JPH0321856B2 - - Google Patents
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- JPH0321856B2 JPH0321856B2 JP60263982A JP26398285A JPH0321856B2 JP H0321856 B2 JPH0321856 B2 JP H0321856B2 JP 60263982 A JP60263982 A JP 60263982A JP 26398285 A JP26398285 A JP 26398285A JP H0321856 B2 JPH0321856 B2 JP H0321856B2
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- circuit
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M5/00—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases
- H02M5/02—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into DC
- H02M5/04—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into DC by static converters
- H02M5/22—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into DC by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
- H02M5/275—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into DC by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M5/293—Conversion of AC power input into AC power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into DC by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
- G05F1/10—Regulating voltage or current
- G05F1/12—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is AC
- G05F1/14—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is AC using tap transformers or tap changing inductors as final control devices
- G05F1/16—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is AC using tap transformers or tap changing inductors as final control devices combined with discharge tubes or semiconductor devices
- G05F1/20—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is AC using tap transformers or tap changing inductors as final control devices combined with discharge tubes or semiconductor devices semiconductor devices only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P13/00—Arrangements for controlling transformers, reactors or choke coils, for the purpose of obtaining a desired output
- H02P13/06—Arrangements for controlling transformers, reactors or choke coils, for the purpose of obtaining a desired output by tap-changing; by rearranging interconnections of windings
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は２つの異なる電圧が印加されるイオン
ポンプ、に給電し、該イオンポンプ内の圧力を測
定するための改良された電気装置に関する。
ポンプ、に給電し、該イオンポンプ内の圧力を測
定するための改良された電気装置に関する。
イオンポンプにおいては、出力電流Ｉがほゞポ
ンプ内の圧力Ｐの直線関数であり、Ｉ＝KPn、但
しＫは定数であり、ｎは一般に1.0〜1.2である、
なる関係により表わされる。
ンプ内の圧力Ｐの直線関数であり、Ｉ＝KPn、但
しＫは定数であり、ｎは一般に1.0〜1.2である、
なる関係により表わされる。
それ故、イオンポンプは真空測定装置
（vacuometer）として用いることができ、該真空
測定装置内においては、圧力の値が下記の関係に
基づく電流により得ることができる。
（vacuometer）として用いることができ、該真空
測定装置内においては、圧力の値が下記の関係に
基づく電流により得ることができる。
Ｐ＝（１／Ｋ）1/n・I1/n …(1)
一方、給電装置により供給される電流ITは一般
に下記の電流の和、すなわちIT＝Ｉ＋ID＋IEC、で
ある。ここでIDは給電装置、ケーブルおよび高電
圧コネクタの漏洩電流であり、IECは電界効果に
よりカソードによつて射出された電子的電流
（electronic current）である。
に下記の電流の和、すなわちIT＝Ｉ＋ID＋IEC、で
ある。ここでIDは給電装置、ケーブルおよび高電
圧コネクタの漏洩電流であり、IECは電界効果に
よりカソードによつて射出された電子的電流
（electronic current）である。
電流ITが、直接測定でき、従つて上述の関係式
(1)によつて圧力に変換できる単なる量であるか
ら、若し、電流値IDおよびIECが電流Ｉに対し無視
し得る程度である場合、電流ITとＩとが同じにな
るので、読みは確かなものとなり得る。
(1)によつて圧力に変換できる単なる量であるか
ら、若し、電流値IDおよびIECが電流Ｉに対し無視
し得る程度である場合、電流ITとＩとが同じにな
るので、読みは確かなものとなり得る。
電流IDが、適切な構成手段を採用することによ
り無視し得る程度にすることができるとき、電流
IECは、予測できないが、イオンポンプの寿命と
共に変化し、100μAの桁の程度の値に到達する場
合があり、その結果として、圧力の読みの信頼性
を約10-6（torr）程度までに制限する。かゝる結
果が第３図、曲線ａとして図示されており、同図
は供給電圧が7kVである場合の代表的な電流Ｉと
圧力Ｐとの関係を表わす図である。
り無視し得る程度にすることができるとき、電流
IECは、予測できないが、イオンポンプの寿命と
共に変化し、100μAの桁の程度の値に到達する場
合があり、その結果として、圧力の読みの信頼性
を約10-6（torr）程度までに制限する。かゝる結
果が第３図、曲線ａとして図示されており、同図
は供給電圧が7kVである場合の代表的な電流Ｉと
圧力Ｐとの関係を表わす図である。
それ故、従来知られているイオンポンプは、真
空測定装置として用いられている場合、一般に、
圧力が10-6（torr）以下の圧力測定に信頼性を得
ることができないので、ゆゆしき利用上の制限に
遭遇している。
空測定装置として用いられている場合、一般に、
圧力が10-6（torr）以下の圧力測定に信頼性を得
ることができないので、ゆゆしき利用上の制限に
遭遇している。
一方、上述の如くイオンポンプの寿命と共に電
流IECが変化すると、ハイ・ポツテイング技法に
よる電界効果電流が周期的に低下することが知ら
れている。
流IECが変化すると、ハイ・ポツテイング技法に
よる電界効果電流が周期的に低下することが知ら
れている。
上記ハイ・ポツテイング技法は、イオンポンプ
をその給電装置から切離して、通常の電圧よりも
高い電圧、例えば15kV、を給電可能な他の給電
装置（ハイ・ポツタ）に接続することを意味して
いる。
をその給電装置から切離して、通常の電圧よりも
高い電圧、例えば15kV、を給電可能な他の給電
装置（ハイ・ポツタ）に接続することを意味して
いる。
制御ハイ・ポツテイング技法は、比較的長時間
イオンポンプを停止する手動的な中断過程を必要
とするから、該技法が殆んどの用途について不利
益を呈していることが明瞭である。
イオンポンプを停止する手動的な中断過程を必要
とするから、該技法が殆んどの用途について不利
益を呈していることが明瞭である。
従つて本発明の目的は、上述した従来のイオン
ポンプの不利益を解消若しくは低減すること、お
よび、10-6（torr）以下の圧力測定用の真空測定
装置として使用し、10-6（torr）以上の圧力の測
定において信頼性のある、イオンポンプを可能と
する電気的な給電および測定装置を提供するこ
と、にある。
ポンプの不利益を解消若しくは低減すること、お
よび、10-6（torr）以下の圧力測定用の真空測定
装置として使用し、10-6（torr）以上の圧力の測
定において信頼性のある、イオンポンプを可能と
する電気的な給電および測定装置を提供するこ
と、にある。
本発明においては、変圧器および該変圧器から
の交流電流を整流し濾波する手段を具備する、イ
オンポンプに給電し該イオンポンプ内の圧力を測
定する電気装置において、前記変圧器が高電圧お
よび低電圧を前記イオンポンプに循還的に印加す
るのに適した手段により制御され、前記電気装置
がさらに、前記イオンポンプに給電される電流を
検出する電気計測回路、および前記低電圧の給電
に関係する電流値のみを圧力値に変換するのに適
した手段を具備することを特徴とする電気装置、
が提供される。
の交流電流を整流し濾波する手段を具備する、イ
オンポンプに給電し該イオンポンプ内の圧力を測
定する電気装置において、前記変圧器が高電圧お
よび低電圧を前記イオンポンプに循還的に印加す
るのに適した手段により制御され、前記電気装置
がさらに、前記イオンポンプに給電される電流を
検出する電気計測回路、および前記低電圧の給電
に関係する電流値のみを圧力値に変換するのに適
した手段を具備することを特徴とする電気装置、
が提供される。
本発明の好適実施例が添付図面を参照して下記
に述べられる。
に述べられる。
上述の如く、本発明は２つの異なる給電電圧を
供給可能なイオンポンプ用の電気装置に関するも
のであり、上記異なる２つの給電電圧の一方が通
常の動作電圧、例えば7kVであり、他方がより低
い電圧、例えば3kVである。かゝる状況が第４図
に概略的に図解されており、同図は時間ｔの関数
としての給電電圧の変化を示している。
供給可能なイオンポンプ用の電気装置に関するも
のであり、上記異なる２つの給電電圧の一方が通
常の動作電圧、例えば7kVであり、他方がより低
い電圧、例えば3kVである。かゝる状況が第４図
に概略的に図解されており、同図は時間ｔの関数
としての給電電圧の変化を示している。
第４図は、本発明に基づく電気装置が所定の時
間について電圧VA、例えば7kVを供給し、限定
された短時間、従つてイオンポンプの完全な動作
に関係のない時間について電圧VB、例えば3kV
を供給することを示している。
間について電圧VA、例えば7kVを供給し、限定
された短時間、従つてイオンポンプの完全な動作
に関係のない時間について電圧VB、例えば3kV
を供給することを示している。
低電圧を給電すると、電界の直線依存性が電流
と圧力との間で広がる。例えば、3kVの電圧を給
電することに関連づけた第３図の曲線ｂを参照さ
れたい。若し、このような条件下において測定が
行なわれると、例えば10-10（torr）をこえるよう
な非常に低い圧力についてさえも測定することが
可能である。
と圧力との間で広がる。例えば、3kVの電圧を給
電することに関連づけた第３図の曲線ｂを参照さ
れたい。若し、このような条件下において測定が
行なわれると、例えば10-10（torr）をこえるよう
な非常に低い圧力についてさえも測定することが
可能である。
第１図は本発明の電気装置の第１実施例として
の回路を図示する。
の回路を図示する。
第１図において、回路の初段部にリレー１４の
接点１０，２２および２４が設けられいる。リレ
ー１４は変圧器１２へ印加される給電電圧を切換
えるためのものである。この電圧切換は、変圧器
１２の２次巻線の電圧を交互に変化させるのに提
供されるものであり、それによつて、イオンポン
プ１１の動作に係る２つの電圧、例えば、7kVお
よび3kV、が切換えられて提供される。当該回路
はまた、イオンポンプ１１に給電するのに適した
整流・フイルタ回路１３を具備する。
接点１０，２２および２４が設けられいる。リレ
ー１４は変圧器１２へ印加される給電電圧を切換
えるためのものである。この電圧切換は、変圧器
１２の２次巻線の電圧を交互に変化させるのに提
供されるものであり、それによつて、イオンポン
プ１１の動作に係る２つの電圧、例えば、7kVお
よび3kV、が切換えられて提供される。当該回路
はまた、イオンポンプ１１に給電するのに適した
整流・フイルタ回路１３を具備する。
リレー１４の切換動作は、第２図の波形ｃおよ
びｄで表わされた良好に規定された限時サイクル
に基いて２つのオシレータ１６および１８により
制御される。
びｄで表わされた良好に規定された限時サイクル
に基いて２つのオシレータ１６および１８により
制御される。
２つのオシレータ１６および１８の出力電圧
が、連続的な切換え電圧＋VDCとして固定され得
る高レベルである場合、トランジスタ２０が導電
状態となりリレー１４が付勢される。それによつ
て接点１０と２４が閉路する。この位置におい
て、変圧器１２内に誘起される電圧が最大、例え
ば7kVとなる。
が、連続的な切換え電圧＋VDCとして固定され得
る高レベルである場合、トランジスタ２０が導電
状態となりリレー１４が付勢される。それによつ
て接点１０と２４が閉路する。この位置におい
て、変圧器１２内に誘起される電圧が最大、例え
ば7kVとなる。
第２図ａ波形ｃに図示の如く、オシレータ１８
の出力電圧が０ボルトのレベルに低下すると、リ
レー１４にはもはや電流が流れずリレー１４は消
勢され、接点１０と２２とを閉路する。この位置
において、変圧器１２には最小の電圧、例えば
3kV、が誘起される。
の出力電圧が０ボルトのレベルに低下すると、リ
レー１４にはもはや電流が流れずリレー１４は消
勢され、接点１０と２２とを閉路する。この位置
において、変圧器１２には最小の電圧、例えば
3kV、が誘起される。
上述の如く、リレーの付勢時間および消勢時間
は、オシレータ１６および１８の群の排他的な結
合であり、それ故、第４図に図示の形式の循還的
（サイクリツク）な時間で規定される電圧を提供
するように選択されなければならない。
は、オシレータ１６および１８の群の排他的な結
合であり、それ故、第４図に図示の形式の循還的
（サイクリツク）な時間で規定される電圧を提供
するように選択されなければならない。
オシレータ１６および１８の出力電圧はまた、
RC遅延回路２６およびインバータ回路２８に印
加される。該インバータ回路２８の出力において
再び、第２図の波形ｄに図示の如き電圧が見出さ
れる。
RC遅延回路２６およびインバータ回路２８に印
加される。該インバータ回路２８の出力において
再び、第２図の波形ｄに図示の如き電圧が見出さ
れる。
イオン電流が電気計測回路３０により連続的に
読出される。該電気計測器の入力信号が整流回路
２１により抽出される。イオン電流に比例する電
気計測回路３０の出力信号がサンプル・ホールド
回路３２のアナログ入力端子に供給される。
読出される。該電気計測器の入力信号が整流回路
２１により抽出される。イオン電流に比例する電
気計測回路３０の出力信号がサンプル・ホールド
回路３２のアナログ入力端子に供給される。
サンプル・ホールド回路３２は３つの部分から
形成されている、すなわち、電気計測回路３０か
ら到来する情報を有するアナログ入力経路１５、
インバータ回路２８から到来する情報を有する論
理入力経路１７、およびキヤパシタ３４により形
成されたメモリ回路である。論理入力が連続的な
給電電圧＋VDCのレベルにある期間のみ（第２
図、波形ｄ）、アナログ情報が出力側に送出され
る。一方、論理入力が０ボルトである期間は、サ
ンプル・ホールド回路３２の出力経路１９におい
て、論理入力が＋VDCから０ボルトに切換えられ
る前に受信され、キヤパシタ３４に記憶された最
後の情報が存在するのみである。
形成されている、すなわち、電気計測回路３０か
ら到来する情報を有するアナログ入力経路１５、
インバータ回路２８から到来する情報を有する論
理入力経路１７、およびキヤパシタ３４により形
成されたメモリ回路である。論理入力が連続的な
給電電圧＋VDCのレベルにある期間のみ（第２
図、波形ｄ）、アナログ情報が出力側に送出され
る。一方、論理入力が０ボルトである期間は、サ
ンプル・ホールド回路３２の出力経路１９におい
て、論理入力が＋VDCから０ボルトに切換えられ
る前に受信され、キヤパシタ３４に記憶された最
後の情報が存在するのみである。
上記説明に基いて要約すると、イオンポンプへ
給電する高電圧が最低のレベル、例えば300Vの
場合に発生されたイオン電流の読みのみが、圧力
の測定に行う回路３６に送出され、電流から圧力
への変換が行なわれる。
給電する高電圧が最低のレベル、例えば300Vの
場合に発生されたイオン電流の読みのみが、圧力
の測定に行う回路３６に送出され、電流から圧力
への変換が行なわれる。
第５図に本発明に基づく第２の実施例としての
電気装置の回路を図示する。当該回路の初段部に
２つのトライアツク４０，４２が設けられてお
り、該トライアツクは下記の方法によつて動作す
ることにより切換機能を果す。ゲート端子３７に
電圧が印加されると、トライアツク４０が閉スイ
ツチと同様に振舞い、変圧器４４に電流が流れる
ことを許容する。しかしながらゲート端子３９に
電圧が印加されない場合はトライアツク４２は開
スイツチと同様に振舞う。２つのトライアツク４
０，４２の通電および断続の位相は適切なトリガ
回路４６，４８，５６により制御され、第６図の
波形ｅおよびｆに図示の時間サイクルに基いて切
換えが行なわれる。第６図の波形ｅとｆは相互に
逆になつている。第６図の曲線ｅとｆで図示され
た２つのサイクルの信号が最高レベル＋VDCにあ
るときトライアツク４０，４２が導電状態にあ
る。従つて、任意の瞬間において、２つのトライ
アツクの一方のみが導電状態であり、そのトライ
アツクが接続されている変圧器４４の１次巻線回
路に給電を行う。
電気装置の回路を図示する。当該回路の初段部に
２つのトライアツク４０，４２が設けられてお
り、該トライアツクは下記の方法によつて動作す
ることにより切換機能を果す。ゲート端子３７に
電圧が印加されると、トライアツク４０が閉スイ
ツチと同様に振舞い、変圧器４４に電流が流れる
ことを許容する。しかしながらゲート端子３９に
電圧が印加されない場合はトライアツク４２は開
スイツチと同様に振舞う。２つのトライアツク４
０，４２の通電および断続の位相は適切なトリガ
回路４６，４８，５６により制御され、第６図の
波形ｅおよびｆに図示の時間サイクルに基いて切
換えが行なわれる。第６図の波形ｅとｆは相互に
逆になつている。第６図の曲線ｅとｆで図示され
た２つのサイクルの信号が最高レベル＋VDCにあ
るときトライアツク４０，４２が導電状態にあ
る。従つて、任意の瞬間において、２つのトライ
アツクの一方のみが導電状態であり、そのトライ
アツクが接続されている変圧器４４の１次巻線回
路に給電を行う。
点５４において信号が検出され、第１図に図示
の回路に関連づけてすでに述べた方法で動作する
後段の回路に送出される。
の回路に関連づけてすでに述べた方法で動作する
後段の回路に送出される。
これら後段の回路は第１図に示したものと同じ
符号が付与されており、対応する符号に係る回路
の機能は第１図に図示のものと同様である。
符号が付与されており、対応する符号に係る回路
の機能は第１図に図示のものと同様である。
第７図に本発明に基づく第３実施例としての電
気装置の回路を図示する。
気装置の回路を図示する。
第３実施例においては、イオンポンプ１１へ給
電する２つの電圧が回路の高電圧部分を直接作用
させるこにより得られる。
電する２つの電圧が回路の高電圧部分を直接作用
させるこにより得られる。
変圧器６０は２つの２次巻線を有しており、該
２次巻線が整流・フイルタリング回路６２，６４
へ給電する。一方が例えば3kVで他方が例えば
4kVである、２つの整流・フイルタリング回路６
２，６４の出力は、直列に接続されその組合せに
より最大7kVの電圧を提供する。
２次巻線が整流・フイルタリング回路６２，６４
へ給電する。一方が例えば3kVで他方が例えば
4kVである、２つの整流・フイルタリング回路６
２，６４の出力は、直列に接続されその組合せに
より最大7kVの電圧を提供する。
整流・フイルタリング回路６２，６４の２つの
出力の共通接続点６１から電力３極管６６のアノ
ード５９へ給電が行なわれる。
出力の共通接続点６１から電力３極管６６のアノ
ード５９へ給電が行なわれる。
３極管６６のグリツド回路はオシレータ回路１
６，１８およびインターフエース回路７２により
制御される。オシレータ回路１６および１８の出
力において、第８図の波形ｈに図示の信号が存在
し、該信号がインターフエース回路７２に送出さ
れる。インターフエース回路７２は入力信号を第
８図の波形ｉにより示された電圧に変化させる。
第８図の波形ｉから、３極管のグリツドバイアス
電圧が負の値から正の値に変化することが判る。
６，１８およびインターフエース回路７２により
制御される。オシレータ回路１６および１８の出
力において、第８図の波形ｈに図示の信号が存在
し、該信号がインターフエース回路７２に送出さ
れる。インターフエース回路７２は入力信号を第
８図の波形ｉにより示された電圧に変化させる。
第８図の波形ｉから、３極管のグリツドバイアス
電圧が負の値から正の値に変化することが判る。
グリツド電圧が負である時間において、３極管
６６は開回路の如く振舞う。その結果としてイオ
ンポンプ１１には最大電圧、例えば7kVが印加さ
れる。一方３極管６６のグリツド電圧が正である
場合は３極管６６は閉回路として振まい、例えば
4kVである整流・フイルタリング回路６４の出力
端６３の電圧が０ボルトになる。従つてイオンポ
ンプ１１には整流・フイルタリング回路６２によ
つて提供される電圧、例えば3kVのみが給電され
る。
６６は開回路の如く振舞う。その結果としてイオ
ンポンプ１１には最大電圧、例えば7kVが印加さ
れる。一方３極管６６のグリツド電圧が正である
場合は３極管６６は閉回路として振まい、例えば
4kVである整流・フイルタリング回路６４の出力
端６３の電圧が０ボルトになる。従つてイオンポ
ンプ１１には整流・フイルタリング回路６２によ
つて提供される電圧、例えば3kVのみが給電され
る。
第７図における他の残りの回路は第１図に関連
づけて述べたものと同様に動作する。これらの回
路は、第１図に図示のものと同じ符号が付与され
ており、同じ符号のものは第１図に図示のものと
同様の機能を有する。
づけて述べたものと同様に動作する。これらの回
路は、第１図に図示のものと同じ符号が付与され
ており、同じ符号のものは第１図に図示のものと
同様の機能を有する。
第９図に本発明にもとづく第４実施例としての
電気装置の回路図を示す。
電気装置の回路図を示す。
電解キヤパシタにパルス電圧が供給されるとそ
の両端において、電圧を測定することができ、そ
の平均値が位相サイクル（phases of cycle）に
比例することが知られている。
の両端において、電圧を測定することができ、そ
の平均値が位相サイクル（phases of cycle）に
比例することが知られている。
かゝる考慮を始点として下記に述べる本発明の第
４実施例が考案されている。
４実施例が考案されている。
変圧器８０の１次巻線に、矩形波且つ高周波
数、例えば10kHzのパルス電圧が印加される。
数、例えば10kHzのパルス電圧が印加される。
サイクルを形成する位相を適切に変化させるこ
とにより、LC整流・フイルタリング回路１３の
出力に２つの異なる電圧を得ることができる。
とにより、LC整流・フイルタリング回路１３の
出力に２つの異なる電圧を得ることができる。
この場合においても前述と同様に、イオンポン
プ１１の給電電圧は例えば7kVおよび3kVであ
る。
プ１１の給電電圧は例えば7kVおよび3kVであ
る。
当該回路の初段部に、第１０図に図示の如く３
角波の波形ｍを有する信号を発生する発生装置７
４が設けられており、該発生装置の出力が比較回
路７０の入力に接続されている。比較回路７０の
他方の入力には、オシレータ１６および１８で発
生され第１０図の矩形波ｎに図示の波形を有する
信号が印加されている。
角波の波形ｍを有する信号を発生する発生装置７
４が設けられており、該発生装置の出力が比較回
路７０の入力に接続されている。比較回路７０の
他方の入力には、オシレータ１６および１８で発
生され第１０図の矩形波ｎに図示の波形を有する
信号が印加されている。
比較回路７０は２つの入力波形を比較するとい
う機能を有し、第１０図に図示の矩形出力波Ｐを
提供する。この波形の信号を形成するサイクル
は、３角波ｍの電圧Vnが矩形波ｎの電圧Voより
大きいとき、「高」レベルVAであり、反対に、３
角波ｍの電圧Vnが矩形波ｎの電圧Vnより小さい
とき「低」レベルVBである。
う機能を有し、第１０図に図示の矩形出力波Ｐを
提供する。この波形の信号を形成するサイクル
は、３角波ｍの電圧Vnが矩形波ｎの電圧Voより
大きいとき、「高」レベルVAであり、反対に、３
角波ｍの電圧Vnが矩形波ｎの電圧Vnより小さい
とき「低」レベルVBである。
上記説明に基いて、これらの電圧のレベルが絶
縁されたゲート電極を有し電界効果形トランジス
タ（MOSFET）６７と命名されているスイツチ
ング要素に印加される。該トランジスタはスイツ
チとして動作するが、その動作について下記に述
べる。高レベルの電圧VAがトランジスタ６７の
制御電極６８に印加されると、トランジスタは短
路回路として動作しそのため変圧器８０の１次巻
線に電流が流れる。一方制御電極６８に印加され
る電圧が低レベルの電圧VBであると、トランジ
スタは開回路であり変圧器８０には給電が行なわ
れない。
縁されたゲート電極を有し電界効果形トランジス
タ（MOSFET）６７と命名されているスイツチ
ング要素に印加される。該トランジスタはスイツ
チとして動作するが、その動作について下記に述
べる。高レベルの電圧VAがトランジスタ６７の
制御電極６８に印加されると、トランジスタは短
路回路として動作しそのため変圧器８０の１次巻
線に電流が流れる。一方制御電極６８に印加され
る電圧が低レベルの電圧VBであると、トランジ
スタは開回路であり変圧器８０には給電が行なわ
れない。
トランジスタ６７の制御電極６８に印加される
電圧の波形が第１０図にＰとして図示されてお
り、この電圧波形が変圧器８０の１次巻線に印加
される。これと同じ波形の電圧が変圧器８０の２
次巻線に伝達され、LC整流・フイルタリング回
路１３に印加される。
電圧の波形が第１０図にＰとして図示されてお
り、この電圧波形が変圧器８０の１次巻線に印加
される。これと同じ波形の電圧が変圧器８０の２
次巻線に伝達され、LC整流・フイルタリング回
路１３に印加される。
上記説明に基けば、LC整流・フイルタリング
回路１３の出力において、イオンポンプ１１へ給
電されている連続的な電圧が、優勢的な高レベル
である高レベルにおいて、第１０図の波形Ｐにつ
いてのサイクルＡ、高レベル例えば7kVであり、
一方優勢的な低レベルである位相において、第１
０図の波形ＰについてサイクルＢ、低レベル、例
えば3kVであることが、見出される。
回路１３の出力において、イオンポンプ１１へ給
電されている連続的な電圧が、優勢的な高レベル
である高レベルにおいて、第１０図の波形Ｐにつ
いてのサイクルＡ、高レベル例えば7kVであり、
一方優勢的な低レベルである位相において、第１
０図の波形ＰについてサイクルＢ、低レベル、例
えば3kVであることが、見出される。
他の回路は第１図について述べた回路と同様に
動作する。
動作する。
これらの回路は第１図に図示されたものと同じ
符号が付与されているものについては、同様の機
能を有する。
符号が付与されているものについては、同様の機
能を有する。
本発明に基づく電気装置についての４つの実施
例に係る前述の記述から、プログラムされたサイ
クルに基づく２つの異なる電圧がイオンポンプに
印加することが可能であり、より低い電圧を供給
しているときの圧力の測定を行うことが可能であ
ることが明瞭である。
例に係る前述の記述から、プログラムされたサイ
クルに基づく２つの異なる電圧がイオンポンプに
印加することが可能であり、より低い電圧を供給
しているときの圧力の測定を行うことが可能であ
ることが明瞭である。
本発明の好適実施例について上述したが、明ら
かなように、種々の変形形態が本発明の範囲内に
おいて採り得ることが理解されよう。
かなように、種々の変形形態が本発明の範囲内に
おいて採り得ることが理解されよう。
以上に述べたように本発明によれば、従来のイ
オンポンプの不利益を解消し、10-6（torr）以下
の圧力測定用の真空測定装置として使用し、
10-10（torr）以上の圧力の測定において信頼性の
ある、イオンポンプとして提供する電気的な給電
および測定装置が得られる。
オンポンプの不利益を解消し、10-6（torr）以下
の圧力測定用の真空測定装置として使用し、
10-10（torr）以上の圧力の測定において信頼性の
ある、イオンポンプとして提供する電気的な給電
および測定装置が得られる。
第１図は本発明の第１実施例としての電気装置
の回路図、第２図は第１図の電気装置の或る構成
部分に係る電圧波形図、第３図はイオンポンプの
代表的な電流・圧力特性図、第４図は本発明に基
づく電気装置内における時間の関数としての給電
電圧を示す図、第５図は本発明の第２実施例とし
ての電気装置の回路図、第６図は第５図の電気装
置の或る構成部分に係る電圧波形図、第７図は本
発明の第３実施例としての電気装置の回路図、第
８図は第７図の電気装置の或る構成部分に係る電
圧波形図、第９図は本発明の第４実施例としての
電気装置の回路図、第１０図は第９図の電気装置
の或る構成部分に係る電圧波形図、である。 符号の説明、１０……接点、１１……イオンポ
ンプ、１２……変圧器、１３……整流・フイルタ
回路、１４……リレー、１５……入力回路部、１
６……オシレータ、１７……論理入力部、１８…
…オシレータ、１９……出力部、２０……トラン
ジスタ、２１……整流回路、２２，２４……接
点、２６……RC遅延回路、２８……インバータ
回路、３０……電気計測回路、３２……サンプ
ル・ホールド回路、３４……キヤパシタ、３６…
…電流／圧力変換回路。
の回路図、第２図は第１図の電気装置の或る構成
部分に係る電圧波形図、第３図はイオンポンプの
代表的な電流・圧力特性図、第４図は本発明に基
づく電気装置内における時間の関数としての給電
電圧を示す図、第５図は本発明の第２実施例とし
ての電気装置の回路図、第６図は第５図の電気装
置の或る構成部分に係る電圧波形図、第７図は本
発明の第３実施例としての電気装置の回路図、第
８図は第７図の電気装置の或る構成部分に係る電
圧波形図、第９図は本発明の第４実施例としての
電気装置の回路図、第１０図は第９図の電気装置
の或る構成部分に係る電圧波形図、である。 符号の説明、１０……接点、１１……イオンポ
ンプ、１２……変圧器、１３……整流・フイルタ
回路、１４……リレー、１５……入力回路部、１
６……オシレータ、１７……論理入力部、１８…
…オシレータ、１９……出力部、２０……トラン
ジスタ、２１……整流回路、２２，２４……接
点、２６……RC遅延回路、２８……インバータ
回路、３０……電気計測回路、３２……サンプ
ル・ホールド回路、３４……キヤパシタ、３６…
…電流／圧力変換回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 変圧器１２および該変圧器からの交流電流を
整流し濾波する手段１３を具備する、イオンポン
プ１１に給電し該イオンポンプ内の圧力を測定す
る電気装置において、 前記変圧器が高電圧および低電圧を前記イオン
ポンプに循還的に印加するのに適した手段により
制御され、 前記電気装置がさらに、前記イオンポンプに給
電される電流を検出する電気計測回路３０、およ
び前記低電圧の給電に関係する電流値のみを圧力
値に変換するのに適した手段を具備する、 ことを特徴とする電気装置。 ２ 前記変圧器の１次巻線が、前記イオンポンプ
に前記高電圧および前記低電圧を給電するよう
に、オシレータ回路１６，１８により循還的に駆
動されるスイツチ手段によつて分離的又は結合的
に駆動され得る２つの部分に分割されていること
を特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の電
気装置。 ３ 前記循還的に駆動されるスイツチ手段がリレ
ー１４により構成されていることを特徴とする、
特許請求の範囲第２項に記載の電気装置。 ４ 前記循還的に駆動されるスイツチ手段が協働
的なトリガ回路４６，４８により駆動される１対
のトライアツク４０，４２により構成されること
を特徴とする、特許請求の範囲第２項に記載の電
気装置。 ５ 前記低電圧の給電に関係する電流値のみを圧
力値に変換するのに適した手段が、 前記オシレータ回路に接続されたRC遅延回路
２６、 該RC遅延回路に接続されたインバータ回路２
８、 該インバータ回路および前記電気計測回路３０
に接続されたサンプル・ホールド回路３２、およ
び、 該サンプル・ホールド回路に接続されれ、電流
を圧力に変換する変換回路３６、 から成ることを特徴とする、特許請求の範囲第３
項又は第４項に記載の電気装置。 ６ 前記変圧器の２次巻線が、前記低電圧を提供
するように個別的に動作可能な第１の部分、およ
び前記高電圧を提供するように前記第１の部分と
直列に接続可能な第２の部分とに分割され、 ２次巻線のこれらの部分が、インターフエース
回路７２を介してオシレータ回路１６，１８によ
つて制御される３極管６６により、接続され又は
分離されることを特徴とする、特許請求の範囲第
１項に記載の電気装置。 ７ 前記低電圧の給電に関係する電流値のみを圧
力値に変換するのに適した手段が、 前記オシレータ回路に接続されたRC遅延回路
２６、 該RC遅延回路に接続されたインバータ回路２
８、 該インバータ回路および前記電気計測回路３０
に接続されたサンプル・ホールド回路３２、およ
び、 該サンプル・ホールド回路に接続され、電流を
圧力に変換する変換回路３６、 から成ることを特徴とする、特許請求の範囲第６
項に記載の電気装置。 ８ 前記イオンポンプに高電圧および低電圧を循
還的に印加するのに適した手段が、隔離された電
界効果ゲート電極６７を有するトランジスタスイ
ツチ要素により構成されることを特徴とする、特
許請求の範囲第１項に記載の電気装置。 ９ 前記イオンポンプに給電されるパルス電圧
が、矩形波オシレータ手段１６，１８および三角
波オシレータ手段７４により発生され、 これらの手段の出力が、隔離された電界効果ゲ
ート電極６７を有するトランジスタスイツチ要素
のトリガを制御するのに適した比較手段７０によ
り比較されることを特徴とする、特許請求の範囲
第８項に記載の電気装置。 １０ 前記低電圧の給電に関係する電流値のみを
圧力値に変換するのに適した手段が、 前記矩形波オシレータ手段に接続されたRC遅
延回路２６、 該RC遅延回路に接続されたインバータ回路２
８、 該インバータ回路および前記電気計測器３０に
接続されたサンプル・ホールド回路３２、およ
び、 該サンプル・ホールド回路に接続され、電流を
圧力に変換する変換回路３６、 から成ることを特徴とする、特許請求の範囲第９
項に記載の電気装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT68182-A/84 | 1984-11-28 | ||
| IT68182/84A IT1179833B (it) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | Dispositivo elettronico per l alimentazione di una pompa ionica a due tensioni differenziate e per la misura perfezionata della pressione vigente in detta pompa |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132833A JPS61132833A (ja) | 1986-06-20 |
| JPH0321856B2 true JPH0321856B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=11308380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60263982A Granted JPS61132833A (ja) | 1984-11-28 | 1985-11-26 | イオンポンプに給電しイオンポンプ内の圧力を測定する電気装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4713619A (ja) |
| EP (1) | EP0183307B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61132833A (ja) |
| DE (1) | DE3579999D1 (ja) |
| IT (1) | IT1179833B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1219207B (it) * | 1988-04-14 | 1990-05-03 | Varian Spa | Alimentatore elettronico perfezionato per pompa ionica |
| US6559562B1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-05-06 | Ssi Power, Llc | Voltage sag and over-voltage compensation device with pulse width modulated autotransformer |
| US8441222B2 (en) * | 2009-07-15 | 2013-05-14 | Integrated Designs, L.P. | System and method for determining pump pressure based on motor current |
| JP2015095378A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ |
| EP4524166A1 (en) | 2023-09-13 | 2025-03-19 | Abu Dhabi Polymers Co. Ltd (Borouge) - Sole Proprietorship L.L.C. | Polypropylene composition for injection molded articles |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2504017A (en) * | 1945-09-19 | 1950-04-11 | Honeywell Regulator Co | Electrical regulator |
| US2993638A (en) * | 1957-07-24 | 1961-07-25 | Varian Associates | Electrical vacuum pump apparatus and method |
| US3429501A (en) * | 1965-08-30 | 1969-02-25 | Bendix Corp | Ion pump |
| DE3268691D1 (en) * | 1982-09-30 | 1986-03-06 | Ant Nachrichtentech | Direct voltage converter with a pulse width controlled semiconductor switch |
| US4574223A (en) * | 1984-01-12 | 1986-03-04 | Hid Systems, Inc. | Fast warmup ballast for HID lamps |
-
1984
- 1984-11-28 IT IT68182/84A patent/IT1179833B/it active
-
1985
- 1985-11-12 EP EP85201849A patent/EP0183307B1/en not_active Expired
- 1985-11-12 DE DE8585201849T patent/DE3579999D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-11-19 US US06/799,411 patent/US4713619A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-11-26 JP JP60263982A patent/JPS61132833A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4713619A (en) | 1987-12-15 |
| IT8468182A0 (it) | 1984-11-28 |
| JPS61132833A (ja) | 1986-06-20 |
| EP0183307A3 (en) | 1987-11-11 |
| IT8468182A1 (it) | 1986-05-28 |
| IT1179833B (it) | 1987-09-16 |
| DE3579999D1 (de) | 1990-11-08 |
| EP0183307B1 (en) | 1990-10-03 |
| EP0183307A2 (en) | 1986-06-04 |
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