JPH03215358A - 圧電性磁器組成物 - Google Patents
圧電性磁器組成物Info
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- JPH03215358A JPH03215358A JP2011003A JP1100390A JPH03215358A JP H03215358 A JPH03215358 A JP H03215358A JP 2011003 A JP2011003 A JP 2011003A JP 1100390 A JP1100390 A JP 1100390A JP H03215358 A JPH03215358 A JP H03215358A
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 9
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 5
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- FIXNOXLJNSSSLJ-UHFFFAOYSA-N ytterbium(III) oxide Inorganic materials O=[Yb]O[Yb]=O FIXNOXLJNSSSLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N lead(II) oxide Inorganic materials [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N nickel(II) oxide Inorganic materials [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 229910020684 PbZr Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は圧電性磁器組成物に関し、特にたとえばセラ
ミックフィルタ、セラミック発振子、セラミックディス
クリミネータおよび表面弾性波素子などに用いられる、
圧電性磁器組成物に関する。
ミックフィルタ、セラミック発振子、セラミックディス
クリミネータおよび表面弾性波素子などに用いられる、
圧電性磁器組成物に関する。
(従来技術)
従来、圧電性磁器組成物は、P b T i O 3
Pb Z r O.の2元系にB l 2 03 +
C r z Ox +MnOz .ZnOなどの添
加物を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられて
いる。
Pb Z r O.の2元系にB l 2 03 +
C r z Ox +MnOz .ZnOなどの添
加物を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられて
いる。
さらに、PbTi03 PbZrOs− Pb (M
n Iys N b tzz ) Os系およびP
b T i O s一PbZr03 Pb(MgIy
sNbzyz)Ox系などの3元系の圧電性磁器組成物
も、開発されている。
n Iys N b tzz ) Os系およびP
b T i O s一PbZr03 Pb(MgIy
sNbzyz)Ox系などの3元系の圧電性磁器組成物
も、開発されている。
また、特公昭45−37907号には、pb(Nil/
3 Nbzys )03 PbTi03 PbZr
os系の圧電性磁器組成物が、開示されている。
3 Nbzys )03 PbTi03 PbZr
os系の圧電性磁器組成物が、開示されている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来の圧電性磁器組一成物で
は、耐熱性、共振周波数の経時変化特性および共振周波
数の温度特性などに大きな問題を有している。
は、耐熱性、共振周波数の経時変化特性および共振周波
数の温度特性などに大きな問題を有している。
従来例としてたとえばp b ( (N i 173
N bzzs ) O.O?T i O.472 r
o.ab) 03の耐熱特性を第1図のグラフに破線で
示すように、従来の圧電性磁器組成物では、それを加熱
していくと、キュリー点よりも約100℃以上低い温度
から徐々に熱による脱分極を起こし、圧電特性の劣化が
始まるこのため、その圧電性磁器組成物の使用上限温度
は、キュリー点よりはるかに下の200℃付近に限定さ
れている。この原因は、第3成分固溶によってキュリー
点が低下してしまうことと、圧電性磁器組成物が本質的
に脱分極を起こしやすいことが挙げられる。
N bzzs ) O.O?T i O.472 r
o.ab) 03の耐熱特性を第1図のグラフに破線で
示すように、従来の圧電性磁器組成物では、それを加熱
していくと、キュリー点よりも約100℃以上低い温度
から徐々に熱による脱分極を起こし、圧電特性の劣化が
始まるこのため、その圧電性磁器組成物の使用上限温度
は、キュリー点よりはるかに下の200℃付近に限定さ
れている。この原因は、第3成分固溶によってキュリー
点が低下してしまうことと、圧電性磁器組成物が本質的
に脱分極を起こしやすいことが挙げられる。
その一方で近年、電子部品のチップ化が進み、小型の表
面実装が可能な圧電素子、すなわちセラミソクフィルタ
、セラミック発振子ディスクリミネータ、トラソブなど
のチップ素子が開発されている。従来のリード付樹脂モ
ールド素子や金属ケースに封入された素子では、はんだ
付け実装時に圧電セラミソクの温度上昇は200℃程度
に抑えられているが、これらのチップ素子では、はんだ
付けのときに圧電セラミソクも300℃程度の高温にさ
らされる。
面実装が可能な圧電素子、すなわちセラミソクフィルタ
、セラミック発振子ディスクリミネータ、トラソブなど
のチップ素子が開発されている。従来のリード付樹脂モ
ールド素子や金属ケースに封入された素子では、はんだ
付け実装時に圧電セラミソクの温度上昇は200℃程度
に抑えられているが、これらのチップ素子では、はんだ
付けのときに圧電セラミソクも300℃程度の高温にさ
らされる。
したがって、従来の圧電性磁器組成物では、耐熱性にお
いて高信顛性のチップ部品を作ることが不可能である。
いて高信顛性のチップ部品を作ることが不可能である。
また、上述の従来例の共振周波数の経時変化特性を第2
図のグラフに破線で示すように、従来の圧電性磁器組成
物では、共振周波数の経時変化にも大きな問題があった
。第2図には圧電セラミックを分極処理してからの経過
時間を横軸に対数目盛りで示し、共振周波数の変化率を
縦軸に示した。
図のグラフに破線で示すように、従来の圧電性磁器組成
物では、共振周波数の経時変化にも大きな問題があった
。第2図には圧電セラミックを分極処理してからの経過
時間を横軸に対数目盛りで示し、共振周波数の変化率を
縦軸に示した。
この例からわかるように、従来の圧電性磁器組成物は0
.5%/tinge decade程度もの経時変化を
示している。この現象はフィルタや発振子として加工し
た後で、その周波数が初期の値から大きく変動してしま
うため大きな問題となっている。
.5%/tinge decade程度もの経時変化を
示している。この現象はフィルタや発振子として加工し
た後で、その周波数が初期の値から大きく変動してしま
うため大きな問題となっている。
さらに、上述の従来例の共振周波数の温度特性を第3図
のグラフに破線で示すように、従来の圧電性磁器組成物
では、共振周波数の温度特性にも問題があった。第3図
には温度を横軸に、20℃を基準にした共振周波数の変
化率を縦軸に示した。
のグラフに破線で示すように、従来の圧電性磁器組成物
では、共振周波数の温度特性にも問題があった。第3図
には温度を横軸に、20℃を基準にした共振周波数の変
化率を縦軸に示した。
この例からわかるように、従来の圧電性磁器組成物は、
5 0 ppm/’C程度の温度特性を示している。
5 0 ppm/’C程度の温度特性を示している。
この現象は使用上問題となっている。
それゆえに、この発明の主たる目的は、耐熱性が高く、
共振周波数の経時変化が小さく、しかも共振周波数の温
度特性が良好な圧電性磁器組成物を提供することである
。
共振周波数の経時変化が小さく、しかも共振周波数の温
度特性が良好な圧電性磁器組成物を提供することである
。
(課題を解決するための手段)
この発明は、PbO−NiO−Ybz 03 −Nbz
Os TiOz ZrOtおよびMeOの固溶体
からなる磁器組成物において、この磁器組成物を構成す
る個々の酸化物組成重量比率(重量%)がpboが60
.02〜69.42、NiOが0.07〜1.62、Y
bz o3が0.30〜634、NbzOsが0.47
〜9.60,Ti02が7.03〜15.81、Z r
O zが10.90〜23.3B、およびMeOが0
.16〜490(ただし、MeOはCab.SrOおよ
びBaOの3種から選ばれた少なくとも1種の酸化物)
である、圧電性磁器組成物である。
Os TiOz ZrOtおよびMeOの固溶体
からなる磁器組成物において、この磁器組成物を構成す
る個々の酸化物組成重量比率(重量%)がpboが60
.02〜69.42、NiOが0.07〜1.62、Y
bz o3が0.30〜634、NbzOsが0.47
〜9.60,Ti02が7.03〜15.81、Z r
O zが10.90〜23.3B、およびMeOが0
.16〜490(ただし、MeOはCab.SrOおよ
びBaOの3種から選ばれた少なくとも1種の酸化物)
である、圧電性磁器組成物である。
(発明の効果)
この発明によれば、耐熱性が高《、共振周波数の経時変
化が小さく、しかも共振周波数の温度特性が良好な圧電
性磁器組成物が得られる。
化が小さく、しかも共振周波数の温度特性が良好な圧電
性磁器組成物が得られる。
この発明の上述の目的.その他の目的,特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例)
まず、出発原料としてP bO , N i O ,
Y b zOx .Nbt Os ,TiOz ,Zr
Oz ,CaO.SrOおよびBaOを使用し、これら
の粉末を表1に示す組成になるように秤量した。この原
料粉末を湿式混合し乾燥した後、700〜900℃で仮
焼した。ついで、有機系バインダを加え、湿式粉砕し整
粒した後、成形圧It/cdで成形して成形体を得た。
Y b zOx .Nbt Os ,TiOz ,Zr
Oz ,CaO.SrOおよびBaOを使用し、これら
の粉末を表1に示す組成になるように秤量した。この原
料粉末を湿式混合し乾燥した後、700〜900℃で仮
焼した。ついで、有機系バインダを加え、湿式粉砕し整
粒した後、成形圧It/cdで成形して成形体を得た。
そして、成形体を1000〜l2?0℃で焼成して磁器
を得た。得られた磁器の両主面に焼き付け電極を形成し
、50〜80℃の絶縁油中において2〜3 K V /
tmの電圧で30分間分極処理して圧電性磁器組成物
を得た。
を得た。得られた磁器の両主面に焼き付け電極を形成し
、50〜80℃の絶縁油中において2〜3 K V /
tmの電圧で30分間分極処理して圧電性磁器組成物
を得た。
得られた圧電性磁器組成物について、それぞれ誘電率(
εr),径方向の電気機械結合係数(Kp),機械的品
質係数(Qm),耐熱温度(”C)および共振周波数の
温度特性(ppm/℃)を測定した。それらの測定結果
を表2に示す。
εr),径方向の電気機械結合係数(Kp),機械的品
質係数(Qm),耐熱温度(”C)および共振周波数の
温度特性(ppm/℃)を測定した。それらの測定結果
を表2に示す。
なお、圧電特性は、インピーダンス測定機により共振周
波数および反共振周波数を測定し、それらの測定値から
計算して求めた。また、耐熱温度は、試料を3分間保持
して、電気機械結合係数の値が初期値に対して90%以
上の値を示す温度の中での最高温度である。さらに、共
振周波数の温度係数(TC)は、次式により与えられる
。
波数および反共振周波数を測定し、それらの測定値から
計算して求めた。また、耐熱温度は、試料を3分間保持
して、電気機械結合係数の値が初期値に対して90%以
上の値を示す温度の中での最高温度である。さらに、共
振周波数の温度係数(TC)は、次式により与えられる
。
TC= (F rsax F rai+%) / F
rz。
rz。
ただし、Fr■.は−20〜+80℃の温度範囲での共
振周波数の最大値であり、Fr+*inは20〜+80
℃の温度範囲での共振周波数の最少値であり、Fr2。
振周波数の最大値であり、Fr+*inは20〜+80
℃の温度範囲での共振周波数の最少値であり、Fr2。
は20℃での共振周波数である.次に、表1および2に
基づいて、この発明の組成の限定理由について説明する
. ■PbOが60.02重量%未満あるいは6942重量
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号2および5参照)。
基づいて、この発明の組成の限定理由について説明する
. ■PbOが60.02重量%未満あるいは6942重量
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号2および5参照)。
■NiOが0.07重量%未満あるいは1.62重量%
を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの、
耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱されると
100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまうか
らである(試料番号6および9参照)。
を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの、
耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱されると
100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまうか
らである(試料番号6および9参照)。
■Y b z O sが0.30重量%未満あるいは6
34重量%を超えると、共振周波数の温度特性は向上す
るものの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加
熱されると100℃以上低い温度から圧電特性が劣化し
てしまうからである(試料?号10およびl3参照)。
34重量%を超えると、共振周波数の温度特性は向上す
るものの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加
熱されると100℃以上低い温度から圧電特性が劣化し
てしまうからである(試料?号10およびl3参照)。
■NbtOsが0.47重量%未満あるいは960重量
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号14および17参照)。
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号14および17参照)。
■TiO■が7.03重量%未満あるいは1581重量
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号18および21参照)。
%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するものの
、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱される
と100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してしまう
からである(試料番号18および21参照)。
■ZrOzが10.90重量%未満あるいは23.38
重量%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するも
のの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱さ
れると100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してし
まうからである(試料番号22および25参照)。
重量%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するも
のの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱さ
れると100℃以上低い温度から圧電特性が劣化してし
まうからである(試料番号22および25参照)。
■M e Oが0.16重量%未満では耐熱温度が高く
なるものの、共振周波数の温度特性が従来と同じだから
である(試料番号26参照).また、MeOが4.90
重置%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するも
のの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱さ
れると100’t’以上低い温度から圧電特性が劣化し
てしまうからである(試料番号35参照). また、この発明の実施例としての試料番号1の耐熱特性
,共振周波数の経時変化特性および共振周波数の温度特
性を、第1図,第2図および第3図のグラフにそれぞれ
実線で示した. 第1図のグラフから明らかなように、この発明の範囲内
の実施例では、従来例と比べて、キュリ一点が大きく、
しかも、キュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく
劣化することがなく高い耐熱性を示すことがわかる. また、第2図のグラフから明らかなように、この発明の
範囲内の実施例では、共振周波数の経時変化についても
0.1%/time decade以下と従来例より小
さく、高安定な圧電素子を得ることができることがわか
る. さらに、第3図のグラフから明らかなように、この発明
の範囲内の実施例では、従来例と比べて、共振周波数の
温度特性が安定であることがわかる.以上のように、こ
の発明によれば、耐熱特性,共振周波数の経時変化特性
および共振周波数の温度特性が良好である圧電性磁器組
成物が得られることがわかる。
なるものの、共振周波数の温度特性が従来と同じだから
である(試料番号26参照).また、MeOが4.90
重置%を超えると、共振周波数の温度特性は向上するも
のの、耐熱温度が低く、はんだ付けなどによって加熱さ
れると100’t’以上低い温度から圧電特性が劣化し
てしまうからである(試料番号35参照). また、この発明の実施例としての試料番号1の耐熱特性
,共振周波数の経時変化特性および共振周波数の温度特
性を、第1図,第2図および第3図のグラフにそれぞれ
実線で示した. 第1図のグラフから明らかなように、この発明の範囲内
の実施例では、従来例と比べて、キュリ一点が大きく、
しかも、キュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく
劣化することがなく高い耐熱性を示すことがわかる. また、第2図のグラフから明らかなように、この発明の
範囲内の実施例では、共振周波数の経時変化についても
0.1%/time decade以下と従来例より小
さく、高安定な圧電素子を得ることができることがわか
る. さらに、第3図のグラフから明らかなように、この発明
の範囲内の実施例では、従来例と比べて、共振周波数の
温度特性が安定であることがわかる.以上のように、こ
の発明によれば、耐熱特性,共振周波数の経時変化特性
および共振周波数の温度特性が良好である圧電性磁器組
成物が得られることがわかる。
第1図はこの発明の一実施例および従来例の耐熱特性を
示すグラフである. 第2図はこの発明の一実施例および従来例の共振周波数
の経時変化特性を示すグラフである。 第3図はこの発明の一実施例および従来例の共振周波数
の温度特性を示すグラフである。
示すグラフである. 第2図はこの発明の一実施例および従来例の共振周波数
の経時変化特性を示すグラフである。 第3図はこの発明の一実施例および従来例の共振周波数
の温度特性を示すグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 PbO−NiO−Yb_2O_3−Nb_2O_5−
TiO_2−ZrO_2およびMeOの固溶体からなる
磁器組成物において、 前記磁器組成物を構成する個々の酸化物組成重量比率(
重量%)が PbOが60.02〜69.42、 NiOが0.07〜1.62、 Yb_2O_3が0.30〜6.34、 Nb__2O_5が0.47〜9.60、 TiO_2が7.03〜15.81、 ZrO_2が10.90〜23.38、およびMeOが
0.16〜4.90 (ただし、MeOはCaO,SrOおよびBaOの3種
から選ばれた少なくとも1種の酸化物)であることを特
徴とする、圧電性磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011003A JPH03215358A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 圧電性磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011003A JPH03215358A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 圧電性磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03215358A true JPH03215358A (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=11765950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011003A Pending JPH03215358A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 圧電性磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03215358A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006103143A1 (de) * | 2005-03-31 | 2006-10-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezokeramik, piezoelektrisches bauteil mit der piezokeramik und verfahren zum herstellen der piezokeramik |
-
1990
- 1990-01-19 JP JP2011003A patent/JPH03215358A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006103143A1 (de) * | 2005-03-31 | 2006-10-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezokeramik, piezoelektrisches bauteil mit der piezokeramik und verfahren zum herstellen der piezokeramik |
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