JPH03211448A - 赤外線式ガスセンサー - Google Patents
赤外線式ガスセンサーInfo
- Publication number
- JPH03211448A JPH03211448A JP2006643A JP664390A JPH03211448A JP H03211448 A JPH03211448 A JP H03211448A JP 2006643 A JP2006643 A JP 2006643A JP 664390 A JP664390 A JP 664390A JP H03211448 A JPH03211448 A JP H03211448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- gas
- infrared detector
- circuit board
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は光源から放射された赤外線がガスにより吸収さ
れ減衰する性質を利用してガスの濃度を測定する赤外線
式ガスセンサーに関する。
れ減衰する性質を利用してガスの濃度を測定する赤外線
式ガスセンサーに関する。
(ロ)従来の技術
赤外線式ガスセンサーは被測定ガスに吸収されずに到達
する赤外線の量を検出することにより非接触でガス濃度
を測定するガス濃度計等に用いられており、赤外線の検
出に用いられる素子は一般的に微分入力形で、焦電素子
はその代表的なものである。
する赤外線の量を検出することにより非接触でガス濃度
を測定するガス濃度計等に用いられており、赤外線の検
出に用いられる素子は一般的に微分入力形で、焦電素子
はその代表的なものである。
従来の赤外線式ガスセンサー100を第5図に示す。セ
ンサー100は焦電素子から成る赤外線検出部S、切欠
部101を有しモータ102によって回転される金属円
板103から成るチョッパ104、金属円板103の位
置検出器105とから構成されており、赤外線量に応じ
た出力を、金属円板103が入射赤外線Uを断続するの
と同じ周波数の交流信号として発生するものである。
ンサー100は焦電素子から成る赤外線検出部S、切欠
部101を有しモータ102によって回転される金属円
板103から成るチョッパ104、金属円板103の位
置検出器105とから構成されており、赤外線量に応じ
た出力を、金属円板103が入射赤外線Uを断続するの
と同じ周波数の交流信号として発生するものである。
また、近年第1図に示す如き所謂モジュレーションタイ
プの焦電形赤外線検出器1も開発されている。検出器1
はシールドボックス2内に前述の赤外線検出部Sを収納
し、シールドボックス2に形成した図示しない透孔に対
応する位置に圧電バイモルフ振動子3によって駆動され
るスリット部材4から成るチョッパCを設け、更にそれ
に対応する位置に透孔5を形成したケース6にて全体を
カバーして構成されている。スリット部材4は第2図に
示す如くスリットを形成した2枚の板を重合関係に取り
付けて構成され、チヨ、7バCに入力される駆動電圧の
周波数と同じ周波数で圧電バイモルフ振動子3が振動す
ることによりスリットを開閉し、透孔5より入射して赤
外線検出部Sに到達する赤外線Uを断続して、赤外線量
に応じた出力をチョッパCの入力周波数と同じ周波数の
交流信号として発生する。
プの焦電形赤外線検出器1も開発されている。検出器1
はシールドボックス2内に前述の赤外線検出部Sを収納
し、シールドボックス2に形成した図示しない透孔に対
応する位置に圧電バイモルフ振動子3によって駆動され
るスリット部材4から成るチョッパCを設け、更にそれ
に対応する位置に透孔5を形成したケース6にて全体を
カバーして構成されている。スリット部材4は第2図に
示す如くスリットを形成した2枚の板を重合関係に取り
付けて構成され、チヨ、7バCに入力される駆動電圧の
周波数と同じ周波数で圧電バイモルフ振動子3が振動す
ることによりスリットを開閉し、透孔5より入射して赤
外線検出部Sに到達する赤外線Uを断続して、赤外線量
に応じた出力をチョッパCの入力周波数と同じ周波数の
交流信号として発生する。
(ハ)発明が解決しようとする課題
上記いずれの検出器においても、赤外線検出部Sから得
られる交流信号は微弱なものであり、直流成分のリップ
ルとして現れる。従って、この中の交流成分は増幅しな
ければ使用できない。しかしながら赤外線検出部Sと増
幅回路部分が従来では離れていたため、その間の信号線
から雑音が進入し、良好な検出の妨げとなっていた。
られる交流信号は微弱なものであり、直流成分のリップ
ルとして現れる。従って、この中の交流成分は増幅しな
ければ使用できない。しかしながら赤外線検出部Sと増
幅回路部分が従来では離れていたため、その間の信号線
から雑音が進入し、良好な検出の妨げとなっていた。
本発明は、係る課題を解決することを目的とする。
(ニ)課題を解決するための手段
本発明は、赤外線を発生する光源と、被測定ガスを流通
させるためのガスセルと、圧電バイモルフチョッパを内
蔵したモジュレーションタイプの赤外線検出器と、この
赤外線検出器を内包するための支持部材とから成り、前
記被測定ガスを通過した赤外線を赤外線検出器に入射さ
せて出力を得る赤外線式ガスセンサーに於て、赤外線検
出器を他の電気部品が取り付けられる回路基板に取り付
けると共に、回路基板を支持部材に固定することにより
赤外線検出器を支持部材内所定位置に設けたものである
。
させるためのガスセルと、圧電バイモルフチョッパを内
蔵したモジュレーションタイプの赤外線検出器と、この
赤外線検出器を内包するための支持部材とから成り、前
記被測定ガスを通過した赤外線を赤外線検出器に入射さ
せて出力を得る赤外線式ガスセンサーに於て、赤外線検
出器を他の電気部品が取り付けられる回路基板に取り付
けると共に、回路基板を支持部材に固定することにより
赤外線検出器を支持部材内所定位置に設けたものである
。
(ホ)作用
本発明によれば赤外線式ガスセンサーの赤外線検出器と
他の電気部品間の距離を極めて短くすることにより、そ
の間からのノイズの侵入を低減できる。
他の電気部品間の距離を極めて短くすることにより、そ
の間からのノイズの侵入を低減できる。
(へ)実施例
次に本発明の実施例を図面において説明する。
第1図は本発明の赤外線式ガスセンサーAの縦断面図を
、また、第2図はその斜視図を示す。更に第3図は近年
開発された所謂モジュレーションタイプの焦電形赤外線
検出器1の分解斜視図を示している。赤外線検出器1は
シールドボックス2内に前述の赤外線検出部Sを収納し
、シールドボックス2に形成した図示しない透孔に対応
する位置に圧電バイモルフ振動子3によって駆動される
スリット部材4から成るチョッパCを設け、更にそれに
対応する位置に透孔5を形成したケース6にて全体ヲカ
バーし、このケース6内にこれらの部品を内蔵せしめて
いる。スリット部材4は第4図に示す如くスリットを形
成した2枚の板を重合関係に取り付けて構成され、チョ
ッパCに入力される駆動電圧の周波数と同じ周波数で圧
電バイモルフ振動子3が振動することによりスリットを
開閉し、透孔5より入射して赤外線検出部Sに到達する
赤外線Uを断続して、赤外線量に応じた出力をチョッパ
Cの入力周波数と同じ周波数の交流信号として発生する
。
、また、第2図はその斜視図を示す。更に第3図は近年
開発された所謂モジュレーションタイプの焦電形赤外線
検出器1の分解斜視図を示している。赤外線検出器1は
シールドボックス2内に前述の赤外線検出部Sを収納し
、シールドボックス2に形成した図示しない透孔に対応
する位置に圧電バイモルフ振動子3によって駆動される
スリット部材4から成るチョッパCを設け、更にそれに
対応する位置に透孔5を形成したケース6にて全体ヲカ
バーし、このケース6内にこれらの部品を内蔵せしめて
いる。スリット部材4は第4図に示す如くスリットを形
成した2枚の板を重合関係に取り付けて構成され、チョ
ッパCに入力される駆動電圧の周波数と同じ周波数で圧
電バイモルフ振動子3が振動することによりスリットを
開閉し、透孔5より入射して赤外線検出部Sに到達する
赤外線Uを断続して、赤外線量に応じた出力をチョッパ
Cの入力周波数と同じ周波数の交流信号として発生する
。
また、この様な構成によって赤外線検出器lは非常に小
型になり、プリント回路基板に実装できる寸法になって
いる。
型になり、プリント回路基板に実装できる寸法になって
いる。
赤外線式ガスセンサーAは、例えば二酸化炭素ガス濃度
の測定に用いられるもので、透孔5には赤外線を透過す
るサファイヤガラス窓7が取り付けられている。
の測定に用いられるもので、透孔5には赤外線を透過す
るサファイヤガラス窓7が取り付けられている。
次に第1図及び第2図において、8は赤外線検出器1を
取り付けるためのプリント回路基板、9は回路基板8を
支持するための支持部材である。
取り付けるためのプリント回路基板、9は回路基板8を
支持するための支持部材である。
支持部材9はTO08程度の薄肉ステンレス板にて箱状
に形成されており、下方に開放し、且つ、上面に挿通孔
10が穿設されている。また、回路基板8の赤外線検出
tiSlが取り付けられる側と同一面には赤外線検出器
1が電気的に接続される他の電気部品(11にて総称す
る。)も取り付けられる。
に形成されており、下方に開放し、且つ、上面に挿通孔
10が穿設されている。また、回路基板8の赤外線検出
tiSlが取り付けられる側と同一面には赤外線検出器
1が電気的に接続される他の電気部品(11にて総称す
る。)も取り付けられる。
12は真鍮式るいはアルミニウムの削り出し等にて矩形
状に成形したガスセルであり、内部に被測定ガスである
二酸化炭素ガスが流通するための通路13が左右に形成
され、更に、この通路13を貫通して上下に透孔14が
穿設され、サファイヤガラス15.15にて上下を封止
されている。
状に成形したガスセルであり、内部に被測定ガスである
二酸化炭素ガスが流通するための通路13が左右に形成
され、更に、この通路13を貫通して上下に透孔14が
穿設され、サファイヤガラス15.15にて上下を封止
されている。
また16.17はガスを導入する為の図示しなり)チュ
ーブが接続されることになるガス入口及び出口である。
ーブが接続されることになるガス入口及び出口である。
18はやはり真鍮酸るいはアルミニウムの削り出し等に
て矩形状に成形した光源プロ・ンクであり内部は中空と
なっていて、ここと上面を連通する透孔19が形成され
ている。
て矩形状に成形した光源プロ・ンクであり内部は中空と
なっていて、ここと上面を連通する透孔19が形成され
ている。
20は赤外線を発する電気ヒータから成る光源であり、
先端部が約600℃に発熱することにより赤外線を放射
する。この光源20は光源プロ・lり18内部に収納し
、先端部を透孔19に対応させて閉塞板21にて位置決
めして遮蔽する。次にガスセル12を光源ブロック18
上に載せ、透明ガラス15を透孔19に対応させた状態
で、ガスセル12の上面よりネジ22.22にて光源ブ
ロック18に固定する。更にガスセル12の上から支持
部材9を被せて両側よりネジ23.23にてガスセル1
2に固定する。この時支持部材9はガスセル12を内包
し、その切欠部25からガス人口16及び出口17のみ
が外部に臨んでいる。
先端部が約600℃に発熱することにより赤外線を放射
する。この光源20は光源プロ・lり18内部に収納し
、先端部を透孔19に対応させて閉塞板21にて位置決
めして遮蔽する。次にガスセル12を光源ブロック18
上に載せ、透明ガラス15を透孔19に対応させた状態
で、ガスセル12の上面よりネジ22.22にて光源ブ
ロック18に固定する。更にガスセル12の上から支持
部材9を被せて両側よりネジ23.23にてガスセル1
2に固定する。この時支持部材9はガスセル12を内包
し、その切欠部25からガス人口16及び出口17のみ
が外部に臨んでいる。
上記赤外線検出器1は予め回路基板8に半田付けしてお
く。而して回路基板8は赤外線検出器1を挿通孔10か
ら支持部材9内に挿入した状態で支持部材9にネジ26
.26にて固定する。この時双方のネジ孔は赤外線検出
51の透孔5が透明ガラス15に対応する様な位置関係
で形成しておく。また、電気部品11は支持部材9の側
方に位置せしめる。
く。而して回路基板8は赤外線検出器1を挿通孔10か
ら支持部材9内に挿入した状態で支持部材9にネジ26
.26にて固定する。この時双方のネジ孔は赤外線検出
51の透孔5が透明ガラス15に対応する様な位置関係
で形成しておく。また、電気部品11は支持部材9の側
方に位置せしめる。
次に第5図は回路基板8に装設される赤外線検出器1及
び電気部品11の電気回路図を示している。それぞれ破
線で該当部分を示している。DCはそれぞれ十−の直流
電源、Plは出力端子、P2は接地端子である。27は
赤外線検出S1の出力を増幅するFETである。28は
FET27の出力を増幅する交流増幅用オペアンプ、2
9はFET用電源である。抵抗31はオペアンプ28の
増幅ゲインを調整するもので、これによってガスセンサ
ーとしてのバラツキを小さくでき、互換性のある装置に
できる。オペアンプ28の出力は図示しない整流回路、
A/D変換回路及びマイクロコンピュータが取り付けら
れた回路基板に接続されて当該マイクロコンピュータに
入力され、ガス濃度の制御や表示をするためのデータと
して演算処理に供されることになる。
び電気部品11の電気回路図を示している。それぞれ破
線で該当部分を示している。DCはそれぞれ十−の直流
電源、Plは出力端子、P2は接地端子である。27は
赤外線検出S1の出力を増幅するFETである。28は
FET27の出力を増幅する交流増幅用オペアンプ、2
9はFET用電源である。抵抗31はオペアンプ28の
増幅ゲインを調整するもので、これによってガスセンサ
ーとしてのバラツキを小さくでき、互換性のある装置に
できる。オペアンプ28の出力は図示しない整流回路、
A/D変換回路及びマイクロコンピュータが取り付けら
れた回路基板に接続されて当該マイクロコンピュータに
入力され、ガス濃度の制御や表示をするためのデータと
して演算処理に供されることになる。
光源20から発射された赤外線はガスセル12の通路1
3内を流通する被測定ガス内を通過する過程で吸収され
て減衰し、残りが検出器1の赤外線検出部Sに到達する
。このガスに吸収される赤外線の量はガスの濃度によっ
て変化するので、前述の交流出力の変化として、ガス濃
度を捕らえ、表示や濃度制御の情報として使用すること
ができる。
3内を流通する被測定ガス内を通過する過程で吸収され
て減衰し、残りが検出器1の赤外線検出部Sに到達する
。このガスに吸収される赤外線の量はガスの濃度によっ
て変化するので、前述の交流出力の変化として、ガス濃
度を捕らえ、表示や濃度制御の情報として使用すること
ができる。
ここで前記FETの出力は回路基板8上の接続部30に
て電気部品11部分と接続されてし)る。
て電気部品11部分と接続されてし)る。
従来電気部品11部分は赤外線検出器1とは別の前記整
流回路等が装設されている回路基板上に設けられていた
ため、この接続部30が長いリード線になりそこからノ
イズが侵入して制御が不安定となる問題があったが、本
発明の様に赤外線検出器1と電気部品11を同一回路基
板8上に微少出力ラインと電源ラインを短くしてノイズ
の侵入を抑制できる。また、実施例では電気部品11部
分は支持部材9の外部に存在しているので、光源20か
らの熱の影響を受けない。
流回路等が装設されている回路基板上に設けられていた
ため、この接続部30が長いリード線になりそこからノ
イズが侵入して制御が不安定となる問題があったが、本
発明の様に赤外線検出器1と電気部品11を同一回路基
板8上に微少出力ラインと電源ラインを短くしてノイズ
の侵入を抑制できる。また、実施例では電気部品11部
分は支持部材9の外部に存在しているので、光源20か
らの熱の影響を受けない。
次に第6図は赤外線検出器lの他の実施例を示しており
、この場合電気部品11は回路基板8の赤外線検出器1
の取り付けられた面とは反対側の面に取り付けられてい
る。これによって更に接続部30の距離を短くできると
共に、赤外線式ガスセンサーA全体の寸法を更にコンパ
クトにできるものである。
、この場合電気部品11は回路基板8の赤外線検出器1
の取り付けられた面とは反対側の面に取り付けられてい
る。これによって更に接続部30の距離を短くできると
共に、赤外線式ガスセンサーA全体の寸法を更にコンパ
クトにできるものである。
尚、実施例では二酸化炭素ガスの検出に本発明のセンサ
ーを適用したが、それに限られず、他の種類のガスにも
適用できる。その場合は窓7の材質をガスの種類に合わ
せて変更する。
ーを適用したが、それに限られず、他の種類のガスにも
適用できる。その場合は窓7の材質をガスの種類に合わ
せて変更する。
(ト)発明の効果
本発明によれば赤外線式ガスセンサーの赤外線検出器と
他の電気部品間の距離を極めて短くすることにより、そ
の間からのノイズの侵入を抑制できる。それによって検
出精度の向上が図れると共に赤外線式ガスセンサー全体
の寸法を極めて小型化できるので、特に小型の装置にお
いて設計上の制約が解消される。
他の電気部品間の距離を極めて短くすることにより、そ
の間からのノイズの侵入を抑制できる。それによって検
出精度の向上が図れると共に赤外線式ガスセンサー全体
の寸法を極めて小型化できるので、特に小型の装置にお
いて設計上の制約が解消される。
第1図から第6図は本発明の実施例を示し、第1図は赤
外線式ガスセンサーの縦断面図、第2図は同斜視図、第
3図はモジュレーションタイプの焦電形赤外線検出器の
分解斜視図、第4図はスリット部材の斜視図であり、第
5図は赤外線式ガスセンサーの電気回路図、第6図は赤
外線式ガスセンサーの他の実施例を示す図であり、第7
図は従来の赤外線検出器の斜視図である。 1・・・赤外線検出器、8・・・プリント回路基板、9
・・・支持部材、11・・・電気部品、12・・・ガス
セル、18・・・光源ブロック、20・・・光源、A・
・・赤外線式ガスセンサー S・・・赤外線検出部。 第1 図 第6図 第2図 0 1 8 第71!1 第3図
外線式ガスセンサーの縦断面図、第2図は同斜視図、第
3図はモジュレーションタイプの焦電形赤外線検出器の
分解斜視図、第4図はスリット部材の斜視図であり、第
5図は赤外線式ガスセンサーの電気回路図、第6図は赤
外線式ガスセンサーの他の実施例を示す図であり、第7
図は従来の赤外線検出器の斜視図である。 1・・・赤外線検出器、8・・・プリント回路基板、9
・・・支持部材、11・・・電気部品、12・・・ガス
セル、18・・・光源ブロック、20・・・光源、A・
・・赤外線式ガスセンサー S・・・赤外線検出部。 第1 図 第6図 第2図 0 1 8 第71!1 第3図
Claims (1)
- 1)赤外線を発生する光源と、被測定ガスを流通させる
ためのガスセルと、圧電バイモルフチョッパを内蔵した
モジュレーションタイプの赤外線検出器と、該赤外線検
出器を内包するための支持部材とから成り、前記被測定
ガスを通過した赤外線を前記赤外線検出器に入射させて
出力を得るものに於て、前記赤外線検出器を他の電気部
品が取り付けられる回路基板に取り付けると共に、該回
路基板を前記支持部材に固定することにより前記赤外線
検出器を前記支持部材内所定位置に設けてなる赤外線式
ガスセンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006643A JPH03211448A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 赤外線式ガスセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006643A JPH03211448A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 赤外線式ガスセンサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03211448A true JPH03211448A (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=11644049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006643A Pending JPH03211448A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 赤外線式ガスセンサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03211448A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08145882A (ja) * | 1994-11-26 | 1996-06-07 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2006643A patent/JPH03211448A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08145882A (ja) * | 1994-11-26 | 1996-06-07 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
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