JPH03229140A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH03229140A JPH03229140A JP2561890A JP2561890A JPH03229140A JP H03229140 A JPH03229140 A JP H03229140A JP 2561890 A JP2561890 A JP 2561890A JP 2561890 A JP2561890 A JP 2561890A JP H03229140 A JPH03229140 A JP H03229140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspected
- illumination
- photosensitive drum
- detect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子写真用の感光体シートの表面状態を検査す
る場合等に使用される表面検査装置に関する。
る場合等に使用される表面検査装置に関する。
（従来の技術）
鋼板、アルミ板等の金属板あるいは樹脂板の表面に存在
するキズ等の欠陥を検査するため以下の表面検査方法が
開発されている。
するキズ等の欠陥を検査するため以下の表面検査方法が
開発されている。
１、・オプティカルフラットを用いて、感光体ドラムと
の干渉縞で検査する方法（特開昭６２−５２４０８号公
報参照）４ ２Ｉレーザー光をポリゴンミラーで走査して、ごみなど
の異物を検出する方法で、主として半導体焼付装置のレ
チクル面上に存在するごみを検出する方法（特開昭６１
−２４３３４７号公報参照）。
の干渉縞で検査する方法（特開昭６２−５２４０８号公
報参照）４ ２Ｉレーザー光をポリゴンミラーで走査して、ごみなど
の異物を検出する方法で、主として半導体焼付装置のレ
チクル面上に存在するごみを検出する方法（特開昭６１
−２４３３４７号公報参照）。
Ｃ■回転円板の表面にビームを照射し、反射光の空間的
強度分布を検出することにより検査する方法（特開昭６
３−４２４５３号公報参照）。
強度分布を検出することにより検査する方法（特開昭６
３−４２４５３号公報参照）。
■テレビカメラで物体形状を入力し、画像処理によって
欠陥を検出する方法（特開昭６１−７４０６号公報参照
）。
欠陥を検出する方法（特開昭６１−７４０６号公報参照
）。
これらはすべて被検査体表面の形状変化に由来する反射
光強度の変化から欠陥検出を行うものである。
光強度の変化から欠陥検出を行うものである。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら電子写真作成のプロセスで用いられる感光
体シートなどの表面欠陥には表面の形状変化であるキズ
等の他、感光体の塗布むらなど単なる反射強度の変化か
らでは検出が困難な欠陥も多数存在する。
体シートなどの表面欠陥には表面の形状変化であるキズ
等の他、感光体の塗布むらなど単なる反射強度の変化か
らでは検出が困難な欠陥も多数存在する。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
ものであり、 １、被検査体を照明する照明手段と、被検査体からの反
射光を受光し被検査体の表面状態を検出する検出手段と
を有する表面検出装置において、前記照明手段は被検査
体に対し単色光を照射するものである表面検査装置であ
る。
ものであり、 １、被検査体を照明する照明手段と、被検査体からの反
射光を受光し被検査体の表面状態を検出する検出手段と
を有する表面検出装置において、前記照明手段は被検査
体に対し単色光を照射するものである表面検査装置であ
る。
２、照明手段は照明光の波長を変化させる機能を有する
請求項第１項記載の表面検査装置である。
請求項第１項記載の表面検査装置である。
（作 用）
請求項第１項記載の発明によれば、照明手段によって被
検査体に対し単色光が照射され、その反射光を検出手段
が受け、被検査体の表面状態が検出される。
検査体に対し単色光が照射され、その反射光を検出手段
が受け、被検査体の表面状態が検出される。
請求項第２項記載の発明によれば、照明手段によって被
検査体に対し単色光が照射され、その反射光を検出手段
が受け、被検査体の表面状態が検出され、さらに被検査
体に反射分光率の異なる複数の欠陥が存在する場合、検
出を目的とする欠陥を検出することができる波長の光を
選択して被検査体に照射する。。
検査体に対し単色光が照射され、その反射光を検出手段
が受け、被検査体の表面状態が検出され、さらに被検査
体に反射分光率の異なる複数の欠陥が存在する場合、検
出を目的とする欠陥を検出することができる波長の光を
選択して被検査体に照射する。。
（実 施 例）
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において符号１は照明ランプを示し、この照明ラ
ンプ１は被検査体としての感光体ドラム２に光を照射す
るようになっている。照明ランプ１と感光体ドラム２と
の間にはバンドパスフィルタ３が配置されている。この
バンドパスフィルタ３は照明ランプ１から照射された光
を所定の波長の単色光とする機能をもっている。これら
照明ランプ１とバントパスフィルタ３とによって照明手
段が構成されている。
ンプ１は被検査体としての感光体ドラム２に光を照射す
るようになっている。照明ランプ１と感光体ドラム２と
の間にはバンドパスフィルタ３が配置されている。この
バンドパスフィルタ３は照明ランプ１から照射された光
を所定の波長の単色光とする機能をもっている。これら
照明ランプ１とバントパスフィルタ３とによって照明手
段が構成されている。
符号４は検出手段としての検出器を示し、この検出器４
は感光体ドラムからの反射光を検知して、感光体ドラム
１の表面の状態を検出できるようになっている。
は感光体ドラムからの反射光を検知して、感光体ドラム
１の表面の状態を検出できるようになっている。
次に第１実施例の表面検査装置の動作について説明する
。
。
照明ランプ１から光が発せられ、この光はバントパスフ
ィルタ３を通過し、所定の波長の単色光とされた後、感
光体トラム１の表面に照射される。
ィルタ３を通過し、所定の波長の単色光とされた後、感
光体トラム１の表面に照射される。
そして感光体ドラム１によって反射され、この反射光を
検出器４が受け、感光体トラム１の表面状態が検出され
る。
検出器４が受け、感光体トラム１の表面状態が検出され
る。
上記検出動作を行うにあたってバンドパスフィルタ３を
適宜交換する。すなわち感光体ドラム１表面の欠陥には
所定の波長域の単色光を高いレベルで反射するもの、あ
るいはあまり反射しないものが存在するので、通過する
光を種々の波長とするフィルタを複数用意しておき、検
出しようとする欠陥に対応して感光体ドラム１に照射す
る単色光の波長を変化させることによって、複数色から
なる照明光の反射光を検出するのみでは発見することが
困難な欠陥を容易に発見することが可能となる。
適宜交換する。すなわち感光体ドラム１表面の欠陥には
所定の波長域の単色光を高いレベルで反射するもの、あ
るいはあまり反射しないものが存在するので、通過する
光を種々の波長とするフィルタを複数用意しておき、検
出しようとする欠陥に対応して感光体ドラム１に照射す
る単色光の波長を変化させることによって、複数色から
なる照明光の反射光を検出するのみでは発見することが
困難な欠陥を容易に発見することが可能となる。
第２図は第２実施例にかかる表面検査装置を示す。第２
実施例の表面検査装置は第１実施例に表面検査装置とそ
の構成を同様とする部分を有するので、共通部分につい
ては第１実施例と同し符号を付して、その説明は省略す
る。
実施例の表面検査装置は第１実施例に表面検査装置とそ
の構成を同様とする部分を有するので、共通部分につい
ては第１実施例と同し符号を付して、その説明は省略す
る。
第２図において符号７は回折格子を示し、この回折格子
７は台座８上に設置されている６台座８は図示しないモ
ータによって回転するようになっている。このモータに
は回転制御装置９が接続されており、回転制御装置の制
御にしたがって台座７は回転するようになっている。こ
れら回折格子７、台座８、図示しないモータ、回転制御
装置９および照明ランプ１によって照明手段が構成され
ている。回折格子７と感光体ドラム２との間にはスリッ
ト１０ａを有するスリット板１０が配置されている。
７は台座８上に設置されている６台座８は図示しないモ
ータによって回転するようになっている。このモータに
は回転制御装置９が接続されており、回転制御装置の制
御にしたがって台座７は回転するようになっている。こ
れら回折格子７、台座８、図示しないモータ、回転制御
装置９および照明ランプ１によって照明手段が構成され
ている。回折格子７と感光体ドラム２との間にはスリッ
ト１０ａを有するスリット板１０が配置されている。
次に第２実施例の表面検査装置の動作について説明する
。
。
照明ランプ１から光が発せられ、この光は回折格子７を
通過して単色光にされ、この単色光はスリット１０ａを
通って感光体ドラム２の表面に照射される。そして感光
体ドラム２によって反射され、この反射光を検出器４が
検出し、感光体ドラム２の表面状態を検出する。
通過して単色光にされ、この単色光はスリット１０ａを
通って感光体ドラム２の表面に照射される。そして感光
体ドラム２によって反射され、この反射光を検出器４が
検出し、感光体ドラム２の表面状態を検出する。
上記検出動作において回転制御手段９を操作し台座８を
回転させ、単色光の波長を適宜Ａ整する。
回転させ、単色光の波長を適宜Ａ整する。
なおスリット板１０をスリット１０ａの異なるものと交
換することによってハント幅を調整することも可能であ
る。
換することによってハント幅を調整することも可能であ
る。
第３実施例はそれぞれ波長の異なる単色光を発する照明
ランプ１と２１を備え、この照明ランプ１と２１を選択
的に遮蔽するシャッター１１を設けた表面検査装置であ
る。
ランプ１と２１を備え、この照明ランプ１と２１を選択
的に遮蔽するシャッター１１を設けた表面検査装置であ
る。
この表面検査装置では検出しようとする欠陥の波長特性
に応じて、シャッター１１を移動させ、照明ランプ１と
２１のいずれかによって感光体ドラム２に光を照射し、
その反射光を検出器４によって検出して、感光体ドラム
２の表面欠陥を検出する。
に応じて、シャッター１１を移動させ、照明ランプ１と
２１のいずれかによって感光体ドラム２に光を照射し、
その反射光を検出器４によって検出して、感光体ドラム
２の表面欠陥を検出する。
実施例では感光体シートの塗布むら髪検呂するための装
置を示しているが、本発明はこれに限られず１表面欠陥
の検出において波長特性を伴うものについてであれば、
いかなるものにも応用することが口丁能である。
置を示しているが、本発明はこれに限られず１表面欠陥
の検出において波長特性を伴うものについてであれば、
いかなるものにも応用することが口丁能である。
（発明の効果）
以上のように請求項第１項記載の発明によれば、照明手
段を被検査体に対し単色光を照射するものとしたので、
当該所定の波長の単色光を高いレベルで反射する表面欠
陥あるいは比較的低いレベルで反射する表面欠陥を検出
することができるようになる。したがって従来検出が困
難だった表面欠陥を容易に検出することが可能となる。
段を被検査体に対し単色光を照射するものとしたので、
当該所定の波長の単色光を高いレベルで反射する表面欠
陥あるいは比較的低いレベルで反射する表面欠陥を検出
することができるようになる。したがって従来検出が困
難だった表面欠陥を容易に検出することが可能となる。
請求項第２項記載の発明によれば、照明手段を照明光の
波長を変化させる機能を有するものとしたので、反射分
光率が異なる複数の表面欠陥が存在する場合でも、効率
良く複数の表面欠陥を検出することが可能となる。
波長を変化させる機能を有するものとしたので、反射分
光率が異なる複数の表面欠陥が存在する場合でも、効率
良く複数の表面欠陥を検出することが可能となる。
第１図は第１実施例にかかる表面検査装置を示す図、第
２図は第２実施例にかかる表面検査装置を示す図、第３
図は第３実施例にかかる表面検査装置を示す図である。 １．２［・・・照明ランプ、２・・・感光体ドラム、３
・・・バンドパスフィルタ、４・・・検出器、７・・・
回折格子、８°・・台座、９・・・回転制御装置、１０
・・・スリット板、１０ａ・・・スリット 第 図 第 図
２図は第２実施例にかかる表面検査装置を示す図、第３
図は第３実施例にかかる表面検査装置を示す図である。 １．２［・・・照明ランプ、２・・・感光体ドラム、３
・・・バンドパスフィルタ、４・・・検出器、７・・・
回折格子、８°・・台座、９・・・回転制御装置、１０
・・・スリット板、１０ａ・・・スリット 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検査体を照明する照明手段と、被検査体からの反
射光を受光し被検査体の表面状態を検出する検出手段と
を有する表面検出装置において、前記照明手段は被検査
体に対し単色光を照射するものであることを特徴とする
表面検査装置。 ２、照明手段は照明光の波長を変化させる機能を有する
請求項第１項記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2561890A JPH03229140A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2561890A JPH03229140A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229140A true JPH03229140A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12170874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2561890A Pending JPH03229140A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229140A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006313146A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-11-16 | Omron Corp | 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置 |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP2561890A patent/JPH03229140A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006313146A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-11-16 | Omron Corp | 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100246268B1 (ko) | 패턴화된기판의광학검사용장치 | |
| US7161671B2 (en) | Method and apparatus for inspecting defects | |
| US20120081684A1 (en) | Object Inspection Systems and Methods | |
| JPH10123062A (ja) | 透過光及び反射光を用いたエアリアルイメージ測定装置及びこれを用いた測定方法 | |
| KR970707432A (ko) | 패턴 결함 검출기(defect detection in patterned substrates using optical computing) | |
| JPH0240961B2 (ja) | ||
| WO1999002977A1 (fr) | Dispositif et procede d'inspection de surfaces | |
| WO2008007614A1 (en) | Surface inspecting apparatus | |
| JP2947513B1 (ja) | パターン検査装置 | |
| JP4118071B2 (ja) | レジスト外周除去幅検査装置 | |
| JP2009109263A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JPH03229140A (ja) | 表面検査装置 | |
| FI80959C (fi) | Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor. | |
| US7352456B2 (en) | Method and apparatus for inspecting a substrate using a plurality of inspection wavelength regimes | |
| JP3981895B2 (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
| JP4162319B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2010107465A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JP3998316B2 (ja) | 均一光学系、パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
| JPH0448250A (ja) | ヒューズ配列検査装置 | |
| US7821644B2 (en) | Apparatus for visual inspection | |
| JP2001050905A (ja) | 円筒体欠陥検査装置 | |
| JPH03229109A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3428772B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH04118545A (ja) | 欠陥検査方法及び装置 | |
| JPH08159977A (ja) | 感光体基材の表面検査方法 |