JPH03213744A - 精密除振台 - Google Patents
精密除振台Info
- Publication number
- JPH03213744A JPH03213744A JP903990A JP903990A JPH03213744A JP H03213744 A JPH03213744 A JP H03213744A JP 903990 A JP903990 A JP 903990A JP 903990 A JP903990 A JP 903990A JP H03213744 A JPH03213744 A JP H03213744A
- Authority
- JP
- Japan
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- displacement
- surface plate
- surface table
- contact
- actuators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は精密除振台に係り、特に定盤の回転モードをコ
ントロールし、傾きを解消する精密除振台に関する。
ントロールし、傾きを解消する精密除振台に関する。
［従来の技術］
半導体製造装置、同検査装置、電子顕微鏡、各種分析機
器、光学測定機器等の精密機器は除振台上に搭載して使
用されている。第６図に示すように、床９０上に設置さ
れた除振台は、精密機器が搭載される定盤４０と、定盤
４０の下面に接触して取り付けられた感知レバー６１を
有する自動圧力調整器６０と、自動圧力調整器６０の弁
（図示せず）により制御され定盤４０の下面に接触して
設けられている空気ばね５０と、空気ばね５０に対し空
気を供給する付加タンク５１と、フレーム８０とで構成
されている。自動圧力調整弁については、本出願人によ
り既に提案されている（実開昭５６−１４８７１５号）
。
器、光学測定機器等の精密機器は除振台上に搭載して使
用されている。第６図に示すように、床９０上に設置さ
れた除振台は、精密機器が搭載される定盤４０と、定盤
４０の下面に接触して取り付けられた感知レバー６１を
有する自動圧力調整器６０と、自動圧力調整器６０の弁
（図示せず）により制御され定盤４０の下面に接触して
設けられている空気ばね５０と、空気ばね５０に対し空
気を供給する付加タンク５１と、フレーム８０とで構成
されている。自動圧力調整弁については、本出願人によ
り既に提案されている（実開昭５６−１４８７１５号）
。
定盤４０の上下動が感知レバー６１に伝達されると、感
知レバー６１の上下動に応じて自動圧力調整器６０の弁
が開閉し、空気ばね５０に付加タンク５１から空気が供
給されるか、または、空気ばね５０から空気が放出され
て、上下動した定盤４０の復元が計られる。
知レバー６１の上下動に応じて自動圧力調整器６０の弁
が開閉し、空気ばね５０に付加タンク５１から空気が供
給されるか、または、空気ばね５０から空気が放出され
て、上下動した定盤４０の復元が計られる。
［発明が解決すべき課題］
ところで従来の除振台に使用されている自動圧力調整器
６０は応答が遅いため、短時間にほぼ元の位置にもどる
という高速復元は望めず、また、ハンティング防止のた
め不感帯が大きく、復元精度も悪かった（第５図）。こ
のため、搭載される精密機器の高性能、高精度化に伴い
、除振台自体の機能向上が要求されていた。
６０は応答が遅いため、短時間にほぼ元の位置にもどる
という高速復元は望めず、また、ハンティング防止のた
め不感帯が大きく、復元精度も悪かった（第５図）。こ
のため、搭載される精密機器の高性能、高精度化に伴い
、除振台自体の機能向上が要求されていた。
［発明の目的］
本発明は上記の点を解決するためになされたもので、機
器が搭載された定盤の傾きを、速かに、かつ、高精度に
復元可能な精密除振台を提供することを目的とする。
器が搭載された定盤の傾きを、速かに、かつ、高精度に
復元可能な精密除振台を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、本発明による精密除振台
は、除振対称物を載置する定盤と、定盤の変位を復元さ
せる空気ばねと、定盤の変位に応じて空気ばねを駆動さ
せる自動圧力調整器を有し、定盤の変位を検出するよう
定盤の上面および／または下面に対向し互に隔置された
複数個の非接触変位センサと、複数個の非接触変位セン
サが検出した差信号に基づき定盤の変位を制御するアク
チュエータと、アクチュエータを駆動制御する制御部と
を備えた構造である。
は、除振対称物を載置する定盤と、定盤の変位を復元さ
せる空気ばねと、定盤の変位に応じて空気ばねを駆動さ
せる自動圧力調整器を有し、定盤の変位を検出するよう
定盤の上面および／または下面に対向し互に隔置された
複数個の非接触変位センサと、複数個の非接触変位セン
サが検出した差信号に基づき定盤の変位を制御するアク
チュエータと、アクチュエータを駆動制御する制御部と
を備えた構造である。
［実施例］
以下、本発明による精密除振台の好ましい実施例を図面
を用いて詳述する。
を用いて詳述する。
第１図に示すように、本発明による精密除振台は、精密
機器が搭載される定盤４と、定盤４の変位を検出するよ
う定盤４の下面に対向上し互に隔置された３個の非接触
変位センサ１と、３個の非接触変位センサ１が検出した
変位量の差信号に基づき定盤４の変位を制御するアクチ
ュエータ２と、アクチュエータ２を駆動制御する制御部
３とを備え、かつ、定盤４の下面に接触して取り付けら
れた感知レバー６１を有する自動圧力調整器６と、自動
圧力調整器６の弁（図示せず）により制御され定盤４の
下面に接触して設けられている空気ばね５と、空気ばね
５に対し空気を供給する付加タンク５１と、フレーム８
とを有し、付加タンク５１の下部が床９上に設置されて
いる。
機器が搭載される定盤４と、定盤４の変位を検出するよ
う定盤４の下面に対向上し互に隔置された３個の非接触
変位センサ１と、３個の非接触変位センサ１が検出した
変位量の差信号に基づき定盤４の変位を制御するアクチ
ュエータ２と、アクチュエータ２を駆動制御する制御部
３とを備え、かつ、定盤４の下面に接触して取り付けら
れた感知レバー６１を有する自動圧力調整器６と、自動
圧力調整器６の弁（図示せず）により制御され定盤４の
下面に接触して設けられている空気ばね５と、空気ばね
５に対し空気を供給する付加タンク５１と、フレーム８
とを有し、付加タンク５１の下部が床９上に設置されて
いる。
本発明の特徴である非接触変位センサ１、アクチュエー
タ２および制御部３から成る制御機構部分の、基本構成
は、第２図に示すように、非接触変位センサ１が３個（
１個のｌＡｌ２個のＩＢ）、アクチュエータ２が２個、
工ないし複数個の制御部３（第２図には図示せず）であ
る。
タ２および制御部３から成る制御機構部分の、基本構成
は、第２図に示すように、非接触変位センサ１が３個（
１個のｌＡｌ２個のＩＢ）、アクチュエータ２が２個、
工ないし複数個の制御部３（第２図には図示せず）であ
る。
非接触変位センサ１とアクチュエータ２の取り付は個数
は、非接触変位センサ１が３個以上、アクチュエータ２
が２個以上であれば特に制限はない。
は、非接触変位センサ１が３個以上、アクチュエータ２
が２個以上であれば特に制限はない。
また、３個の非接触変位センサ１は、互に、定盤４と直
交する上下軸は共有せず、定盤４と対向する面において
隔置されている。
交する上下軸は共有せず、定盤４と対向する面において
隔置されている。
３個の非接触変位センサ１の内、１個（ＩＡ）は基準点
用として働く。残り２個（ＩＢ）により、基準点用非接
触変位センサＩＡとの差分が検出される。制御部３を介
して、この差分検出用非接触変位センサＩＢと連結され
、コントロールされているアクチュエータ２は、この差
分だけ定盤４の変位とは逆方向に駆動する。こうして定
盤４は素速く一定の水平状態に復元される（第３図）。
用として働く。残り２個（ＩＢ）により、基準点用非接
触変位センサＩＡとの差分が検出される。制御部３を介
して、この差分検出用非接触変位センサＩＢと連結され
、コントロールされているアクチュエータ２は、この差
分だけ定盤４の変位とは逆方向に駆動する。こうして定
盤４は素速く一定の水平状態に復元される（第３図）。
本発明による精密除振台においては、大きな振動は、従
来と同様に制御される。即ち、定盤４の上下動が感知レ
バー６１に伝達されると、感知レバー６エの上下動に応
じて自動圧力調整器６の弁が開閉し、空気ばね５に付加
タンク５１がら空気が供給されるか、または、空気ばね
５から空気が放出されて、上下動した定盤４の復元が計
られる。
来と同様に制御される。即ち、定盤４の上下動が感知レ
バー６１に伝達されると、感知レバー６エの上下動に応
じて自動圧力調整器６の弁が開閉し、空気ばね５に付加
タンク５１がら空気が供給されるか、または、空気ばね
５から空気が放出されて、上下動した定盤４の復元が計
られる。
一方、搭載される精密機器にとって影響の大きい微小な
傾斜等の変位の復元は、３個の非接触変位センサ１から
の信号に基づき制御部３にコントロールされているアク
チュエータ２の駆動により能動的になされる。
傾斜等の変位の復元は、３個の非接触変位センサ１から
の信号に基づき制御部３にコントロールされているアク
チュエータ２の駆動により能動的になされる。
非接触変位センサ１は、定盤４に接触することなく、定
盤４の変位を検出するもので、光学的（ＬＥＤ）変位セ
ンサ、空気変動式変位センサ、レーザ変位センサ、超音
波式変位センサ、渦電流式変位センサ等、公知の変位セ
ンサが好適に用いられる。
盤４の変位を検出するもので、光学的（ＬＥＤ）変位セ
ンサ、空気変動式変位センサ、レーザ変位センサ、超音
波式変位センサ、渦電流式変位センサ等、公知の変位セ
ンサが好適に用いられる。
アクチュエータ２としては、高速で駆動可能な、リニア
モータ、圧電アクチュエータ、電動シリンダー、油圧シ
リンダー、超音波モータ、アモルファス磁気素子による
アクチュエータ、磁歪機能素子によるアクチュエータ等
公知のアクチュエータが好適である。
モータ、圧電アクチュエータ、電動シリンダー、油圧シ
リンダー、超音波モータ、アモルファス磁気素子による
アクチュエータ、磁歪機能素子によるアクチュエータ等
公知のアクチュエータが好適である。
本発明による精密除振台の復元特性をみると、第４図に
示すように、短時間に、かつ、はぼ初期状態にもどり、
第５図に示す従来の除振台の復元特性に比較して優れた
性能が確認された。
示すように、短時間に、かつ、はぼ初期状態にもどり、
第５図に示す従来の除振台の復元特性に比較して優れた
性能が確認された。
尚、本発明の特徴である制御機構部分、即ち、３個の非
接触変位センサ１．２個のアクチュエータ２および制御
部３を、使用されている従来の除振台の振動制御機構に
対して並列的に付加することにより、本発明による精密
除振台と同様な効果が上がるのは言うまでもない。
接触変位センサ１．２個のアクチュエータ２および制御
部３を、使用されている従来の除振台の振動制御機構に
対して並列的に付加することにより、本発明による精密
除振台と同様な効果が上がるのは言うまでもない。
［発明の効果］
以上の実施例からも明らかなように、本発明による精密
除振台は、除振対称物を載置する定盤と、定盤の変位を
復元させる空気ばねと、定盤の変位に応じて空気ばねを
駆動させる自動圧力調整器を有するので、大きな振動も
制御され、また、定盤の変位を検出するよう定盤の上面
および／または下面に対向し互に隔置された複数個の非
接触変位センサと、複数個の非接触変位センサが検出し
た差信号に基づき定盤の変位を制御するアクチュエータ
と、アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えてい
るので、精密機器が搭載された定盤の微小な傾斜等の変
位に対しても、速かに、かつ、高精度に定盤を復元させ
、搭載される精密機器の高性能、゛高精度化によく対応
する。
除振台は、除振対称物を載置する定盤と、定盤の変位を
復元させる空気ばねと、定盤の変位に応じて空気ばねを
駆動させる自動圧力調整器を有するので、大きな振動も
制御され、また、定盤の変位を検出するよう定盤の上面
および／または下面に対向し互に隔置された複数個の非
接触変位センサと、複数個の非接触変位センサが検出し
た差信号に基づき定盤の変位を制御するアクチュエータ
と、アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えてい
るので、精密機器が搭載された定盤の微小な傾斜等の変
位に対しても、速かに、かつ、高精度に定盤を復元させ
、搭載される精密機器の高性能、゛高精度化によく対応
する。
第１図および第２図は本発明による精密除振台の構成を
示す図、第３図はその制御方法を説明する図、第４図は
本発明による精密除振台の復元特性を示す図、第５図は
従来の除振台の復元特性を示す図、第６図は従来の除振
台の構成を示す図である。 １、ＩＡ、ＩＢ、、、、、、、非接触変位センサ２ 、
、、、、、、、アクチュエータ ３ 、、、、、、。 ４ 、、、、、、。 ５ 、、、、、、。 ６ 、、、、、。 制御部 定盤 空気ばね 自動圧力調整器
示す図、第３図はその制御方法を説明する図、第４図は
本発明による精密除振台の復元特性を示す図、第５図は
従来の除振台の復元特性を示す図、第６図は従来の除振
台の構成を示す図である。 １、ＩＡ、ＩＢ、、、、、、、非接触変位センサ２ 、
、、、、、、、アクチュエータ ３ 、、、、、、。 ４ 、、、、、、。 ５ 、、、、、、。 ６ 、、、、、。 制御部 定盤 空気ばね 自動圧力調整器
Claims (1)
- 除振対称物を載置する定盤と、前記定盤の変位を復元
させる空気ばねと、前記定盤の変位に応じて前記空気ば
ねを駆動させる自動圧力調整器を有し、前記定盤の変位
を検出するよう前記定盤の上面および／または下面に対
向し互に隔置された複数個の非接触変位センサと、前記
複数個の非接触変位センサが検出した変位量の差信号に
基づき前記定盤の変位を制御するアクチュエータと、前
記アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えたこと
を特徴とする精密除振台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP903990A JPH03213744A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 精密除振台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP903990A JPH03213744A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 精密除振台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03213744A true JPH03213744A (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11709507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP903990A Pending JPH03213744A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 精密除振台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03213744A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6862077B2 (en) | 1998-04-30 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Anti-vibration system for exposure apparatus |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP903990A patent/JPH03213744A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6862077B2 (en) | 1998-04-30 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Anti-vibration system for exposure apparatus |
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