JPH03213775A - 真空シール - Google Patents
真空シールInfo
- Publication number
- JPH03213775A JPH03213775A JP611790A JP611790A JPH03213775A JP H03213775 A JPH03213775 A JP H03213775A JP 611790 A JP611790 A JP 611790A JP 611790 A JP611790 A JP 611790A JP H03213775 A JPH03213775 A JP H03213775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- magnetic
- groove
- magnet
- channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、大型真空チャンバに取り付けられるフランジ
部の真空シールに関する。
部の真空シールに関する。
従来、大型真空チャンバ開口部の真空シールは、開口部
の周辺に平面状のフランジ取付は面を設け。
の周辺に平面状のフランジ取付は面を設け。
このフランジ取り付は面に開口部をかこんでＪＩＳＢ
２４０６で規定された断面形状が矩形状の溝を設け、
この溝にＪＩＳ Ｂ ２４０１で規定されたゴム製
のＯリングを装着し、フランジ取り付は面にフランジを
押し付けてＯリングを変形させ、溝底部とフランジ面に
０リングを密着させることにより行なっていた。
２４０６で規定された断面形状が矩形状の溝を設け、
この溝にＪＩＳ Ｂ ２４０１で規定されたゴム製
のＯリングを装着し、フランジ取り付は面にフランジを
押し付けてＯリングを変形させ、溝底部とフランジ面に
０リングを密着させることにより行なっていた。
上記従来技術は、比較的簡単に１０−’Ｐａの程度の真
空を得ることができるが、０リングが接する溝底部やフ
ランジ面の表面粗さを最大粗さで３μｍ以下にする必要
がある。溝の加工は、一般に旋盤で行うため表面粗さを
容易に実現できるが、旋盤加工が困難な大型の真空チャ
ンバや旋盤加工が不可能な円形以外の溝形状の場合、エ
ンドミルやフライス盤により溝の加工を行なっている。
空を得ることができるが、０リングが接する溝底部やフ
ランジ面の表面粗さを最大粗さで３μｍ以下にする必要
がある。溝の加工は、一般に旋盤で行うため表面粗さを
容易に実現できるが、旋盤加工が困難な大型の真空チャ
ンバや旋盤加工が不可能な円形以外の溝形状の場合、エ
ンドミルやフライス盤により溝の加工を行なっている。
この加工によると加工の性質上、カッタの加工痕が付き
やすく、特に、加工の最後の部分の円形状の加工痕をな
くすことは困難である。また、加工痕は、Ｏリング溝の
真空側と大気側を横切るように付くため、真空リークが
発生しやすいという問題があった。
やすく、特に、加工の最後の部分の円形状の加工痕をな
くすことは困難である。また、加工痕は、Ｏリング溝の
真空側と大気側を横切るように付くため、真空リークが
発生しやすいという問題があった。
本発明の目的は、精密な加工を必要とせずに安定なシー
ル性能が得られる真空シールを提供することにある。
ル性能が得られる真空シールを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は平面状のフランジ
面の開口部をとり囲んで設けられた周状の溝と、この溝
の底面全周に溝の幅方向に両極を持つように設けた磁石
と、磁石の両極をはさんで溝内に設けた溝の深さよりわ
ずかに小さい一対の磁性体部材と、平面状のフランジ取
り付は部に対向して開口部をふさぐように設けた平面状
のフランジとでシール部を構成し、磁性体部材とフラン
ジとの隙間に磁性流体を封入したものである。
面の開口部をとり囲んで設けられた周状の溝と、この溝
の底面全周に溝の幅方向に両極を持つように設けた磁石
と、磁石の両極をはさんで溝内に設けた溝の深さよりわ
ずかに小さい一対の磁性体部材と、平面状のフランジ取
り付は部に対向して開口部をふさぐように設けた平面状
のフランジとでシール部を構成し、磁性体部材とフラン
ジとの隙間に磁性流体を封入したものである。
〔作用〕
真空チャンバの開口部のフランジ取り付は部に設けた溝
底部に設置された磁石と、この磁石をはんで設けた溝深
さよりわずかに小さい磁性体部材と、フランジ取り付は
部をおおうように設けた磁性体フランジでシール部を構
成することにより、磁石→片方の磁性体部材→磁性体フ
ランジ→もう一方の磁性体フランジ→磁石となる閉じた
磁気回路が形成される。この時、磁性体部材と磁性体フ
ランジとの隙間に磁性流体を封入することにより。
底部に設置された磁石と、この磁石をはんで設けた溝深
さよりわずかに小さい磁性体部材と、フランジ取り付は
部をおおうように設けた磁性体フランジでシール部を構
成することにより、磁石→片方の磁性体部材→磁性体フ
ランジ→もう一方の磁性体フランジ→磁石となる閉じた
磁気回路が形成される。この時、磁性体部材と磁性体フ
ランジとの隙間に磁性流体を封入することにより。
磁性流体はこの隙間を通る磁力で保持され、真空側と大
気側とを遮断する真空シールとして動作する。シール面
となる磁性部材端面や磁性フランジ面の加工精度が悪く
加工痕やうねりなどがあったとしても、磁性流体によっ
て満たされ、真空リークが発生することがない。
気側とを遮断する真空シールとして動作する。シール面
となる磁性部材端面や磁性フランジ面の加工精度が悪く
加工痕やうねりなどがあったとしても、磁性流体によっ
て満たされ、真空リークが発生することがない。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。第２図は、本発明の真空シール方法を示す平面図
、第１図は、第２図のＡ−Ａ断面図である。非磁性体か
らなる真空チャンバ１の開口部８の周囲に設けられた平
面状のフランジ取付面１ａには、開口部８をとり囲んで
周状の溝５が設けられている。溝５の底部には永久磁石
４が溝５の幅方向に両極を持つように設置され、永久磁
石４の両極に接し、溝５の深さｈａよりもわずかに小さ
い寸法ｈｐをもつ磁性体部材３ａ、３ｂが設置されてい
る。一方、真空チャンバ１のフランジ取り付は面１ａに
は開口部８をふさぐため、磁性体でできた平面状のフラ
ンジ２が複数本のボルト７により固定されている。また
、磁性体部材３ａ、３ｂとフランジ２との間の隙間りに
は磁性流体６が満たされている。このように構成するこ
とにより、永久磁石４のＮ極から出た磁力線は、図中に
示すように、磁性体部材３ａ、磁性体フランジ２．磁性
体部材３ｂを通り永久磁石４のＳ極に至る閉じた磁気回
路を形成する。この時、磁性体部材３ａ、３ｂと磁性体
フランジ２との間のすきまｈを満たすように封入された
磁性流体６は、すきまｈを通る磁力で保持され、真空側
と大気側とを遮断する真空シールとして動作する。また
、溝５やフランジ２の磁性流体当接面２ａの仕上げ粗さ
やうねりなどの加工精度が悪い場合でも、磁性流体６に
より粗さやうねり部分が満されているために大気側から
真空側へ気体が浸入する真空リークが発生することはな
い。
する。第２図は、本発明の真空シール方法を示す平面図
、第１図は、第２図のＡ−Ａ断面図である。非磁性体か
らなる真空チャンバ１の開口部８の周囲に設けられた平
面状のフランジ取付面１ａには、開口部８をとり囲んで
周状の溝５が設けられている。溝５の底部には永久磁石
４が溝５の幅方向に両極を持つように設置され、永久磁
石４の両極に接し、溝５の深さｈａよりもわずかに小さ
い寸法ｈｐをもつ磁性体部材３ａ、３ｂが設置されてい
る。一方、真空チャンバ１のフランジ取り付は面１ａに
は開口部８をふさぐため、磁性体でできた平面状のフラ
ンジ２が複数本のボルト７により固定されている。また
、磁性体部材３ａ、３ｂとフランジ２との間の隙間りに
は磁性流体６が満たされている。このように構成するこ
とにより、永久磁石４のＮ極から出た磁力線は、図中に
示すように、磁性体部材３ａ、磁性体フランジ２．磁性
体部材３ｂを通り永久磁石４のＳ極に至る閉じた磁気回
路を形成する。この時、磁性体部材３ａ、３ｂと磁性体
フランジ２との間のすきまｈを満たすように封入された
磁性流体６は、すきまｈを通る磁力で保持され、真空側
と大気側とを遮断する真空シールとして動作する。また
、溝５やフランジ２の磁性流体当接面２ａの仕上げ粗さ
やうねりなどの加工精度が悪い場合でも、磁性流体６に
より粗さやうねり部分が満されているために大気側から
真空側へ気体が浸入する真空リークが発生することはな
い。
第３図は、本発明の他の実施例を示す縦断面図である。
非磁性体のフランジ２のフランジ面２ａには周状の溝５
が設けられている。溝５の底部には永久磁石４が溝５の
幅方向に両極を持つように設置され、永久磁石４の両極
に接し、溝５の深さｈｔよりもわずかにホさい寸法ｈｐ
をもつ磁性体部材３ａ、３ｂが設置されている。フラン
ジ２は、磁性体でできた真空チャンバ１に複数本のボル
ト７で固定される。磁性体部材３ａ、３ｂと真空チャン
バ１との間の隙間には磁性流体６が満たされている。こ
のように構成することにより、第一の実施例と同様な閉
じた磁性回路がシール部に形成され、フランジ面の加工
精度に左右されない安定した真空シール性能が得られる
。
が設けられている。溝５の底部には永久磁石４が溝５の
幅方向に両極を持つように設置され、永久磁石４の両極
に接し、溝５の深さｈｔよりもわずかにホさい寸法ｈｐ
をもつ磁性体部材３ａ、３ｂが設置されている。フラン
ジ２は、磁性体でできた真空チャンバ１に複数本のボル
ト７で固定される。磁性体部材３ａ、３ｂと真空チャン
バ１との間の隙間には磁性流体６が満たされている。こ
のように構成することにより、第一の実施例と同様な閉
じた磁性回路がシール部に形成され、フランジ面の加工
精度に左右されない安定した真空シール性能が得られる
。
本発明によれば、真空チャンバの平面状の真空シール面
に加工された溝の底部に設置された磁石が発生する磁力
により、真空シール面に磁性流体が保持されるため、平
面状の真空シール面の加工精度が悪く傷やうねりがあっ
ても真空リークの発生しない安定した真空シール性能を
発揮することができる。
に加工された溝の底部に設置された磁石が発生する磁力
により、真空シール面に磁性流体が保持されるため、平
面状の真空シール面の加工精度が悪く傷やうねりがあっ
ても真空リークの発生しない安定した真空シール性能を
発揮することができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
、本発明の真空チャンバ真空シール部全体を示す平面図
、第３図は本発明の他の実施例を示す縦断面図である。 １・・・真空チャンバ、２・・・フランジ、３・・・磁
性体部不 図 疏オ斌 第 図 第 図
、本発明の真空チャンバ真空シール部全体を示す平面図
、第３図は本発明の他の実施例を示す縦断面図である。 １・・・真空チャンバ、２・・・フランジ、３・・・磁
性体部不 図 疏オ斌 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空チャンバに設けられた開口部と、前記開口部に
設けられたフランジ取付部と、前記フランジ取付部に装
着されるフランジとを含む真空チャンバのフランジ部に
おいて、 前記フランジ面の開口部をとり囲んで設けられた周状の
溝と、前記溝の底面全周にわたり前記溝の幅方向に両極
を持つように設けた磁石と、前記磁石の両極をはさんで
溝内に対向して設けた前記溝の深さよりもわずかに短い
磁性体部材とで構成し、前記磁性体部材と前記フランジ
とのすき間に磁性流体を封入したことを特徴とする真空
シール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP611790A JPH03213775A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 真空シール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP611790A JPH03213775A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 真空シール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03213775A true JPH03213775A (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11629565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP611790A Pending JPH03213775A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 真空シール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03213775A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007026479A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Shinmaywa Industries, Ltd. | 真空処理用チャンバ |
| CN101769381A (zh) * | 2010-03-01 | 2010-07-07 | 北京交通大学 | 一种磁性液体与c型滑环组合式往复轴密封装置 |
| CN101776146A (zh) * | 2010-03-02 | 2010-07-14 | 北京交通大学 | 一种大直径大间隙磁性液体静密封结构 |
| US20110187061A1 (en) * | 2010-02-03 | 2011-08-04 | Beijing Jiaotong University | Static sealing device for large-diameter flange with magnetic fluid seal |
| PL422264A1 (pl) * | 2017-07-18 | 2019-01-28 | Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie | Uszczelnienie spoczynkowe z zastosowaniem cieczy magnetycznej, zwłaszcza dla pokrywy zbiornika |
-
1990
- 1990-01-17 JP JP611790A patent/JPH03213775A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007026479A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Shinmaywa Industries, Ltd. | 真空処理用チャンバ |
| US20110187061A1 (en) * | 2010-02-03 | 2011-08-04 | Beijing Jiaotong University | Static sealing device for large-diameter flange with magnetic fluid seal |
| CN101769381A (zh) * | 2010-03-01 | 2010-07-07 | 北京交通大学 | 一种磁性液体与c型滑环组合式往复轴密封装置 |
| CN101776146A (zh) * | 2010-03-02 | 2010-07-14 | 北京交通大学 | 一种大直径大间隙磁性液体静密封结构 |
| PL422264A1 (pl) * | 2017-07-18 | 2019-01-28 | Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie | Uszczelnienie spoczynkowe z zastosowaniem cieczy magnetycznej, zwłaszcza dla pokrywy zbiornika |
| PL234172B1 (pl) * | 2017-07-18 | 2020-01-31 | Akademia Gorniczo Hutnicza Im Stanislawa Staszica W Krakowie | Uszczelnienie spoczynkowe z zastosowaniem cieczy magnetycznej, zwłaszcza dla pokrywy zbiornika |
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