JPH0323147A - 支持又は案内ローラ及びこの種のローラを１つ又はそれ以上備えた装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、可動ウエア形基板を処理するための装置にお
いてこの基板を案内及び／又は支えるために使用するロ
ーラに係る。前記ローラの基板と接触表面は表面構造を
備えており、その結果所定量のガスが表面構造と接触す
る基板とローラとの間に封入されており、構造は、前記
容積のガスが使用基板運搬速度でほぼ同じ量で残留する
ような形を与えられている。

この種のローラは一般に、ウエブ形媒体を処理する装置
内の支持又は案内ローラとして使用され、ここでは結合
処理はコーティング、プリンティング、コロナ放電処理
・、露光等の多数の作業を意味すると理解されてもよい
。

前記形式のローラはイギリス特許ＧＢ−Ａ−第１　０５
６　３７２号に紙ウエブ取扱機械のための案内ローラ装
置として開示されている。

限定数の表面構造が紹介されているが、そのすべてが移
動する紙ウｌブと機械内の案内ローラとの間に空気クッ
ションが形成されるのを防止するために役立っている。

前記公知案内ローラは、取扱機械が様々な目的を持ち及
び／又は様々な基板に適用しようとする場合に多数の異
なるローラが必要になるという欠点を有している。

発明の要約 本発明は前記欠点を表わさず、且つその表面構造の迅速
且つ容易な変化を可能ならしめる形式のローラを提供す
ることを目的とする。

前記ローラは、基板と接触するその表面に金属のシーム
レススリーブを含んでおり、スリーブの表面に表面構造
が備えられていることを特徴とする。

分離したシームレス金属スリーブで表面が形成されるロ
ーラを提供することによって、表面構造の迅速な変化が
後に詳しく説明する通り可能である。

便宜上この種のシームレス金属スリーブは１５Ｇ及び５
００マイクロメートル、特に１５Ｇ及び２００ミクロメ
ートルの間の厚さを持つニッケルスリーブである。

この種のニッケルスリーブは本出願人によって製造され
、好みの円周長さを備え且つ軸方向長さを備えていても
よい。

この種のスリーブの表面は、図で説明するように複数の
方法で適用される任意の表面構造を与えられてもよい。

上記の形式のローラを用いれば、表面構造の急速な消耗
が例えば大きな粗さ又は高い充填材比率をもつ紙材料を
案内又は支持する時に観察されるかもしれない。

この問題は本発明に従えば表面構造に高い耐摩耗性の頂
部層を提供することによって解決される。

特にこの種の頂部層は次のものから選択された耐摩耗材
料を含む。

チタニウム又はホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化
物のような炭化物 ガラス及び石英。

勿論他の多くの材料がこの点に関して指摘されてもよい
。上のシリーズでは窒化チタニウムが特に重要である。

それは極めてきれいな薄黄色をもつ非常に固い耐摩耗性
の材料である。この材料は窒素を含む雰囲気中でのチタ
ニウムの反応スパッタリング又はＴｉＮスパッタリング
のようなスパッタリング技術によって表面に極めて有効
に蒸着させてもよい。

基板への損害をできる限り防止するため基板と接触する
ローラの表面構造の部分を丸味付けすることが都合がよ
い。

極めて大きな利点を持って、本発明ローラの表面構造は
、ニッケルーリン層又はクロミウム層のような高い耐摩
耗性を持つ頂部層を備えている。

表面構造は例えば、ローラの摩耗及び基板の損傷をでぎ
る限り防止するためのポリテトラフルオルエチレンコー
ティング層を備えていてもよい。

好ましい１実施例では、ローラに内蔵されるスリーブは
、軸に取付けられた２端リング又はフランジ間の軸方向
ストレス下に取付けられている。

この種のリングは重量が極度に低いことができるという
利点を持ち、その結果ローラは支持又は案内されるべき
基板に付随して回転するよう容易に出発するだろう。

上記の実施例では、連続スリーブの代りに例えば金属回
転スクリーンプリントステンシルのような穴を備えたス
リーブを用いてもよい。この種のステンシルは例えばニ
ッケルで構成され、２５０〜５００メッシュ（一孔／イ
ンチ〉の細かさを持つ。

但しこれより高い又は低い細かさも可能である。

厚さは１００〜２５０マイクロメートルの間を変化する
か又はそれ以上でもよい。もしこの種の穴あきスリーブ
が使用ざれれば、表面構造は、スリーブの穴の形式の構
造の上に重ね合された別に用意された構造を含む。幾つ
かの場合には、穴形式の構造そのものが、シート形基板
が常にスリーブの表面と接触したまま留まることを保証
するために十分であるだろう。

好ましい実施例では、例えば隔壁のラビリンスのような
手段が、所定の方法で穴あけされたスリーブの内側に軸
方向に延伸する圧力輪郭を講節することを可能にするた
めにスリーブの内側に存在する。このようなラピリンス
構成は任意には穴あスリ けＭ−１に付随して回転してもよい。圧力輪郭は過圧の
範囲内にあっても（できれば部分的に）低圧力範囲内に
あってもよい。穴あきスリーブの内側の圧力調整は塁板
の接触挙動をさらに確実なものとすることができ、その
結果、基板接触内に局部的に生じる不完全さも修正され
ることができる。

シームレス金属スリーブが用いられる場合は、使用スリ
ーブに充分な剛性を与える方策が講じられるであろう。

一般的な一方策としては、２つの端而リング又は７ラン
ジ間に、穴あけされた又は穴あけされないスリーブを軸
方向圧力下で取付けるというものがある。この方法はこ
の種のスリーブ又はスク１ノーンに基本剛性を提供し、
これは案内ウエアの低い接触圧にとって充分であるだろ
う。もしスリーブにもっと高い圧力が必要であれば、こ
の場合穴を持たないスリーブで、硬化した発泡プラスチ
ック材料のような低密度材料又は空気のような加圧ガス
を内部に満たすことによって剛性を備えてもよい。

適正な発泡プラスチックの例としては、ボス・）７　＠
　−　（Ｖｏｓｓ　Ｃｈｅｍｉｅ）社のＨＨＲ■ポリウ
レタンのようなポリウレタンを挙げてもよい。この材料
はおよそ２６Ｋ９／一密度を持つ半硬質発泡体である。

また同社の口４５０■発泡体を用いてもよい。これは硬
化処理圧力が高い（５〜６　聯／！超過圧力）、密度４
ＳＯＫ９／ｒｄのポリウレタン発泡体である。スリーブ
に剛性を与えるための空気を用いる場合は１．３Ｋ９／
Ｊまでの超過圧力が用いられる。

別の好ましい実施例では、スリーブは軸手段をシリ 備えた支持神ンダによってクランプ式に支持されてもよ
い 上記ローラに関してはストーク・スクリーンズ（Ｓｔｏ
ｒｋ　Ｓｃｒｅｅｎｓ）社のヨーロッパ特許第０．　１
６０，　３４１号を参照されたい。前記特許明ｓｕｉは
、簿壁シームレス円筒スクリーンが中空壁又は中実のロ
ーラの外周面に押込まれるというスクリーンローラ製造
法を開示している。支持シリンダの外周にスクリーンを
取付けるためには、スクリーンの穴を到じ、その後でス
クリーンの直径を例えば空気圧の助けを借りて一時的に
増加して、スクリーンを０−ラ外周に押込めるようにす
る。

本発明ローラを製造するためには、ローラはシームレス
金属スリーブがクランプ式にその外周に押込まれる支持
シリンダによって形成されるが、前記特許に記載の方法
を用いてもよい。

別の形式の支持ローラはストーク・スクリーンズ社の未
公開ドイツ特許出願第８８　００　７８１号に記載され
ているようないわゆる圧縮ストレッチローラである．，
前記文書では、支持ローラは、圧縮され得る連続コーテ
ィングをその表面にもつものとして開示されている。コ
ーティング周囲の小距離にわたってスリーブを押込み、
スリーブとコーティングとの間に例えばガスのような加
圧媒体を送り込むことによってコーティングが押圧され
、コーティングの周囲にスリーブ全体を押込むことがで
きる。特に壁厚の大きいスリーブの場合は、この圧縮ロ
ーラは本発明ローラを形或するのに充分であろう。

本発明はまた、可動ウェブ形基板の案内及び／又は支持
に用いられるローラにも関り、基板処理装置においては
、基板と接触する前記ローラの表面には表面ａ造が備え
られ、その結果所定量のガスが表面構造に接触する基板
とローラとの間に封入され、構造は前記量のガスが基板
の使用運搬速度で事実上同じままで残り、ローラが中実
であるか又は厚壁金属口ーうであり、表面構造が高い耐
摩耗性の頂部層を備えていることを特徴とする。

摩耗材料の影響に対して発明ローラの表面構造を保護す
るために、耐摩耗性の高い頂部層をこの種の０−ラの表
面構造に備えることは極めて有利であることが証明され
た。

この種の頂部層は次のような種々の材料を含むことがで
きる．ｌ チタニウム及び窒化ホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニ特に窒化チ
タニウムでは、硬度、耐摩耗性及び外観について様々な
特性を提供することが見出されている。

頂部層はまたニッケルーリン又はク０ミウム層のような
金属層を含んでいてもよい。

摩擦係数の極めて低いポリテトラフルオルエチレン層も
また好ましい。この点ではセラミック−ボリテトラフル
オルエチレン混合順を挙げてもよい。この層はプラズマ
プレー法によって好適に採用されてもよい。

本発明は最後に、１つ又はそれ以上の基板処理ｇＬ置、
基板移動装置及び１つ又はそれ以上の基板支持ローラを
含む可動ウェブ形基板処理装置にも係り、この種の装置
は本発明ローラについて上記の形状を持つ基板支持ロー
ラを特徴とする。

可動ウェブ形基板処理装置は例えばウェブ形基板にコー
ティングをかけるための装置であってもよい。１例を挙
げれば、例えばポリエステル基板のようなウエア形基板
にエマルジョンをかけるための装置であってもよい。こ
の種のコーティングの均一性は大きな重要性を持つ。コ
ーティング装置での本発明基板支持又は案内ローラの構
造が、装置の運１部分に関して不利な作用が基板又は基
板に貼布されたコーティングに及ばないことを保証する
。便宜上この種の装置は例えば、ボリエステルウェプに
シームレスニッケルスクリーンープリント・ステンシル
助けをかりて均一なコーティングが適用される回転スク
リーンープリント装置である。上記装置の上記部品とは
別に、例えば層を乾燥工程にかけるための乾燥ｖｔ圏を
含んでいてもよい。

図面の説明 次に添附図面を参照して本発明を説明する。

第１ａ図では、１はローラ又は金属シームレススリーブ
の本体の部分断面を表わし、２及び３はローラ又はスリ
ーブの表面に位置する表面構造を表わす。第１ｂ図の部
分平面図からは表面構造がギャップ３をもつ小球２を含
み、これらの小球は等間隔の三角形構造に配列されてい
ることが分かる。

図示のような規則的構造は必要条件でないことが指摘さ
れる。ローラ又はスリーブの表面は例えば研摩、砂吹き
、ビード吹き又はショットビーニングによって粗さが与
えられてもよく、この場合山一谷高さは便宜的に１２．
５マイクロメートルまでのＲａの植を持つであろう。ニ
ッケルスリーブのような電気デボジョンによって得られ
る金属スリーブ又は普通の滑らかさのローラは、Ｒａ≦
０．２マイクロメートルの山一谷高さを持つであろう。

第２ａ図は、空Ｉ１５がエッチングによって０　−ラ本
体又はスリーブ胴４内に形成されたことを表す。溝５の
幅と深さ及び形状は適用に応じて選ばれることができる
。

第３図は、ローラ本体又はスリーブ胴７が任意に配列さ
れた小球構造６を備えており、この種の小球が接合によ
ってローラ又はスリーブの表面に結合されることを示す
。指摘すべきことは、この種の実施例では、較正工程が
表面構造層の形成に続いて付加的に実行されなければな
らず、こうしてローラは真作勤を獲得する。較正工程は
すべての球体成分がローラ又はスリーブの表面上で同じ
１つの高さを持つことを保証するためにも役立つ。

第３ｂ図は第３ａ図の状況を平面図で表わしており、第
２ａ図に対する第２ｂ図の場合と同様である。

第４ａ図では、９はローラ又はスリーブの表面の溝を表
わし、８は溝間の高さ部を表わす。第４ｂ図から、ロー
ラの長さ方向に溝がらせん状に延伸していることが明ら
かである。この場合ローラの軸方向は第４ｂ図に示す矢
印方向に延伸するとする。付随的に、上記の総ての図に
おいて、ローラ又はスリーブの輪方向は第４ｂ図の矢印
の方向に一致すると仮定される。第４Ｃ図は満９間の材
料８の先端は光沢酸洗い、ラッチング、エッチング等々
の付加作業工程によって丸味付けされることを説明する
。

第５図は表面構造がフライス削によってローラ又はスリ
ーブの表面を加工することによって得られ、その結果凹
部１０がチャネル１０′を用いて相互に結合されて得ら
れ、こうして凹部門の相互ガス移動が保証されることを
表わす。凹部の上記の機械加工法とは別に、凹部の形成
は勿論電子ビームエングレービング又はレーザビームエ
ングレービングを用いて実行されてもよい。

第６図及び第７図は、構造がローラの中心にそって相互
に鏡像として形戒されるというローラ又はスリーブの表
面構造の極めて好ましい実施例を表わす。第６図では、
溝形状１３は中心の右側上の部分１１内にあり、形状１
３はローラを正しい方向に回転するとき、ガス運搬は図
の右側へ行われるようにらせん状に配列されている。ロ
ーラ中心の左側の部分１２では、溝形状は反対に向き付
けされており、その結果ガス運搬は左へ生じることがで
きる。

第７図では同じ状況が、重なり合った反対ねじが用いら
れることがでぎ、その結果、例えば溝内の移動抵抗は溝
の１つについて左から右へ、他の溝については右から左
へ減少する。

このような鏡像配列の例は、もしガスの制御された設定
圧力から出発して、基板の移動の間その位置決め精度を
向上させるための要求があれば極めて有利であることが
分かる。ローラの中心から出発した対称形の空気移動の
結果、ローラに関して基板の改良された位置決め精度が
得られる。この場合、基板シート上での平滑化の側面効
果もまた観察され、これは特定材料及び薄いシート厚に
ついては極めて望ましい。この種の形状を形成するため
、ホトレジスト形状を用いるエッチング技術を用いるこ
とが有利であり、さらに特別技術を用い溝深さを変化さ
せることも可能である。勿論この場合、上記ビーム加工
技術を溝形状を形成するための電子又はレーザ光を用い
て代替しもてよい。

第８図は外周溝２０のあるローラ１９の表面構造を表わ
す。この場合ローラ端部の方向への空気の移動は生じな
い。しかし溝を適性に寸法ダ決めすれば基板と溝２０間
の材料との連続的接触を保証することができる。

第９図は表面２１に軸方向延伸満２２が備えられた状況
を表わす。

実際はこの状況はあまり理想的ではなく、幾つかの溝寸
法については、基板シートの振動が生じる。

第１０図及び第１１図は、表面構造が電気メッキ技術の
助けを借りてローラ又はスリーブ上に得られることを表
わしている。第１０図はローラ本体又はスリーブ胴部２
３を示し、２５は、ここで２４で示してある位置に以前
位置にしていたホトレジスｌ−Ｉｍ域間に成長した電気
メッキ金属デポジットを示す。

第１１図では、電気メッキデポジット２７はローラ本体
又はスリーブ胸部２６上にオーバハング２８と共に形成
され、このオーバハングは２９で示す位置に位置してい
たホトレジスト領域上に広がる。

ローラ又はスリーブの表面の空気流の調整は上方成長／
゛オーバハング比の選択によって適性に勘案されること
ができる。

第１２図は、スリーブ３０がどのようにして、上記ヨー
ロッパ特許出願第０．１６０，３４１号に記載の通りに
０−ラ３２の表面の周囲に取付けられるかを示している
。この場合ローラは厚壁の中空口ーうであって、シリン
ダの両端にクランプ式に押込まれたディスク形部材３７
を持つ支持軸３５及び３６を備えている。円板形部材３
７はシリンダの内側のカラーに看座している。シリンダ
３２の端部の１つは多数の径方向開口３８を備えており
、開口はシリンダの外周に口を開き、左側円板形部材３
７内に備えられた軸方向チャネル４０につながっている
。各々のチャネル４０はめくら端部材又は封止プラグ３
９を持つ、チャネル４０の他端は支持シリンダ３２の内
側スペース３３と連絡している。シリンダの右側の円板
形部材３７は少なくとも１個の軸方向チャネル３４を持
ち、これは一方ではスペース３３と連絡し、他方では結
合ニップル４１と結合している。ニツプル４１は図示し
ないホースを介して、これもまた図示しない普通は圧縮
空気の供給源と結合されることができる。

ローラ３２上にスリーブ３０を取付けるため、シリンダ
３２の一番外側の断面は面取りされ、その結果スリーブ
３０は開口３８まで面取り部分上まで押込まれることか
できる。こうして加圧媒体は結合４１及びチャネル３４
を介してスペース３３に送り込まれ、スリーブ３０が弾
性的に引き延ばされ、その結果、支シワ 持神ンダ３２の上にさらに押込まれることができるよう
になっている。この結合では、加圧媒体はスリーブ３０
をある程度膨張させる機能と、同時に支持シリンダ上に
スリーブを押込むときの潤滑剤の役割との２重の機能を
持つ。

押込み作業が完了すると、加圧媒体の供給源への結合が
破れ、この媒体が外へ洩れ出し、その後スリーブ３０は
クランプ式に支持シリンダ３２上に位置する。第１２図
では、支持シリンダ３２の表面上の破線、シリンダの外
側がこの種のシリンダの表面に理想的な耐摩耗性を供給
するためのクロムメッキの薄いカバーで覆われているこ
とを示し、その結果、繰返し使用が可能となる。本発明
ローラ又はスリーブについては一般に高度の耐摩耗性が
目的とされ、一方ではポリテトラフルオルエチレンのよ
うな低ｍ擦係数の耐摩耗性材料を用いることによって達
成できることが指摘され、他方では耐摩耗性材料は高硬
度で用いられることもできる。

イオン注入法、ＣＶＤ法（化学気相蒸＠）及びＰＶＤ法
（物理気相蒸看）もまた、ローラ又はスリーブの表面に
耐摩耗性を与えるために用いられてもよい。

上記技術を用いて付看される材料は様々であり得る。例
えば； チタニウム及びホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化
物のような炭化物 石英及びガラスなどである。

上記材料の中では、特に窒化チタニウムが有効である。

前記材料はスパッタリング技術によって、表面１造をも
つスリーブの表面に付着されてもよい。窒化チタニウム
はそのターゲットから直接にスバッタされても、雰囲気
を形成する窒素ガス内のチタニウムのターゲットからチ
タニウムの反応スパッタリングによって形成されてもよ
い。

高硬度の他の層はさらに、例えばクロミウム層又はニッ
ケルーリン層のような無電界メッキによって又は電解メ
ッキによってデポジットされてもよい。硬度については
、５００゜ヴイッカースを超４一 える硬度が良好な結果を与えであろう。

第１３図は、本発明ローラが端面リング間で受取られた
スリーブ５２を含む状況を表わしており、このスリーブ
は閉止スリーブか又は付加表面構造を備えた穴付きのス
リーブであってもよい。端面リングはこの場合、例えば
回転スクリーンプリント機で用いられているようなステ
ンシル端面リング５０である。リングの端面５３，　５
４は例えばバヨネット結合の装置のステンシルヘッドで
受取られるように構成される。リングは機械内でスリー
ブ５２に軸方向ストレスを及ぼすことでできる。しかし
こ卆 れは必ずしも必要ではな。端面リング５０及び５１はま
た共通軸上に取付けられた端面リングに代替されてもよ
い。必要があればリングは軸から離れた所からの軸方向
抑圧を得ることができる。

上記の通り、スリーブ５２内には低密度材料、例えばプ
ラスチック材料特に硬化した発泡プラスチック、あるい
は加圧ガスをローラの剛性を向上させるため充填されて
もよい。

第１４図は、スリーブ５２が回転スクリーンプリントス
テンシルのような穴あきスリーブである状況を表わして
いる。この場合軸５６はラビリンス５７を支え、スリー
ブの長さ全体に予め定められた空気圧輪郭を達或する。

ラビリンス隔壁部分のスペースを変え、ガス供給及び／
又は除去開口を適性に配列することによって超過圧及び
／又は低圧部分を含む適性な軸方向輪郭が設定される。

低圧はウエア運搬速度が高くウエア張力が低い場合に好
ましく、ある程度の超過圧はウエブ速度が低く、ウエア
張力が高い場合に有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図はローラの表面構造の多数のあり得べき
形態を表す概略的な部分断面図及び平面図、第５図はロ
ーラの表面構造の特殊な形状の構成部分を表す説明図、
第６図及び第７図はローラの端部へのガス除去に役立つ
表面構造の特殊形態出金属によって得られる表面構造を
表す説明図、第１２図は支持シリンダの表面の周りに円
筒形金属シームレススリーブを取付ける原理図、第１３
図及び第１４図は支持されていないスリーブを用いた実
施例の説明図である。 ３，Ｓ，６．９・・・・・・表面構造、３ｏ・・・・・
・スリーブ、３２・・・・・・支持シリンダ、３５，３
６．３７・・・・・・車軸手段、５０．５１・・・・・
・フランジ、５２・・・・・・金属シームレススリーブ
。 ミニミ７−．ｊ０ ミ＝■て・４１

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板処理装置において、可動ウェブ形基板の案内
   及び／又は支持に使用するローラであつて、基板と接触
   する前記ローラの表面が表面構造を備えており、その結
   果所定量のガスが表面構造に接触する基板とローラとの
   間に封入されており、構造は前記容量のガスが基板の使
   用運搬速度に基本的に同じままで残るような形を与えら
   れており、ローラが、基板と接触するその表面に金属の
   シームレススリーブを含んでおり、スリーブの表面に表
   面構造が備えられていることを特徴とするローラ。
2. （２）スリーブが、１５０〜５００マイクロメートル、
   特に１５０〜２５０マイクロメートルの厚さを持つシー
   ムレスニッケルスリーブであることを特徴とする請求項
   １に記載のローラ。
3. （３）表面構造が耐摩耗性の高い頂部層を備えているこ
   とを特徴とする請求項１又は２に記載のローラ。
4. （４）頂部層が以下のもの、即ち −チタン又はホウ素の窒化物のような窒化物−シリコン
   、ホウ素、タングステン及びチタンの炭化物のような炭
   化物 −ガラス及び石英 から選ばれた耐摩耗性材料を含んでいることを特徴とす
   る請求項３に記載のローラ。
5. （５）頂部層が、ニッケル−リン層又はクロム層のよう
   な耐摩耗性と硬度の高い金属層を含んでいることを特徴
   とする請求項３に記載のローラ。
6. （６）頂部層がポリテトラフルオルエチレンの層を含む
   ことを特徴とする請求項３に記載のローラ。
7. （７）スリーブが２つの固定端面リング又はフランジ間
   に取付けられていることを特徴とする請求項１から６の
   いずれか一項に記載のローラ。
8. （８）スリーブが穴を備えたスリーブであることを特徴
   とする請求項７に記載のローラ。
9. （９）所定の空気圧形式を軸方向に設定するための手段
   がスリーブ内に設けられていることを特徴とする請求項
   ７又は８に記載のローラ。
10. （１０）ローラが、スリーブの内側に低密度の材料を満
    たすことによつて剛性を与えられていることを特徴とす
    る請求項７に記載のローラ。
11. （１１）スリーブが、硬化した発泡プラスチック及び加
    圧ガスから選ばれた材料で充填されていることを特徴と
    する請求項１０に記載のローラ。
12. （１２）スリーブが、軸手段を備えた支持シリンダによ
    つてクランプ式に支持されていることを特徴とする請求
    項１から６のいずれか一項に記載のローラ。
13. （１３）基板処理装置において、可動ウェブ形基板の案
    内及び／又は支持に使用するローラであつて、基板と接
    触する前記ローラの表面が表面構造を備えており、その
    結果所定量のガスが表面構造に接触する基板とローラと
    の間に封入されており、構造は前記容量のガスが基板の
    使用運搬速度で基本的に同じままで残るような形を与え
    られており、ローラが中実又は厚壁の金属ローラであり
    、さらに表面構造が耐摩耗性の高い頂部層を備えている
    ことを特徴とするローラ。
14. （１４）頂部層が以下のもの、即ち −チタン又はホウ素の窒化物のような窒化物−シリコン
    、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化物のよう
    な炭化物 −ガラス及び石英 から選ばれた耐摩耗性材料を含むことを特徴とする請求
    項１３に記載のローラ。
15. （１５）頂部層が、ニッケル−リン層又はクロム層のよ
    うな耐摩耗性と硬度の高い金属の層を含むことを特徴と
    する請求項１３に記載のローラ。
16. （１６）頂部層がポリテトラフルオルエチレンの層を含
    むことを特徴とする請求項１３に記載のローラ。
17. （１７）可動ウェブ形基板を処理するための装置であっ
    て、１つ又はそれ以上の基板処理装置、基板移動手段及
    び１つ又はそれ以上の基板支持ローラを含んでおり、基
    板支持ローラが請求項１から１６のいずれか一項に記載
    の形状を持っていることを特徴とする装置。