JPH03229461A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH03229461A JPH03229461A JP2025407A JP2540790A JPH03229461A JP H03229461 A JPH03229461 A JP H03229461A JP 2025407 A JP2025407 A JP 2025407A JP 2540790 A JP2540790 A JP 2540790A JP H03229461 A JPH03229461 A JP H03229461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- pickup device
- protective glass
- protrusions
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明ｉ；ＬＣＣＤ等の固体撮像素子を用いた固体撮像
装置に関すム 従来の技術 従来の固体撮像装置における撮像素子は、 一般的にセ
ラミック等のパッケージに実装されたちのが大半であム
これは第３図（ａ）及びその断面図である同図（ｂ）
に示すよう圏 例えばコバールなどから成る電極１を有
し セラミックを数層に積層したパッケージ２に固体撮
像素子３を銀ペースト４などでダイボンドしたａ Ａ
ｌ線などの導電線５で固体撮像素子３と電極１の一端を
電気的に接続していも さらに 撮像素子３Ｃ友 保護ガラス７により例えば
Ｎ２ガスのような不活性ガスと共に密封されている。
装置に関すム 従来の技術 従来の固体撮像装置における撮像素子は、 一般的にセ
ラミック等のパッケージに実装されたちのが大半であム
これは第３図（ａ）及びその断面図である同図（ｂ）
に示すよう圏 例えばコバールなどから成る電極１を有
し セラミックを数層に積層したパッケージ２に固体撮
像素子３を銀ペースト４などでダイボンドしたａ Ａ
ｌ線などの導電線５で固体撮像素子３と電極１の一端を
電気的に接続していも さらに 撮像素子３Ｃ友 保護ガラス７により例えば
Ｎ２ガスのような不活性ガスと共に密封されている。
さて、この様にセラミックなどを用いたパッケージ２で
は、 パッケージ２を高温中で焼き固めるた敢 固体撮
像素子３のダイボンドを行なう面と保護ガラス７を貼つ
ける面の平行精度を出すのが困難だっ總 そのため撮像素子３の受光面と保護ガラスの光の入射面
との平行度は３０μｍ程度のものである。
は、 パッケージ２を高温中で焼き固めるた敢 固体撮
像素子３のダイボンドを行なう面と保護ガラス７を貼つ
ける面の平行精度を出すのが困難だっ總 そのため撮像素子３の受光面と保護ガラスの光の入射面
との平行度は３０μｍ程度のものである。
また 撮像素子３への入射光の一部は、 受光面８上に
形成されるＡＩの配線パターンにより反射され それか
保護ガラス７において反射されて再び受光面８に入射し
フレアを引き起こす。
形成されるＡＩの配線パターンにより反射され それか
保護ガラス７において反射されて再び受光面８に入射し
フレアを引き起こす。
発明が解決しようとする課題
しかしながら前記のような固体撮像装置を用いた３板式
のカラーテレビジョン用の撮像装置で法色分解プリズム
により、入射光像を例えばＲ，Ｇ。
のカラーテレビジョン用の撮像装置で法色分解プリズム
により、入射光像を例えばＲ，Ｇ。
Ｂの所定の色成分の光像に分解し それぞれの光像を３
つの撮像装置によって撮像し それらを合成してカラー
画像を撮像すム この啄 ３つの撮像素子の受光面は、
入射する光軸に垂直に位置決めされる必要があると共
に 互いに関連をもって精度よく位置決めされていない
と、カラー画像を正確に合成することができなｌ、％ 従来の撮像素子では 上記のように保護ガラス面と受光
面とが良好な平行度を有しないたム 保護ガラスを面を
精度的な基準面として考えることかできず、上記精度の
実現には複雑な位置調整機構か必要となるとともに 色
分解プリズムと撮像装置との間に別の部品 例えばガラ
スブロックなどを取り付ける必要かあり構成が複雑とな
り小型化か困難となる。
つの撮像装置によって撮像し それらを合成してカラー
画像を撮像すム この啄 ３つの撮像素子の受光面は、
入射する光軸に垂直に位置決めされる必要があると共
に 互いに関連をもって精度よく位置決めされていない
と、カラー画像を正確に合成することができなｌ、％ 従来の撮像素子では 上記のように保護ガラス面と受光
面とが良好な平行度を有しないたム 保護ガラスを面を
精度的な基準面として考えることかできず、上記精度の
実現には複雑な位置調整機構か必要となるとともに 色
分解プリズムと撮像装置との間に別の部品 例えばガラ
スブロックなどを取り付ける必要かあり構成が複雑とな
り小型化か困難となる。
さらに その様な構成では温度変化によって相対的位置
ズレを起こしやすく画像の重ね合わせ時に誤差が生じテ
レビ画面上で色ズレとなって現われる。さらに 固体撮
像素子の受光面周辺ζ！Ａｌの配線パターンが設けてあ
り、前記配線パターンは入射光像を反射しフレアの要因
となム 本発明は 上記問題点に鑑み簡易な構成で固体
撮像素子の相対的な位置ズレを小さくするとともに反射
光によるフレアを最小限に出来る固体撮像部品を提供す
ることを目的とすム 課題を解決するための手段 上記課題を解決するための手段は次の通りである。
ズレを起こしやすく画像の重ね合わせ時に誤差が生じテ
レビ画面上で色ズレとなって現われる。さらに 固体撮
像素子の受光面周辺ζ！Ａｌの配線パターンが設けてあ
り、前記配線パターンは入射光像を反射しフレアの要因
となム 本発明は 上記問題点に鑑み簡易な構成で固体
撮像素子の相対的な位置ズレを小さくするとともに反射
光によるフレアを最小限に出来る固体撮像部品を提供す
ることを目的とすム 課題を解決するための手段 上記課題を解決するための手段は次の通りである。
保護ガラスを、固体撮像素子上の受光部外周部に設けた
複数個の凸部に固着すも さらに 前記保護ガラスには
、 固体撮像素子の受光窓以外への光の入射を遮光する
薄膜を有した構成となすものである。
複数個の凸部に固着すも さらに 前記保護ガラスには
、 固体撮像素子の受光窓以外への光の入射を遮光する
薄膜を有した構成となすものである。
作用
上記の構成により平行平板ガラスなどの保護ガラスの光
入射面あるいは出射面にたいして固体撮像素子受光面の
平行を高精度に保って固着できるため色分解プリズムな
どに直接貼付けが可能となり、撮像装置の構成 構造を
簡素化することが可能となム 更に この構成 構造の簡素化によって、温度変化によ
る複数の固体撮像素子の相対的な位置ズレを起こす要因
を少なくすることが出来ムさら番ミ 保護ガラスの固
体撮像素子側に設けたＣｒ等の薄膜で構成した遮光膜に
より入射された光は、 余分な反射を抑えるためフレア
の少ない固体撮像装置が実現できる。
入射面あるいは出射面にたいして固体撮像素子受光面の
平行を高精度に保って固着できるため色分解プリズムな
どに直接貼付けが可能となり、撮像装置の構成 構造を
簡素化することが可能となム 更に この構成 構造の簡素化によって、温度変化によ
る複数の固体撮像素子の相対的な位置ズレを起こす要因
を少なくすることが出来ムさら番ミ 保護ガラスの固
体撮像素子側に設けたＣｒ等の薄膜で構成した遮光膜に
より入射された光は、 余分な反射を抑えるためフレア
の少ない固体撮像装置が実現できる。
実施例
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（友 本発明の固体撮像装置における一実施例を
示す断面図であり、第２図は分解斜視図である。固体撮
像素子１０（友 例えばコバールなどから成る電極１１
とセラミックとを数層に積層したパッケージ１２に銀ペ
ースト１３でダイボンドされていも 固体撮像素子１０
の取り出し電極２０と電極１１をφ２５〜３０μｍのＡ
ｕ線などのワイヤー１４を用いてＡｕポールボンディン
グを行ない電気的に接続すム この固体撮像素子１０上の受光面１５及び取り出し電極
２０以外の部分に前記ワイヤー１４のＡＵボールのみを
超音波ボンディング眞 先端部が平坦なツールを用いて
Ａｕボールを一定圧力で加圧することにより高さ１０〜
３０μｍの範囲において高さバラツキ１〜２μｍ以下の
複数個の凸部１６を形成すも またＣＬ 前記凸部１
６はＡｕメツキ、蒸着などにより厚みの精度良く形成す
ることも可能であム このようにワイヤーボンディング及び凸部１６を形成し
た固体撮像素子１０の受光面１５に粘度８００〜１００
０ｃｐｓの接着樹脂１７を適量滴下し 固体撮像素子１
０の受光窓ピッチ例えば５から１０μｍピッチで数μｍ
幅の遮光膜１８を蒸着とエツチングで格子状に形成した
保護ガラス１９を固体撮像素子１０上へ載せ凸部１６へ
圧接後接着樹脂１７を硬化させａ な抵 凸部への圧接
により、保護ガラス１９と凸部１６との間にある程度の
接着力が発生するので、両者間の仮止めには好都合であ
ム もちろん 両者は接着樹脂１７により固定されるの
であるか収 本実施例においては、 要は凸部１６は保
護ガラス１９の位置規制の機能が第１義であって、上記
の接着力は必ずしも必要とするものではなしも 保護ガラス１９は、 厚み０．８〜１． ５ｍｍのもの
で両面を光学研磨して面粗さを緑色の光の波長λ （５
５０ｎｍ）以下、平行度１０”以下の精度のものを用い
ている。前記接着樹脂１７は 紫外線硬化型接着剤を用
いるとよい。この様に保護ガラス１９接着寵 封止用樹
脂２１としてシリコン樹脂またはエポキシ樹脂を注入し
硬化させる。
示す断面図であり、第２図は分解斜視図である。固体撮
像素子１０（友 例えばコバールなどから成る電極１１
とセラミックとを数層に積層したパッケージ１２に銀ペ
ースト１３でダイボンドされていも 固体撮像素子１０
の取り出し電極２０と電極１１をφ２５〜３０μｍのＡ
ｕ線などのワイヤー１４を用いてＡｕポールボンディン
グを行ない電気的に接続すム この固体撮像素子１０上の受光面１５及び取り出し電極
２０以外の部分に前記ワイヤー１４のＡＵボールのみを
超音波ボンディング眞 先端部が平坦なツールを用いて
Ａｕボールを一定圧力で加圧することにより高さ１０〜
３０μｍの範囲において高さバラツキ１〜２μｍ以下の
複数個の凸部１６を形成すも またＣＬ 前記凸部１
６はＡｕメツキ、蒸着などにより厚みの精度良く形成す
ることも可能であム このようにワイヤーボンディング及び凸部１６を形成し
た固体撮像素子１０の受光面１５に粘度８００〜１００
０ｃｐｓの接着樹脂１７を適量滴下し 固体撮像素子１
０の受光窓ピッチ例えば５から１０μｍピッチで数μｍ
幅の遮光膜１８を蒸着とエツチングで格子状に形成した
保護ガラス１９を固体撮像素子１０上へ載せ凸部１６へ
圧接後接着樹脂１７を硬化させａ な抵 凸部への圧接
により、保護ガラス１９と凸部１６との間にある程度の
接着力が発生するので、両者間の仮止めには好都合であ
ム もちろん 両者は接着樹脂１７により固定されるの
であるか収 本実施例においては、 要は凸部１６は保
護ガラス１９の位置規制の機能が第１義であって、上記
の接着力は必ずしも必要とするものではなしも 保護ガラス１９は、 厚み０．８〜１． ５ｍｍのもの
で両面を光学研磨して面粗さを緑色の光の波長λ （５
５０ｎｍ）以下、平行度１０”以下の精度のものを用い
ている。前記接着樹脂１７は 紫外線硬化型接着剤を用
いるとよい。この様に保護ガラス１９接着寵 封止用樹
脂２１としてシリコン樹脂またはエポキシ樹脂を注入し
硬化させる。
この結果として従来の固体撮像装置では保護ガラス１９
と受光面１５の平行度が１０〜３０μｍであるのに比へ
平行度１〜２μｍ以下の高精度化が容易に可能となると
ともに従来の固体撮像装置では保護ガラス１９と受光面
１５の隙間が約１ｍｍあり保護ガラス１９の受光面１５
側に遮光膜１８を形成した場合、斜めの入射光に対して
遮光膜１８の役目を果たせなかったが本発明では前記隙
間が１０〜３０μｍであるため殆ど問題にならなしもそ
して遮光膜１８の効果により入射光の余分な反射の非常
に少ない固体撮像装置を得ることが出来るものであも 発明の詳細 な説明したように本発明によれば 保護ガラスの入射面
あるいは出射面にたいして固体撮像素子受光面の平行を
高精度に保って容易に固着できる。さらに単板固体撮像
装置やカラ一対応の複数固体撮像装置への固体撮像素子
の位置決めが簡略か出来る。また保護ガラスに遮光膜が
形成されているため固体撮像素子受光面側及び入射光像
の光の反射が最小限に抑えられるためフレアの少ない固
体撮像装置が実現できも
と受光面１５の平行度が１０〜３０μｍであるのに比へ
平行度１〜２μｍ以下の高精度化が容易に可能となると
ともに従来の固体撮像装置では保護ガラス１９と受光面
１５の隙間が約１ｍｍあり保護ガラス１９の受光面１５
側に遮光膜１８を形成した場合、斜めの入射光に対して
遮光膜１８の役目を果たせなかったが本発明では前記隙
間が１０〜３０μｍであるため殆ど問題にならなしもそ
して遮光膜１８の効果により入射光の余分な反射の非常
に少ない固体撮像装置を得ることが出来るものであも 発明の詳細 な説明したように本発明によれば 保護ガラスの入射面
あるいは出射面にたいして固体撮像素子受光面の平行を
高精度に保って容易に固着できる。さらに単板固体撮像
装置やカラ一対応の複数固体撮像装置への固体撮像素子
の位置決めが簡略か出来る。また保護ガラスに遮光膜が
形成されているため固体撮像素子受光面側及び入射光像
の光の反射が最小限に抑えられるためフレアの少ない固
体撮像装置が実現できも
第１図は 本発明の一実施例の固体撮像装置における撮
像装置の要部断面諷 第２図１よ 第１図に示す固体撮
像装置の分解斜視医 第３図（ａ）は、 従来の固体撮
像装置に置ける斜視医 第３図（ｂ）は 第３図（ａ）
に示す固体撮像装置の要部断面図である。 １０・・・固体撮像素子、 １１・・・霧氷 １２・・
・パッケージ、 １３・・・銀ペースト、 １４・・・
ワイヤー、 １５・ ・受光ｆｆｉ １６・・・ロム
１７・・・接着樹脂 １８・・・遮光膜１９・・・保
護ガラ／、２０・・・取り出し霧氷２１・・・封止用樹
Ｂ乱
像装置の要部断面諷 第２図１よ 第１図に示す固体撮
像装置の分解斜視医 第３図（ａ）は、 従来の固体撮
像装置に置ける斜視医 第３図（ｂ）は 第３図（ａ）
に示す固体撮像装置の要部断面図である。 １０・・・固体撮像素子、 １１・・・霧氷 １２・・
・パッケージ、 １３・・・銀ペースト、 １４・・・
ワイヤー、 １５・ ・受光ｆｆｉ １６・・・ロム
１７・・・接着樹脂 １８・・・遮光膜１９・・・保
護ガラ／、２０・・・取り出し霧氷２１・・・封止用樹
Ｂ乱
Claims (2)
- （１）配線パターンを有する基板に固体撮像素子を搭載
し、前記固体撮像素子上部に一定の隙間を保ち保護ガラ
スを搭載する固体撮像装置において、前記固体撮像素子
上の受光部の外周部近傍に設けた複数個の凸部で前記保
護ガラスの位置規制を行なうことを特徴とする固体撮像
装置 - （２）保護ガラスは、前記固体撮像素子の受光窓以外へ
の光の入射を遮光する薄膜を有することを特徴とする請
求項１記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025407A JPH03229461A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025407A JPH03229461A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229461A true JPH03229461A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12165062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025407A Pending JPH03229461A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229461A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05236361A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-09-10 | Philips Gloeilampenfab:Nv | 画像検出器 |
| JP2007242692A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学装置および光学装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP2025407A patent/JPH03229461A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05236361A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-09-10 | Philips Gloeilampenfab:Nv | 画像検出器 |
| JP2007242692A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学装置および光学装置の製造方法 |
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