JPH03210443A - 荷重検出装置、及び荷重検出装置の温度補償方法 - Google Patents

荷重検出装置、及び荷重検出装置の温度補償方法

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JPH03210443A
JPH03210443A JP2278380A JP27838090A JPH03210443A JP H03210443 A JPH03210443 A JP H03210443A JP 2278380 A JP2278380 A JP 2278380A JP 27838090 A JP27838090 A JP 27838090A JP H03210443 A JPH03210443 A JP H03210443A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、ロードセル等の起歪体に歪ゲージを形成し、
歪ゲージの出力を感温抵抗素子で温度補正する荷重検出
装置に関する。
(従来技術) 力や重量を電気信号に変換する荷重検出装置は、バネ材
となる金属材料、例えばアルミニューム合金からなるロ
ードセルに複数、例えば4枚の歪ゲージを貼着し、これ
ら4枚の歪ゲージをブリッジ回路に接続する一方、O−
ドセルの温度を検出する感温抵抗素子によりブリッジ出
力を補正するように構成されていた。
第6図は従来の荷重検出装置の一例を示すものであって
、ロードセルに貼着された銅−ニッケル合金箔歪ゲージ
A、B、C,D接続してなるブリッジ回路Eと、このブ
リ・ンジ回路Eの信号出力端子に非反転入力端子をそれ
ぞれ接続し、また反転入力端子にロードセルの温度を検
出する感温抵抗素子Fを接続してなる演算増幅器G、H
と、これら清算増幅器G、Hからの出力を受ける差動増
幅回路Jかうなり、ロードセルを構成しているアルミニ
ューム合金のヤング率の温度特性や、歪ゲージの温度特
性による荷重信号の変動を感温抵抗素子Fを備えた増幅
回路の増幅率を調整することにより行なわれていた。な
お、図中符号には精密抵抗を示す。
このような荷重検出装置によれば、補償温度設定点を挟
む比較的狭い範囲の温度変化に対しては、高い精度で荷
重信号を温度補正することができるものの、ブリッジ回
路からの出力の温度特性と、感温抵抗素子Fを含む増幅
回路の出力の温度特性が正の二次特性を有するため、第
7図に示したように補償温度設定点T0から離れるにし
たがって誤差ΔLが急患に大きくなるという問題がある
このような問題を解消するため、本出願人は、前記温度
抵抗素子Fとして正の二次温度係数を含まない第1の感
温抵抗素子と、正の二次温度係数を有する第2の感温抵
抗素子を組合せることにより、広い温度範囲にわたって
温度特性の優れた荷重検出装置を前に禮案した。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、第1の感温抵抗素子と第2の感温抵抗素
子との抵抗比率を調整しながら抵抗値を設定せねばなら
ず、温度補正作業が極めて面倒であるという問題があっ
た。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって
、その目的とするところは、単一種の温度抵抗素子によ
り正確に温度補正を行うことができる新規な荷重検出装
Mを提供することにある。
(課mを解決するための手段) このような問題を解消するために本発明においては、バ
ネ材からなる金属起歪体の表面に、精!抵抗構成材料に
より歪ゲージを形成し、前記歪ゲージをブリッジ接続し
てなるブリッジ回路と、非反転端子が前記ブリ・ンジ回
路の各信号出力端子に、またそれぞれの反転入力端子が
正の二次温度係数を有する感温抵抗素子と精密抵抗によ
り接続された第1及び第2の演算増幅器を備えるように
した。
(作用) ブリッジ回路からの出力は、正の二次温度係数をもった
特性を備えているのに対し、演算増幅器により構成され
る増幅回路の増幅率は、感温抵抗特注により二次の温度
係数が小さな温度特性に設定されるので、一種類の感温
抵抗素子により広い温度範囲で温度補償が可能となる。
(実施例) そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づい
て説明する。
第1図及び第2図は、本発明に使用するロードセルの一
実施例を示すものであって、図中符号1により示される
部材はロードセルで、バネ材となる金属材料、例えばア
ルミニューム合金により製作された角材の中央部にダン
ベル状の通孔2を穿設して特定部位に歪が生じやすいよ
うに構成されている。ロードセルの荷重が作用する面に
は、蒸着、及び熱処理温度に耐え、かつ弾性を失わない
高分子材、例えばポリイミドを塗布して電気絶縁層3が
形成され、この電気絶縁層3の表面に歪を検出するのに
好都合な4箇所に蒸着により、精密抵抗を構成するのに
通した材料、例えば窒化タンタル(T a N)により
M膜層を形成し、この被膜をフォトリングラフィにより
ゲージ抵抗体パターンに成形して歪ゲージ4.5.6.
7が一体的に作り付けられている。一方歪量ができるだ
け少ない箇所にはゼロ点補正用の抵抗体8.9.10.
11を形成するとともに、これら抵抗体と4つの歪ゲー
ジ4.5.6.7とは、歪ゲージ4.5.6.7がブリ
ッジの枝となるように導電パターン18.19によりブ
リッジ接続し、端子部14.15.16.17に引出さ
れている。
このようにしてブリッジ接続が終了した段階で、セロ点
補正用抵抗体8.9.10、]1をトリミングにより抵
抗値を調整してブリッジ全体の零点を補正し、次いで端
子部14.15.16、17にリード線を取り付けて防
湿材料を塗布して防湿処理を施すことにより歪ゲージ4
.5.6.7及びゼロ点補正用抵抗体8.9.10.1
1をブリッジ回路接続して搭載したロードセルが完成す
る。
第3図は、第1図及び第2図に示したロードセルを用い
た荷重検出装置の一実施例を示すものであって、図中符
号20は前述のO−ドセル1に形成されたブリッジ回路
である。2]、22はそれぞれ第1、第2の演算増幅器
で、それぞれ非反転入力端がブリッジ回路20の信号出
力端に接続され、また反転入力端子が精密抵抗23.2
418介して出力端子に接続されるとともに、各反転入
力端子間を後述する感温抵抗素子25と精密抵抗26を
介して接続されている。
25は前述の感温抵抗素子で、正の2次係数を有するニ
ッケルまたはニッケル合金により構成され、ロードセル
に固定されたり、可及的近傍に配WL′2!れてロード
セル1の温度を検出するようになっている。26は1次
温度係数をマツチングさせるための精密抵抗]2で、こ
の実施例においては感温抵抗素子10に直列接続されて
いる。なお、図中符号27は演算増幅器21.22から
出力を受けるとともに、これと協働して高入力インピー
ダンス差動増幅回路を構成する差動増幅回路を示す。
ところで、窒化タンタルにより構成した歪ゲージをアル
ミニューム合金製ロードセルに使用した出力のスパン係
数の温度変化率は、約350PPM/’Cであるのに対
して、銅−ニッケル合金製の歪ゲージを同じくアルミニ
ューム合金製ロードセルに使用した場合の温度変化率は
650PPM/”Cであるから、前者は復者の約喝とな
り、したがって第4図に示したようにニッケルまたはニ
ッケル合金からなる感温抵抗素子25の温度−抵抗特性
を利用することにより十分に温度補償を行なうことが可
能となる。
この実施例にあいで、予めロードセル1を含むブリッジ
回路20の温度変化に対する出力信号の変化を測定して
ブリッジ出力の温度−出力特許ヲ調査する。この温度−
出力特性を1+αΔT(ただしαは温度係数、6丁は補
償温度設定点からの温度差を表わす)なる式で近似して
係数αを求める。
このようにしてブリッジ出力の温度係数αが定まった段
階で、演算増幅器21.22及び差動増幅回路27かう
なる高入力差動増幅回路の出力の温度係数を求め、これ
からの出力がほぼ平坦化するようにニッケルまたはニッ
ケル合金の感温抵抗素子25、及び精密抵抗26のそれ
ぞれの抵抗値の合わせ込みを行う。
今、基準温度を25℃とし、(25◆■)℃におけるブ
リッジ回路20の定格出力! f (T)とすると、f
 sp (T) =Asp2s (1+α1IP2!I
T)ただし、 011P28:25℃におけるブリッジ出力の温度係数 ■  =25℃からの温度差 α、p:25℃におけるブリッジ出力の温度係数定数項 0211P :温度変化したときのブリッジ出力の温度
係数の温度依存項 αSP2!1”α18P+02SP Tにより表わすこ
とができる。
一方、(25・T)”Cにおける高入力差動増幅回路の
増幅率をf a(T)とすると、 ただし、 日、。25:25℃にあける感温抵抗素子25の抵抗値 Rs+  :精と抵抗体26の抵抗値 Rf :帰還抵抗体23.24の抵抗値α825:25
℃における増幅率の温度係数αl  :25℃における
増幅率温度係数定数項α2  :温度変化したときの増
幅率温度係数の温度依存項 αS25:α1+α2丁 として表わすことができる。
ブリッジ回路20の出力と高入力差動増幅回路と壱組合
せたときの全体の出力をf t(T)とすると、 f啄(D ” f IF(T)  f −(D・α2α
l5p)T・α2!2αd2H21ここで上記出力f 
t(T)の温度変化を抑えるためには、3次以上の項を
無視すると、1次、2次の項がぜ口となるようにすれば
よいから、となる、この条件を満足するように各抵抗値
Rf。
R8025、日、を設定すればよい。
ただしα1、α2は実験により求めたブリッジ回路20
の出力の温度特性により一義的に定まり、またα9、α
2は使用する感温抵抗素子25の温度係数に依存しざら
に増幅率(1÷28f/(R,。2.すRs+))をど
のような値にするかによって抵抗値Rf、R8025、
R81の抵抗値の比が決まるので、これらから上記2式
を満足する感温抵抗素子25と積上抵抗26の各々の抵
抗値が定まる。
これにより、ブリ・ンジ回路20から出力した信号の正
の2次温度変化分は、高入力差動増幅回路全体の負の2
次温度変化分1こより相殺されるから、温度補償設定点
T。を中心に広い温度範囲に亘る温度変化に問わりなく
、1鳳だけに比例した信号を出力することになる。
ところで、上述の実施例である窒化タンタルがうなる歪
ゲージは、通常の銅−ニッケル合金を使用した歪ゲージ
に比較して、窒化クンタルの比抵抗が6倍、またゲージ
率が1.5倍と大きいため、低いブリッジ電圧でも十分
な検出出力を得ることができ、したがって特に電源を電
池に求める装置には最適な荷重検出手段となる。
また、前述したように窒化タシタルにより構成した歪ゲ
ージの比抵抗が大きいためブリッジ回路に流れる電流が
少なくなり、したがって歪ゲージ及びゼロ点補正用抵抗
のジュール熱の発生量を可及的に抑えることができ、し
たがって動作時間とともにゲージやゼロ点補正用抵抗体
からの熱を受ける起歪体の温度変化が小さくなり、検出
出力の温度ドリフトを抑えることができる。
なお、この実施例においては、起歪体をアルミニウム合
金により、また歪ゲージ1[化タンタルにより構成した
場合について説明したが、起歪体をバネ材として機能す
る金属材料、例えばステンレス鋼、モリブデン鋼、ベリ
リウム鋼合金等により構成したものや、また歪ゲージを
精密抵抗形成材として機能する銅−ニッケル合金、ニッ
ケルークロム合金等により構成しても同様の作用を奏す
ることを確認した。
また、この実施例においでは差動増幅回路27との組合
せによる高入力インピーダンス型増幅回路に通用しでい
るが、第5図に示したように演算増幅器30.31によ
り構成される高入力インビーダンス反転増幅回路に適用
しても同様の作用効果を奏することは明らかである。
さらに、この実施例においては感温抵抗素子25と精と
抵抗素子26を直列接続しで用いているが、並列接続し
て用いても同様の作用を奏することは明らかである。
(発明の効果) 以上、説明したように本発明においては、それぞれの非
反転入力端子が起歪体の表面に設けられた複数の歪ゲー
ジを含むブリッジ回路の各信号出力端に、またそれぞれ
の反転入力端子を正の2次温度係数を有する金属からな
る感温抵抗素子により接続した第1、第2の演算増幅器
を備えたので、単一1!類の感温抵抗素子の値を調整す
ることにより起歪体と、これに設けた歪ゲージを有する
ブリッジ出力の温度特性に実用上十分に一致した温度−
抵抗特性に合わせ込むことが可能となって、簡単な調整
作業で広い温度範囲で高い計量精度を得ることができる
【図面の簡単な説明】
第1図と第2図は、それぞれ本発明の一実施例を示す起
歪体の斜視図と断面図、第3図は第1図に示したロード
セルを使用した荷重検出装置の構成を示すプロ・νり図
、第4図は第3図に示した装置に使用する感温抵抗素子
の温度特性と、ブリッジ回路の温度出力特性を示す線図
、第5図は本発明の他の実施例を示すプロ・ンク図、第
6図は従来の荷重検出装置の一例を示すブロック図及び
第7図は従来の温度補正特性を示す線図である。 1・・・ロードセル 4〜7・・・窒化タンタル歪ゲージ 8〜11・・・セロ点補正用抵抗 25・・・ニッケルまたはニッケル合金製感温抵抗26
・・・精密抵抗

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)バネ材からなる金属起歪体の表面に、精密抵抗構
    成材料により歪ゲージを形成し、前記歪ゲージをブリッ
    ジ接続してなるブリッジ回路と、非反転端子が前記ブリ
    ッジ回路の各信号出力端子に、またそれぞれの反転入力
    端子が正の二次温度係数を有する感温抵抗素子と精密抵
    抗により接続された第1及び第2の演算増幅器からなる
    荷重検出装置。
  2. (2)起歪体に取り付けられたブリッジ回路の出力端に
    高入力作動増幅回路を接続した装置において、前記ブリ
    ッジ回路及び高入力作動増幅回路からなる回路系全体の
    出力信号の温度特性を求め、前記温度特性を表す関係式
    の温度依存項のうち、第3次より高次の項は無視する一
    方、第1次及び第2次の項の値がゼロとなるように前記
    高入力作動増幅回路を構成している抵抗の温度係数と、
    抵抗値を選択してなる荷重検出装置における温度補償方
    法。
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