JPH0321003Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0321003Y2 JPH0321003Y2 JP8467984U JP8467984U JPH0321003Y2 JP H0321003 Y2 JPH0321003 Y2 JP H0321003Y2 JP 8467984 U JP8467984 U JP 8467984U JP 8467984 U JP8467984 U JP 8467984U JP H0321003 Y2 JPH0321003 Y2 JP H0321003Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- insulator
- entrance
- charged particle
- charged particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 22
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、簡単な構成で正確に荷電粒子を検出
することができる荷電粒子検出器に関する。
することができる荷電粒子検出器に関する。
第２図は、従来のフアラデイ・カツプ型の荷電
粒子検出器を示しており、１は、荷電粒子入射口
２を有した導電性容器、３は該容器１に入射する
被検出荷電粒子Ｂを制限する接地電位の絞り板で
ある。該絞り板３によつて制限された荷電粒子
は、入射口２を通つて該容器１内部に入射し、該
導電性容器１に流れ込んで検出される。該検出信
号は、該容器１に接続された増幅器４によつて増
幅され、図示しない記録計あるいは表示装置に供
給され、荷電粒子のビーム電流値が測定される。
ところで、荷電粒子が該容器の低部に入射すると
その入射部分から二次電子が発生するが、この二
次電子が該容器１の外部に逃げてしまうと、正確
にビーム電流値を測定することができなくなる。
通常、この対策として該容器１の上部に電源５か
ら負の電圧が印加される電極６を配置し、容器１
の外側に逃げる二次電子を容器１内部に戻すよう
に構成している。しかしながら、このような構成
では、電源５と電極６が必要となり、検出器全体
が高価となる。
粒子検出器を示しており、１は、荷電粒子入射口
２を有した導電性容器、３は該容器１に入射する
被検出荷電粒子Ｂを制限する接地電位の絞り板で
ある。該絞り板３によつて制限された荷電粒子
は、入射口２を通つて該容器１内部に入射し、該
導電性容器１に流れ込んで検出される。該検出信
号は、該容器１に接続された増幅器４によつて増
幅され、図示しない記録計あるいは表示装置に供
給され、荷電粒子のビーム電流値が測定される。
ところで、荷電粒子が該容器の低部に入射すると
その入射部分から二次電子が発生するが、この二
次電子が該容器１の外部に逃げてしまうと、正確
にビーム電流値を測定することができなくなる。
通常、この対策として該容器１の上部に電源５か
ら負の電圧が印加される電極６を配置し、容器１
の外側に逃げる二次電子を容器１内部に戻すよう
に構成している。しかしながら、このような構成
では、電源５と電極６が必要となり、検出器全体
が高価となる。
本考案は、上述した点に艦みてなされたもの
で、簡単な構成で正確に荷電粒子を検出すること
ができる荷電粒子検出器を提供することを目的と
している。
で、簡単な構成で正確に荷電粒子を検出すること
ができる荷電粒子検出器を提供することを目的と
している。
本考案に基づく荷電粒子検出器は、荷電粒子入
射口を有する導電性容器を備え、該入射口を通
り、該容器に流れ込む荷電粒子の電流値を測定す
るようにした荷電粒子検出器において、該容器の
入射口近傍の容器内部に絶縁体を配置したことを
特徴としている。
射口を有する導電性容器を備え、該入射口を通
り、該容器に流れ込む荷電粒子の電流値を測定す
るようにした荷電粒子検出器において、該容器の
入射口近傍の容器内部に絶縁体を配置したことを
特徴としている。
以下、本考案の実施例を添附図面に基づいて詳
述する。
述する。
第１図において、第２図と同一構成要素につい
ては同一番号を付し、その詳細な説明は省略す
る。この第１図の実施例において、第２図の構成
と相異する点は、第２図の電源５と電極６とを取
り除き、その代わりに、荷電粒子入射口２の近傍
の容器１の内側にシート状の絶縁体７を貼り付け
た点である。このような構成において、荷電粒子
検出時の初期状態においては、容器１内部への荷
電粒子Ｂの入射に基づいて発生した二次電子のあ
る部分は、入射口２を通つて容器外側に逃げだす
ものの、二次電子の一部は該絶縁体７の表面に付
着し、比較的短時間に該絶縁体を帯電させる。そ
の結果、該絶縁体表面は負電圧に保たれ、その後
発生する二次電子は該帯電した絶縁体によつて容
器外部への進行が防止される。
ては同一番号を付し、その詳細な説明は省略す
る。この第１図の実施例において、第２図の構成
と相異する点は、第２図の電源５と電極６とを取
り除き、その代わりに、荷電粒子入射口２の近傍
の容器１の内側にシート状の絶縁体７を貼り付け
た点である。このような構成において、荷電粒子
検出時の初期状態においては、容器１内部への荷
電粒子Ｂの入射に基づいて発生した二次電子のあ
る部分は、入射口２を通つて容器外側に逃げだす
ものの、二次電子の一部は該絶縁体７の表面に付
着し、比較的短時間に該絶縁体を帯電させる。そ
の結果、該絶縁体表面は負電圧に保たれ、その後
発生する二次電子は該帯電した絶縁体によつて容
器外部への進行が防止される。
尚、この実施例では、シート状絶縁体７を容器
１の内壁に貼り付けたが、該絶縁体はシート状に
限らず、板状であつても良い。又、絶縁体は、入
射口の近傍に配置すれば良く、必ずしも容器に密
着して設ける必要はない。
１の内壁に貼り付けたが、該絶縁体はシート状に
限らず、板状であつても良い。又、絶縁体は、入
射口の近傍に配置すれば良く、必ずしも容器に密
着して設ける必要はない。
以上詳述した如く、本考案においては、電源や
電極を設けることなく、導電性容器の内部に絶縁
体を配置する簡単な構成により、正確な荷電粒子
の検出を行うことができるものである。
電極を設けることなく、導電性容器の内部に絶縁
体を配置する簡単な構成により、正確な荷電粒子
の検出を行うことができるものである。
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図
は、従来のフアラデイ・カツプ型の荷電粒子検出
器を示す図である。 １……導電性容器、２……荷電粒子入射口、４
……増幅器、７……絶縁体。
は、従来のフアラデイ・カツプ型の荷電粒子検出
器を示す図である。 １……導電性容器、２……荷電粒子入射口、４
……増幅器、７……絶縁体。
Claims (1)
- 荷電粒子入射口を有する導電性容器を備え、該
入射口を通り、該容器に流れ込む荷電粒子の電流
値を測定するようにした荷電粒子検出器におい
て、該容器の入射口近傍の容器内部に絶縁体を配
置したことを特徴とする荷電粒子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8467984U JPS61752U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 荷電粒子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8467984U JPS61752U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 荷電粒子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61752U JPS61752U (ja) | 1986-01-07 |
| JPH0321003Y2 true JPH0321003Y2 (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=30634389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8467984U Granted JPS61752U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 荷電粒子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61752U (ja) |
-
1984
- 1984-06-07 JP JP8467984U patent/JPS61752U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61752U (ja) | 1986-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6371537U (ja) | ||
| US4012729A (en) | Multi-element ionization chamber | |
| JP3431228B2 (ja) | 荷電粒子検出装置及び荷電粒子照射装置 | |
| US2479271A (en) | Ionization chamber circuit | |
| US4394676A (en) | Photovoltaic radiation detector element | |
| JPH0329759Y2 (ja) | ||
| JPS6233246Y2 (ja) | ||
| RU2085966C1 (ru) | Устройство для измерения плотности тока заряженных частиц | |
| JPH0321002Y2 (ja) | ||
| JPS5693339A (en) | Function test device of integrated circuit | |
| JPS57158576A (en) | Radiant ray measuring device | |
| JP2935362B1 (ja) | 放射線測定装置 | |
| JPS57179729A (en) | Detector for particle counter | |
| JPH0755512Y2 (ja) | ファラデ―カップモニタ | |
| JP2907469B2 (ja) | 電離箱式検出器 | |
| ATE350797T1 (de) | Vorrichtung zur fehlererkennung und messung an elektrischen versorgungsleitungen | |
| JPH0526549Y2 (ja) | ||
| JPS61752U (ja) | 荷電粒子検出器 | |
| JPH029429Y2 (ja) | ||
| JPS585671A (ja) | 電圧測定装置 | |
| JPS58173161U (ja) | 低速電子線防止スリツト | |
| JPS6119774U (ja) | 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 | |
| JPH0719170Y2 (ja) | 半導体放射線検出器 | |
| JPH0422051U (ja) | ||
| JPS62146979U (ja) |