JPH03223580A - 圧電型弁装置 - Google Patents

圧電型弁装置

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JPH03223580A
JPH03223580A JP1578090A JP1578090A JPH03223580A JP H03223580 A JPH03223580 A JP H03223580A JP 1578090 A JP1578090 A JP 1578090A JP 1578090 A JP1578090 A JP 1578090A JP H03223580 A JPH03223580 A JP H03223580A
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JP
Japan
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valve
valve body
valve seat
plate
flowing
Prior art date
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Pending
Application number
JP1578090A
Other languages
English (en)
Inventor
Susumu Aikawa
進 相川
Eiji Tawara
田原 暎二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
Mitsubishi Chemical Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は圧電素子により開閉作動される圧電型弁装置に
係り、特に弁体が板状のものである圧電型弁装置に関す
る。
[従来の技術] この種の圧電型弁装置は、特開昭62−28585号に
て公知である。この従来の圧電型弁装置の構成について
第3図を参照して説明する。
第3図において、ケーシング1は流入口2と流出口3と
を有しており、ケーシング1の内面のうち流入口2の周
縁部からは弁座部4が突設されている。5はダイヤフラ
ムに対して板状圧電素子が貼着されてなる板状の弁体で
あり、該弁体5は板面が弁座部4に対して、着座した弁
閉時の接触状態と、弁開時の離反状態とをとりうるよう
に接離変形可能とされている。
かかる圧電型弁装置において、圧電素子に電圧を印加す
ると第3図の2点鎖線の如く変形し、開弁状態となる。
この電圧印加を解除すると、原形状に復帰して閉弁状態
となる。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来の圧電型弁装置にあっては、弁閉時に流入口2
からの流体の圧力が弁体5を弁座部4から離反する方向
に加わる。
このため、特に流体圧が高い場合などには弁閉時にあっ
ても弁体5が弁座部4かられずかながら離反し、流体が
洩出するという問題があった。
C課題を解決するための手段] 本発明の圧電型弁装置は、流体の流入口及び流出口を有
するケーシングと、該ケーシングの内面のうち流出口周
縁部から突設された弁座部と、該弁座部に対し板面が接
離可能な板状の弁体であって、この接離が電圧の印加に
より変形される板状の圧電素子によりなされる弁体と、
ケーシング内において該板状の弁体の一方の板面側と他
方の板面側とを連通ずる連通部とを有してなるものであ
る。
[作用] 本発明の圧電型弁装置においては、圧電素子に対する電
圧の印加により弁体が変形して弁装置の開閉が切り換え
られる。そして、弁閉時にあっては、流入口からケーシ
ング内に伝達される流体圧が、連通部を介して弁体の背
面側の面(弁座部に着座する側と反対側の面)に加えら
れる。かかる背圧により、閉弁状態時に弁体が弁座部に
押し付けられるようになり、流体の流出が完全に防止さ
れる。
[実施例] 第1図は実施例に係る圧電型弁装置の断面図、第2図は
同作動図である。なお、第1.2図において第3図と同
−又は相当部分は同一符号が付されている。
本実施例にあっては、ケーシング1の内面のうち流出口
3の部分から弁座部4が突設されている。また、該弁座
部4に対して接離する板状の弁体5の一方の板面側11
と他方の板面側12とを連通する連通部6が設けられて
いる。
かかる構成の圧電型弁装置において、圧電素子に電圧を
印加すると、第2図の如く弁体5が弁座部4から離反し
、流体が流入口2.連通部6及び流出口3の順に流れる
開弁状態となる。なお、この場合、印加電圧の大きさに
より弁座部4と弁体5との隙間を調節し、流体の流量制
御を行なうことも可能である。
圧電素子に対する電圧印加を解除すると、第1図の如く
弁体5が弁座部4に着座した閉弁状態となる。この状態
においては、流入口2からの流体圧が弁体5に対し該弁
体5を弁座部4に押し付ける方向に作用するので、流出
口3からの流体の洩出が完全に防止される。
また、構造上、圧電素子を固定する必要がないことから
組立てが容易であり、平板状の圧電素子が使用できるこ
とから安価に製作できるという利点も有する。
上記実施例では、流入口2が一方の板面側11に設けら
れているが、流出口と同じ他方の板面側12に開口する
ように設けても良い。例えば、第1図のAで示す部位に
設けても良い。この場合であっても、閉弁状態時に流体
圧が連通部6を介して弁体5の背面側に伝達され、弁体
5を弁座部4に押し付ける作用が行なわれる。
また、上記実施例では連通部6がケーシングlの内面に
穿設される如くして設けられているが、第4図に示す如
く弁体5に開ロアを設け、この間ロアを通して流入口2
の圧力を弁体5の背面側に伝達するようにしても良い。
上記実施例は、いずれも、圧電素子に電圧を印加しない
ときには閉弁する常閉形とされているが、電圧を印加し
たときだけ閉弁する常開形としても良い。
本発明では、弁体は全体として圧電素子製であっても良
く、圧電素子をダイヤフラム板に対して貼り合せ等によ
り積層したものであっても良い。
弁体を圧電素子製とする場合、圧電素子の弁座部と接す
る部分は、圧電素子が駆動して弁座に衝突を繰り返すこ
とによる圧電体の破損を防止するため、さらに、ゴム、
合成樹脂等の保護体で被覆すると好ましい、圧電素子の
全面を保護体で被覆すると耐腐食性が向上し、圧電素子
の絶縁性も向上するのでさらに好ましい態様となる。ま
た、接する部分に予め圧電体を積層しないようにしても
良い。ここで弁座と接する部分とは、弁座部の外径より
1〜10mm程度広い範囲をいう。
本発明では、弁座部と弁体との間に弁用ガスケットを配
置しても良い。
本発明において、圧電素子を構成する圧電体としては、
セラミックス系、有機系のものが使用できる。圧電素子
は、ユニモルフ型、バイモルフ型または積層型のいずれ
も使用することができる。
[効果] 以上の説明から明らかなように、本発明の圧電型弁装置
は、閉弁状態においては、流体自身の圧力によって自己
シールされるため極めて高い密閉性を有し、閉弁状、態
時の洩れがなくなるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例に係る圧電型弁装置の概略断面図であり
、第2図は同圧電型弁装置の作動状態を示す概略断面図
である。また、第3図は従来の圧電素子を用いた弁の概
略断面図である。第4図は別の実施例を示す断面図であ
る。 1・・・ケーシング、  2・・・流入口、3・・・流
出口、   4・・・弁座部、5・・・弁体、    
6・・・連通部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 流体の流入口及び流出口を有するケーシングと、該ケー
    シングの内面のうち流出口周縁部から突設された弁座部
    と、該弁座部に対し板面が接離可能な板状の弁体であっ
    て、この接離が電圧の印加により変形される板状の圧電
    素子によりなされる弁体と、ケーシング内において該板
    状の弁体の一方の板面側と他方の板面側とを連通する連
    通部とを有してなる圧電型弁装置。
JP1578090A 1990-01-25 1990-01-25 圧電型弁装置 Pending JPH03223580A (ja)

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