JPH03225739A - 電子ビーム発生装置の電源導入部の構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子ビーム発生装置の電源導入部の冷却構造に
関する。

〔従来の技術〕

第２図は電子ビーム発生装置の従来の電源導入部を示し
たもので、１は電子ビーム発生装置の筒状容器、２は筒
状容器１の上蓋部、３は筒状の絶縁碍子であって、鍔部
４を有し、この鍔部４より下方部分５を上蓋部２の中央
に形成した孔部２Ａを通して筒状容器１内に挿入されて
いる。６は環体であって、絶縁碍子３の鍔部４に外嵌さ
れて上蓋部２上に載置されている。７は頭部７Ａを有す
る絶縁ブロックであって、頭部７Ａを絶縁碍子３の上面
に係合して該絶縁碍子３内に嵌入されたうえ上電源導入
部カバー８に螺着されたキャップ８Ａで保護縁板８Ｂを
介し固定されている。絶縁ブロック７の下部には高圧コ
ネクタ９Ａ、９Ｂの一部を収納する凹部７Ｂが形成され
ている。ｌＯは端子台であって、絶縁碍子３に嵌着され
ており、この端子台１０には電流導入端子１２が設けら
れている。電流導入端子１２Ａ、１２Ｂは高圧コネクタ
に接続されるとともにカソードユニット１３に接続され
る。カソードユニット１３はカソード電力とウェーネル
ト電極を有し、カソードホルダ１４で端子台１０に支持
されている。１５はアット電極、１６は収束レンズであ
る。１７Ａ、１７Ｂは高圧ケーブルであって、外部から
絶縁ブロック７を貫通して引き込まれ、高圧コネクタ９
Ａ、９Ｂに接続される。１８．１９はシールド部材であ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来の電源導入部の構造では、カソードホルダ）１
３から端子台１０等を通して絶縁碍子３に伝導する熱に
より高圧コネクタ９Ａ、９Ｂのコネクタ接点やシールド
部材１８．１９等の傷みが激しいという問題があった。

本発明は上記問題を解消するためになされたもので、カ
ソードユニットからの熱を外部に逃散さ廿ることができ
る電子ビーム発生装置の電源導入部の構造を提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するため、カソードユニットお
よびアノードを収納した筒状容器の上蓋部を貫通して上
方に伸びる筒状絶縁碍子、この筒状絶縁碍子に嵌入され
・て該筒状絶縁碍子の上部を塞ぐ絶縁ブロック、この絶
縁ブロックの下面を覆い上記筒状絶縁碍子に油密に内嵌
される上端子台、上記筒状絶縁碍子内を上記上端子台側
と上記筒状容器側とに区画し上記上端子台との間に絶縁
油を貯える油槽を形成する上端子台、この油槽を上記絶
縁碍子を介在して取巻く冷却水通路を有し、上記上端子
台には高圧コネクタが設けられ、上記上端子台には上記
油槽内で上記高圧コネクタと接続されるとともに上記カ
ソードユニットに接続される電流導入端子が設けられ、
外部から上記絶縁ブロックを通して引き込まれた高圧ケ
ーブルは上記高圧コネクタに接続される構成としたもの
である。

（作用） 本発明では、カソードユニットが接続される電流導入端
子の端子台の上方に絶縁油の油槽を区画したので、カソ
ードユニットからの熱はこの絶縁油を通して絶縁碍子に
速やかに熱伝達され、絶縁碍子に伝達された熱は該絶縁
碍子を取り巻く冷却水通路の冷却水によって奪熱される
。

（実施例〕 以下、本発明の１実施例を図面を参照して説明する。

第１図において、端子台１０はシール部材２１を介在し
て絶縁碍子３に油密に嵌合し、絶縁碍子３に溶着されて
いる上端子台（金属板）１１との間に油槽３０を区画し
て、この油槽３０に絶縁油３１が充填されている。３２
は冷却水通路であって、絶縁碍子３の油槽３０に対応す
る部分の外周を取り巻いて電源導入部カバー８の内周に
形成された凹部８Ｂに嵌着され、電源導入部カバー８を
貫通して図示しない循環ポンプを介し冷却水タンク（図
示しない）に接続されている。

この構成においては、カソードユニット１３で発生した
熱は上端子台１１等から油槽３０内の絶縁油３１を通し
て、容易に、速やかに絶縁碍子３に熱伝達され、絶縁碍
子３の熱は冷却水通路３２を流れる冷却水が奪熱する。

従って、絶縁碍子３が高温度に上昇することは防止され
、高圧コネク・夕やシール部材が高温で傷むことが無く
なる。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明した通り、電源導入部の高圧コネクタ
部とカソードユニット接続部との間に絶縁油の油槽を区
画し、その周囲を絶縁碍子を介して冷却水通路で囲んだ
から、カソードユニットが発生する熱を速やかに外部に
逃散させることができ、電源導入部のシール部材等の熱
による損傷を防止し、従来に比し、長持ちさせることが
でき、信頼性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は従来
の電子ビーム発生装置の電源導入部を示す縦断面図であ
る。 １−筒状容器、２−上蓋部、３−筒状絶縁碍子、７−・
絶縁ブロック、８−電源導入部カバー７Ｂ−凹部、８Ｂ
−保護板、９Ａ、９Ｂ−高圧コネクタ、１０・一端子台
、１１−下端千金、１２Ａ、１２Ｂ〜電流端子、１３−
カソードユニット、１４−カソードホルダ、１５−アノ
ード電極、１７ＡＳ　１７Ｂ−高圧ケーブル、３０−油
槽３ｍ−一絶縁油、３２−冷却水通路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. カソードユニットおよびアノードを収納した筒状容器の
   上蓋部を貫通して上方に伸びる筒状絶縁碍子、この筒状
   絶縁碍子に嵌入されて該筒状絶縁碍子の上部を塞ぐ絶縁
   ブロック、この絶縁ブロックの下面を覆い上記筒状絶縁
   碍子に油密に内嵌される上端子台、上記筒状絶縁碍子内
   を上記上端子台側と上記筒状容器側とに区画し上記上端
   子台との間に絶縁油を貯える油槽を形成する下端子台、
   この油槽を上記絶縁碍子を介在して取巻く冷却水通路を
   有し、上記上端子台には高圧コネクタが設けられ、上記
   下端子台には上記油槽内で上記高圧コネクタと接続され
   るとともに上記カソードユニットに接続される電流導入
   端子が設けられ、外部から上記絶縁ブロックを通して引
   き込まれた高圧ケーブルは上記高圧コネクタに接続され
   ることを特徴とする電子ビーム発生装置の電源導入部の
   構造。