JPH03213802A - 回折格子 - Google Patents
回折格子Info
- Publication number
- JPH03213802A JPH03213802A JP2009113A JP911390A JPH03213802A JP H03213802 A JPH03213802 A JP H03213802A JP 2009113 A JP2009113 A JP 2009113A JP 911390 A JP911390 A JP 911390A JP H03213802 A JPH03213802 A JP H03213802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction
- grating
- substrate
- angle
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光ピツクアップ、分光器、合分波器等の各種
光学分野で用いられる回折格子に関する。
光学分野で用いられる回折格子に関する。
従来の技術
回折格子は、光学素子として一般的かつ重要な素子の一
つである。このような回折格子については、例えば東海
大学出版会発行(昭和50.5゜15版)の文献[光学
の原理IIJ (M、ホルン、E、ウオルフ著、草用
徹、横田英嗣訳)中の[第■章回折理論、8.6.光学
機器におけるフラウンホーファー回折」に記載されてお
り、回折格子とは、単一波長でない光を単一波長毎に分
ける素子である。
つである。このような回折格子については、例えば東海
大学出版会発行(昭和50.5゜15版)の文献[光学
の原理IIJ (M、ホルン、E、ウオルフ著、草用
徹、横田英嗣訳)中の[第■章回折理論、8.6.光学
機器におけるフラウンホーファー回折」に記載されてお
り、回折格子とは、単一波長でない光を単一波長毎に分
ける素子である。
このような回折格子において、位相整合条件は回折格子
に対する入力角を011回折角をθO1波長をλ、格子
ピッチを八とすると、一般に、sinθi −sinθ
o=m^/A (m=o、±1.±2.・・・) ・・・・・・(1)
で表される。(1)式より波長変化に起因する角度変化
(角度分散と称する)を求めると、de/dλ=m/A
cosθ ・・・・・・(2)で表される
。この(2)式によれば、角度分散が格子ピッチ八に反
比例することが判る。よって、角度分散を小さくするた
めには格子ピッチを大きくする必要がある。
に対する入力角を011回折角をθO1波長をλ、格子
ピッチを八とすると、一般に、sinθi −sinθ
o=m^/A (m=o、±1.±2.・・・) ・・・・・・(1)
で表される。(1)式より波長変化に起因する角度変化
(角度分散と称する)を求めると、de/dλ=m/A
cosθ ・・・・・・(2)で表される
。この(2)式によれば、角度分散が格子ピッチ八に反
比例することが判る。よって、角度分散を小さくするた
めには格子ピッチを大きくする必要がある。
発明が解決しようとする課題
ところが、低角度分散のために格子ピッチを大きくする
と、回折効率が低くなってしまう。即ち、この種の回折
格子にあって高効率化を図るためには格子ピッチを波長
程度に小さくしてブラッグ回折とさせる必要があるから
である。よって、低角度分散と高回折効率とを両立させ
るのが難しい現状にある。よって、実用し得る用途が限
られてしまう。
と、回折効率が低くなってしまう。即ち、この種の回折
格子にあって高効率化を図るためには格子ピッチを波長
程度に小さくしてブラッグ回折とさせる必要があるから
である。よって、低角度分散と高回折効率とを両立させ
るのが難しい現状にある。よって、実用し得る用途が限
られてしまう。
課題を解決するための手段
入射側格子ピッチをΛ2、出射側格子ピッチをA2、回
折基板の屈折率をθ3、回折基板の板厚をし、入射側格
子に対する入射角をθ3、回折基板内の回折角をO1、
出射側格子からの出射角をO8、出射回折光を受光する
面の出射側格子からの距離をT、波長をλとしたとき、
各格子の諸元が λ 5lnO1+ n、sinθ” = A。
折基板の屈折率をθ3、回折基板の板厚をし、入射側格
子に対する入射角をθ3、回折基板内の回折角をO1、
出射側格子からの出射角をO8、出射回折光を受光する
面の出射側格子からの距離をT、波長をλとしたとき、
各格子の諸元が λ 5lnO1+ n、sinθ” = A。
1
sinθ+ 5LnO,= λ(−−−−)Δ
l 濾 なる各式を満足するように設定した2重の回折格子を透
明平行平板による回折基板両面に形成した。
l 濾 なる各式を満足するように設定した2重の回折格子を透
明平行平板による回折基板両面に形成した。
作用
透明平行平板の両面に格子を形成する2重回折格子構造
として、その格子ピッチ等の各諸元が、上記式を満足す
る場合には、波長の角度分散が小さくなるので、高効率
性と低角度分散機能とを両立でき、例えば波長変化に対
して受光面でのスポット移動が小さいものとなり、回折
角の広がりが問題となる用途においても支障なく用いる
ことができる。
として、その格子ピッチ等の各諸元が、上記式を満足す
る場合には、波長の角度分散が小さくなるので、高効率
性と低角度分散機能とを両立でき、例えば波長変化に対
して受光面でのスポット移動が小さいものとなり、回折
角の広がりが問題となる用途においても支障なく用いる
ことができる。
実施例
本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
まず、本実施例の回折格子1は透明平行平板による回折
基板lの表面に入射側格子2、裏面に出射側格子3を形
成した透過型2重回折格子4として構成されている。こ
のような回折格子4についてx−y座標を第1図に示す
ように設定する。即ち、入射側格子2面における入射位
置がx−y座標の原点である。また、各諸元については
、入射側格子2のピッチをΛ2、出射側格子3のピッチ
をΛ2、回折基板1の屈折率をn1、回折基板lの板厚
をり、入射側格子2に対する入射角をO1、回折基板1
内の回折角をO2、出射側格子3かもの出射角をO5、
出射回折光を受光する受光面5の出射側格子3からの距
離をT、波長をλとする。
基板lの表面に入射側格子2、裏面に出射側格子3を形
成した透過型2重回折格子4として構成されている。こ
のような回折格子4についてx−y座標を第1図に示す
ように設定する。即ち、入射側格子2面における入射位
置がx−y座標の原点である。また、各諸元については
、入射側格子2のピッチをΛ2、出射側格子3のピッチ
をΛ2、回折基板1の屈折率をn1、回折基板lの板厚
をり、入射側格子2に対する入射角をO1、回折基板1
内の回折角をO2、出射側格子3かもの出射角をO5、
出射回折光を受光する受光面5の出射側格子3からの距
離をT、波長をλとする。
すると、まず、原点に入射して回折された回折光が出射
側格子3に達する際のX座標(Xl)は、x、=t−t
aロθ、 ・・・・・・・・
・・・・・・・(3)で表される。ただし、格子2.3
材質の厚さは無視するものとする。ついで、この出射側
格子3で回折されて出射した回折光が受光面5に達する
際のX座eX (x 、 )は、 x、=x、−T串tanθ、 ・・・・・・・・
・川・・・(4)で表される。
側格子3に達する際のX座標(Xl)は、x、=t−t
aロθ、 ・・・・・・・・
・・・・・・・(3)で表される。ただし、格子2.3
材質の厚さは無視するものとする。ついで、この出射側
格子3で回折されて出射した回折光が受光面5に達する
際のX座eX (x 、 )は、 x、=x、−T串tanθ、 ・・・・・・・・
・川・・・(4)で表される。
一方、回折基板1内での回折角O,と入射角0゜との関
係は、 sinθ、+n、sinθ、=λ/A1 ・・・・・・
・旧・・・・・(5)で表される。また、出射側格子3
の出射角O1と回折格子4に対する入射角θ1との関係
は、5inO stnθm=λ (1/Δ、−1/Λ1、) ・・・・・・・・・・・・・・・(6)で表される。
係は、 sinθ、+n、sinθ、=λ/A1 ・・・・・・
・旧・・・・・(5)で表される。また、出射側格子3
の出射角O1と回折格子4に対する入射角θ1との関係
は、5inO stnθm=λ (1/Δ、−1/Λ1、) ・・・・・・・・・・・・・・・(6)で表される。
(3)(4)式より座標X。
を求めると、
x、=t
−Lane、−T−Lane。
・・・・・・・・・・・・・・・(7)となる。
これをλについて微分すると、
・・・・・・・・・・・・・・・(8)となる。
また、
(5)式を^について微分すると、
となる。
同様に、
(6)式をλについて微分すると、
となる。
よって、
これらの(9)(10)式を(8)式に代入すると、
・・・・・・・・・・・・・・・(11)となる。これ
により、受光面5における回折光の波長変化によるスポ
ット移動dx、/dλ が求まる。
により、受光面5における回折光の波長変化によるスポ
ット移動dx、/dλ が求まる。
ここに、受光面5に到達する回折光のスポット移動は回
折格子の分解能に反比例するものであり、2重回折格子
4においては格子ピッチΛ1、、 Λ1、、基板板厚し
、受光面5までの距離T1基板屈折率n1 を変化さ
せることで適宜可変させることができる。特に、波長変
動に関係なく回折光を受光するシステムにおいては2重
回折格子4は重要であり、波長変動1nmに対してスポ
ット移動が20pI11以下であることが望まれる。そ
こで、 を満足するようにすればよい。この(12)式は2重回
折格子4の各諸元と受光面5までの距離Tとを適宜設定
することにより容易に実現できる。
折格子の分解能に反比例するものであり、2重回折格子
4においては格子ピッチΛ1、、 Λ1、、基板板厚し
、受光面5までの距離T1基板屈折率n1 を変化さ
せることで適宜可変させることができる。特に、波長変
動に関係なく回折光を受光するシステムにおいては2重
回折格子4は重要であり、波長変動1nmに対してスポ
ット移動が20pI11以下であることが望まれる。そ
こで、 を満足するようにすればよい。この(12)式は2重回
折格子4の各諸元と受光面5までの距離Tとを適宜設定
することにより容易に実現できる。
第2図はそのための計算例を示すためのものである。こ
れは、横軸については格子ピッチΛ1、。
れは、横軸については格子ピッチΛ1、。
Λ1、の差をΔ、で規格化し、縦軸にdx、/dλをと
って示すものである。図中、点線はdx、/dλ =±
20[μm/nm]のときを示す。ただし、t = 2
mm、 T= 50mmの場合である。よって、この点
線範囲内に入るように、格子ピッチΛ1、、 A。
って示すものである。図中、点線はdx、/dλ =±
20[μm/nm]のときを示す。ただし、t = 2
mm、 T= 50mmの場合である。よって、この点
線範囲内に入るように、格子ピッチΛ1、、 A。
の値を決めればよい。
発明の効果
本発明は、上述したように透明平行平板の両面に格子を
形成する2重回折格子構造として、その格子ピッチ、受
光面までの距離等の各諸元が、所定の条件式を満足する
ように構成したので、波長の角度分散が小さいものとし
、高効率性と低角度分散機能とを両立させることができ
、よって、波長変化に対して受光面でのスポット移動が
小さいものとし、回折角の広がりが問題となる用途にお
いても支障なく用いることができるものである。
形成する2重回折格子構造として、その格子ピッチ、受
光面までの距離等の各諸元が、所定の条件式を満足する
ように構成したので、波長の角度分散が小さいものとし
、高効率性と低角度分散機能とを両立させることができ
、よって、波長変化に対して受光面でのスポット移動が
小さいものとし、回折角の広がりが問題となる用途にお
いても支障なく用いることができるものである。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は概略正
面図、第2図は計算例を示す特性図である。 l・・・回折基板、2・・・入射側格子、3・・・出射
側格子 出 願 人 株式会社 リ コ
面図、第2図は計算例を示す特性図である。 l・・・回折基板、2・・・入射側格子、3・・・出射
側格子 出 願 人 株式会社 リ コ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 入射側格子ピッチをΛ_1、出射側格子ピッチをΛ_2
、回折基板の屈折率をn_1、回折基板の板厚をt、入
射側格子に対する入射角をθ_1、回折基板内の回折角
をθ_2、出射側格子からの出射角をθ_3、出射回折
光を受光する面の出射側格子からの距離をT、波長をλ
としたとき、各格子の諸元が ▲数式、化学式、表等があります▼ sinθ_1+n_1sinθ_2=λ/Λ_1sin
θ_1−sinθ_3=λ〔(1/Λ_1)−(1/Λ
_2)〕なる各式を満足するように設定した2重の回折
格子を透明平行平板による回折基板両面に形成してなる
ことを特徴とする回折格子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009113A JPH03213802A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 回折格子 |
| US07/639,092 US5093749A (en) | 1990-01-18 | 1991-01-09 | Diffraction grating having incident and emitting side gratings |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009113A JPH03213802A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 回折格子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03213802A true JPH03213802A (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11711580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009113A Pending JPH03213802A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 回折格子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5093749A (ja) |
| JP (1) | JPH03213802A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466667B1 (ko) * | 2001-04-18 | 2005-01-15 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 광학 부재 및 이를 사용한 광픽업 |
| US7271956B2 (en) | 1995-08-29 | 2007-09-18 | Olympus Corporation | Diffractive optical element |
| JP2013522667A (ja) * | 2010-03-17 | 2013-06-13 | デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | ヘッドアップカラー表示装置用回折型コンバイナ |
| US12072514B2 (en) | 2018-09-28 | 2024-08-27 | Fujifilm Corporation | Optical element and light deflection device |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5245596A (en) * | 1991-06-26 | 1993-09-14 | Eastman Kodak Company | Optical head having a grating with a doubly periodic structure |
| US5258871A (en) * | 1992-06-01 | 1993-11-02 | Eastman Kodak Company | Dual diffraction grating beam splitter |
| US5737125A (en) * | 1992-10-27 | 1998-04-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Diffractive optical element and optical system including the same |
| US6392808B1 (en) * | 1994-02-28 | 2002-05-21 | Digital Optics Corporation | Broad band controlled angle analog diffuser and associated methods |
| JP3346374B2 (ja) * | 1999-06-23 | 2002-11-18 | 住友電気工業株式会社 | レーザ穴開け加工装置 |
| US8452141B2 (en) * | 2010-07-30 | 2013-05-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical waveguide coupling device and associated methods |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4011009A (en) * | 1975-05-27 | 1977-03-08 | Xerox Corporation | Reflection diffraction grating having a controllable blaze angle |
| US4708436A (en) * | 1985-07-12 | 1987-11-24 | Rca Corporation | Optical imager with diffractive lenticular array |
| US4850682A (en) * | 1986-07-14 | 1989-07-25 | Advanced Environmental Research Group | Diffraction grating structures |
| DE3853964D1 (de) * | 1987-03-16 | 1995-07-20 | Siemens Ag | Anordnung für ein integriert-optisches Spektrometer und Verfahren zur Herstellung eines solchen Spektrometers. |
| DE3938639A1 (de) * | 1988-11-21 | 1990-05-23 | Ricoh Kk | Optische aufzeichnungs-/wiedergabeeinrichtung |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP2009113A patent/JPH03213802A/ja active Pending
-
1991
- 1991-01-09 US US07/639,092 patent/US5093749A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7271956B2 (en) | 1995-08-29 | 2007-09-18 | Olympus Corporation | Diffractive optical element |
| KR100466667B1 (ko) * | 2001-04-18 | 2005-01-15 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 광학 부재 및 이를 사용한 광픽업 |
| JP2013522667A (ja) * | 2010-03-17 | 2013-06-13 | デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | ヘッドアップカラー表示装置用回折型コンバイナ |
| US12072514B2 (en) | 2018-09-28 | 2024-08-27 | Fujifilm Corporation | Optical element and light deflection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5093749A (en) | 1992-03-03 |
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