JPH03212174A - 振動型モータを有する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は超音波モータを駆動源として、各種高精度な定
速送り、位置決め等を行なう超音波モータ装置に関する
ものである。

［従来の技術］ 超音波モータは、進行波の形成される振動体と、この振
動体に加圧接触している部材、例えはロータとを、進行
波により摩擦駆動して相対移動させるもので、低速領域
において安定した回転か得られる特性を有し、また振動
体と該部材とか加圧状態に保持されていることから、振
動体への駆動通電を断つと、直ちにその位置で相対移動
が停止されるという特長があるため、例えばプリンタの
紙送り機構や、プリンタの印字ヘットの駆動機構等の高
精度な駆動制御を必要とする装置の駆動源として用いる
提案がなされており、又カメラにおいてフォーカスレン
ズの駆動等にも用いられている。

方、超音波モータは、公知の如く金属性の例えば環形状
に形成された弾性体に圧電素子を接着したものを振動体
とし、該圧電素子において２群に区分けされた駆動相に
交流電圧を印加することによって、９０°の位相がずれ
たこの定在波の合成で進行波（波長λ）を弾性体に形成
するようになっており、該２群の駆動相は、れ、これら
両駆動相に印加する交流電圧は９０°の時間的位相を有
している。

他方、振動体の弾性体に圧接する部材は、該弾性体に形
成される進行波により摩擦駆動されるため、該弾性体と
は摩擦部材を介して圧接されるようになっている。

そして、高精度の相対移動を得るために、弾性体と摩擦
部材との接触部は非常に高い平面度を有する面に形成し
、且つ、該接触部面とモータの回転軸との直角度を高い
精度で形成し面圧ムラのないようにしている。

［発明が解決しようとしている課題］ しかし、超音波モータの弾性体と摩擦部材との接触面を
高精度の平面に仕上げるには、高度の加工技術を必要と
し、また加工時間が長くなる等の点からコストが高くな
る。

そこで、逆に加工時間を短くしてコストを下げようとす
ると平面度が悪くなり、特にラップ加工においては時間
短縮のために加圧力を上げると、弾性体及び摩擦材の平
面度が２つに折れ曲かった形になる、いわゆる２つ折れ
現象が発生する傾向にあり、これによって相対移動時に
面圧ムラを招き、回転ムラの原因となる。

また、面圧ムラは、弾性体に形成したスリットや、ロー
タの偏心、進行波のムラ、すなわち進行波の腹の位置が
弾性体のどの位置にあるかによって進行波の振幅が変動
する現象の影響が増長され、超音波モータによって駆動
される各被駆動部が振動し、制御が難しくなる場合があ
った。

本発明は、このような問題を解決し、被駆動部が面圧ム
ラ等の影響によって振動することをなくし、装置全体の
安定駆動を可能とした超音波モータ装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の目的を達成するための手段の一つは、弾性材料
製の振動弾性体に固着した電気−機械エネルギー変換素
子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる交流電圧を印
加することにより複数の定在波を励起し、これらの定在
波の合成にて進行波を該振動弾性体に形成し、以て該振
動弾性体と圧接する部材と該振動弾性体とを相対移動さ
せる超音波モータを駆動源とし、該超音波モータにて１
又は２以上の被駆動体を駆動する超音波モータ装置にお
いて、該超音波モータの２・Ａ−Ｎで求められる速度変
化の周波数成分のうち少なくともＡ＝１の周波数と、１
又は２以上の被駆動体及びこれらの伝達駆動系によって
構成される１又は２以上の他自由度の共振系の１又は２
以上の固有振動数の１又は２以上の固有振動数とが一致
或は近接しないように、該固有振動数或は駆動速度の少
なくとも一方を設定していることを特徴とする特許モー
タ装置に娶る。

［作　　　用］ 上記した構成の超音波モータ装置は、超音波モータの２
つ折れ現象に対応する速度変化の周波数成分の影響を回
避しているので、被駆動体が振動を発生することなく駆
動される。

［実　施　例］ 実施例１ 第１図は本発明による超音波モータ装置の実施例１を示
す図である。

本実施例は、円環型の超音波モータＡによってシート搬
送用のローラ９をフィードバック制御により回転駆動す
るもので、超音波モータＡとロータ９とはバネ構造を有
する第１のカップリングにより接続され、ロータ９とエ
ンコーダ１３とはバネ構造を有する第２のカップリング
１１により接続されており、ローラ９の回転状態をエン
コーダ１３により検出し、その検出信号に基づき超音波
モータ駆動回路５が所定の回転速度で超音波モータＡを
駆動するように構成している。

超音波モータＡは、進行波の形成される円環状の振動体
１に、ロータ４が摩擦部材３を介して圧接されており、
振動体１に形成される進行波により、ロータ４と一体の
摩擦部材３が摩擦駆動されてロータ４が所定方向に回転
駆動される。振動体１は、金属材料からなる円環状の弾
性体１ａの一端面側（駆動面とは反対面側）に駆動用の
圧電素子群等を含む圧電素子３を接着し、また弾性体１
ａの駆動面側には、周方向に沿ってスリットＩＣを複数
形成して振動の中立軸を下げ、スリットＳ間に形成され
る突起１ｂの端面を摩擦部材３に圧接させている。

６はロータ４の回転軸を軸支するベアリング、８．１０
ローラ９の回転軸を軸支するベアリング、１２はエンコ
ーダ１３の入力軸を軸支するベアリングである。ベアリ
ング６は偏心を規制するもので、回転軸の軸方向の規制
は、不図示のロータ４を振動体１に加圧機構による。

超音波モータ駆動回路５は、超音波モータＡの設定速度
と、エンコーダ１３で検出した速度とを比較して、一定
速度でローラ９が回転するように、超音波モータＡの圧
電素子２の駆動用圧電素子群に印加する交流電圧の振幅
を変化させる。

このように構成された軸系において、ロータ４の軸、第
１のカップリング７およびロータ９を第１の共振系（固
有振動数をＦｌ　とする）、ロータ９の軸、第２のカッ
プリング１１およびエンコーダ１３を第２の共振系（固
有振動数をＦ２とする）とし、これらの共振系の固有振
動Ｆ、、Ｆ２を、超音波モータＡの２つ折れ現象に対応
する速度変化の周波数成分子ｌ、進行波のムラの特に定
在波の数に対応する速度変化の周波数成分子２、スリッ
トの数に対応する速度変化の周波数成分子３、ロータの
偏心に対応する速度変化の周波数成分子４、進行波のム
ラに対応する一番低次の速度変化の周波数成分子ｓから
外れるように設定している。

なお、ｆＩ、ｆｉｎ　　ｆｓ、ｆ４＋　　ｆｓは下記式
により求められる。

ｆｌ；２・Ａ−Ｎ ｆ２＝２・ＡＩＳ−Ｔ−Ｎ ｆ３＝Ａ−Ｍ−Ｎ ｆ４＝Ａ−Ｎ ｆ５＝２・Ａ−Ｓ−Ｎ 但し、Ａは整数（１，２，３・・・）、Ｎは回転数（ｒ
ｐｓ）、Ｓは進行波の波数、Ｔは合成する定在波の数、
Ｍはスリット又は突起の数である。

ここで、超音波モータの回転数（Ｎ）を１１００（ｒｐ
＞　、進行波の波数（Ｓ）を８、スリットの数（μ）を
９０、Ａ＝１とすると、上記した周波数成分子＋、ｆ２
．ｆｓは、ｆ　１＝３．３（Ｈｚ）、ｆ　２　＝　５３
．３（）ＩＺ）、ｆ　、　ｍ　１５０（Ｉ（ｚ）　　　
ｆ　４＝　１．７（Ｈｚ）、ｆ　ｇ　＝２６．７（Ｈｚ
）となる。

したがって、上記した第１の共振系の固有振動数Ｆ１、
第２の共振系の固有振動数Ｆ２はこれらの周波数成分子
＋　、ｆｚ　、ｆｓ　、−ｆａ　。

ｆｓを避けるように構成すればよいことになる。

第１の共振系における軸の合成のねじりバネ定数をに、
　　ローラ９のイナーシャをＪ、とし、また第２の共振
系における軸のねじりバネ定数をに２、エンコーダ１３
のイナーシャをＪ２とし、イナーシャＪ１はイナーシャ
Ｊ２に対して非常に大ぎく、バネ定数に１はバネ定数に
２に対して非常に大きいとすれば、 となる。

ここで、実際にはローラ９や、エンコーダ１３のイナー
シャが最初にほぼ決定されるため、ＦｌとＦ２が１．７
［Ｈｚｌ、　３．３［Ｈ２］、２６．７［Ｈｚｌ。

５３．３［）ＩＺ］、　１５０［）１２］　をさけるよ
うに、カップリング７やカップリング１１あるいはロー
タ４の軸、ローラ９の軸、エンコーダ１３の軸等のねし
れバネ定数を、使用時の環境温度や負荷トルク等を考え
に入れて設定される。又、どうしても機械的な変更が難
しい場合は振動体１のスリットの数や、進行波の波数を
変更しても良い。

又、許されるならば回転数を変えることも有効である。

本特許を実施できない場合や更に減衰させなければなら
ない場合は、液体や気体の粘性やゴム等の粘弾性を利用
したダンパーや、摩擦による減衰や、磁力等を利用した
ダンパー等を用いてねじれ振動を減衰させることができ
る。

又、エンコーダ等のディジタル的なセンサを用いて制御
する場合エンコーダからフィードバックされる信号の周
波数のワウフラが発生することは知られているが、使用
時に問題があればこの周波数と共振系の固有振動数を一
致又は近接しないようにすることは当然である。

又、バースト信号で駆動するような積極的にワウフラを
発生させるような制御を用いる場合において、そのワウ
フラの周波数と共振系の固有振動数を一致又は近接しな
いようにすることは当然である。

又、共振系の固有振動数の内、実際に使用する時に、あ
まり問題とならなければワウフラの周波数と一致、又は
近接させても良いことは当然である。

以上はモータＡによる被駆動側の構成についてであるが
、モータＡの内部についても同様のことが言える。

上記実施例では、Ｆ、とＦ２を１．７［Ｈｚｌ、３．３
［Ｈｚｌ、５３．３［Ｈｚｌ、１５０［Ｈｚｌ　をさけ
ると記したが、この程度の低い周波数の場合通常はカッ
プリングや軸の剛性を上げて、Ｆ、とＦ２を１５０［Ｈ
ｚｌより十分高い周波数にし、且つＡが２以上の場合の
ｆｌ、　　第２．ｆ３＋　　第４をさけるか減衰させる
ように構成される。

実施例２ 第２図はおよその速度を指令すると、状況に応じて最適
な速度で回転するように超音波モータを制御する超音波
モータ装置のブロック図である。

速度領域指令手段５０によフて最適速度を最適速度選択
手段５１に指令すると、最適速度選択手段５１では、状
態検出手段５２によって検出された各種のパラメータや
超音波モータの速度制御しやすい回転速度のデータテー
ブルを用いて、たとえばファジィ制御の手法によって最
適速度を選択し、速度制御回路５３に対して速度指令を
出す。速度制御回路５３は、速度指令と速度検出手段５
４で検出した超音波モータ５５の回転速度とを比較し、
超音波モータ５５の回転速度が速度指令と等しくなるよ
うに制御している。

第３図は超音波モータの速度制御のしやすい領域を示す
図である。ａは振動体１の２つ折れによって発生するワ
ウフラッタの周波数と、回転速度の関係で、ａｏはａの
傾きの２倍としたものであり、ａで示すワウフラッタの
高周波成分である。

ｂは、２つの定在波の合成で９波の進行波を発生した時
進行波の振幅ムラと振動体の２つ折れによって発生する
ワウフラッタの周波数と、回転速度の関係で、ｂ゛は傾
きの２倍としたものであり、ｂで示すワウフラッタの高
周波成分である。

Ｃは、振動体に形成された６０箇所の一定間隔のスリッ
トと、振動体の２つ折れにょフて発生するワウフラッタ
の周波数と回転速度の関係で、ＣはＣの傾きの２倍とし
たものであり、Ｃで示すワウフラッタの高周波成分であ
る。

図中の斜線部分は、固有振動数ｆｔ、ｆｔとワウフラッ
タの周波数が近接してしまう回転速度領域を示しており
、この領域をはずせば比較的制御しやすくなり、ワウフ
ラッタも減少する。

なお、多種のモータの中からモータを選択する選択手段
によって選択されたモータで多種の用途に使用する機械
あるいはそれぞれ異なる１つの用途に使用する多種の機
械から選択した機械を駆動する装置において、超音波モ
ータの種類を振動体の大きさや、振動体上に構成された
スリットの溝深さを変えたものだけでなく、スリットの
数や、進行波の波数も変えたものをそろえておくことで
、機械の固有振動数と、回転速度のデータをもとにして
、ワウフラッタ特性の一番良いモータを選択することで
、ワウフラッタの良い超音波モータ装置を構成すること
ができる。

実施例３ 振動体のスリット又は突起構造と摩擦部材とを加圧接触
させ、接触部を境にして振動体と摩擦部材が相対運動す
る超音波リニアモータ装置において、第４図に示す如く
、弾性体にスリット構造を持つ振動体１４が摩擦材１５
上の傷等の障害の上を相対速度Ｖ　［ａ＋／ｓ］で動い
ている場合、図（ａ）に示すように突起部が障害の頂点
にさしかかった後、図（ｂ）に示すように溝部が障害の
頂点にさしかかり、これを繰返すと、突起部が障害を越
えるたびに振動体の加圧状態等が変化して相対速度Ｖ　
［ｍ／ｓｌが変動してしまう。

第５図はこのような速度ムラの影響を排除した超音波リ
ニアモータ装置の実施例である。１６は、振動体１４を
支持する支持棒、１７は支持棒１６を固定しであるキャ
リッジ、１８はキャリッジ１）を固定する軸棒、１９は
リニアベアリングである。ここで、振動体１４の重さと
、支持棒１６のバネで構成される共振系の固有振動数が
、Ａ　−Ｖ／Ｌ　［Ｈｚ］、（Ｖは相対速度（ｍ／ｓ）
、Ｌは接触部のスリット又は突起の間隔（ｍ）、Ａは整
数、１．２・・・）と一致あるいは近接しないように振
動体１４の重さ、あるいは支持棒１６の剛性、あるいは
速度Ｖ　［ｍ／ｓｌ　を設定することで、定速制御をし
た場合のワウフラッタが非常に少なくなる。

又、進行波にムラがあると、更に別の周波数のワウフラ
ッタが発生するが、第７図は定在波Ａと定在波Ｂの合成
による進行波の波頭の軌跡を示した図で、図の定在波Ａ
と定在波Ｂの波形は、それぞれの最大振幅を表わしてい
る。このような振幅の異なる定在波を合成すると、１波
長（Ｒ）だけ進行波が移動する間に進行波の振幅は、２
周期の変動をともなう、したがって、障害を振動体１４
が越えるとき、振動体１４が１波長移動する間に２周期
の速度変動が発生するため、上記共振系の固有振動数が
、２・Ａ・Ｖ／Ｒ（Ｖは相対速度（ａ＋／ｓ）　　Ｒは
定在波の波長［ｍ］　、　Ａは整数１．２・・・・）と
一致あるいは近接しないように振動体１４の重さ、ある
いは支持棒１６の剛性あるいは速度Ｖ　［ｍ／ｓ］を設
定することで、ワウフラッタを非常に小さくできる。

又、第８図、第９図に定在波の数に起因する進行波ムラ
を示す、第８図は定在波数が３、第９図は定在波数が４
である。

図示した定在波の波形は、それぞれの最大振幅を表わし
ている。

図かられかるように、進行波の波頭の軌跡は１波長の間
に定在波数が３の場合は６周期、定在波数４の場合は４
周期の変動がある。したがって、障害を振動体１４が越
えるとき、振動体１４が１波長移動する間に、それぞれ
６周期と４周期の速度変動が発生するため、上記共振系
の固有振動数が、定在波数が奇数の３の場合は２・Ａ−
Ｖ−Ｔ／Ｒ＝６・Ａ−Ｖ／Ｒ１定在波数が偶数の４の場
合はＡ・■・Ｔ　／　Ｒ＝　４・Ａ　−Ｖ／Ｒ（Ｖは相
対速度（ｍ／ｓ）　　　Ｒは定在波の波長（ｍ）　　Ｔ
は定在波の数、Ａは整数１゜２・・・・）とそれぞれ一
致あるいは近接しないように振動体１４の重さ、あるい
は支持棒１６の剛性あるいは速度Ｖ　（ｎ／ｓ）等を設
定することで、ワウフラッタを非常に小さくできる。

実施例４ 第６図は実施例４を示す。超音波モータは振動体１とロ
ータ４の平行度が悪くても、片当りして加圧ムラができ
る。しかし、平行度を出すために工作精度や組立精度を
高くすることは、前述のようにコスト高になるため、摩
擦部材３と姿勢を保持する部材（例えばベアリング２゜
に保持されている軸２ｏなど）の間にゴムなどの低弾性
率の材料からなる部材２２を用いて加圧ムラを低減させ
るのが一般的である。従って低弾性率の材料（ここでは
ゴムで代表する）の弾性と外部イナーシャにより共振系
が作られる。

例えば横弾性率Ｇで、厚みｔのゴム２２が平均接触半径
ｒ、接触面積Ｓで第６図のように取り付けられていると
すると、ねじり剛性にはＫ　＝　Ｇｒ’ｓ／ｌ と表わされる。

従って外部イナーシャＪとは、周波数ｆ共振する。具体
例で共振周波数を計算すると、 横弾性率Ｇ　＝　Ｉ　Ｘ　１０’Ｎ／ａ＋２、−厚み１
　ｍｍ、φ４５−φ３５のゴムが使われているモータが
、１０　ｋｇｃｍ２の外部イナーシャをもっときｔ　＝
　１．０　Ｘ　１０１０−３（、ｒ　＝　２．ＯＸ　Ｉ
Ｃｌ−’（ｍ）Ｓ　＝　６．２８ｘ　１０−’（ｍ２）
、　Ｊ　＝　１．Ｏｘ　１０−３（１０−３（を式に代
入して ＝　８０　Ｕｚ） となる。また式より明らかに共振周波数ｆはゴムの平均
接触半径ｒ１厚みｔ５接触面積Ｓの関数であり、回転数
によって不可否の回転ムラの周波数と離すことはゴムの
形状を変えることにより行なうことができる。

また、摩擦部材３が低弾性率の材料からなるときも、同
様の計算により共振周波数が求まる。

［発明の効果コ 以上説明してきたように、超音波モータの加工精度を下
げても、これによって発生するワウフラッタの周波数と
超音波モータ装置を構成する各部の固有振動数を一致あ
るいは近接しないように超音波モータの振動体のスリッ
ト数や進行波の波数や、回転速度等や、該超音波モータ
装置を構成する各部の固有振動数を設定することによっ
て、高精度な速度制御が可能となるため、低価格で且つ
高精度な超音波モータ装置を提供することが可能となる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による超音波モータ装置をシート搬送機
構に用いた実施例１を示す図、第２図は状況に応じて自
動的に最適な速度で超音波モータを制御する超音波モー
タ装置の実施例２のブロック図、第３図は超音波モータ
の最適な速度領域の一例を示す図、第４図（ａ）　、　
（ｂ）はリニア型超音波モータのスリット構造と摩擦部
材との接触部の側面図、第５図（ａ）　、　（ｂ）はリ
ニア型超音波そ一夕装置の実施例の３を示す平面図及び
側面図、第６図は実施例４の環状超音波モータを示す図
、第７図は進行波ムラの第１の例を示す図、第８図は進
行波ムラの第２の例を示す図、第９図は進行波ムラの第
３の例を示す図である。 １：振動体　　　　２：圧電素子 ３：摩擦部材　　　４：ロータ ５・超音波モータ駆動回路 ６．８，１０．１２＋ベアリング ７．１１：カップリング ９　： ローラ ：エンコーダ 他４名 第 図 第 図 Ｃ′ 回転速度（ｒｐｓ） 第 ４ 図 Ｖ（ｍ／ｓ） 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて進行波を該振動弾性体に形成
   し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振動弾性体と
   を相対移動させる超音波モータを駆動源とし、該超音波
   モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動する超音波モ
   ータ装置において、 該超音波モータの２・Ａ・Ｎで求められる速度変化の周
   波数成分のうち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２
   以上の被駆動体及びこれらの伝達駆動系によって構成さ
   れる１又は２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の
   固有振動数の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は
   近接しないように、該固有振動数或は駆動速度の少なく
   とも一方を設定していることを特徴とする超音波モータ
   装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｎは超音波モー
   タの駆動速度である。 ２、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて複数波数の進行波を該振動弾
   性体に形成し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振
   動弾性体とを相対移動させる超音波モータを駆動源とし
   、該超音波モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動す
   る超音波モータ装置において、 該超音波モータのＡ・Ｓ・Ｔ・Ｎ（Ｔが偶数）又は２・
   Ａ・Ｓ・Ｔ・Ｎ（Ｔが奇数）で求められる周波数成分の
   うち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の被駆
   動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１又は
   ２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振動数
   の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接しない
   ように、該固有振動数、駆動速度定在波の数、進行波の
   波数の少なくとも１以上を設定していることを特徴とす
   る超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｓは振動弾性体
   上の進行波の波数、Ｔは合成する定在波の数、Ｎは超音
   波モータの駆動速度である。 ３、一側面側に略等間隔のスリット或は突起が設けられ
   た弾性材料製の振動弾性体における他方の面に固着した
   電気−機械エネルギー変換素子の複数の駆動相に時間的
   に位相の異なる交流電圧を印加することにより複数の定
   在波を励起し、これらの定在波の合成にて進行波を該振
   動弾性体に形成し、以て該振動弾性体と圧接する部材と
   該振動弾性体とを相対移動させる超音波モータを駆動源
   とし、該超音波モータにて１又は２以上の被駆動体を駆
   動する超音波モータ装置において、 該超音波モータのＡ・Ｍ・Ｎで求められる周波数成分の
   うち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の被駆
   動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１又は
   ２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振動数
   の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接しない
   ように、該固有振動数或は駆動速度、スリット又は突起
   の数又は間隔の少なくとも１つを設定していることを特
   徴とする超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｍはスリット又
   は突起の数、Ｎは駆動速度であ る。 ４、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて進行波を該振動弾性体に形成
   し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振動弾性体と
   を相対移動させる超音波モータを駆動源とし、該超音波
   モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動する超音波モ
   ータ装置において、 該超音波モータのＡ・Ｎで求められる速度変化の周波数
   成分のうち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上
   の被駆動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される
   １又は２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有
   振動数の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接
   しないように、該固有振動数或は駆動速度の少なくとも
   一方を設定していることを特徴とする超音波モータ装置
   。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｎは超音波モー
   タの駆動速度である。 ５、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて複数波数の進行波を該振動弾
   性体に形成し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振
   動弾性体とを相対移動させる超音波モータを駆動源とし
   、該超音波モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動す
   る超音波モータ装置において、 該超音波モータの２・Ａ・Ｓ・Ｎで求められる周波数成
   分のうち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の
   被駆動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１
   又は２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振
   動数の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接し
   ないように、該固有振動数、駆動速度定在波の数、進行
   波の波数の少なくとも１以上を設定していることを特徴
   とする超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｓは振動弾性体
   上の進行波の波数、Ｎは超音波モータの駆動速度である
   。 ６、請求項１、２、３、４又はＳの内いずれか２つ以上
   を組み合わせてなることを特徴とする超音波モータ装置
   。 ７、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて進行波を該振動弾性体に形成
   し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振動弾性体と
   を相対移動させる超音波モータを駆動源とし、該超音波
   モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動する超音波モ
   ータ装置において、 該超音波モータのＡ・Ｖ・Ｔ／Ｒ（Ｔが偶数）又は２・
   Ａ・Ｖ・Ｔ／Ｒ（Ｔが奇数）で求められる周波数成分の
   うち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の被駆
   動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１又は
   ２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振動数
   の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接しない
   ように、該固有振動数或は相対速度、定在波の数、進行
   波の波長の少なくとも１を設定していることを特徴とす
   る超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｖは超音波モー
   タの相対速度、Ｔは定在波の数、Ｒは進行波の波長であ
   る。 ８、一側面側に略等間隔のスリット或は突起が設けられ
   た弾性材料製の振動弾性体における他方の面に固着した
   電気−機械エネルギー変換素子の複数の駆動相に時間的
   に位相の異なる交流電圧を印加することにより複数の定
   在波を励起し、これらの定在波の合成にて進行波を該振
   動弾性体に形成し、以て該振動弾性体の一側面側に圧接
   する部材と該振動弾性体とを直線的に相対移動させる超
   音波モータを駆動源とし、該超音波モータにて１又は２
   以上の被駆動体を駆動する超音波モータ装置において、 該超音波モータのＡ・Ｖ／Ｌで求められる周波数成分の
   うち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の被駆
   動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１又は
   ２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振動数
   の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接しない
   ように、該固有振動数或は相対速度、スリット又は突起
   の間隔の少なくとも１つを設定していることを特徴とす
   る超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｖは相対速度、
   Ｌはスリット又は突起の間隔である。 ９、弾性材料製の振動弾性体に固着した電気−機械エネ
   ルギー変換素子の複数の駆動相に時間的に位相の異なる
   交流電圧を印加することにより複数の定在波を励起し、
   これらの定在波の合成にて進行波を該振動弾性体に形成
   し、以て該振動弾性体と圧接する部材と該振動弾性体と
   を相対移動させる超音波モータを駆動源とし、該超音波
   モータにて１又は２以上の被駆動体を駆動する超音波モ
   ータ装置において、 該超音波モータの２・Ａ・Ｖ／Ｒで求められる周波数成
   分のうち少なくともＡ＝１の周波数と、１又は２以上の
   被駆動体及びこれらの伝達駆動系によって構成される１
   又は２以上の多自由度の共振系の１又は２以上の固有振
   動数の少なくとも１つの固有振動数とが一致或は近接し
   ないように、該固有振動数或は相対速度、定在波の数、
   進行波の波長の少なくとも１を設定していることを特徴
   とする超音波モータ装置。 但し、Ａは整数（１、２、・・・ｎ）、Ｖは超音波モー
   タの相対速度、Ｒは進行波の波長である。 １０、請求項７、８又は９の内いずれか２つ以上を組み
   合わせてなることを特徴とする超音波モータ装置。