JPH03226564A - カラーコーティング方法 - Google Patents
カラーコーティング方法Info
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- JPH03226564A JPH03226564A JP1889590A JP1889590A JPH03226564A JP H03226564 A JPH03226564 A JP H03226564A JP 1889590 A JP1889590 A JP 1889590A JP 1889590 A JP1889590 A JP 1889590A JP H03226564 A JPH03226564 A JP H03226564A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野]
本発明は、着色しようとする基材、例えば鋼、ステンレ
ス鋼、セラミックス、ガラス、プラスチックスなどの表
面に、普通の真空蒸着法により各種の所望の色の被膜を
容易に形成することができるカラーコーティング方法に
関する。 [従来の技術] イオンブレーティング法により、基材の表面に着色する
技術として特開昭50−44938号公報が開示されて
いる。イオンブレーティング法は金属などの元素を溶解
した原子にイオン化したAr+などを衝突させ、蒸発原
子をイオン化して基材に衝突させ、気相冷却によって基
材上に薄膜を形成する方法であって、高周波放電領域を
形成することが必要であり、帯電させた被処理物を要す
るなど複雑な装置と工程を必要とする問題がある。 〔発明が解決しようとする課題] 本発明は、簡易な装置によって成膜条件に変化を与える
だけで、着色しようとする基材、例えば、ステンレス鋼
の表面に所望の色の薄膜を形成することを目的とする。 従来、例えばステンレス鋼の表面に、イオンブレーティ
ング、CVD、真空蒸着などによりTiの被膜を形成す
る場合、従来の成膜技術では着色すると不良品とされて
おり、また、その着色は限られた色ではあるが再現性に
乏しいものであった。 本発明者らは、Ti等の被膜の膜厚を変更することによ
って青色、金色、紫色、緑色など任意の色合いのカラー
にコーティングする技術を開発したに の技術は、基本的には真空蒸着法によるもので、イオン
ブレーティング法とは異なり、高周波放電領域や被処理
物の帯電などを必要とせず、抵抗和?jA又は電子ビー
ム、スパッタ等によって蒸発する蒸@源を用い、発色に
関与する他のガスをある条件に従って雰囲気中に通すだ
けの操作によって実現することができる。 本発明はこのような新規なカラーコーティング方法を提
供することを目的とするものである。 [課題を解決するための手段] 本発明は、酸化雰囲気中に基材を導入し、この基材表面
に被蒸着物を真空蒸着法により蒸着させる方法であって
、前記基材の表面に着色させたいと考える色に応じて、
基材上の膜厚を調整することを特徴とするカラーコーテ
ィング方法である。 本発明は基材の表面の被層と被蒸着物の所望の酸化度の
酸化とを一工程で同時に行い、その膜厚を調整すること
によって、酸化物の酸化の程度及び膜厚の差に基づ(固
有の色を有する薄膜を生成させるものである。 [作用] 本発明は、酸化性の減圧雰囲気中において基材上に8膜
を生じさせるべき元素の蒸着材料1例えばTiを例に挙
げて説明すると、Tiを加熱蒸発させると共に、酸化性
ガスを僅か送入し、反応時間を変えることによって膜厚
を変化させ、各種の色の薄膜を生成させる。このような
T1酸化物は酸化の程度及び膜厚によって種々の色を呈
する。 このことを利用してそれぞれの色に対応する酸素分圧を
調整し、反応時間を調節して所望の色のコーティングを
生成させる。なお、生成する薄膜の厚さは膜厚ホ11定
評によってホ11定することができる。 蒸着材料としては、Tiのほかに、Aff、Si、Cr
、Zr、Ta、Mo又はこれらの合金を用いてそれぞれ
の色を発色させることができる。合金の場合、蒸着材料
は複数を設けるとよい。 また、不純物をイオン圧入又はドーピングの手法によっ
て薄膜の内部に含ませることによって、半導体の中に準
位を設定し、これを利用した色を発色させることも可能
である。この場合、添加不純物としては、Cr、Fe、
Co、Cu、Mn、Ni、U、Sb、Se、Cd、Au
、Ag。 Pt、Zn、Sn、Al1、Mg、Pb、V。 Zr、Pd又はこれらの酸化物若しくは塩化物を単一又
は複数に用いる。このような不純物は基本成分となる金
属の蒸着材料と同−又は異なる1以上の蒸着材料を用い
る。 また、誘電体、例えば、ガラス質薄膜中に遷移金属、例
えば、Co、Cu、ランタノイドなどをt′#4捉させ
、放射線を加えて金属をイオン化させ。 発光させる技術を応用することもできる。 このようにして、生成したコーティングは安定であり、
塗装、めっきなどの結合力の弱い比較的厚い被膜ではな
く基材と一体化した強固で極めて1″4い膜である。 この方、井り寸従粛のイオシプI7−千ィングの上うに
高周波放電領域を形成したり被処理物に帯電させる必要
がな(、抵抗加熱、電子ビーム又はスパッタにより蒸着
材料を加熱して蒸発させた蒸発粒子を雰囲気中に通すだ
けでよく、簡易な装置で簡単に実現することができる。 マスキング技術等を利用して、基材上の異なる領域に異
なる膜厚を形成し、異なる色彩を施すこともできる。 本発明のカラーコーティングする基材には鋼、ステンレ
ス鋼等金属のほか、セラミックス、ガラス、プラスチッ
クス等を用いることができ、これらの表面に薄膜を生成
させる。セラミックスでは、くすんだ色となる。これは
セラミ・ンクスの表面に凹凸があることと薄膜の中に一
部セラミックスの微粒子が侵入し、そのために光が散乱
するためと考えられる。 [実施例1] 次に、実施例によって、本発明のカラーコーティング方
法における膜厚依存性について具体的に説明オろ7 基材はステンレス鋼とし、第1図に示すように曲板の形
状で用い、真空蒸着装置内においてカラーコーティング
を行った。この曲板により、連続的に変化した膜厚を得
ることができる。 反応器l内に基材2を導入し、排気管4から真空ポンプ
で吸引し反応器内を1o−6Torr程度の真空とし、
ガス導入管5からガスを導入して4X I O−’To
r rとし一方、蒸着材料3を加熱して蒸発させ、膜
厚測定計8で膜厚測定を行いながら成膜した。 成膜条件は次の通りである。 基材温度 :室温 蒸着材料 :Ti ガスの種類:酸素 成膜速度 :0〜4人/ s e c llq厚 0〜7400人の範囲で変化させた。 反応槽内初期圧カニ1O−6Torr ガス圧力 :4.0X10−’Torr以上の条件の下
て膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を行ったところ第
1表に示す結果を得た。 第 1 表 〔実施例2j 成膜条件の1部のみを次のように変更した。 蒸着材料 二Fe 成膜速度 :0〜31入/ s e cIl莫厚
:0〜7800Å 以上の条件の下で膜厚(成膜速度)を変化させで成膜を
行ったところ第2表に示す結果を得た。
ス鋼、セラミックス、ガラス、プラスチックスなどの表
面に、普通の真空蒸着法により各種の所望の色の被膜を
容易に形成することができるカラーコーティング方法に
関する。 [従来の技術] イオンブレーティング法により、基材の表面に着色する
技術として特開昭50−44938号公報が開示されて
いる。イオンブレーティング法は金属などの元素を溶解
した原子にイオン化したAr+などを衝突させ、蒸発原
子をイオン化して基材に衝突させ、気相冷却によって基
材上に薄膜を形成する方法であって、高周波放電領域を
形成することが必要であり、帯電させた被処理物を要す
るなど複雑な装置と工程を必要とする問題がある。 〔発明が解決しようとする課題] 本発明は、簡易な装置によって成膜条件に変化を与える
だけで、着色しようとする基材、例えば、ステンレス鋼
の表面に所望の色の薄膜を形成することを目的とする。 従来、例えばステンレス鋼の表面に、イオンブレーティ
ング、CVD、真空蒸着などによりTiの被膜を形成す
る場合、従来の成膜技術では着色すると不良品とされて
おり、また、その着色は限られた色ではあるが再現性に
乏しいものであった。 本発明者らは、Ti等の被膜の膜厚を変更することによ
って青色、金色、紫色、緑色など任意の色合いのカラー
にコーティングする技術を開発したに の技術は、基本的には真空蒸着法によるもので、イオン
ブレーティング法とは異なり、高周波放電領域や被処理
物の帯電などを必要とせず、抵抗和?jA又は電子ビー
ム、スパッタ等によって蒸発する蒸@源を用い、発色に
関与する他のガスをある条件に従って雰囲気中に通すだ
けの操作によって実現することができる。 本発明はこのような新規なカラーコーティング方法を提
供することを目的とするものである。 [課題を解決するための手段] 本発明は、酸化雰囲気中に基材を導入し、この基材表面
に被蒸着物を真空蒸着法により蒸着させる方法であって
、前記基材の表面に着色させたいと考える色に応じて、
基材上の膜厚を調整することを特徴とするカラーコーテ
ィング方法である。 本発明は基材の表面の被層と被蒸着物の所望の酸化度の
酸化とを一工程で同時に行い、その膜厚を調整すること
によって、酸化物の酸化の程度及び膜厚の差に基づ(固
有の色を有する薄膜を生成させるものである。 [作用] 本発明は、酸化性の減圧雰囲気中において基材上に8膜
を生じさせるべき元素の蒸着材料1例えばTiを例に挙
げて説明すると、Tiを加熱蒸発させると共に、酸化性
ガスを僅か送入し、反応時間を変えることによって膜厚
を変化させ、各種の色の薄膜を生成させる。このような
T1酸化物は酸化の程度及び膜厚によって種々の色を呈
する。 このことを利用してそれぞれの色に対応する酸素分圧を
調整し、反応時間を調節して所望の色のコーティングを
生成させる。なお、生成する薄膜の厚さは膜厚ホ11定
評によってホ11定することができる。 蒸着材料としては、Tiのほかに、Aff、Si、Cr
、Zr、Ta、Mo又はこれらの合金を用いてそれぞれ
の色を発色させることができる。合金の場合、蒸着材料
は複数を設けるとよい。 また、不純物をイオン圧入又はドーピングの手法によっ
て薄膜の内部に含ませることによって、半導体の中に準
位を設定し、これを利用した色を発色させることも可能
である。この場合、添加不純物としては、Cr、Fe、
Co、Cu、Mn、Ni、U、Sb、Se、Cd、Au
、Ag。 Pt、Zn、Sn、Al1、Mg、Pb、V。 Zr、Pd又はこれらの酸化物若しくは塩化物を単一又
は複数に用いる。このような不純物は基本成分となる金
属の蒸着材料と同−又は異なる1以上の蒸着材料を用い
る。 また、誘電体、例えば、ガラス質薄膜中に遷移金属、例
えば、Co、Cu、ランタノイドなどをt′#4捉させ
、放射線を加えて金属をイオン化させ。 発光させる技術を応用することもできる。 このようにして、生成したコーティングは安定であり、
塗装、めっきなどの結合力の弱い比較的厚い被膜ではな
く基材と一体化した強固で極めて1″4い膜である。 この方、井り寸従粛のイオシプI7−千ィングの上うに
高周波放電領域を形成したり被処理物に帯電させる必要
がな(、抵抗加熱、電子ビーム又はスパッタにより蒸着
材料を加熱して蒸発させた蒸発粒子を雰囲気中に通すだ
けでよく、簡易な装置で簡単に実現することができる。 マスキング技術等を利用して、基材上の異なる領域に異
なる膜厚を形成し、異なる色彩を施すこともできる。 本発明のカラーコーティングする基材には鋼、ステンレ
ス鋼等金属のほか、セラミックス、ガラス、プラスチッ
クス等を用いることができ、これらの表面に薄膜を生成
させる。セラミックスでは、くすんだ色となる。これは
セラミ・ンクスの表面に凹凸があることと薄膜の中に一
部セラミックスの微粒子が侵入し、そのために光が散乱
するためと考えられる。 [実施例1] 次に、実施例によって、本発明のカラーコーティング方
法における膜厚依存性について具体的に説明オろ7 基材はステンレス鋼とし、第1図に示すように曲板の形
状で用い、真空蒸着装置内においてカラーコーティング
を行った。この曲板により、連続的に変化した膜厚を得
ることができる。 反応器l内に基材2を導入し、排気管4から真空ポンプ
で吸引し反応器内を1o−6Torr程度の真空とし、
ガス導入管5からガスを導入して4X I O−’To
r rとし一方、蒸着材料3を加熱して蒸発させ、膜
厚測定計8で膜厚測定を行いながら成膜した。 成膜条件は次の通りである。 基材温度 :室温 蒸着材料 :Ti ガスの種類:酸素 成膜速度 :0〜4人/ s e c llq厚 0〜7400人の範囲で変化させた。 反応槽内初期圧カニ1O−6Torr ガス圧力 :4.0X10−’Torr以上の条件の下
て膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を行ったところ第
1表に示す結果を得た。 第 1 表 〔実施例2j 成膜条件の1部のみを次のように変更した。 蒸着材料 二Fe 成膜速度 :0〜31入/ s e cIl莫厚
:0〜7800Å 以上の条件の下で膜厚(成膜速度)を変化させで成膜を
行ったところ第2表に示す結果を得た。
【実施例3】
成膜条件の1部のみを次のように変更した。
蒸着材料 二Ni
成膜速度 二〇〜l1人/ s e c膜厚 :0
〜4000Å 以上の条件の下で膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を
行ったところ第3表に示す結果を得た。 第 3 表 〔実施例4] 成膜条件の1部のみを次のように変更した。 蒸着材料:Fe+Aβ 成膜速度:0〜20入/ s e c 膜厚:0〜6600Å 以上の条件下で膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を行
ったところ第4表に示す結果を得た。 第4表 [発明の効果] 本発明によれば、基材の表面に所望の色の美麗なカラー
コーティングを再現性よ(実現することができる。また
、漸時変化する配色、干渉色などを発色させることがで
きる。 本発明のカラーコーティングは、塗装やめっきとは異な
り、基材表面に強固に生成した薄膜によるもので、剥離
を生じない。 本発明は、イオンブレーティングのような複雑な装置を
要しないから、工業的規模において容易に美麗なカラー
コティングを安価に実施することができる。
〜4000Å 以上の条件の下で膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を
行ったところ第3表に示す結果を得た。 第 3 表 〔実施例4] 成膜条件の1部のみを次のように変更した。 蒸着材料:Fe+Aβ 成膜速度:0〜20入/ s e c 膜厚:0〜6600Å 以上の条件下で膜厚(成膜速度)を変化させて成膜を行
ったところ第4表に示す結果を得た。 第4表 [発明の効果] 本発明によれば、基材の表面に所望の色の美麗なカラー
コーティングを再現性よ(実現することができる。また
、漸時変化する配色、干渉色などを発色させることがで
きる。 本発明のカラーコーティングは、塗装やめっきとは異な
り、基材表面に強固に生成した薄膜によるもので、剥離
を生じない。 本発明は、イオンブレーティングのような複雑な装置を
要しないから、工業的規模において容易に美麗なカラー
コティングを安価に実施することができる。
第1図は本発明の実施に用いる装置の模式的縦断面図で
ある。 l・−反応器 2・・・基材 3・・−蒸着材料 4・・・排気管 5・・・ガス導入管 6・・・真空計 7−・・ガス流量計 8・・・膜厚測定計 出 願 人 川崎製鉄株式会社 代 理 人
ある。 l・−反応器 2・・・基材 3・・−蒸着材料 4・・・排気管 5・・・ガス導入管 6・・・真空計 7−・・ガス流量計 8・・・膜厚測定計 出 願 人 川崎製鉄株式会社 代 理 人
Claims (1)
- 1 酸化雰囲気中に基材を導入し、該基材表面に被蒸着
物を真空蒸着法により蒸着させるに際し、前記基材の表
面に着色させる色に応じて、基材表面の膜厚を調整する
ことを特徴とするカラーコーティング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1889590A JPH03226564A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1889590A JPH03226564A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03226564A true JPH03226564A (ja) | 1991-10-07 |
Family
ID=11984310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1889590A Pending JPH03226564A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | カラーコーティング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03226564A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100887725B1 (ko) * | 2008-08-12 | 2009-03-12 | 한국진공주식회사 | 컬러층의 제조방법, 상기 제조방법으로 제조된 자동차 내외장재, 휴대폰 외장재, 전자제품 외장재 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1889590A patent/JPH03226564A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100887725B1 (ko) * | 2008-08-12 | 2009-03-12 | 한국진공주식회사 | 컬러층의 제조방법, 상기 제조방법으로 제조된 자동차 내외장재, 휴대폰 외장재, 전자제품 외장재 |
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