JPH03210519A - 走査光学装置 - Google Patents

走査光学装置

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JPH03210519A
JPH03210519A JP588090A JP588090A JPH03210519A JP H03210519 A JPH03210519 A JP H03210519A JP 588090 A JP588090 A JP 588090A JP 588090 A JP588090 A JP 588090A JP H03210519 A JPH03210519 A JP H03210519A
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JP
Japan
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reflecting
mirror
scanning
laser beam
prism
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Application number
JP588090A
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English (en)
Inventor
Takehiko Nakai
武彦 中井
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光源から出射された光束を回転多面鏡の鏡面
で反射させることによって偏向走査する走査光学装置に
関する。
[従来の技術] 従来、走査光学装置として、例えば第6図に示す様に、
レーザ光源30から出射されるレーザビームLBを、所
定の画像情報に基づいて変調し、この変調されたレーザ
ビームLBをコリメータレンズ32により平行光とした
うえでシリンドリカルレンズ33に入れ、等速で回転す
る回転多面鏡34にて反射させることで、レーザビーム
LBを等連日運動で走査し、更にfθレンズ36によっ
て、等連日運動での走査を直線運動での走査に変換する
と共にレーザビームLBの径を絞って感光ドラム38上
に微小なスポットとして結像させて画像を記録するもの
が知られている。
この種の走査光学装置では、高速でレーザビームLBを
走査する為に、回転多面1134を高速で回転させるこ
とや回転多面鏡34の鏡面数を増やすことが考えられる
が、回転機構の機械構造上、回転速度の上昇には限界が
あることや鏡面増加によって回転多面1134が大型に
なることなどで。
より高速での走査は困難であった。また、記録画像の画
質をよ(するには、fθレンズ36の射出Fナンバーを
より小さくして感光ドラム38上のスポットの径を小さ
くすればよいが、その為には、fθレンズ36に入射す
るレーザビームLBのビーム径を大きくする必要がある
。しかし、ビーム径を大きくするには、回転多面鏡34
の鏡面を拡大しなければならず、その為、回転多面11
34が大型になって回転多面[134の回転速度を抑え
なければならないといった問題が生じて高速走査が困難
になる。
上記の諸問題が解決する為に、第7図に示す様に、ルー
フ型回転多面鏡48と、その一方の反射面48bに対向
して配設され少なくとも1つの平面鏡を有する固定反射
tIA50と、その他方の反射面48aに対向して配設
された174波長板52及び偏光ビームスプリッタ54
とを備えた走査光学装置40が考えられる。この装置に
おいては、半導体レーザ42からのレーザビームLBを
、コリメータレンズ44及びシリンドリカルレンズ46
を介して一方の反射面48aに入射して他方の反射面4
8bから出射し、更に、このレーザビームLBを、固定
反射鏡50で折返して同回転多面鏡48に再入射させて
偏向走査する様に構成しているので、レーザビームLB
の走査角が、第6図の装置の2倍に広がる。この為、同
じ走査中を実現する場合、第6図の装置よりルーフ型回
転多面鏡48の外径を小さくし小型化できるので(走査
角を小さく出来、各鏡面を小さく出来るから)ルーフ型
回転多面鏡48の高速回転が可能となる。
また、回転軸と垂直な同一平面内(第8図に示す)にあ
る反射面48a又は48bの走査角を比較的少な(出来
るので、反射面48a、48bを充分な大きさとしレー
ザビームLBのfθレンズからの射出Fナンバーを充分
小さくして感光ドラム(不図示)上のスポットの径を充
分小さくすることができ、感光ドラムに高画質の画像を
記録できる。
ところで、上記の光学的構成では、ルーフ型回転多面!
148におけるレーザビームLBの入射光路と出射光路
とが同一光路となるときがあるので、出射光路をどこか
で分離する必要がある0例えば、第8図に示す様に、ル
ーフ型回転多面11148の主走査断面においてレーザ
ビームLBを斜めに入射させて、入射光路と出射光路と
を分離させることが考えられる。しかし、この場合、走
査の際のレーザビームLBの横シフト量が大きくなり、
ルーフ型回転多面鏡48が大型化して(11面を広くし
なければならないので)ルーフ型にしたメリットがな(
なるといった問題が起こる。また、第9図に示す様に、
ルーフ型回転多面1148の副走査断面においてレーザ
ビームLBを斜めに入射することも考えられるが、ルー
フ型回転多面鏡48が大型化することはないものの、レ
ーザビームしBがねじれて走査線が曲がると共に結像性
能が悪くなる。
そこで、上記装置40では、え/4板52及び偏光ビー
ムスプリッタ54を用いて、入射光路と出射光路とを分
離している。即ち、半導体レーザ42から出射され、偏
光ビームスプリッタ54を透過してきたレーザビームL
Bは、′L/4板52板上2直線偏光から円偏光に変換
されてからルーフ型回転多面!148に入射する。そし
て、ルーフ型回転多面鏡48の反射面48a、48bと
固定反射!I50とで奇数回反射されることで逆回りの
円偏光に変換された後に、え/4板52に再入射して入
射時の直線偏光とは偏光面が直角となった直線偏光に変
換され、今度は偏光ビームスプリッタ54で反射され、
更に反射鏡56で反射されて、入射光路と副走査方向断
面において平行な光路を取ってfθレンズ(不図示)を
通り、感光ドラム(不図示)上に結像する。
[発明が解決しようとする課題] しかし、上記装置では、ルーフ型回転多面II48によ
って偏向走査されたレーザビームLBが、え/4板52
及び偏光ビームスプリッタ54に画角を持って入射する
為、走査中をカバーできるサイズのえ/4板52及び偏
光ビームスプリッタ54が必要となり、これらの部材5
2.54が大型化するという問題が生じる。
更に、軸上と軸外とで、偏向走査されたビームの′L/
4板52への入射角度が変化するので、ルーフ型回転多
面鏡48で反射された円偏光が完全な円偏光としてえ/
4板52へ入射せず、その為え/4板52で直線偏光に
変換されるときに完全な直線偏光とならなく、偏光ビー
ムスプリッタ54で反射されるときに光量損失を生じる
といった問題もある。もちろん、入射角度依存性の少な
い貼合わせ形の水晶λ/4板を用いることが考えられる
が、高価である為作製コストが大幅に上がってしまう。
そこで、本発明の目的は、小型かつ比較的安価に作製で
き、光量拶失の少ない走査光学装置を提供することにあ
る。
[課題を解決する為の手段] 上記目的を達成する本発明では、光源から出射された光
束を回転多面鏡の鏡面で反射させて偏向走査する走査光
学装置において、前記回転多面鏡の各鏡面は、回転多面
鏡の回転中心方向へ傾斜し互いに直交する対をなす反射
面からなり、該対をなす反射面の一方に対向して、該一
方の反射面へ戻す少なくとも1つの反射面を有する反射
鏡が固定され、上記対を成す反射面の他方に対向して。
フレネルロムプリズム及び偏光ビームスプリッタが配設
されている。
具体的には、固定反射鏡は1つの反射面を持つ平面鏡で
あったりルーフ型反射鏡であったりし、光源から回転多
面鏡へは、主走査面において光軸に対して傾いた偏光ビ
ームスプリッタ或は主走査面において光軸に対して傾い
たフレネルロムプリズムを介して光束が導かれる。
[実施例] 以下本発明を適用した実施例を図面に沿って説明する。
まず、本発明の第1実施例について説明する。
第1図は第1実施例の正面図(副走査方向断面における
図)、第2図は同平面図(主走査断面における図)であ
る。
図に示す様に、走査光学装置1は、レーザビームLBを
発光する光源としての半導体レーザ3と、半導体レーザ
3から入射するレーザビームLBを平行光に整えるコリ
メータレンズ5と、所定方向にのみ光を集束させるシリ
ンドリカルレンズ7と、内方に傾斜し互いに直交する2
つの反射面9a、9bで形成された鏡面を複数封有する
ルーフ型回転多面鏡(以下、単に多面鏡という)9と、
その一方の反射面9aに対向して配設された偏光ビーム
スプリッタ11と、偏光ビームスプリッタ11と多面鏡
9との間に配設されたフレネルロムプリズム(フレネル
の斜方体)13と、多面鏡9の他方の反射面9bに対向
して配設され、1つの平面鏡から成る固定反射鏡15と
を主要部として構成されている。
シリンドリカルレンズ7は、主走査断面に垂直な方向で
ある副走査方向にのみパワーを有し、コリメータレンズ
5から入射する平行光ビームLBを固定反射鏡15にお
いて線上に結像させる。
偏光ビーム入プリッタ11は、主走査断面において、半
導体レーザ3から入射するレーザビームLBに対して所
定角度をもって(すなわち光軸に対して傾いて)配設さ
れている。従って、入射面に対して偏光方向が所定角度
を持った直線偏光のレーザビームLBは、偏光ビームス
プリッタ11を光量損失な(透過し、フレネルロムプリ
ズム13に入射する。
第3図に示す様に、フレネルロムプリズム13は、断面
が平行四辺形の透明等方体から成る角柱部材からなり、
半導体レーザ3から偏光ビームスプリッタ11を介して
入射する直線偏光のレーザビームLBを円偏光に、また
偏向走査されて多面鏡9から入射する円偏光のレーザビ
ームLBを直線偏光に変換する偏光プリズムである。フ
レネルロムプリズム13においては、入射した直線偏光
のレーザビームLBはプリズム面で全反射されると共に
電気ベクトルが入射面に平行な偏光であるP波成分と入
射面に垂直な偏光であるS波成分とに分離される。その
際のS偏光の位相とびδS及びP偏光の位相とびδPは
、フレネルロムプリズム13の屈折率をn、入射角をθ
とすると、フレネルの式から明らかな様に、次式で表わ
される。
δ5=2tan−’ ((n”  s i n”−θ−
1)l/1/n−cosθ) δP=2jan−’(n  (n”  sin”  θ
−1)l/a/ c o sθ) ここで、フレネルロムプリズム13の角度位相差(δP
−δS)とプリズム入射角度との相関関係の一例(屈折
率n41.51)を、第4図(A)に示す、この図から
明らかな様に、フレネルロムプリズム13へのレーザビ
ームLBの入射角度が45°〜50°の範囲になる様に
、レーザビームLBに対するフレネルロムプリズム13
の配設角度を調整すると、角度位相差は45゛程度とな
る。レーザビームL Bがフレネルロムプリズム13を
通過する際には、フレネルロムプリズム13のプリズム
面で2回全反射されるので、その角度位相差は90°程
度となる。従って、レーザビームLBは、直線偏光から
円偏光に変換される。
走査光学装置1においては、半導体レーザ3から出射さ
れたレーザビームLBは、コリメータレンズ5を通過す
ると平行光となって進み、偏光ビームスプリッタ11透
過し、フレネルロムプリズム13を通って多面鏡9の一
方の反射面9aに入射する。このとき、光軸に対して所
定角度をもった直線偏光のレーザビームLBは偏光ビー
ムスプリッタ11を透過後、フレネルロムプリズム13
により円偏光に変換される。
そして、レーザビームLBは、多面鏡9の一方の反射面
9aで反射されて他方の反射面9bに入射し、ここで更
に反射されることで、一方の反射面9aに入射するとき
の方向とは正反対方向へ進む、すると、レーザビームL
Bは、その進行方向に交わる様に配設された固定反射!
115で反射されて折返されるので、上記反射面9bに
再入射し、反射面9b−反射面9a−フレネルロムプリ
ズム13という光路を取って、′反射面で奇数回反射さ
れるので入射時とは逆回りの円偏光となってフレネルロ
ムプリズム13から偏光ビームスプリッタ11へ再入射
する0円偏光であるレーザビームLBは、フレネルロム
プリズム13で、入射時の直線偏光とは偏光面が直角と
なった直線偏光に変換されるので、今度は偏光ビームス
プリッタ11で反射される。そして、補助反射[117
で反射されfθレンズ(不図示)を通り、感光ドラム(
不図示)上に結像される。このとき、第2図に示す様に
、多面!19が回転することで、偏光ビームスプリッタ
11を通過したレーザビームLBは、等連日運動で主走
査断面において走査されるが、fθレンズによって直線
運動に変換され感光ドラム上を走査される。
上記した光路を取ってレーザビームLBは進行するので
あるが、その際、P偏光とS偏光の角度位相差が90@
からズしていると、レーザビームLBは、フレネルロム
プリズム13において、直線偏光から完全な円偏光に変
換されず楕円偏光となる。レーザビームLBが楕円偏光
であると、偏光ビームスプリッタ13で反射される際に
、光量損失が起こる。
そこで、この損失を防ぐために、フレネルロムプリズム
13のプリズム角を48°、レーザビームLBの走査角
範囲をO°〜34°とする。こうすると、第4図(B)
に示した偏光度(Ellipticity、ωX100
=tanδ/2x100)とプリズム入射角度との相関
関係から明らかな様に、プリズム反射面へ入射する角度
は48〜56.3°の範囲に収まり、全走査角での光量
のばらつきが5%以内となる。
上記した様に本実施例は、多面鏡9の一方の反射面9a
に対向して、フレネルロムプリズム13と偏光ビームス
プリッタ11とを配設することにより、多面鏡9により
走査されるレーザビームLBの多面!119からの出射
角度(フレネルロムプリズム13への入射角度)の変化
によって起こる光量損失を低減することができる。加え
て、入射角度依存性が強いλ/4板或は高価な水晶え/
4板を用いる必要がな(多面鏡9に斜めに光束を入射さ
せなくて済むので(第8図参照)、装置を小型にかつ安
価に作製できる。
また、本実施例は、回転多面鏡9の一方の反射面9bに
対向して固定反11115を配設し、回転多面鏡9の2
つの反射面9a、9bにて反射されて固定反射鏡15に
入射されたレーザビームLBを、固定反射鏡15にて折
返して、再び2つの反射面9a、9bにて反射される様
に構成したので、レーザビームLBの走査角が、第6図
の従来例の2倍に広がる。この為、ルーフ型回転多面鏡
9の外径を小さくし小型化できるので、ルーフ型回転多
面鏡7の高速回転が可能となり、レーザビームLBの高
速走査が可能となる。或は、同じ大きさであっても多面
鏡9の鏡面数を増やすことが可能で、回転速度を上げる
ことなく、より高速でレザビームLBを走査することが
可能となる。
尚、本実施例では、フレネルロムプリズム13の全反射
によるP偏光とS偏光の位相差を利用する為、偏光ビー
ムスプリッタ11の反射面を、直進するレーザビームL
Bに対して(すなわち光軸に対して)、第2図に示す様
に走査断面において所定角度傾けることで、レーザビー
ムLBがP偏光成分とS偏光成分とを含む45°傾いた
ビームとしてフレネルロムプリズム13に入射するよう
に構成した為、レーザビームLBの断面は楕円状となり
、結像スポットは感光ドラム上で傾くが、第5図に示す
様に、フレネルロムプリズム13を光軸に対して傾けて
、レーザビームLBの断面を円形状に整形すことで、良
好な画像を記録することができる。
[発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、回転多面鏡の複数
対の一方の反射面に対向して固定反射鏡を配設し、他方
の反射面に対向して入射ビームと出射ビームの光路な分
離する手段としてフレネルロムプリズム及び偏光ビーム
スプリッタを配設したので、光量損失を低減することが
でき、従来のように入射角度依存性の大きいえ/4板或
は高価な水晶λ/4板を用いる必要がない。すなわち、
全走査角で偏光のリタデーションの差の少なく光量ロス
の少ない且つ安価でコンパクトな走査光学系を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1実施例の副走査方向断面における構成を示
す図、第2図は同主走査断面における図、第3図はフレ
ネルロムプリズムの説明図、第4図(A)はフレネルロ
ムプリズムの角度位相差とプリズム入射角度との相関特
性を示すグラフ、第4図(B)は同人射角度と偏光度と
の相関特性を示すグラフ、第5図は第2図においてフレ
ネルロムプリズムの配設角度を変更した例の図、第6図
は従来例を示す斜視図、第7図は他の従来例の副走査方
向断面における図、第8図は更に他の従来例の主走査断
面における図、第9図は更に他の従来例の副走査方向断
面における構成を示す図である。 1・・・・・走査光学装置、3・・・・・半導体レーザ
、9・・・・・ルーフ型回転多面鏡、11・偏光ビーム
スプリッタ、  3 ・フレネルロムプリズム、 ・固定反 射鏡

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光源から出射された光束を回転多面鏡の鏡面で反射
    させて偏向走査する走査光学装置において、 前記回転多面鏡の各鏡面は、回転多面鏡の 回転中心方向へ傾斜し互いに直交する対を成す反射面か
    らなり、 該対をなす反射面の一方に対向して、該一 方の反射面へ戻す少なくとも1つの反射面を有する反射
    鏡が固定され、 上記対を成す反射面の他方に対向して、フ レネルロムプリズム及び偏光ビームスプリッタが配設さ
    れている走査光学装置。 2、上記偏光ビームスプリッタが上記光束の走査面にお
    いて光軸に対して所定角度をなして配設された請求項1
    記載の走査光学装置。 3、上記フレネルロムプリズムが上記光束の走査面にお
    いて光軸に対して所定角度をなして配設された請求項1
    記載の走査光学装置。
JP588090A 1990-01-12 1990-01-12 走査光学装置 Pending JPH03210519A (ja)

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JP588090A JPH03210519A (ja) 1990-01-12 1990-01-12 走査光学装置

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