JPH03230334A - Manufacturing method and manufacturing equipment for base material for optical media - Google Patents

Manufacturing method and manufacturing equipment for base material for optical media

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JPH03230334A
JPH03230334A JP2023937A JP2393790A JPH03230334A JP H03230334 A JPH03230334 A JP H03230334A JP 2023937 A JP2023937 A JP 2023937A JP 2393790 A JP2393790 A JP 2393790A JP H03230334 A JPH03230334 A JP H03230334A
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JP
Japan
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stamper
base material
substrate
sheet
cooling
Prior art date
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Pending
Application number
JP2023937A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Ikenaga
池永 博行
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE:To avoid changes in a rugged pattern of a substrate after a stamper is peeled by transferring a specified pattern with the stamper to the substrate comprising a continuous sheet while the sheet is carried and heated, cooling the sheet and then peeling the stamper from the substrate. CONSTITUTION:A sheet substrate 1 supplied by a sheet substrate feeder is preliminarily heated in a preheat zone and then a stamper 3 is mounted on the sheet substrate 1 in a stamper setting stage 4. The substrate 1 is pressed with the stamper 3 in a transferring stage 5 while the substrate 1 is heated so that the rugged pattern in the stamper 3 is transferred to the substrate 1. The substrate 1 is cooled as pressed with the stamper 2 in a cooling zone 6 and then the stamper 3 is peeled in a stamper peeling stage 7. In this stage, the substrate 1 is already cooled enough to prevent deformation of the rugged pattern, and thereby, the pattern on the substrate does not change.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は各種光ディスク、光カード、光フロツピーディ
スク又は光テープ等の光メディアにおける樹脂製基材の
製造装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an apparatus for manufacturing resin base materials for optical media such as various optical disks, optical cards, optical floppy disks, or optical tapes.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、コンパクトディスク等の予め凹凸パターンにより
一定の情報が記録された再生専用型の光ディスク、1回
のみ所望の情報の記録が可能な追記型の光ディスク又は
情報の記録・消去が行える書換え可能型の光ディスク等
の各種光ディスクの開発が進められている。又、光ディ
スクと並行して、光カード及び光テープ等の他の光メデ
ィアの研究も行われている。
In recent years, read-only optical discs such as compact discs on which a certain amount of information is prerecorded using a concave-convex pattern, write-once optical discs that allow desired information to be recorded only once, and rewritable optical discs that allow information to be recorded and erased. Development of various optical discs such as optical discs is progressing. In addition to optical disks, research is also being conducted on other optical media such as optical cards and optical tapes.

ところで、各種光ディスク等の基板としては、通常、ガ
ラス又はポリカーボネイト等の透光性を有する樹脂が使
用されている。上記の基板には、通常、トラッキング制
御用のグループ又はアドレス等を示すピントを設ける必
要があるが、樹脂製の基板を使用する場合、例えば、グ
ループ又はピットに対応する凹凸パターンを有するスタ
ンパを使用して射出成形により基板を製造する方法があ
る。
By the way, as substrates for various optical discs, etc., a resin having translucent properties such as glass or polycarbonate is usually used. The above-mentioned substrate usually needs to be provided with a focus point that indicates groups or addresses for tracking control, but when using a resin substrate, for example, a stamper having a concave-convex pattern corresponding to the groups or pits is used. There is a method of manufacturing a substrate by injection molding.

ところが、射出成形の場合、基板を1枚毎に製造するこ
とになるので、量産性が低くなるという問題は回避でき
ない。そこで、基板として、シートロール等の連続的な
樹脂製シートを使用するとともに、この樹脂製シートを
軟化点以上の温度に加熱した状態で、表面に凹凸パター
ンを設けた加圧ローうにより上記樹脂製シートに多数枚
の光デイスク用基板に対応する凹凸パターンを連続的に
転写した後、転写部の樹脂製シートから個々の光デイス
ク用基板を打ち抜くことを特徴とする特許出願が本件出
願人により先に行われており(特願昭63−19416
0号)、この方法によれば、基板の量産性を向上させる
ことができる。
However, in the case of injection molding, since the substrates are manufactured one by one, the problem of low mass productivity cannot be avoided. Therefore, a continuous resin sheet such as a sheet roll is used as a substrate, and the resin sheet is heated to a temperature higher than its softening point, and then the resin is heated to a temperature above its softening point. The applicant has filed a patent application which is characterized in that after successively transferring a concavo-convex pattern corresponding to a large number of optical disk substrates onto a plastic sheet, individual optical disk substrates are punched out from the resin sheet in the transfer area. It was done earlier (patent application 1986-19416)
According to this method, the mass productivity of substrates can be improved.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

ところが、連続的な樹脂製シートを使用した上記の基板
製造方法によれば、加圧ローラが樹脂製シートから離れ
た後に、樹脂製シートの余熱によりグループ等の凹凸パ
ターンが容易に変形し、基板の歩留りが悪化するという
問題を有していた。
However, according to the above-mentioned substrate manufacturing method using a continuous resin sheet, after the pressure roller is separated from the resin sheet, the uneven patterns such as groups are easily deformed due to the residual heat of the resin sheet, and the substrate is damaged. The problem was that the yield rate deteriorated.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明に係る光ディスク、光カード等の光メディア用の
基材(基板等)の製造方法は、上記の課題を解決するた
めに、連続的なシート状又はフィルム状の基材を搬送し
ながら加熱してスタンパにより所定の凹凸形状を転写し
た後、スタンパを基材に押圧したままの状態で基材を冷
却し、冷却後にスタンパを基材から剥離させるようにし
たことを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the method for manufacturing a base material (substrate, etc.) for optical media such as an optical disk or an optical card according to the present invention heats a continuous sheet-like or film-like base material while conveying it. After the stamper transfers a predetermined uneven shape, the base material is cooled while the stamper remains pressed against the base material, and the stamper is peeled off from the base material after cooling. .

又、上記の製造方法の実施に使用できる製造装置は、連
続的なシート状又はフィルム状の基材を所定方向に搬送
する搬送手段と、上記基材を加熱する加熱手段と、加熱
された基材に所定の凹凸形状を有するスタンパを押圧し
て上記凹凸形状を転写する転写部と、上記転写部の直後
の位置に設けられ、基材にスタンパを押圧した状態で基
材を冷却する冷却部とを備えていることを特徴としてい
る。
Further, the manufacturing apparatus that can be used to carry out the above manufacturing method includes a conveying means for conveying a continuous sheet-like or film-like base material in a predetermined direction, a heating means for heating the above-mentioned base material, and a heated base material. a transfer section that presses a stamper having a predetermined uneven shape onto the material to transfer the uneven shape; and a cooling section that is provided at a position immediately after the transfer section and cools the base material while pressing the stamper onto the base material. It is characterized by having the following.

なお、上記転写部と冷却部との間の間隔はスタンパの搬
送方向長さより小さく設定することが好ましい。
Note that the distance between the transfer section and the cooling section is preferably set to be smaller than the length of the stamper in the conveyance direction.

〔作 用〕[For production]

上記の本発明の光メディア用基材の製造方法によれば、
スタンパにより凹凸パターンを転写した後、スタンパを
基材に押圧したまま冷却し、冷却後にスタンパを剥離さ
せるようにしたので、スタンパの剥離時には基材が凹凸
パターンの変形を生じない程度の温度に冷却されており
、その結果、スタンパの剥離後の基材の凹凸パターンの
変化が生じにく(なる。
According to the above method for producing an optical media base material of the present invention,
After the concavo-convex pattern is transferred by the stamper, the stamper is cooled while being pressed against the base material, and the stamper is peeled off after cooling, so that when the stamper is peeled off, the base material is cooled to a temperature that does not cause deformation of the concave-convex pattern. As a result, the uneven pattern of the base material is less likely to change after the stamper is peeled off.

又、上記の製造装置によれば、シート状又はフィルム状
の基材にスタンパを押圧したままの状態で基材を冷却す
るようにしたので、基材からスタンパを剥離する段階で
は基材は既に凹凸パターンの形状の変化の生しにくい程
度の温度まで冷却されていることになり、その結果、ス
タンパの剥離後に基材に残留する余熱による基材表面の
凹凸パターンの変形を抑制できるようになる。
Furthermore, according to the above manufacturing apparatus, the base material is cooled while the stamper remains pressed against the sheet-like or film-like base material, so that the base material is already cooled by the time the stamper is peeled off from the base material. This means that it is cooled to a temperature that makes it difficult for the shape of the uneven pattern to change, and as a result, it is possible to suppress the deformation of the uneven pattern on the surface of the base material due to residual heat remaining on the base material after the stamper is peeled off. .

なお、上記転写部と冷却部間の間隔をスタンパの搬送方
向長さより小さくしておけば、スタンパは転写部と冷却
部のいずれかで基材上に押圧されるので、スタンパは基
材上で位置ずれを生じることなしに転写部から冷却部に
受は渡されるようになり、その結果、基材に対する凹凸
パターンの転写が確実に、かつ、正確に行われるように
なる。
Note that if the distance between the transfer section and the cooling section is made smaller than the length of the stamper in the transport direction, the stamper will be pressed onto the substrate by either the transfer section or the cooling section, so the stamper will not be able to touch the substrate. The receiver can be transferred from the transfer section to the cooling section without any positional deviation, and as a result, the concave-convex pattern can be transferred to the base material reliably and accurately.

〔実施例1〕 本発明の一実施例を第1図に基づいて説明すれば、以下
の通りである。
[Example 1] An example of the present invention will be described below based on FIG.

第1図に示すように、光メディア、例えば、各種光ディ
スク又は光カード用の基板(基材)の製造装置は、例え
ば、ロール状に巻かれた連続的なシート状基板1を巻き
出して図中右方向に搬送する図示しないシート状基板供
給部と、シート状基板供給部から供給されるシート状基
板1及び後述のスタンパ3を予熱する予熱部2と、シー
ト状基板1上に所定の間隔でスタンパ3を載置するスタ
ンバ載置部4と、予熱部2で予熱されたシート状基板1
を更に加熱しながら、シート状基板1上に載置されたス
タンパ3をシート状基板lに押圧してスタンパ3の有す
る凹凸パターン(図示せず)をシート状基板1に転写す
る転写部5と、シート状基板1にスタンパ3を押圧した
ままの状態でシート状基板1を冷却する冷却部6と、冷
却部のシート状基板1からスタンパ3を剥離するスタン
バ剥離部7と、凹凸パターンの転写部のシート状基板1
から個々の光ディスク又は光カード用の基板を打ち抜く
打抜き部8とをシート状基板1の搬送方向に沿って順次
配置することにより構成されている。
As shown in FIG. 1, an apparatus for manufacturing substrates (base materials) for optical media, such as various optical disks or optical cards, unwinds a continuous sheet-like substrate 1 wound into a roll. A sheet-like substrate supply section (not shown) that transports the sheet-like substrate in the center-right direction, a preheating section 2 that preheats the sheet-like substrate 1 supplied from the sheet-like substrate supply section and a stamper 3 (described later), and a preheating section 2 that preheats the sheet-like substrate 1 and the stamper 3, which will be described later, and a preheating section 2 that is placed on the sheet-like substrate 1 at a predetermined interval. a stamper placement section 4 on which a stamper 3 is placed; and a sheet-like substrate 1 preheated in a preheating section 2.
a transfer section 5 that presses the stamper 3 placed on the sheet-like substrate 1 onto the sheet-like substrate l while further heating the sheet-like substrate 1 to transfer the uneven pattern (not shown) of the stamper 3 onto the sheet-like substrate 1; , a cooling section 6 that cools the sheet substrate 1 while pressing the stamper 3 onto the sheet substrate 1, a stamper peeling section 7 that separates the stamper 3 from the sheet substrate 1 of the cooling section, and a transfer of the uneven pattern. sheet-like substrate 1
A punching section 8 for punching out individual optical disk or optical card substrates from the sheet substrate 1 is sequentially arranged along the conveying direction of the sheet-like substrate 1.

シート状基板1は、例えば、ポリカーボネイト、ポリメ
チルメタクリレート、アモルファスポリオレフィン等の
透光性を有する樹脂から形成される。
The sheet-like substrate 1 is made of a translucent resin such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, or amorphous polyolefin.

予熱部2は、例えば、1対のローラ9・10により矢印
方向に駆動され、内側に配置されたヒータ11により発
生される熱をシート状基板1に伝達してシート状基板l
を予熱する予熱ベルト12により構成される。予熱部2
における予熱温度は、例えば、110〜120″C程度
に設定される。
The preheating section 2 is driven in the direction of the arrow by, for example, a pair of rollers 9 and 10, and transfers heat generated by a heater 11 disposed inside to the sheet-like substrate 1 to cool the sheet-like substrate l.
It is composed of a preheating belt 12 for preheating. Preheating section 2
The preheating temperature in is set, for example, to about 110 to 120''C.

スタンパ載置部4はシート状基板供給部から供給される
シート状基板1上にスタンパ3を載置するようになって
いる。スタンパ3は、例えば、ガラス又はNi等からな
り、1枚のスタンパ3に1枚の光デイスク用基板又は1
枚の光カード用基板に対応した凹凸パターンが形成され
ている。
The stamper mounting section 4 is configured to place the stamper 3 on the sheet-like substrate 1 supplied from the sheet-like substrate supply section. The stamper 3 is made of, for example, glass or Ni.
A concavo-convex pattern corresponding to the optical card substrate is formed.

転写部5は、例えば、それぞれ内部に図示しないヒータ
(加熱手段)を備えた上下1対の加熱圧縮ローラ13・
14を有し、加熱圧縮ローラ13・14によるシート状
基板1の加熱温度はシート状基板1の軟化点以上の温度
、例えば、130〜140°C程度に設定される一方、
加熱圧縮ローラ13・14によるスタンパ3の押圧時の
圧力は7〜10kg/cm”程度に設定される。
The transfer unit 5 includes, for example, a pair of upper and lower heated compression rollers 13 each equipped with a heater (heating means) not shown inside.
14, and the heating temperature of the sheet-like substrate 1 by the heated compression rollers 13 and 14 is set to a temperature higher than the softening point of the sheet-like substrate 1, for example, about 130 to 140 ° C.
The pressure when the stamper 3 is pressed by the heated compression rollers 13 and 14 is set to about 7 to 10 kg/cm''.

冷却部6は、上下各3個の加圧冷却ローラ15・15・
・・ 16・16・・・と、各加圧冷却ローラ15・1
5・・・ 16・16・・・の外側に接触する上下各2
個の中間冷却ローラ17・17.18・18と、それぞ
れ内部に冷却水又は適宜の冷媒が循環され、各中間冷却
ローラ17・17.18・18の外側に接触する上下各
1個の冷却ローラ20・21とを備えている。
The cooling unit 6 includes three pressurized cooling rollers 15, 15, and 15, respectively.
... 16, 16... and each pressure cooling roller 15, 1
5... 2 each on the top and bottom that contact the outside of 16, 16...
Intermediate cooling rollers 17, 17, 18, 18, cooling water or a suitable refrigerant is circulated inside each, and upper and lower cooling rollers contact the outside of each intermediate cooling roller 17, 17, 18, 18. 20 and 21.

加熱圧縮ローラ13・14のシート状基板l及びスタン
パ3への接点と、加熱圧縮ローラ13・14に最も近い
位置の加圧冷却ローラ15・16のシート状基板1及び
スタンパ3への接点との間の距離は、スタンパ3の搬送
方向の長さより小さく設定され、スタンパ3がシート状
基板1に押圧された状態のままで、加熱圧縮ローラ13
・14から上記加圧冷却ローラ15・16に受は渡され
るようになっている。なお、加熱圧縮ローラ13・14
及び各加圧冷却ローラ15・15・・・ 16・16・
・・は搬送手段としての役割を有している。
The contact points of the heating compression rollers 13 and 14 to the sheet-like substrate 1 and the stamper 3, and the contact points of the pressing and cooling rollers 15 and 16 closest to the heating and compression rollers 13 and 14 to the sheet-like substrate 1 and the stamper 3. The distance between them is set smaller than the length of the stamper 3 in the conveyance direction, and while the stamper 3 remains pressed against the sheet-like substrate 1, the heated compression roller 13
- The receiver is arranged to be passed from 14 to the pressure cooling rollers 15 and 16. In addition, the heating compression rollers 13 and 14
and each pressure cooling roller 15, 15... 16, 16,
... has a role as a means of transportation.

冷却部6において、シート状基板1又はスタンパ3から
放射される熱は加圧冷却ローラ15・15・・・ 16
・16・・・及び中間冷却ローラ17・17.18・1
8を介して冷却ローラ20・21に伝達され、シート状
基板1及びスタンパ3の冷却が図られるとともに、加圧
冷却ローラ15・15・・・ 16・16・・・からシ
ート状基板1及びスタンパ3に、例えば、3〜4kg/
cm”程度の所定の保持圧力が加えられるようになって
いる。なお、冷却部6によるシート状基板1の冷却目標
温度は、例えば、80℃程度とされる。
In the cooling section 6, the heat radiated from the sheet-like substrate 1 or the stamper 3 is transferred to pressure cooling rollers 15, 15, . . . 16.
・16... and intermediate cooling roller 17.17.18.1
8 to the cooling rollers 20 and 21 to cool the sheet-like substrate 1 and the stamper 3, and the sheet-like substrate 1 and the stamper are 3, for example, 3 to 4 kg/
A predetermined holding pressure of about 1.5 cm is applied. The target temperature for cooling the sheet-like substrate 1 by the cooling unit 6 is, for example, about 80°C.

スタンパ剥離部7では、例えば、図示しない真空チャッ
ク等の適宜の剥離手段によりシート状基板lからスタン
パ3が剥離されるようになっている。
In the stamper peeling section 7, the stamper 3 is peeled off from the sheet-like substrate l by, for example, a suitable peeling means such as a vacuum chuck (not shown).

又、打抜き部8は、ダイス22とポンチ23とを有する
プレスの打抜き部として構成され、ダイス22の下方に
は搬送部材25が配置されている。
Further, the punching section 8 is configured as a punching section of a press having a die 22 and a punch 23, and a conveying member 25 is arranged below the die 22.

上記の構成において、シート状基板供給部から供給され
るシート状基板1が予熱部2により予熱されるとともに
、スタンパ載置部4でシート状基板1上にスタンバ3が
載置される。
In the above configuration, the sheet-like substrate 1 supplied from the sheet-like substrate supply section is preheated by the preheating section 2, and the stamper 3 is placed on the sheet-like substrate 1 by the stamper mounting section 4.

そして、転写部5でシート状基板1及びスタンパ3が加
熱されながら、スタンパ3がシート状基板1に押圧され
、スタンバ3の凹凸パターンがシート状基板1に転写さ
れる。
Then, while the sheet-like substrate 1 and stamper 3 are heated in the transfer section 5, the stamper 3 is pressed against the sheet-like substrate 1, and the uneven pattern of the stamper 3 is transferred to the sheet-like substrate 1.

引続き、スタンパ3がシート状基板1に押圧されたまま
の状態で、スタンパ3及びシート状基板lが冷却部6に
より冷却された後、スタンバ剥離部7でスタンバ3が剥
離される。この時、シート状基板1は既に転写された凹
凸パターンの変形が生じない程度の温度に冷却されてい
るので、スタンバ3を剥離してもシート状基板1の凹凸
パターンの形状変化は生じない。
Subsequently, while the stamper 3 remains pressed against the sheet-like substrate 1, the stamper 3 and the sheet-like substrate 1 are cooled by the cooling unit 6, and then the standber 3 is peeled off by the standber peeling unit 7. At this time, the sheet-like substrate 1 has already been cooled to a temperature that does not cause deformation of the transferred uneven pattern, so even if the stand bar 3 is peeled off, the shape of the uneven pattern of the sheet-like substrate 1 does not change.

更に、凹凸パターンの転写されたシート状基板1が打抜
き部8で個々の光ディスク又は光カード用の基板24と
して打ち抜かれ、搬送部材25により搬出される。
Further, the sheet-like substrate 1 having the concavo-convex pattern transferred thereon is punched out as individual optical disk or optical card substrates 24 in the punching section 8, and is carried out by the conveying member 25.

なお、上記の実施例において、加熱圧縮ローラ13・1
4によるシート状基板1の加熱温度等はシート状基板1
の材料の種類等に応じて適宜に変更できるものである。
In addition, in the above embodiment, the heating compression roller 13.1
The heating temperature etc. of the sheet-like substrate 1 according to 4 are as follows.
It can be changed as appropriate depending on the type of material, etc.

又、光ディスク又は光カードが記録可能な形式のもので
ある場合、記録膜の形成のために、例えば、スタンバ剥
離部7と打抜き部8との間にスパッタリング等による成
膜装置を配置し、シート状基板l上に連続工程で成膜し
た後、打抜きを行うようにしても良い。その場合、成膜
装置ばかりでなく、転写部5、冷却部6等をも真空チャ
ンバ内に配置するのが塵埃等を防止する上で好適である
In addition, if the optical disk or optical card is of a recordable format, in order to form a recording film, for example, a film forming device using sputtering or the like is placed between the stand bar peeling section 7 and the punching section 8, and the sheet is After the film is formed on the shaped substrate l in a continuous process, punching may be performed. In that case, it is preferable to arrange not only the film forming apparatus but also the transfer section 5, the cooling section 6, etc. in the vacuum chamber in order to prevent dust and the like.

[実施例2] 次に、第2図に基づいて、第2実施例を説明する。[Example 2] Next, a second embodiment will be described based on FIG.

この第2実施例は、光テープ用の基材の製造に好適なも
のであって、例えば、ポリエチレンテレフタレート等の
ポリエステル又はその他の透光性を有する樹脂からなる
フィルム状基材31を図中右方向に供給する図示しない
フィルム状基材供給部と、例えば、厚みが0.4mm以
下のステンレス鋼製のベルトの表面に凹凸パターン(図
示せず)を形成してなり、搬送されるフィルム状基材3
1の上面に接触するように配置されたベルト状スタンパ
32と、フィルム状基材31の上部及び下部に配置され
た複数の予熱ローラ33〜35と、予熱ローラ33〜3
5の下流側でフィルム状基材31の上部及び下部に配置
された上下1対の加熱圧縮ローラ36・37(転写部)
と、加熱圧縮ローラ36・37の下流側でフィルム状基
材31の上部及び下部に配置された複数の冷却ローラ3
8〜43(冷却部)とを備えている。
This second embodiment is suitable for manufacturing a base material for an optical tape. A film-like base material supply unit (not shown) that supplies the film-like base material in the direction, and a film-like base material that is conveyed, for example, by forming an uneven pattern (not shown) on the surface of a stainless steel belt with a thickness of 0.4 mm or less. material 3
1; a plurality of preheating rollers 33 to 35 disposed above and below the film base material 31; and preheating rollers 33 to 3.
A pair of upper and lower heating compression rollers 36 and 37 (transfer section) are arranged on the upper and lower parts of the film-like base material 31 on the downstream side of 5.
and a plurality of cooling rollers 3 disposed above and below the film-like base material 31 on the downstream side of the heating compression rollers 36 and 37.
8 to 43 (cooling section).

上記予熱ローラ33〜35及び加熱圧縮ローラ36・3
7はそれぞれ内部に加熱手段としてのヒータ(図示せず
)を有するとともに、冷却ローラ38〜43はそれぞれ
内部に設けた図示しない冷媒通路に適宜の冷媒が循環さ
れるようになっている。
The above preheating rollers 33 to 35 and heating compression rollers 36 and 3
Each of the rollers 7 has a heater (not shown) serving as a heating means therein, and an appropriate refrigerant is circulated through a refrigerant passage (not shown) provided inside each of the cooling rollers 38 to 43.

フィルム状基材31の上側における予熱ローラ33、加
熱圧縮ローラ36及び冷却ローラ38〜40はベルト状
スタンバ32内に配置されてベルト状スタンバ32をフ
ィルム状基材31の上面に押圧する一方、予熱ローラ3
3及び冷却ローラ40はヘルド状スタンバ32の駆動ロ
ーラの役割を兼ねるようになっている。又、フィルム状
基材31の下側における予熱ローラ34・35、加熱圧
縮ローラ37及び冷却ローラ41〜43はフィルム状基
材31の下面に接触し、フィルム状基材31をベルト状
スタンパ32に押圧するようになっている。なお、各ロ
ーラ33〜43は搬送手段としての役割を有する。
The preheating roller 33, heating compression roller 36, and cooling rollers 38 to 40 on the upper side of the film-like base material 31 are arranged in the belt-like standber 32, and press the belt-like standber 32 against the upper surface of the film-like base material 31, while preheating. roller 3
3 and the cooling roller 40 also serve as a driving roller for the heald-shaped stand bar 32. Further, the preheating rollers 34 and 35, heating compression roller 37, and cooling rollers 41 to 43 on the lower side of the film-like base material 31 are in contact with the lower surface of the film-like base material 31, and the film-like base material 31 is attached to the belt-like stamper 32. It is designed to be pressed. In addition, each roller 33-43 has a role as a conveyance means.

上記の構成において、フィルム状基材供給部から供給さ
れたフィルム状基材31は、ベルト状スタンパ32に到
り、予熱ローラ33〜35で予熱されて昇温されながら
ベルト状スタンパ32により図中右方向に搬送される。
In the above configuration, the film-like base material 31 supplied from the film-like base material supply section reaches the belt-like stamper 32, and is preheated and heated by preheating rollers 33 to 35 while being heated by the belt-like stamper 32 as shown in the figure. Transported to the right.

なお、予熱されたフィルム状基材31にベルト状スタン
パ32の凹凸パターンが徐々に転写される。
Note that the uneven pattern of the belt-like stamper 32 is gradually transferred to the preheated film-like base material 31.

その後、加熱圧縮ローラ36・37によりフィルム状基
材31が更に加熱されてフィルム状基材31の軟化点以
上の温度に上昇した状態で加熱圧縮ローラ36・37に
よりベルト状スタンパ32がより大きな圧力でフィルム
状基材31に押圧されることにより、ベルト状スタンパ
32の表面の凹凸パターンがフィルム状基材31に確実
に転写される。
Thereafter, the film-like base material 31 is further heated by the heated compression rollers 36 and 37, and in a state where the temperature has risen to the softening point or higher of the film-like base material 31, the belt-shaped stamper 32 is applied with a higher pressure by the heated compression rollers 36 and 37. By pressing the belt-like stamper 32 against the film-like base material 31, the uneven pattern on the surface of the belt-like stamper 32 is reliably transferred to the film-like base material 31.

引続き、冷却ローラ38〜43によりフィルム状基材3
1及びベルト状スタンパ32が冷却された後・”ルト状
スタンノぐ32がフィルム4[材31から剥離される。
Subsequently, the film-like base material 3 is cooled by the cooling rollers 38 to 43.
1 and the belt-shaped stamper 32 are cooled, the belt-shaped stamper 32 is peeled off from the film 4 [material 31].

この時、フィルム状基材31は既に凹凸パターンの変形
が生しない温度まで冷却されているので、ヘルド状スタ
ンパ32が剥離されてもフィルム状基材31の凹凸パタ
ーンの形状は変化しない。
At this time, the film-like base material 31 has already been cooled to a temperature at which no deformation of the concave-convex pattern occurs, so even if the heald-shaped stamper 32 is peeled off, the shape of the concave-convex pattern of the film-like base material 31 does not change.

なお、この第2実施例においても、必要により、ベルト
状スタンパ32の後段に記録nりの成膜装置を設けて、
凹凸パターンの形成後に、直ちに成膜を行うようにして
も良い。
In this second embodiment as well, if necessary, a film forming device for recording is provided at the downstream stage of the belt-shaped stamper 32.
The film may be formed immediately after the uneven pattern is formed.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明に係る光メディア用基材の製造方法は、以上のよ
うに、連続的なシート状又はフィルム状の基材を搬送し
ながら加熱してスタンパにより所定の凹凸形状を転写し
た後、スタンパを基材に押圧したままの状態で基材を冷
却し、冷却後にスタンパを基材から剥離させるようにし
た構成である。
As described above, in the method for manufacturing an optical media base material according to the present invention, a continuous sheet-like or film-like base material is heated while being conveyed to transfer a predetermined uneven shape with a stamper, and then the stamper is used to transfer a predetermined uneven shape. This configuration is such that the base material is cooled while being pressed against the base material, and the stamper is peeled off from the base material after cooling.

これにより、スタンパの剥離時には基材が凹凸パターン
の変形を生じない程度の温度に冷却されているので、ス
タンパの剥離後の基材の凹凸パターンの変化が生じにく
くなる。
As a result, when the stamper is peeled off, the base material is cooled to a temperature that does not cause deformation of the concavo-convex pattern, so that the concavo-convex pattern of the base material is less likely to change after the stamper is peeled off.

又、本発明に係る光メディア用基材の製造装置は、連続
的なシート状又はフィルム状の基材を所定方向に搬送す
る搬送手段と、上記基材を加熱する加熱手段と、加熱さ
れた基材に所定の凹凸形状を有するスタンパを押圧して
上記凹凸形状を転写する転写部と、上記転写部の直後に
設けられ、基材にスタンパを押圧した状態で基材を冷却
する冷却部とを備えている構成である。
Further, the apparatus for manufacturing an optical media base material according to the present invention includes a conveyance means for conveying a continuous sheet-like or film-like base material in a predetermined direction, a heating means for heating the base material, and a heated a transfer section that presses a stamper having a predetermined uneven shape onto a base material to transfer the uneven shape; and a cooling section that is provided immediately after the transfer section and cools the base material while pressing the stamper onto the base material. The configuration is equipped with the following.

これにより、連続的なシート状又はフィルム状の基材に
スタンパにより凹凸パターンを転写することにより光メ
ディア用基材を製造するようにしたので、基材の量産性
を向上させることができる。又、スタンパの剥離前にシ
ート状又はフィルム状の基材にスタンパを押圧したまま
の状態で基材を冷却するようにしたので、基材がらスタ
ンパを剥離する段階では基材は既に形状の変化を生じな
い程度の温度まで冷却されており、その結果・スタンパ
の剥離に伴う凹凸パターンの変形を抑制できるという効
果を奏する。
As a result, the base material for optical media is manufactured by transferring the concavo-convex pattern onto a continuous sheet-like or film-like base material using a stamper, so that the mass productivity of the base material can be improved. In addition, before peeling off the stamper, the base material is cooled while pressing the stamper against the sheet or film base material, so the shape of the base material has already changed by the time the stamper is peeled off from the base material. As a result, deformation of the concavo-convex pattern due to peeling of the stamper can be suppressed.

なお、上記転写部と冷却部との間の間隔はスタンパの搬
送方向長さより小さく設定しておくと、スタンパは転写
部又は冷却部のいずれかにより基材に押圧されることに
なる。従って、冷却部による冷却が終了するまでの期間
、スタンパは位置ずれを生じることなく基材との結合を
維持し、基材に対する凹凸パターンの転写が確実に、か
つ、正確に行われるようになる。
Note that if the distance between the transfer section and the cooling section is set to be smaller than the length of the stamper in the transport direction, the stamper will be pressed against the base material by either the transfer section or the cooling section. Therefore, until the cooling section finishes cooling, the stamper maintains its bond with the base material without any displacement, and the uneven pattern is transferred to the base material reliably and accurately. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例における光メディア用基板の
製造装置を示す概略説明図である。 第2図は本発明の他の実施例における光メディア用基材
の製造装置を示す概略説明図である。 1はシート状基板(基材)、3はスタンパ、5は転写部
、6は冷却部、31はフィルム状基材、32はベルト状
スタンパ、36・37は加熱圧縮ローラ(転写部)、3
8〜43は冷却ローラ(冷却部)である。
FIG. 1 is a schematic explanatory diagram showing an apparatus for manufacturing an optical media substrate according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing an apparatus for manufacturing an optical media base material according to another embodiment of the present invention. 1 is a sheet-like substrate (base material), 3 is a stamper, 5 is a transfer section, 6 is a cooling section, 31 is a film-like base material, 32 is a belt-like stamper, 36 and 37 are heated compression rollers (transfer section), 3
8 to 43 are cooling rollers (cooling section).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、連続的なシート状又はフィルム状の基材を搬送しな
がら加熱してスタンパにより所定の凹凸形状を転写した
後、スタンパを基材に押圧したままの状態で基材を冷却
し、冷却後にスタンパを基材から剥離させるようにした
ことを特徴とする光メディア用基材の製造方法。 2、連続的なシート状又はフィルム状の基材を所定方向
に搬送する搬送手段と、上記基材を加熱する加熱手段と
、加熱された基材に所定の凹凸形状を有するスタンパを
押圧して上記凹凸形状を転写する転写部と、上記転写部
の直後の位置に設けられ、基材にスタンパを押圧した状
態で基材を冷却する冷却部とを備えていることを特徴と
する光メディア用基材の製造装置。
[Claims] 1. After transferring a predetermined uneven shape using a stamper by heating a continuous sheet-like or film-like base material while conveying it, the base material is transferred while the stamper is kept pressed against the base material. A method for producing an optical media base material, comprising: cooling the stamper; and peeling the stamper from the base material after cooling. 2. A conveyance means for conveying a continuous sheet-like or film-like base material in a predetermined direction, a heating means for heating the base material, and a stamper having a predetermined uneven shape is pressed on the heated base material. For optical media, comprising: a transfer section that transfers the uneven shape; and a cooling section that is provided at a position immediately after the transfer section and cools the base material while pressing the stamper onto the base material. Base material manufacturing equipment.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005153091A (en) * 2003-11-27 2005-06-16 Hitachi Ltd Transfer method and transfer device
JP2005531098A (en) * 2002-06-26 2005-10-13 エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド Method and apparatus for forming a microstructure on a polymer substrate
JP2007019451A (en) * 2005-06-10 2007-01-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Nanoimprint method and apparatus
JP2009158731A (en) * 2007-12-27 2009-07-16 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd Fine structure transfer apparatus and fine structure transfer method
JP2010021403A (en) * 2008-07-11 2010-01-28 Ulvac Japan Ltd Tray and cooling chamber

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005531098A (en) * 2002-06-26 2005-10-13 エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド Method and apparatus for forming a microstructure on a polymer substrate
JP2005153091A (en) * 2003-11-27 2005-06-16 Hitachi Ltd Transfer method and transfer device
JP2007019451A (en) * 2005-06-10 2007-01-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Nanoimprint method and apparatus
JP2009158731A (en) * 2007-12-27 2009-07-16 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd Fine structure transfer apparatus and fine structure transfer method
US8147234B2 (en) 2007-12-27 2012-04-03 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Imprint apparatus and method for fine structure lithography
JP2010021403A (en) * 2008-07-11 2010-01-28 Ulvac Japan Ltd Tray and cooling chamber

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