JPH03217109A - 弾性表面波共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、ＲＦコンバータ等に使用される弾性表面波共
振子に関するものである。

（口）従来の技術 第３図は弾性表面波共振子を示す図である。

（１）はＬｉＴａＯｓ等からなる圧電基板、（２）は弾
性表面波を励振する弾性表面波励振電極であり、圧電基
板上（１）にインターデジタル状に形成されている。（
３）（４）は弾性表面波励振電極（２）の両側に、対向
配置されている弾性表面波反射電極である。これら電極
（２　）（３　）（４　）はＡｊ等よりなり、フォトエ
ッチングにより所定の形状に形成される。

斯る表面波共振子の動作を簡単に説明する。

励振電極（２）に所定の共振周波数の電気信号が、印加
されると、圧電基板（１．）表面に弾性表面波が励起さ
れる。励起された弾性表面波は反射電極（３　）（４　
）で反射され、反射電極（３）（４）間で反射を繰り返
すことによって定在波となる。そして、再度励振電極（
２）にフィードバックされ、所定の周波数により発振す
る。

このような弾性表面波共振子において、エッチングによ
り形成される電極は、弾性表面波の伝播方向（Ａ）にお
ける断面形状が下辺が長い台形状となる。第４図に弾性
表面波の伝播方向における反射電極（３）の断面図を示
す。

従来、反射電極（３）は、エッチングにより所望の電極
幅（Ｗ）が得やすいように、断面の傾斜角（θ゜）（電
極（３）断面における電極側面（３ａ）と圧電基板（１
）表面とのなす角度）を約５５度にしていた。これは、
反射電極（３）断面の傾斜角（θ゜）と形成される電極
幅（Ｗ）は、共にエッチング時間により決まるからであ
る。エッチング時間が長い徨、得られる電極の傾斜角（
θ゛）は大きくなり、電極幅（Ｗ）は狭くなる。

（ハ）発明が解決しようとする課題 ところで、表面波共振子の挿入損失を改善する場合、反
射電極（３）（４）の反射効率を上げる必要がある。反
射効率を上げる方法としては、反射電極（３　）（４　
）の本数を多くするか、開口長を大きくする方法がある
。しかしながら、この方法では電極パターンサイズが大
きくなるという問題がある。

また、特開昭６２−１６８４１０号公報（１１０３１｛
　９／２５）には、この問題を解消する弾性表面波共振
子が開示されている。この弾性表面波共振子においては
、３ 反射電極を低密度層と高密度層を順次交互に積層して形
成することにより、反射電極の反射効率を高めている。

しかしながら、斯る表面波共振子は低密度層と高密度層
を交互に積層しなければならないので、製造工数が多く
なるとともに２種類の電極材料が必要となるという問題
がある。

そこで、本発明は電極パターンサイズを大きくすること
がなく、かつ製造工数の増加を来すことなく挿入損失を
改善した弾性表面波共振子を提供することを目的とする
。

（二）課題を解決するための手段 上述の問題に鑑み、本発明は圧電基板と、この圧電基板
上に形成される弾性表面波励振電極と、この弾性表面波
励振電極に対向配置される弾性表面波反射電極とを備え
る弾性表面波共振子であって、反射電極は、弾性表面波
伝播方向の断面における側面と圧電基板表面との為す角
度が６０度ないし７５度の範囲であることを特徴とする
ものである。

４ （ホ）作用 反射電極断面の上記角度を上記範囲に規定することによ
り、従来この角度を約５５度付近にしていたものに比べ
て反射電極の質量が増加するので、反射電極の反射効率
が向上する。

（へ）実施例 本発明の一実施例を以下に説明する。

本発明の弾性表面波共振子の電極構成は、例えば、第３
図に示した従来例と同様である。第１図は、その弾性表
面波共振子の弾性表面波伝播方向における反射電極部分
の断面図である。（１）はＬｉＴａｇｓ等よりなる圧電
基板、（３）は圧電基板（１）上に形成されたＡｌ等よ
りなる反射電極である。（θ）は傾斜角であり、反射電
極（３）断面における圧電基板（１）表面と反射電極側
面（３ａ）とが為す角度を示す。

この傾斜角（θ）を変化させたときの弾性表面波共振子
の挿入損失の特性を第２図に示す。この図より、傾斜角
（θ）が大きくなるにつれて挿入損失が小さくなってい
ることが分かる。例えば、傾斜角（θ）が６０度のとき
は、５５度のときに比べて約０．０５ｄＢ改善されてい
る。

挿入損失は傾斜角（θ）を大きくすることで改善される
が、あまり大きくすることはできない。それは、反射電
極の傾斜角（θ）は前述のようにエッチング時間により
決まるからである。即ち、エッチングによる傾斜角（θ
）を垂直に近付ける場合、エッチング時間を長く取らな
ければならい。エッチング時間を長くすると、電極幅（
Ｗ）はそれだけ細くなる。このため、所望の電極幅（Ｗ
）を得るためには、エッチング時間に応じた分だけ電極
パターン幅を広くしたフォトマスクを用いて、レジスト
を露光しなければならない。フォトマスクの電極パター
ン幅が広いと、フォトマスクの電極パターン間隔は狭く
なるので、充分にレジストが露光されず、エッチングが
充分に行われなくなるおそれがある。

よって、本発明の弾性表面波共振子では、生産性を考慮
して傾斜角（θ）の上限は請求の範囲に規定したように
７５度とした。

以上のように、反射電極の傾斜角（θ）を太き《するこ
とにより、反射効率が向上し、それによって挿入損失が
改善される。

（ト）発明の効果 本発明の弾性表面波共振子は、反射電極の傾斜角を６０
度ないし７５度の範囲にすることにより、パターンサイ
ズを大きくすることなく挿入損失を改善することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の弾性表面波共振子の弾性表面波伝播方
向における反射電極部分の断面図、第２図は弾性表面波
共振子の反射電極断面の傾斜角に対する挿入損失を示す
図、第３図は弾性表面波共振子を示す平面図、第４図は
従米の弾性表面波共振子の弾性表面波伝播方向における
反射電極部分の断面図である。 （１）・・・圧電基板、（２）・・・弾性表面波励振電
極、（３）・・・弾性表面波反射電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板と、 この圧電基板上に形成される弾性表面波励振電極と、 この弾性表面波励振電極に対向配置される弾性表面波反
   射電極とを備える弾性表面波共振子において、 前記弾性表面波反射電極は、弾性表面波伝播方向の断面
   における側面と圧電基板表面との為す角度が６０度ない
   し７５度の範囲であることを特徴とする弾性表面波共振
   子。