JPH03219681A - 圧電素子の電極構造及び電極形成方法 - Google Patents
圧電素子の電極構造及び電極形成方法Info
- Publication number
- JPH03219681A JPH03219681A JP2015603A JP1560390A JPH03219681A JP H03219681 A JPH03219681 A JP H03219681A JP 2015603 A JP2015603 A JP 2015603A JP 1560390 A JP1560390 A JP 1560390A JP H03219681 A JPH03219681 A JP H03219681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- electrode pattern
- short
- electrode
- divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、両面に電極パターンを有する圧電素子の電極
構造ならびに電極形成方法に関するものである。
構造ならびに電極形成方法に関するものである。
（発明の概要〕
本発明は一平面に複数の分割電極パターンを有する圧電
素子の電極構造において、圧電素子の一平面に形成した
複数の分割電極パターンとは異なる別の独立した短絡用
電極パターンを分割電極パターンと同時に同一面に形成
することにより、複数の分割電極パターンを少なくとも
ｌ＆ＩＩ短絡する際に、短絡用電極パターンを短絡手段
の一部分として使用して、分割電極パターンの短絡を容
易にしたものである。
素子の電極構造において、圧電素子の一平面に形成した
複数の分割電極パターンとは異なる別の独立した短絡用
電極パターンを分割電極パターンと同時に同一面に形成
することにより、複数の分割電極パターンを少なくとも
ｌ＆ＩＩ短絡する際に、短絡用電極パターンを短絡手段
の一部分として使用して、分割電極パターンの短絡を容
易にしたものである。
また、圧電素子のたわみ進行波成分を利用した超音波モ
ータの圧電素子電極形成方法において、圧電素子の一平
面に複数の分割電極パターンを形成すると共に、分割電
極パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パターン
を分割電極パターンを同時に分割電極パターンの内外周
に形成し、分割電極パターンを任意の方向に分極処理を
施した後、分割電極パターンと短絡用電極パターンとを
短絡する短絡パターンを形成して分割電極パターンを最
低１組短絡することにより、簡単な電極形成方法で機械
的進行波を発生することができる電極構造を実現できる
ようにしたものである。
ータの圧電素子電極形成方法において、圧電素子の一平
面に複数の分割電極パターンを形成すると共に、分割電
極パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パターン
を分割電極パターンを同時に分割電極パターンの内外周
に形成し、分割電極パターンを任意の方向に分極処理を
施した後、分割電極パターンと短絡用電極パターンとを
短絡する短絡パターンを形成して分割電極パターンを最
低１組短絡することにより、簡単な電極形成方法で機械
的進行波を発生することができる電極構造を実現できる
ようにしたものである。
従来の圧電素子の電極構造は、第３図に示すように中心
に穴を有する円板状圧電素子３０１の片側の面に円周方
向に等間隔に分割された電極パターン３０２ ａ 〜３
０２ ｄを設け、該電極バク−７３０２ａ〜３０２ｄの
隣接する２つの３０２ ａ、 ３０２ ｂを同方向に分
極し、次に隣接する２つの３０２ ｃ、 ３０２ ｄを
逆方向に分極するようにしていた。また、超音波モータ
における圧電素子の電極形成方法は第４図に示すように
それぞれの電極パターンにリード線４０１を取り付け、
一つおきに３０２ ａ、 ３０２ ｃのグループ４０１
ａと、３０２ ｂ、 ３０２ ｄのグループ４０１ｂ
に束ね、双方に時間的に９０’位相の異なる信号を印加
することにより進行波を発生させるようにした。
に穴を有する円板状圧電素子３０１の片側の面に円周方
向に等間隔に分割された電極パターン３０２ ａ 〜３
０２ ｄを設け、該電極バク−７３０２ａ〜３０２ｄの
隣接する２つの３０２ ａ、 ３０２ ｂを同方向に分
極し、次に隣接する２つの３０２ ｃ、 ３０２ ｄを
逆方向に分極するようにしていた。また、超音波モータ
における圧電素子の電極形成方法は第４図に示すように
それぞれの電極パターンにリード線４０１を取り付け、
一つおきに３０２ ａ、 ３０２ ｃのグループ４０１
ａと、３０２ ｂ、 ３０２ ｄのグループ４０１ｂ
に束ね、双方に時間的に９０’位相の異なる信号を印加
することにより進行波を発生させるようにした。
上記のような従来の圧電素子の電極構造及び電極形成方
法では、第４図に示す電極構造を有する圧電素子を用い
た超音波モータの場合、全周にわたって均一に２つの進
行波を発生させるために隣接する電極パターンに異なる
信号を印加する必要がある。そめため、電極パターンの
数だけリード線の取りつけが必要となる。例えばロータ
を機械的に安定に摩擦送りするために最低必要な３つの
山を発生させる場合、４つの電極パターンで一周期の波
を構成するため３Ｘ４＝１２個のパターンを必要とし、
従って１２本のリード線を取り付けなければならない。
法では、第４図に示す電極構造を有する圧電素子を用い
た超音波モータの場合、全周にわたって均一に２つの進
行波を発生させるために隣接する電極パターンに異なる
信号を印加する必要がある。そめため、電極パターンの
数だけリード線の取りつけが必要となる。例えばロータ
を機械的に安定に摩擦送りするために最低必要な３つの
山を発生させる場合、４つの電極パターンで一周期の波
を構成するため３Ｘ４＝１２個のパターンを必要とし、
従って１２本のリード線を取り付けなければならない。
このためリード線からの振動モレやハンダの重量増加に
よる特性の変動などがみられ、モータの電気〜機械変換
の効率が低下するとともに、数多くのリード線をハンダ
付けするための工数槽にもつながるなどの課題を有して
いた。
よる特性の変動などがみられ、モータの電気〜機械変換
の効率が低下するとともに、数多くのリード線をハンダ
付けするための工数槽にもつながるなどの課題を有して
いた。
そこで本発明の目的は上記のような！ＩＩｉ！ｌ！！を
解決し、簡単な実装構造で振動モレ等の少ない高効率の
超音波モータを提供することにある。
解決し、簡単な実装構造で振動モレ等の少ない高効率の
超音波モータを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では圧電素子の一平
面に複数に分割された分割電極パターンを形成するとと
もに、分割電極パターンとは異なる別の独立した短絡用
電極パターンを分割電極パターンと同時に一平面に形成
し、分割電極パターンを少なくとも１組短絡させる時の
短絡手段の一部分として使用し、分割電極パターンの短
絡を容易にできるようにした。
面に複数に分割された分割電極パターンを形成するとと
もに、分割電極パターンとは異なる別の独立した短絡用
電極パターンを分割電極パターンと同時に一平面に形成
し、分割電極パターンを少なくとも１組短絡させる時の
短絡手段の一部分として使用し、分割電極パターンの短
絡を容易にできるようにした。
また、超音波モータの圧電素子電極形成方法においては
、圧電素子の一平面に複数の分割電極パターンを形成す
るとともに、分割電極パターンとは異なる別の独立した
短絡用電極パターンを分割電極パターンと同時に分割電
極パターンの内外周に形成し、分割電極パターンを任意
の方向に分極処理を施した後に、分割電極パターンと短
絡用電極パターンとを薄膜形成手段等により短絡パター
ンを形成して短絡することにより、複数の分割電極パタ
ーンを容易にグループに形成することができ、機械的進
行波を発生できる電極構造を簡単に実現できるようにし
た。
、圧電素子の一平面に複数の分割電極パターンを形成す
るとともに、分割電極パターンとは異なる別の独立した
短絡用電極パターンを分割電極パターンと同時に分割電
極パターンの内外周に形成し、分割電極パターンを任意
の方向に分極処理を施した後に、分割電極パターンと短
絡用電極パターンとを薄膜形成手段等により短絡パター
ンを形成して短絡することにより、複数の分割電極パタ
ーンを容易にグループに形成することができ、機械的進
行波を発生できる電極構造を簡単に実現できるようにし
た。
〔作用〕
上記のような構成によれば、両面に電極パターンを有す
る圧電素子の一方の面に短絡用電極パターンを形成する
際には、薄膜形成手段等により短絡電極パターンを複数
回に分けて形成することがなくなり、短絡用電極パター
ン形成時の位置ズレ、位置ズレによる分割電極パターン
へのショート、圧電素子の内周あるいは外周からのはみ
だしは防止することができる。
る圧電素子の一方の面に短絡用電極パターンを形成する
際には、薄膜形成手段等により短絡電極パターンを複数
回に分けて形成することがなくなり、短絡用電極パター
ン形成時の位置ズレ、位置ズレによる分割電極パターン
へのショート、圧電素子の内周あるいは外周からのはみ
だしは防止することができる。
さらに、分割電極パターンを少なくとも１組短絡する際
には、短絡用電極パターンを短絡手段の一部分として使
用することにより、分割電極パターンの短絡を容易にす
ることができる。
には、短絡用電極パターンを短絡手段の一部分として使
用することにより、分割電極パターンの短絡を容易にす
ることができる。
また、本発明による電極形成方法を超音波モータに用い
た際には、分割電極パターンと短絡用電極パターンとを
短絡する短絡手段、例えば薄膜形成やハンダ付けが本来
位置決めしていた位置より多少内外周あるいは周方向へ
位置ズレした場合でも、分割電極パターンと短絡用電極
パターンとを確実に短絡することができるため、超音波
モータの小型径小化における生産性の向上ならびに高効
率化においても大変有利となる。
た際には、分割電極パターンと短絡用電極パターンとを
短絡する短絡手段、例えば薄膜形成やハンダ付けが本来
位置決めしていた位置より多少内外周あるいは周方向へ
位置ズレした場合でも、分割電極パターンと短絡用電極
パターンとを確実に短絡することができるため、超音波
モータの小型径小化における生産性の向上ならびに高効
率化においても大変有利となる。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係わる圧電素子の電極構造を示すもの
で、圧電素子１０１の一平面に複数に分割された電極パ
ターン１０２ａ〜１０２１を形成すると共に、分割電極
パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パターン１
０３ ａ〜１０３【を分割電極パターン１０２と同時に
分割電極パターン１０２の外周に形成したものである。
で、圧電素子１０１の一平面に複数に分割された電極パ
ターン１０２ａ〜１０２１を形成すると共に、分割電極
パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パターン１
０３ ａ〜１０３【を分割電極パターン１０２と同時に
分割電極パターン１０２の外周に形成したものである。
本電掻構造によれば、第１図に示した例においては、複
数の分割電極パターンを一つおきに短絡させる時の短絡
手段の一部分として短絡用電極パターンを使用する事に
より、分割電極パターンの短絡を容易にすることができ
る。また、短絡用電極パターン１０３と分割電極パター
ン１０２とを同時に同一面に同時に形成することにより
、短絡用電極パターン１０３の位置ズレが防止でき、ま
た短絡用電極パターンの位置ズレにより発生する圧電素
子１０１の内周あるいは外周からのはみだし、分割電極
パターン１０２へのショート等を防止することができる
。ここで、分割電極パターン１０２ ａ、 １０２ ｅ
、 １０２ ｉの内周部には分極処理後の蒸着の際に
圧電素子１０１ 自体がわずかな回転ずれを起こすこと
も考慮して周方向にパターン面積をはり出して形成して
いる。
数の分割電極パターンを一つおきに短絡させる時の短絡
手段の一部分として短絡用電極パターンを使用する事に
より、分割電極パターンの短絡を容易にすることができ
る。また、短絡用電極パターン１０３と分割電極パター
ン１０２とを同時に同一面に同時に形成することにより
、短絡用電極パターン１０３の位置ズレが防止でき、ま
た短絡用電極パターンの位置ズレにより発生する圧電素
子１０１の内周あるいは外周からのはみだし、分割電極
パターン１０２へのショート等を防止することができる
。ここで、分割電極パターン１０２ ａ、 １０２ ｅ
、 １０２ ｉの内周部には分極処理後の蒸着の際に
圧電素子１０１ 自体がわずかな回転ずれを起こすこと
も考慮して周方向にパターン面積をはり出して形成して
いる。
第２図は本発明に係わる圧電素子の電極形成方法を示す
もので、超音波モータに使用する圧電素子の電極形成方
法としての例を示したものである。
もので、超音波モータに使用する圧電素子の電極形成方
法としての例を示したものである。
すなわら、複数の分割電極パターン２０４の隣接する２
つの２０４ ａ、 ２０４ ｂを同方向に分極し、他の
隣接する２つの２０４ ｃ、 ２０４ ｄを逆方向に分
極処理する。
つの２０４ ａ、 ２０４ ｂを同方向に分極し、他の
隣接する２つの２０４ ｃ、 ２０４ ｄを逆方向に分
極処理する。
次に、分割電極パターン２０４ ａ、 ２０４ ｃ、短
絡用電極パターン２０５ ａ、 ２０５ ｂをＷ４膜形
成等により外周短絡パターン２０２ ａおよび２０２ｂ
を形成して短絡する。同様に分割電極パターン２０４ｂ
と２０４ｄとを内周短絡パターン２０３ａを形成して短
絡する。この時、外周短絡パターン２０２および内周短
絡パターン２０３を比較的大きく形成すれば、外周短絡
パターン２０２および内周短絡パターン２０３の多少の
回転ズレあるいは径方向ズレが発生した場合でも確実に
分割電極パターン２０４と短絡用電極パターン２０５を
短絡することができる。また、外周短絡パターン２０２
および内周短絡パターン２０３は分極処理後、１回で蒸
着することができることから、容易に分割電極パターン
のグループ形成を行うことが実現可能となる。
絡用電極パターン２０５ ａ、 ２０５ ｂをＷ４膜形
成等により外周短絡パターン２０２ ａおよび２０２ｂ
を形成して短絡する。同様に分割電極パターン２０４ｂ
と２０４ｄとを内周短絡パターン２０３ａを形成して短
絡する。この時、外周短絡パターン２０２および内周短
絡パターン２０３を比較的大きく形成すれば、外周短絡
パターン２０２および内周短絡パターン２０３の多少の
回転ズレあるいは径方向ズレが発生した場合でも確実に
分割電極パターン２０４と短絡用電極パターン２０５を
短絡することができる。また、外周短絡パターン２０２
および内周短絡パターン２０３は分極処理後、１回で蒸
着することができることから、容易に分割電極パターン
のグループ形成を行うことが実現可能となる。
なお、内周短絡パターンが２０３ ａ、 ２０３ ｂ
２０３Ｃに３分割されている理由としては圧電素子２
゜ｌの内周部に電極パターンを形成しない余白部分を設
ける際には、このようにしないとマスクパターンが形成
されないためであり、場合によっては３分割以外でも問
題はない。さらに図中（＋）あるいは（−）とあるのは
分極方向を示したものであり、圧電素子１０１の反対面
側に形成された電極パターンに対して正の電界を印加し
て分極処理したものを（＋）とし、負の電荷を印加して
分極処理したものを（−）としている。
２０３Ｃに３分割されている理由としては圧電素子２
゜ｌの内周部に電極パターンを形成しない余白部分を設
ける際には、このようにしないとマスクパターンが形成
されないためであり、場合によっては３分割以外でも問
題はない。さらに図中（＋）あるいは（−）とあるのは
分極方向を示したものであり、圧電素子１０１の反対面
側に形成された電極パターンに対して正の電界を印加し
て分極処理したものを（＋）とし、負の電荷を印加して
分極処理したものを（−）としている。
第５図は、本発明に係わる電極形成方法によって形成さ
れた超音波モータに使用する圧電素子の電極構造である
。すなわち分極処理後の分割電極パターン５０２ ｂと
５０２ｄは外周に沿う短絡電極パターン５０２ ｅによ
って導通され、他の分割電極パターン５０２ａと５０２
ｃは内周に沿う短絡電極バタ−ン５０２「によって導
通されている。ここで外周短絡電極と内周短絡電極に時
間的にほぼ９０°位相の異なる信号を印加することによ
り、簡単な電極形成方法で機械的進行波を発生すること
ができる電極構造が得られ、更に性能の高い超電波モー
タをも実現することができる。
れた超音波モータに使用する圧電素子の電極構造である
。すなわち分極処理後の分割電極パターン５０２ ｂと
５０２ｄは外周に沿う短絡電極パターン５０２ ｅによ
って導通され、他の分割電極パターン５０２ａと５０２
ｃは内周に沿う短絡電極バタ−ン５０２「によって導
通されている。ここで外周短絡電極と内周短絡電極に時
間的にほぼ９０°位相の異なる信号を印加することによ
り、簡単な電極形成方法で機械的進行波を発生すること
ができる電極構造が得られ、更に性能の高い超電波モー
タをも実現することができる。
第６図は半径方向に２次、周方向に２次のモードの超音
波モータに使用する本発明に係る圧電素子の電極構造の
実施例を示すものである。周方向に２次、半径方向に２
次のモードの場合では、第６図に示した電極構造となる
。すなわち、中心に穴を有する円板状圧電素子６０１の
一平面に、外周側と内周側とに等間隔に分割された分割
電極パターン６０２および６０３を形成すると共に、同
一面に短絡用電極パターン６０４が形成されている。こ
れにより、外周側電極パターン６０２の短絡の際に短絡
用電極パターン６０４を短絡手段の一部分として使用す
ることで、外周側電極パターンの短絡が容易となる。
波モータに使用する本発明に係る圧電素子の電極構造の
実施例を示すものである。周方向に２次、半径方向に２
次のモードの場合では、第６図に示した電極構造となる
。すなわち、中心に穴を有する円板状圧電素子６０１の
一平面に、外周側と内周側とに等間隔に分割された分割
電極パターン６０２および６０３を形成すると共に、同
一面に短絡用電極パターン６０４が形成されている。こ
れにより、外周側電極パターン６０２の短絡の際に短絡
用電極パターン６０４を短絡手段の一部分として使用す
ることで、外周側電極パターンの短絡が容易となる。
第７図は半径方向に２次、周方向に２次のモードの進行
波を発生する超音波モータに使用する本発明に係る圧電
素子の電極形成方法の実施例を示すものである。すなわ
ち、複数の分割電極パターンのうち、外周側電極パター
ン７０５は内周側電極パターン７０６とは逆方向に分極
処理を施す。
波を発生する超音波モータに使用する本発明に係る圧電
素子の電極形成方法の実施例を示すものである。すなわ
ち、複数の分割電極パターンのうち、外周側電極パター
ン７０５は内周側電極パターン７０６とは逆方向に分極
処理を施す。
また、外周側電極パターンにおいては隣接する２つの７
０５ ａ、 ７０５ ｂを同方向に分極し、次に隣接す
る２つの７０５ ｃ、 ７０５ ｄを逆方向に分極して
いく、内周側電極パターン７０６ も同様に、７０６
ａ７０６ｂを同方向に、７０６ ｃ、 ７０６ ｄを逆
方向に分極処理を施す。さらに、内周側電極パターンと
外周側電極パターンを薄膜形成等の短絡パターン７゜３
を形成して短絡する。次に周方向で１つおきに７０５
ａ、 ７０６ ａ、 ７０５ ｃ、 ７０６ ｃのグル
ープと７０５ ｂ、 ７０６ ｂ、 ７０５ ｄ、 ７
０６ ｄのグループを短絡用電極パターン７０７および
外周側短絡電極パターン７０２と内周側短絡パターン７
０４によって短絡する０以上のような電極形成方法によ
って、複雑な分割電極パターンの電極構造の場合でも、
分極処理後１回の蒸着で電極構造を実現することができ
、また双方の電極パターン郡に時間的に９０°位相の異
なる信号を印加することにより、半径方向に２次、周方
向に２次の機械的進行波を簡単な電極形成方法で得るこ
とができる。
０５ ａ、 ７０５ ｂを同方向に分極し、次に隣接す
る２つの７０５ ｃ、 ７０５ ｄを逆方向に分極して
いく、内周側電極パターン７０６ も同様に、７０６
ａ７０６ｂを同方向に、７０６ ｃ、 ７０６ ｄを逆
方向に分極処理を施す。さらに、内周側電極パターンと
外周側電極パターンを薄膜形成等の短絡パターン７゜３
を形成して短絡する。次に周方向で１つおきに７０５
ａ、 ７０６ ａ、 ７０５ ｃ、 ７０６ ｃのグル
ープと７０５ ｂ、 ７０６ ｂ、 ７０５ ｄ、 ７
０６ ｄのグループを短絡用電極パターン７０７および
外周側短絡電極パターン７０２と内周側短絡パターン７
０４によって短絡する０以上のような電極形成方法によ
って、複雑な分割電極パターンの電極構造の場合でも、
分極処理後１回の蒸着で電極構造を実現することができ
、また双方の電極パターン郡に時間的に９０°位相の異
なる信号を印加することにより、半径方向に２次、周方
向に２次の機械的進行波を簡単な電極形成方法で得るこ
とができる。
以上のように本発明では、第１図、第２図に示すような
圧電素子の電極構造及び電極形成方法にすることにより
、圧電素子にをり付けるリード線の本数を削減すること
ができるため、リード線からの振動モレ及びハンダの重
量増加による特性変動が最小限に抑えられる。これによ
り、電気〜機械変換効率が極めて高い超音波モータが実
現するとともに、モータの小型化及び製造工数の削減に
とっても大変有利となる。
圧電素子の電極構造及び電極形成方法にすることにより
、圧電素子にをり付けるリード線の本数を削減すること
ができるため、リード線からの振動モレ及びハンダの重
量増加による特性変動が最小限に抑えられる。これによ
り、電気〜機械変換効率が極めて高い超音波モータが実
現するとともに、モータの小型化及び製造工数の削減に
とっても大変有利となる。
尚、上記実施例以外の分割電極パターンの場合について
も本発明に容易に実施可能であり、本発明の範囲に含ま
れるものである。
も本発明に容易に実施可能であり、本発明の範囲に含ま
れるものである。
本発明は以上説明したように、圧電素子の一平面に分割
電極パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パター
ンを分割電極パターンと同時に分割電極パターンの外周
に形成し、分割電極パターンを分極処理後に、分割電極
パターンと短絡用電極パターンとを短絡させるという簡
単な構造で、分極方向が異なった電極パターンでもグル
ープ形成が容易となるとともに、圧電素子に取り付ける
リード線の数が削減できるため、振動モレも少なくなり
、電気〜機械変換効率の高い超音波モータが得られると
いう効果を有する。
電極パターンとは異なる別の独立した短絡用電極パター
ンを分割電極パターンと同時に分割電極パターンの外周
に形成し、分割電極パターンを分極処理後に、分割電極
パターンと短絡用電極パターンとを短絡させるという簡
単な構造で、分極方向が異なった電極パターンでもグル
ープ形成が容易となるとともに、圧電素子に取り付ける
リード線の数が削減できるため、振動モレも少なくなり
、電気〜機械変換効率の高い超音波モータが得られると
いう効果を有する。
さらに、短絡用電極パターンと分割電極パターンを同時
に形成する事から、短絡用電極パターンの位置ズレ、分
割電極パターンへのショート、圧電素子からのはみだし
等を防ぐことができ、また、リード線の数を削減できる
ことから、構造が簡単でモータの小型化及び製造工数の
削減にとって有利であるという効果も有する。
に形成する事から、短絡用電極パターンの位置ズレ、分
割電極パターンへのショート、圧電素子からのはみだし
等を防ぐことができ、また、リード線の数を削減できる
ことから、構造が簡単でモータの小型化及び製造工数の
削減にとって有利であるという効果も有する。
第１図は本発明に係る圧電素子の電極構造を示す平面図
、第２図は本発明に係る圧電素子の電極形成方法を承す
平面図、第３図は従来の圧電素子の電極構造を示す平面
図、第４図は従来の電極構造を有する進行性波動モータ
の縦断面図、第５図は本発明に係るｔｉ形成方法によっ
て形成された電極構造を示す平面図、第６図は本発明に
係る圧電素子の電極構造の他の実施例を示す平面図、第
７図は本発明に係る圧電素子の電極形成方法の他の実施
例を示す平面図である。 １０１．２０１，３０１，５０１，６０１１０２．２０
４，３０２，５０２．５０３１０３ ２０５ ６０４．
７０７・ ・ ・２０２ ７０２．７０３，７０４・
・ ・４０１ ・・ ・リード締部 ７０１・・・圧電素子 ６０２．６０３，７０５，７０６ 電極パターン 短絡用電極パターン 短絡パターン 以上
、第２図は本発明に係る圧電素子の電極形成方法を承す
平面図、第３図は従来の圧電素子の電極構造を示す平面
図、第４図は従来の電極構造を有する進行性波動モータ
の縦断面図、第５図は本発明に係るｔｉ形成方法によっ
て形成された電極構造を示す平面図、第６図は本発明に
係る圧電素子の電極構造の他の実施例を示す平面図、第
７図は本発明に係る圧電素子の電極形成方法の他の実施
例を示す平面図である。 １０１．２０１，３０１，５０１，６０１１０２．２０
４，３０２，５０２．５０３１０３ ２０５ ６０４．
７０７・ ・ ・２０２ ７０２．７０３，７０４・
・ ・４０１ ・・ ・リード締部 ７０１・・・圧電素子 ６０２．６０３，７０５，７０６ 電極パターン 短絡用電極パターン 短絡パターン 以上
Claims (3)
- （１） 一平面に複数の分割電極パターンを有する圧電
素子電極構造において、前記圧電素子の一平面に形成し
た前記分割電極パターンとは異なる別の独立した短絡用
電極パターンを前記分割電極パターンと同時に同一面に
形成したことを特徴とする圧電素子の電極構造。 - （２） 圧電素子と、該圧電素子と金属等からなる弾性
体を接合した振動体と、該振動体に圧接され、前記圧電
素子の伸縮運動によるたわみ進行波で摩擦駆動するロー
タとを有する超音波モータの圧電素子電極形成方法にお
いて、前記圧電素子は中心穴を有して円形状に形成し、
前記圧電素子の一平面に複数に分割された分割電極パタ
ーンを形成すると共に、前記分割電極パターンとは異な
る別の独立した短絡用電極パターンを前記分割電極パタ
ーンと同時に前記分割電極パターンの内外周に形成し、
前記分割電極パターンを任意の方向に分極処理を施した
後に前記短絡用電極パターンと前記分割電極パターンと
を短絡する短絡パターンを形成し、前記複数に分割され
た分割電極パターンを少なくとも一組短絡したことを特
徴とする圧電素子の電極形成方法。 - （３） 短絡用電極パターンと分割電極パターンを短絡
させるための短絡手段として薄膜形成手段を使用した請
求項２記載の圧電素子電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015603A JP3018083B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 圧電素子の電極構造及び電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015603A JP3018083B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 圧電素子の電極構造及び電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03219681A true JPH03219681A (ja) | 1991-09-27 |
| JP3018083B2 JP3018083B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=11893298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015603A Expired - Lifetime JP3018083B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 圧電素子の電極構造及び電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018083B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009131145A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Korea Inst Of Science & Technology | 円環型圧電超音波共振器及びそれを用いた圧電超音波回転モータ |
| DE102011015446A1 (de) | 2010-04-01 | 2011-10-06 | Seiko Instruments Inc. | Ultraschallantrieb und elektronische Vorrichtung zum Aufnehmen des Antriebs |
| JP2018207779A (ja) * | 2018-09-20 | 2018-12-27 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP2015603A patent/JP3018083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009131145A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Korea Inst Of Science & Technology | 円環型圧電超音波共振器及びそれを用いた圧電超音波回転モータ |
| DE102011015446A1 (de) | 2010-04-01 | 2011-10-06 | Seiko Instruments Inc. | Ultraschallantrieb und elektronische Vorrichtung zum Aufnehmen des Antriebs |
| JP2018207779A (ja) * | 2018-09-20 | 2018-12-27 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3018083B2 (ja) | 2000-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60257777A (ja) | ねじり振動装置 | |
| JPH0332373A (ja) | 超音波モータ | |
| US5451827A (en) | Ultrasonic motor having a supporting member | |
| JP3018083B2 (ja) | 圧電素子の電極構造及び電極形成方法 | |
| JPS6397100A (ja) | 平板型圧電変換器 | |
| JPH06233557A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2934964B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータの製造方法 | |
| JPS62247770A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH08308268A (ja) | 積層型圧電素子及びその分極処理方法、振動波モータ、および駆動装置 | |
| JPH0332377A (ja) | 超音波モータ | |
| JP3059038B2 (ja) | 積層圧電素子、振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた装置 | |
| JPS63194581A (ja) | 圧電アクチユエ−タの製造方法 | |
| JP2961545B2 (ja) | 圧電楕円運動振動子 | |
| JPH05146181A (ja) | 超音波モータ用圧電振動板の製造方法 | |
| JP2529875Y2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP3432056B2 (ja) | 積層圧電素子，積層圧電素子の製造方法，積層圧電素子を用いた振動装置およびこれを用いた駆動装置 | |
| JP3501292B2 (ja) | 超音波モータのステータの製造方法 | |
| JPH04334981A (ja) | 超音波モ−タにおける圧電素子の電極パタ−ン形状 | |
| JPS63167686A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH02172577A (ja) | 捩り型振動子用圧電セラミック素子 | |
| JPS58147300A (ja) | 超薄型スピ−カの構造 | |
| JPH01238472A (ja) | 超音波モータ | |
| JP3624230B2 (ja) | １方向性ｓａｗフイルタ | |
| JPH0318279A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0632555B2 (ja) | 高出力超音波スピ−カ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080107 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100107 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110107 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110107 Year of fee payment: 11 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110107 Year of fee payment: 11 |