JPH03215667A

JPH03215667A - 真空内でコーテイングされたフイルムウエブに無金属のストリツプ領域を形成するための装置

Info

Publication number: JPH03215667A
Application number: JP2177626A
Authority: JP
Inventors: Jochen Heinz; ヨーヘン・ハインツ; Thomas Krug; トーマス・クルーク; Klemens Rubsam; クレメンス・リユプザーム; Hans Kessler; ハンス　ケスラー
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1989-07-06
Filing date: 1990-07-06
Publication date: 1991-09-20
Also published as: EP0406641A1; US4962725A; DE3922187A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、真空内でコーティングされた、特にコンデン
サのためのフィルムウェブで無金属のストリップを製造
するための装置であって、ケーシングと、このケーシン
グを気密に閉鎖するための蓋と巻取りユニットと、２つ
のプレートの間で回転可能に支承された変向一及び緊張
ローラと、少なくとも１つのコーティングローラと、巻
取りローラ及び繰り出しローラと、ケーシング内で保持
された蒸着源と、ウェブの走行方向に対して直交して配
置された、蒸発可能な剥離剤を収容するための、有利に
は管状の容器と、該容器から、すぐ近くを走行するウェ
ブに前記蒸発可能な剥離剤、例えば油を吹き付けるだめ
の少なくとも１つのノズルとから成っている形式のもの
に関する。

〔従来の技術〕

絶縁材料ストリップに金属を蒸着する際に、電気的なコ
ンデンサに使用される無金属ストリップを製造する方法
は公知である（ＤＥ−ＰＳ３２２４２３４号明細書並び
に　ＤＡ５　　２６５２４３８号明細書参照）。この方
法においては、絶縁材料ストリップは、製造しようとす
る無金属ストリップの範囲で、この絶縁材料ストリップ
に当接しこれと一緒に同速度で走行するエンドレスなカ
バーストリップによってカバーされる。この絶縁材料ス
トリップは、その蒸着装置側に向けられた側が、蒸着範
囲に侵入する前にオイルで塗られ、次いで蒸着範囲を通
過してカバーストリップと絶縁材料ストリップとか分離
されてから、蒸着された金属が取り除かれる。このため
にまず、金属コーティングしようとする絶縁材料ストリ
ップとカバーストリップとを接触させ、この時にオイル
を蒸着させることによって、カバーストリップの側面並
びに狭い間隔を保って隣接する絶縁材料ストリップの面
範囲を覆う膜を形成し、次いで金属によって蒸着するよ
うになっている。

また、特に電気的なコンデンサを製造するための、金属
蒸着作業用のカバー材料としてのストリップに、液状又
は脂肪状の材料、有利には油物質より成る多数の平行な
ストリップを低い蒸着圧によって同時に蒸着する装置も
知られている（ＤＥ−ＰＳ　　１２６２７３２号明細書
参照）。この装置は、加熱コイルによって取り囲まれた
蒸着容器より成っていて、この蒸着容器は、貯蔵容器か
ら延びる多数の蒸着ノズルを有している。さらにこの装
置は、製造しようとするカバーストリップの間隔及び幅
に応じて配置された多数のノズルと１つの供給口を備え
た管状の蒸着容器を有している。

電気的なコンデンサのストリップ状の誘電体に付着され
た、特に蒸着された薄い金属蒸着層より成る幅の狭いス
トリップを車輪状の燃焼電極によって連続的に焼き取る
方法も知られている（ＤＥ−ＰＳ　　１１２７４７４号
明細書参照）。この燃焼電極においては、間に燃焼電圧
源（＋、一）が配置された２つの燃焼車輪が互いに小さ
い間隔を保って前記層に沿って並んで案内され、車輪の
接触する箇所が焼き取られて、この焼き取られた物が連
続的に取り除かれるようになっている。

〔発明の課題〕

本発明の課題は、剥離剤を施すための装置を改良して、
コーティング装置にも使用できるようにし、蒸着流の流
出方向が鉛直下方又は斜め下方で行われ、運転の故障原
因となる、ノズル範囲における剥離剤の凝結が避けられ
るようにすることである。

〔課題を解決するだめの手段〕

この課題を解決した本発明によれば、少なくとも部分的
に、蒸発可能な剥離剤で満たされた容器か少なくとも１
つの蒸気吐出管を備えており、この蒸気吐出管のノズル
が剥離剤の液面レベルの下側で、しかもコーティングし
ようとするウェブのすぐ近くでコーティング室内に開口
しており、前記ノズルとは反対側の、蒸気吐出管の端部
が、剥離剤の上側の容器の室内で終わっている。

〔実施例〕

図示のコーティング装置は、２つのプレート２．４間で
支承された変向ローラ、引張り測定ローラ、拡張ローラ
及び緊張ローラ５〜１７と、冷却されたコーティングド
ラム１８と、繰り出しローラ３７′と、巻取りローラ３
５′と、中空ンリンダ３２によって形成されたコーティ
ング室２８内に配置された蒸着源ｌ９とを備えている。

中空シリンダ３２内にはアルミニウムコイル２０と蒸着
槽２ｌと、コーティングプロセスを監視するためのカメ
ラ２２とが収容されている。支持フレーム５２に固定さ
れた２つのプレート３．４は、巻取りユニット２９を形
成するコーティングドラム１８及び前記種々のロラ５〜
ｌ７と共に、ローラ２６，２７を介してレール２４．２
５上に沿って矢印Ｒ方向でコーティング室２８内へ侵入
若しくはこのコーティング室２８から退出せしめられる
。巻取りユニット２９が侵入せしめられると、支持フレ
ーム５２に結合された円板状の蓋３０の縁部が、中空ン
リンダ３２の７ランジ状の端面３ｌに対して当てつけら
れ、ここでクランプ（図示せず）によって中空シリンダ
３２に固定されるか、若しくは運転中に室４５内に形成
される、雰囲気圧に対する低圧によって端面３１に引き
寄せられる。

第３図に示された容器３４は、管部材より形成されてお
り、この管部材の両端部は円盤状の終端部材によって閉
鎖されている。容器３４内にはロンド状の加熱部材４３
が配置されておりこの加熱部材４３は、剥離剤３３内に
完全に浸されていて、蒸気吐出管３９付近に配置されて
いる。この蒸気吐出管３９は、ほぼ鉛直位置で容器３４
の底部に保持されている。蒸気吐出管３９は、そのノズ
ルヘッド４４が容器３４の壁部にはんだ付け又は溶接さ
れており、この時に、蒸気吐出管３９の長さは、この蒸
気吐出管３９の上端部３９′が剥離剤３３の液面レベル
４６上に開口するように設計されている。容器３４は有
利な形式で温度センサ４７を備えており、この温度セン
サ４７は、剥離剤温度を正確に監視して維持する（加熱
循環系を監視及び制御するために必要な回路は図示され
ていない）。

容器３４はエルポ５３．５３’に補助されて２つのプレ
ート３．４間で保持されており、ノズル３６の吹き付け
方向はストリップ若しくはフィルム５０のコーティング
しようとする側に向けられている。

第２図に示されているように、ノズル３６は、変向ロー
ラｌＯとコーティングドラム１８との間に位置するウェ
ブ区分に配置されているので、貫通案内されるフィルム
５０に剥離剤が塗らた直後に本来のコーティングプロセ
スが行われる。剥離剤（例えばシリコーン油）が塗られ
たフィルム５０の一部は、蒸着槽２ｌ内で金属によって
蒸着されないので、フィルム５０の側面のどの程度の部
分を蒸着しないで残すか若しくはコーティングしないで
残すかは、容器３４の全長に亙って並んで分配配置され
たノズル３６の数に基づいている。

４第１図及び第２図に示された装置においてはストリップ
又はフィルム５０を搬送及びガイドするためのローラ５
〜ｌ７は、コーティングドラム１８の直前に存在するフ
ィルム５０の部分が、急な角度で、つまりローラｌＯか
らほぼ垂直下方へ延びるように配置されている。

フィルム５０のこの部分が、第３図に示された容器３４
の構造を変える必要なしｌこ、例えばほぼ水平面でコー
ティングドラム１８に沿って案内されるように構成して
もよいことは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、装入プロセスのために巻取り装置が中空シリ
ンダとして構成されたコーティング室から走出されてい
る状態の、ストリソプコーティング装置の一部の破断し
た、第２図Ａ−Ｂ線に沿った断面図、第２図は、第１図
の一部破断した側面図、第３図は、剥離剤を蒸着するた
めの容器の拡大横断面図である。３，４・・・プレート、５・・・変向ローラ、６・・・
緊張ローラ、７．８・・・変向ローラ、９・・・拡張ロ
ーラ、１０・・・変向ローラ、１１・・・引っ張り測定
ロラ、ｌ２・・・引っ張りローラ、１３・・・測定ドラ
ム、ｌ４・・・変向ローラ、ｌ５・・・拡張ローラ、ｌ
６・・・引っ張り測定ローラ、ｌ７・・・変向ローラ、
１８・・・コーティングドラム、ｌ９・・・蒸着源、２
０・・・アルミニウムコイル、２ｌ・・・蒸着槽、２２
・・・カメラ、２３・・・ワイヤ供給部．２４．２５・
・・レル、２６．２７・・・ローラ、２８・・・コーテ
ィング室、２９・・・巻取りユニット、３０・・・蓋、
３ｌ・・・端面、３２・・・中空シリンダ、３３・・・
剥離剤、３４・・・容器、３５・・・巻取り材料、３５
′・・・巻取りローラ、３６・・・ノズル、３７・・・
繰り出し材料３７′・・・繰り出しローラ、３９・・・
蒸気吐出管３９′・・・上端部、４０・・・室、４２・
・・剥離剤表面、４３・・・加熱部材、４４・・・ノズ
ルヘッド、４５・・・室、４６・・・液面レベル、４７
・・・温度センサ５０・・・ストリップ又はフィルム、
５ｌ・・・コントロールボックス、５２・・・支持フレ
ーム、５３５４・・・エルポ

Claims

【特許請求の範囲】

１．　真空内でコーティングされたフィルムウェブで無
金属のストリップを製造するための装置であって、ケー
シング（３２）と、このケーシング（３２）を気密に閉
鎖するための蓋（３０）と巻取りユニット（２９）と、
２つのプレート（３，４）の間で回転可能に支承された
変向−及び緊張ローラ（５，６，７，８，９，１０，１
１，１２，１３，１４，１５，１６，１７）と、少なく
とも１つのコーティングローラ（１８）と、巻取りロー
ラ（３５′）及び繰り出しローラ（３７′）と、ケーシ
ング（３２）内で保持された蒸着源（１９）と、ウェブ
（５０）の走行方向に対して直交して配置された、蒸発
可能な剥離剤（３３）を収容するための管状の容器（３
４）と、該容器（３４）から、すぐ近くを走行するウェ
ブ（５０）に前記蒸発可能な剥離剤（３３）を吹き付け
るための少なくとも１つのノズル（３６）とから成って
いる形式のものにおいて、蒸発可能な剥離剤（３３）で
少なくとも部分的に満たされた容器（３４）が少なくと
も１つの蒸気吐出管（３９）を備えており、この蒸気吐
出管（３９）のノズル（３６）が剥離剤（３３）の液面
レベル（４６）の下側で、しかもコーティングしようと
するウェブ（５０）のすぐ近くでコーティング室（４５
）内に開口しており、前記ノズル（３６）とは反対側の
、蒸気吐出管（３９）の端部が、剥離剤（３３）の上側
の容器（３４）の室（４０）内で終わっていることを特
徴とする、真空内でコーティングされたフィルムウェブ
で無金属のストリップを製造するための装置。
２．　ほぼ水平に保持された管状の容器（３４）の下部
にノズルヘッド（４４）がねじ込まれているか、又は溶
接、はんだ付け或はリベット止めされており、該ノズル
ヘッド（４４）のノズル（３６）が半径方向外側にガイ
ドされていて、ノズルヘッド（４４）に蒸気吐出管（３
９）が固く固定されていて、該蒸気吐出管（３９）の上
端部（３９′）が液面レベル（４６）の上側で容器（３
４）の室（４０）内で終わっており、ノズルヘッド（４
４）の近くで容器内室の下部に加熱部材（４３）が保持
されていて、該加熱部材（４３）が、蒸発過程中にノズ
ルヘッド（４４）を目標温度に維持するようになってい
る、請求項１記載の装置。
３．　蒸気吐出管（３９）が鈍角に曲げられており、蒸
気吐出管（３９）の上部区分がほぼ鉛直に延びていて、
下部区分が、容器（３４）がほぼ水平に配置された時に
横方向、しかも液面レベル（４６）の下側でノズルヘッ
ド（４４）内に開口している、請求項２記載の装置。