薄膜素子を使用した薄膜磁気ヘッドの
例を示す。図示は省略したが、読み書き素子２２を設け
た端面と向き合う他端面側にも凹部を設けることができ
る。

スライダ２１の媒体対向面２１１のうち、凹部２１３−
２１４間の空気ベアリング面２１５の一端側に配置され
た読み書き素子２２と、磁気ディスクとの間で、磁気記
録再生が行なわれる。ここで、中間部の空気ベアリング
面２１５は、その幅ｗ、が媒体対向面２１１の全幅ｗ２
に比較して狭くなるので、その面積が縮小される。この
ため、低浮上量でスペーシングロスが少なく、高密度記
録に通した磁気ヘッドが得られる。

また、加工歪の残り易い幅方向の両端縁に、長さ方向に
沿って凹部２１３．２１４が設けられていて、加工歪部
分が除去される。このため、ヘッドタッチが良好で、ス
ペーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じに
くい耐久性の高い磁気ヘッドが得られる。表面粗さＲＭ
ＡＸを１００Å以下とした磁気ディスクとの組合せにお
いては、後で実証するように、浮上開始点を相対速度２
　ｍ／ｓ以下に設定し、ＣＳＳ酎久耐を１０万回以上パ
スまで向上させることができた。

更に、スライダ２１の媒体対向面２１１とは反対側の面
２１２は、スライダ２１の全幅Ｗ２に対応した面積とな
り、空気ベアリング面２１５の縮小化による影響を受け
ない、このため、ヘッド支持装置との間に充分な接着面
積を確保し、接着強度を増大できる。

空気ベアリング面２１５は、コンタクト、スタート時に
おける磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、空
気流入端及び流出端となる長さ方向の両端縁、幅方向の
両端縁及び隅部を弧状に形成するのが望ましい。

第８図は薄膜読み書き素子２２を中心とした拡大斜視図
、第９図は同じくその拡大断面図である。図において、
２２１は下部磁性膜、２２２はアルミナ等でなるギャッ
プ膜、２２３は上部磁性膜、２２４は導体コイル膜、２
２５はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜
、２２６．２２７はリード電極、２２８は保護膜である
。

下部磁性膜２２１及び上部磁性膜２２３の先端部は微小
厚みのギャップ膜２２２を隔てて対向するボール部とな
っており、ボール部にギャップ膜２２２による変換ギャ
ップが形成されている。また、下部磁性膜２２１及び上
部磁性膜２２３は後方ギャップ閉鎖部によって互いに結
合されて、所要の磁気回路を構成している。

絶縁膜２２５は複数層となっていて、その内部に下部磁
性膜２２１及び上部磁性膜２２３の後方ギャップ閉鎖部
を渦巻状にまわるように、導体コイル膜２２４が形成さ
れている。リード電極２２６．２２７は、一端側が導体
コイル膜２２４の両端にそれぞれ導通接続されており、
他端側に取出電極２３．２４が形成されている。

第１０図〜第１２図は本発明に係る磁気ヘッドの別々の
実施例を示している。まず、第１０図の実施例では、凹
部２１３．２１４は空気ベアリング面２１５に連なる傾
斜面と段面とで構成されている。

第１１図の実施例では、凹部２１３．２１４は、空気ベ
アリング面２１５に連なる凸状の円弧面と段面とで構成
されている。

第１２図の実施例では、凹部２１３．２１４は凹曲面状
となっている。

何れの実施例においても、第７図に示す磁気ヘッドと同
様の作用効果が得られる。

上記各実施例では、面内記録再生用の磁気ヘッドを示し
たが、−垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドにも、本発明
は適用できる。更に、実施例に示す２端子型の磁気ヘッ
ドに限らず、センタータップを有する３端子型の磁気ヘ
ッド、ウエンチェスタ型磁気ヘッドまたはコンポジット
型磁気ヘッドにも適用できる。

次に、磁気ヘッド２とヘッド支持装置３の組立構造は、
第３図及び第４図に詳しく示されている。磁気ヘット２
は、位置決め装置４（第１図、第２図参照）によって駆
動されるヘッド支持装置３により、媒体対向面２１１と
は反対側の面２１２に荷重を加えてピッチ運動及びロー
ル運動を許容するように支持する。

ヘッド支持装置３は、位置決め装置に取付けられる剛性
アーム部３１に、弾性金属薄板でなる支持体３２の一端
を、結合具３１１．３１２によって取付は固定すると共
に、支持体３２の長手方向の一端にある自由端に、同じ
く金属薄板でなる可撓体３３を取付け、この可撓体３３
の下面に、磁気ヘッド２を取付けた構造となっている。

支持体３２は剛性アーム部３１に取付けられる部分が弾
性バネ部３２１となっていて、この弾性バネ部３２１に
連続して剛性ビーム部３２２を形成しである。剛性ビー
ム部３２２は両側に折曲げ形成したフランジ３２２ａ、
３２２ｂを有している。可撓体３３は支持体３２の長手
方向軸線と略平行して伸びる２つの外側可撓性枠部３３
１．３３２と、支持体３２から離れた端において外側可
撓性枠部３３１．３３２を連結する横枠３３３と、横枠
３３３の略中央部から外側可撓性枠部３３１．３３２に
略平行するように伸びていて先端を自由端とした中央舌
状部３３４とを有して構成され、横枠３３３のある方向
とは反対側の一端を、支持体３２の自由端付近に溶接等
の手段によって取付けである。

可撓体３３の中央舌状部３３４の上面には、例えば半球
状等の荷重用突起３３５が設けられていて、この荷重用
突起３３５により、支持体３２の自由端から中央舌状部
３３４へ荷重を伝えるようにしである。中央舌状部３３
４の下面には磁気ヘッド２の面２１２を接着等の手段に
よって固着しである。

次に、１００人の表面粗さＲＭＡＸを有する磁気ディス
ク１と、第７図〜第１２図に示した磁気ヘッド及びヘッ
ド支持装置との組合せを含む磁気記録再生装置について
、具体的なデータを参照して説明する。第１３図は磁気
ディスクの表面粗さと磁気ヘッドの浮上を開始する相対
速度との関係を示すデータである。このデータに示すよ
うに、磁気ディスクの表面粗さが１００Å以下の領域で
は、浮上を開始する相対速度がｌｌｌ１／ｓ前後となる
。このことは、コンタクト、スタート、ストップ方式に
よって駆動する場合に、起動初期の周速が低い領域で、
磁気ヘッドが浮上を開始し、磁気ヘッドと磁気ディスク
との間のクラッシュが非常に生じにくくなることを意味
する。この点は、第１４図のデータによっても裏付けら
れている。

第１４図は浮上を開始する相対速度とＣ５Ｓ耐久性との
関係を示す実測データである。１０万回Ｃ５Ｓテストに
おいて、クラッシュを生じることなく終了したサンプル
については○印を付し、クラッシュを生じたものについ
てはＸ印を付しである。

第１４図から明らかなように、浮上を開始する相対速度
２　ｒｎ／ｓを境にして、それよりも相対速度の低い領
域では、１０万回Ｃ３Ｓテストバスのサンプルが著しく
多くなっており、２Ｌｏ／ｓ付近に耐久性を飛躍的に向
上させる相対速度の臨界値が存在することが理解される
。従って、浮上を開始する相対速度を２　ｍ／ｓ以下に
設定することにより、耐久性の高い磁気記録再生装置を
実現することかできる。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）スライダは、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ
方向に沿う凹部を有し、凹部間が空気ベアリング面とな
っており、読み書き素子は、長さ方向の一端側において
凹部間に配置されているので、空気ベアリング面の面積
を縮小し、低浮上量で、スペーシングロスが少なく、高
密度記録に適し、ジンバルとの組合せにおいては、共振
周波数を高め、クラッシュを防止し、耐久性を向上させ
た磁気ヘッドを提供できる。また、ジンバルとの組合せ
において、動圧と支持バネ圧との間の適正なバランスを
保ち、フライト姿勢を良好に保ち、浮上特性を安定させ
、更にアクセス運動の高速化を図り得る磁気ヘットを提
供できる。

（ｂ）加工歪等に起因するスライダの媒体対向面の凹面
を補正し、ヘッドタッチが良好で、スベーシンロスが小
さく、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁
気ヘッドを提供できる。

（Ｃ）スライダの媒体対向面とは反対側の面は、空気ベ
アリング面の縮小化に影響を受けないので、ヘッド支持
装置との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を向上
させた磁気ヘッドを提供できる。

（ｄ）磁気ディスクは、表面粗さＲＭＡｘが１００Å以
下であり、磁気ヘッドの浮上開始点は磁気ディスクに対
する磁気ヘッドの相対速度が２　ｍ／ｓ以下となる範囲
にあるので、低浮上領域でもクラッシュを生じにくく、
きわめて耐久性の高い磁気記録再生装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気記録再生装置の正面図、第２
図は同じくその平面図、第３図及び第４図は磁気ヘッド
とヘッド支持装置との間の組立構造を示す図、第５図は
本発明に係る磁気記録再生装置を構成する磁気ディスク
の一部拡大断面図、第６図は同じく別の実施例における
一部拡大断面図、第７図は本発明に係る磁気記録再生装
置を構成する磁気ヘッドの拡大斜視図、第８図は本発明
に係る磁気ヘッドの薄膜読み書き素子を中心とした拡大
斜視図、第９図は同じくその拡大断面図、第１０図〜第
１２図は本発明に係る磁気ヘッドの別々の実施例を示す
図、第１３図は媒体表面粗さと浮上を開始する相対速度
との関係を示す図、第１４図は浮上を開始する相対速度
とＣＳＳ耐久性との関係を示す図、第１５図は従来の磁
気記録再生装置に使用されていた磁気ヘッドの斜視図、
第１６図は同じくその問題点を示す図である。 １・・・磁気ディスク　　２・・・磁気ヘッド２１・・
・スライダ　　２２・・・読み書き素子２１１・・・媒
体対向面 ２１３．２１４・・・凹部 ２１５・・・空気ベアリング面 第 【２： どｌ 第 図 ２ 第 図 第 ５ 図 第 図 Ｏ ρ０ ００ ００ ００ 飄ρ ００ 沫体表面組之Ｒ□。８　、λ］ 第 ４ 図 ４土ｔａ４ｆｉｔｊ６柿杜り戻 〔ｍ／ｓｅｃ〕

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気ディスクと、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
   を支持するヘッド支持装置とを含み、前記磁気ディスク
   を回転させながら前記磁気ヘッドと前記磁気ディスクと
   の間で磁気記録再生を行なう磁気記録再生装置であって
   、 前記磁気ディスクは、剛性基体上に磁気記録層を有して
   おり、 前記磁気ヘッドは、スライダに読み書き素子を備えてお
   り、 前記スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮
   想したとき、前記媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方
   向に沿う凹部を有し、前記凹部間が空気ベアリング面と
   なっており、 前記読み書き素子は、長さ方向の一端側において前記凹
   部間に配置されていること を特徴とする磁気記録再生装置。
2. （２）前記磁気ディスクは、表面粗さＲ＿Ｍ＿Ａ＿Ｘが
   １００Å以下であること を特徴とする請求項１に記載の磁気記録再生装置。
3. （３）前記磁気ヘッドの浮上開始点は、前記磁気ディス
   クに対する前記磁気ヘッドの相対速度が２ｍ／ｓ以下と
   なる範囲にあること を特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録再生装
   置。
4. （４）前記基体はガラスを主成分とすることを特徴とす
   る請求項１、２または３に記載の磁気記録再生装置。
5. （５）前記基体は、セラミックでなること を特徴とする請求項１、２または３に記載の磁気記録再
   生装置。
6. （６）前記磁気記録層は、少なくとも表面層が酸化物層
   または窒化物層となっていることを特徴とする請求項１
   、２、３、４または５に記載の磁気記録再生装置。
7. （７）前記磁気ヘッドは、薄膜磁気ヘッドであること を特徴とする請求項１、２、３、４、５または６に記載
   の磁気記録再生装置。