JPH03236291A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH03236291A JPH03236291A JP2032974A JP3297490A JPH03236291A JP H03236291 A JPH03236291 A JP H03236291A JP 2032974 A JP2032974 A JP 2032974A JP 3297490 A JP3297490 A JP 3297490A JP H03236291 A JPH03236291 A JP H03236291A
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- piezoelectric ceramic
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- mgo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電磁器組成物に関するものであり、特に低温
焼成が可能な圧電磁器組成物に関するものである。
焼成が可能な圧電磁器組成物に関するものである。
従来の技術
圧電磁器組成物としては、Pb (S口+ z3Nbz
/:+) XTiyZr、0.系組成物(特公昭45−
37508号、特公昭46−42548号公報記載)
、Pb(Sn@Sbl−jxTIyZrg03系組成物
(特公昭54−32516号、特公昭54−36757
号公報記載) 、Pb(Zn+z3Nbzz3)s(S
n+z3Nbz7:+)+Ti cZrD03系組成物
(特公昭52−17239号、特公昭51−7318号
公報記載)等がある。これらの組成物は、圧電性が優れ
ていると共に結晶粒径が小さいこと、機械的強度が大き
いことなどの特徴を有する圧電材料であり、高周波用に
対応できる優れた圧電磁器材料である。また、これらの
組成物では成分の組成比を選ぶことにより用途に応じた
種々の特性の圧電磁器を得ることができる。これらの圧
電磁器組成物はセラミックフィルタ、圧電ブザー、圧電
点火栓、超音波振動子等に用いられている。
/:+) XTiyZr、0.系組成物(特公昭45−
37508号、特公昭46−42548号公報記載)
、Pb(Sn@Sbl−jxTIyZrg03系組成物
(特公昭54−32516号、特公昭54−36757
号公報記載) 、Pb(Zn+z3Nbzz3)s(S
n+z3Nbz7:+)+Ti cZrD03系組成物
(特公昭52−17239号、特公昭51−7318号
公報記載)等がある。これらの組成物は、圧電性が優れ
ていると共に結晶粒径が小さいこと、機械的強度が大き
いことなどの特徴を有する圧電材料であり、高周波用に
対応できる優れた圧電磁器材料である。また、これらの
組成物では成分の組成比を選ぶことにより用途に応じた
種々の特性の圧電磁器を得ることができる。これらの圧
電磁器組成物はセラミックフィルタ、圧電ブザー、圧電
点火栓、超音波振動子等に用いられている。
発明が解決しようとする課題
しかし、これらの圧電磁器組成物は製造時の焼成温度が
通常1200〜1300°Cと高い。原料に微細な粉体
を使用したとしても、焼成温度は1100°C以上の高
温が必要である。このため、焼成時に酸化鉛の蒸発が著
しく、組成の変動やばらつきを生じる。このような蒸発
を防ぐため、酸化鉛との反応性が低い材質よりなる焼成
容器、マグネシアやアルミナを主成分とする焼成容器で
密閉したり、酸化鉛雰囲気制御用に酸化鉛粉末やジルコ
ン酸鉛粉末などを焼成容器に充填したりして焼成するが
、それでもなお酸化鉛の蒸発による組成ずれや組成のば
らつきを十分には防止できない。
通常1200〜1300°Cと高い。原料に微細な粉体
を使用したとしても、焼成温度は1100°C以上の高
温が必要である。このため、焼成時に酸化鉛の蒸発が著
しく、組成の変動やばらつきを生じる。このような蒸発
を防ぐため、酸化鉛との反応性が低い材質よりなる焼成
容器、マグネシアやアルミナを主成分とする焼成容器で
密閉したり、酸化鉛雰囲気制御用に酸化鉛粉末やジルコ
ン酸鉛粉末などを焼成容器に充填したりして焼成するが
、それでもなお酸化鉛の蒸発による組成ずれや組成のば
らつきを十分には防止できない。
課題を解決するだめの手段
本発明の圧電磁器組成物は、Pb(Sn+zxNbz/
s)xTiyZrg03 、Pb(SnsSbt−s)
xTtyZrgoz、またはpb(Zn+z3Nbz7
s) A (Sntz3Nbz/3)+TicZro0
3で示される基本組成物に、副成分としてMgOを0.
02〜2重置%添加含有せしめるか、またばMgOを0
.02〜2重量%とMn島を0.05〜5重量%添に、
副成分としてMgOを特徴とする。
s)xTiyZrg03 、Pb(SnsSbt−s)
xTtyZrgoz、またはpb(Zn+z3Nbz7
s) A (Sntz3Nbz/3)+TicZro0
3で示される基本組成物に、副成分としてMgOを0.
02〜2重置%添加含有せしめるか、またばMgOを0
.02〜2重量%とMn島を0.05〜5重量%添に、
副成分としてMgOを特徴とする。
作用
基本組成物に副成分として少量のMg01または少量の
阿goとMnO□を添加することにより、組成物の焼成
温度を著しく低下させることができる。これにより焼成
中の酸化鉛の蒸発量が少なくなり、圧電磁器の組成変動
やばらつきを少なくできると共に、焼成に要するエネル
ギーを少なくできる。同時にまた、MgOの添加により
誘電率、電気機械結合係数が向上し、MgOとMnOt
を添加することにより誘電率、電気機械結合係数と機械
的Qが向上する。
阿goとMnO□を添加することにより、組成物の焼成
温度を著しく低下させることができる。これにより焼成
中の酸化鉛の蒸発量が少なくなり、圧電磁器の組成変動
やばらつきを少なくできると共に、焼成に要するエネル
ギーを少なくできる。同時にまた、MgOの添加により
誘電率、電気機械結合係数が向上し、MgOとMnOt
を添加することにより誘電率、電気機械結合係数と機械
的Qが向上する。
実施例
以下、本発明の実施例を示す。
実施例1
原料としてPb、04 、SnO,、Nbz05、Ti
1tXZrO□を使用し、Pb(Sn+/zNb2zi
)o、 I zsTfo、 4zsZro、 440、
なる基本組成物を得た。次に副成分としてMg01Mn
0□を使用し、これらを基本組成物に対し第1表に示す
組成比に秤量した後、ボールミルで混合したものを85
0°Cで2時間仮焼した。その後ボールミルで粉砕し、
得られた粉体(平均粒子径約1μII+)で直径131
1111、厚さトl程度の円板状の成形体を作製し、こ
れを第1表に示す温度で2時間焼成した。焼成後、この
磁器を厚さ0.3m@程度に研磨したのち、その両面に
Cr −Auの蒸着電極を付与した。その後この素子に
、160℃のシリコンオイル中で、両電極間に3kV/
mmの直流電界を30分間印加し分極処理した。
1tXZrO□を使用し、Pb(Sn+/zNb2zi
)o、 I zsTfo、 4zsZro、 440、
なる基本組成物を得た。次に副成分としてMg01Mn
0□を使用し、これらを基本組成物に対し第1表に示す
組成比に秤量した後、ボールミルで混合したものを85
0°Cで2時間仮焼した。その後ボールミルで粉砕し、
得られた粉体(平均粒子径約1μII+)で直径131
1111、厚さトl程度の円板状の成形体を作製し、こ
れを第1表に示す温度で2時間焼成した。焼成後、この
磁器を厚さ0.3m@程度に研磨したのち、その両面に
Cr −Auの蒸着電極を付与した。その後この素子に
、160℃のシリコンオイル中で、両電極間に3kV/
mmの直流電界を30分間印加し分極処理した。
この試料(NO,1〜11)について誘電率、結合係数
、機械的Qを測定した。なお、焼成温度は密度が最大に
なる温度である。測定結果を第1表に示す。
、機械的Qを測定した。なお、焼成温度は密度が最大に
なる温度である。測定結果を第1表に示す。
実施例2
原料としてPb30. 、SnO□、5bzO3、Ti
0z、ZrO□を使用し、Pb(Sn+zxSbz7x
)o、 o6Tio、 a5Zra、 aqOlなる基
本組成物を得た。次に副成分としてKgO,MnO□を
使用し、これらを基本組成物に対し第2表の組成比に秤
量した後、ボールミルで混第 2 表 *印は比較例 合したものを850°Cで2時間仮焼した。その後ボー
ルミルで粉砕し、得られた粉体(平均粒子径約1μm)
で直径13mm 、厚さ11IIll程度の円板状の成
形体を作製し、これを第2表に示す温度で2時間焼成し
た。焼成後、この磁器を厚さ0゜3+a+i程度に研磨
した後、その両面にCr −Auの蒸着電極を付与した
。その後この素子に、160°Cのシリコンオイル中で
、両電極間に3 kV/mmの直流電界を30分間印加
し分極処理した。この試料(NO,12〜22)につい
て誘電率、結合係数、機械的Qを測定した。なお、焼成
温度は密度が最大になる温度である。測定結果を第2表
に示す。
0z、ZrO□を使用し、Pb(Sn+zxSbz7x
)o、 o6Tio、 a5Zra、 aqOlなる基
本組成物を得た。次に副成分としてKgO,MnO□を
使用し、これらを基本組成物に対し第2表の組成比に秤
量した後、ボールミルで混第 2 表 *印は比較例 合したものを850°Cで2時間仮焼した。その後ボー
ルミルで粉砕し、得られた粉体(平均粒子径約1μm)
で直径13mm 、厚さ11IIll程度の円板状の成
形体を作製し、これを第2表に示す温度で2時間焼成し
た。焼成後、この磁器を厚さ0゜3+a+i程度に研磨
した後、その両面にCr −Auの蒸着電極を付与した
。その後この素子に、160°Cのシリコンオイル中で
、両電極間に3 kV/mmの直流電界を30分間印加
し分極処理した。この試料(NO,12〜22)につい
て誘電率、結合係数、機械的Qを測定した。なお、焼成
温度は密度が最大になる温度である。測定結果を第2表
に示す。
実施例3
原料としてPb+04、Zn O、、Snow、Nb2
O5、TiO□、ZrO,を使用し、Pb(Zn+z3
Nbzz+)o、 oqcsnly3Nbz7s)o、
o、Tio、 42zrO,40o3なる基本組成物
を得た。次に副成分としてMg01Mn0□を使用し、
これらを基本組成物に対し第3表の組成比に秤量した後
、ボールミルで混合したものを1150″Cで2時間仮
焼した。その後、媒体攪拌ミルで微粉砕し、得られた粉
体(平均粒子径約0.2μm)で直径13++v、厚さ
1mm程度の円板状の成形体を作製し、これを第3表に
示す温度で2時間焼成し第 3 表 *印は比較例 た。焼成後、この磁器を厚さ0.3mm程度に研磨した
後、その両面にCr −Auの蒸着電極を付与した。そ
の後この素子に、160”Cのシリコンオイル中で、両
電極間に3 kV/mmの直流電界を30分間印加し分
極処理した。この試料(NO,23〜33)について誘
電率、結合係数、機械的Qを測定した。なお、焼成温度
は密度が最大になる温度である。測定結果を第3表に示
す。
O5、TiO□、ZrO,を使用し、Pb(Zn+z3
Nbzz+)o、 oqcsnly3Nbz7s)o、
o、Tio、 42zrO,40o3なる基本組成物
を得た。次に副成分としてMg01Mn0□を使用し、
これらを基本組成物に対し第3表の組成比に秤量した後
、ボールミルで混合したものを1150″Cで2時間仮
焼した。その後、媒体攪拌ミルで微粉砕し、得られた粉
体(平均粒子径約0.2μm)で直径13++v、厚さ
1mm程度の円板状の成形体を作製し、これを第3表に
示す温度で2時間焼成し第 3 表 *印は比較例 た。焼成後、この磁器を厚さ0.3mm程度に研磨した
後、その両面にCr −Auの蒸着電極を付与した。そ
の後この素子に、160”Cのシリコンオイル中で、両
電極間に3 kV/mmの直流電界を30分間印加し分
極処理した。この試料(NO,23〜33)について誘
電率、結合係数、機械的Qを測定した。なお、焼成温度
は密度が最大になる温度である。測定結果を第3表に示
す。
上記の実施例から明らかなように、KgOを少量添加含
有せしめた本発明の組成物は、これを添加しないものに
比べて焼成温度が著しく低下する。MgOの添加量が0
.1〜0.5重量%の範囲の組成では、焼成温度の低下
が特に著しいと共に、誘電率や結合係数が増加すること
が認められた。また基本組成物にMnO□を添加した組
成物では、MgOの添加による焼成温度の低下と共に、
機械的Qが増加した。
有せしめた本発明の組成物は、これを添加しないものに
比べて焼成温度が著しく低下する。MgOの添加量が0
.1〜0.5重量%の範囲の組成では、焼成温度の低下
が特に著しいと共に、誘電率や結合係数が増加すること
が認められた。また基本組成物にMnO□を添加した組
成物では、MgOの添加による焼成温度の低下と共に、
機械的Qが増加した。
なお、MgOの添加は仮焼後でも焼成温度の低下の効果
は同じであった。MgOは炭酸塩、水酸化物など加熱に
よりMg成分の得られるものであればよく、本発明の範
囲に含まれる。また本発明の基本組成に、Coo 、
Ni O、CrzOa 、AIZ03等の種々の添加物
を添加含有せしめてもよい。
は同じであった。MgOは炭酸塩、水酸化物など加熱に
よりMg成分の得られるものであればよく、本発明の範
囲に含まれる。また本発明の基本組成に、Coo 、
Ni O、CrzOa 、AIZ03等の種々の添加物
を添加含有せしめてもよい。
また、pbの一部をSr、 Ba、 Ca、 La等で
置換してもよい。
置換してもよい。
なお、Pb(Sn+zJbzzs)xT1yZrt03
系では、0.01≦X≦0.25.0≦y≦0.25、
0≦y≦0.875でで示される範囲内の組成物が、比
較的大きな圧電性(結合係数(Kp)と誘電率とが共に
大きい。
系では、0.01≦X≦0.25.0≦y≦0.25、
0≦y≦0.875でで示される範囲内の組成物が、比
較的大きな圧電性(結合係数(Kp)と誘電率とが共に
大きい。
)を示し、圧電磁器材料として望ましい。
また、Pb(SnmSb+−a)+cT1yZrtO+
系では、1/4≦a≦3/4.0.01≦X≦0.25
.0≦y≦0.25、0≦y≦0.875で示される範
囲内の組成物が、比較的大きな圧電性を示し、圧電磁器
材料として好ましい。
系では、1/4≦a≦3/4.0.01≦X≦0.25
.0≦y≦0.25、0≦y≦0.875で示される範
囲内の組成物が、比較的大きな圧電性を示し、圧電磁器
材料として好ましい。
さらにPb(Zn+z3Nbzz+)A(Sr++zJ
bz7z)iTicZrnO8系では、0.01≦A≦
0.50.0.01≦B≦0.25.0≦C≦0.25
、0≦D≦0.875で示される範囲内の組成物が、比
較的大きな圧電性を示し、圧電磁器材料として好ましい
。
bz7z)iTicZrnO8系では、0.01≦A≦
0.50.0.01≦B≦0.25.0≦C≦0.25
、0≦D≦0.875で示される範囲内の組成物が、比
較的大きな圧電性を示し、圧電磁器材料として好ましい
。
従ってここに挙げた範囲の組成を有する材料は、特に工
業的に有用である。
業的に有用である。
また、MnO,の添加量が5重量%を越える範囲の組成
物では圧電性の低下が著しくなる。
物では圧電性の低下が著しくなる。
MnO□は炭酸塩、水酸化物、硝酸塩など加熱によりM
n成分の得られるものであればよく、本発明の範囲に含
まれる。
n成分の得られるものであればよく、本発明の範囲に含
まれる。
MgOの添加量は0.02重量%未満の組成では、焼成
温度の低下が少なく、また2重量%を越える範囲の組成
では、誘電性もしくは結合係数(Kp)などが大きく低
下し、即ち圧電性の低下が著しくなるため、MgOの添
加量は0.02重量%以上2重量%以下の範囲が工業的
には好ましい。
温度の低下が少なく、また2重量%を越える範囲の組成
では、誘電性もしくは結合係数(Kp)などが大きく低
下し、即ち圧電性の低下が著しくなるため、MgOの添
加量は0.02重量%以上2重量%以下の範囲が工業的
には好ましい。
発明の効果
以上のように、基本組成物に添加含有せしめた少量のM
gOにより、従来の組成物と比較して焼成温度が著しく
低下し、焼成中の酸化鉛の蒸発が少なくなって圧電磁器
の特性のばらつきを少なくすることができると共に、焼
成に要するエネルギーを著しく少なくでき、焼成用電気
炉の材質なども安価なものを使用することができるので
、工業的に極めて有益である。更にまた!4goの添加
、またはMgOとMnO□との添加により誘電率、電気
機械結合係数や機械的Qを向上させることができ、圧電
素子の使用価値を著しく高めることができる。
gOにより、従来の組成物と比較して焼成温度が著しく
低下し、焼成中の酸化鉛の蒸発が少なくなって圧電磁器
の特性のばらつきを少なくすることができると共に、焼
成に要するエネルギーを著しく少なくでき、焼成用電気
炉の材質なども安価なものを使用することができるので
、工業的に極めて有益である。更にまた!4goの添加
、またはMgOとMnO□との添加により誘電率、電気
機械結合係数や機械的Qを向上させることができ、圧電
素子の使用価値を著しく高めることができる。
手続補正書泪発)
Claims (6)
- (1)Pb(Sn_1_/_3Nb_2_/_3)_x
Ti_yZr_zO_3(但しx+y+z=1)で示さ
れる基本組成物に、副成分としてMgOを0.02〜2
重量%添加含有せしめてなることを特徴とする圧電磁器
組成物。 - (2)Pb(Sn_aSb_1_−_a)_xTi_y
Zr_zO_3(但し1/4≦a≦3/4、x+y+z
=1)で示される基本組成物に、副成分としてMgOを
0.02〜2重量%添加含有せしめてなることを特徴と
する圧電磁器組成物。 - (3)x、y、zがそれぞれ、0.01≦x≦0.25
、0≦y≦0.75、0≦z≦0.875の範囲の基本
組成物であることを特徴とする請求項1または2記載の
圧電磁器組成物。 - (4)Pb(Zn_1_/_3Nb_2_/_3)_A
(Sn_1_/_3Nb_2_/_3)_BTi_CZ
r_DO_3(但しA+B+C+D=1)で示される基
本組成物に、副成分としてMgOを0.02〜2重量%
添加含有せしめてなることを特徴とする圧電磁器組成物
。 - (5)A、B、C、Dがそれぞれ、0.01≦A≦0.
50、0.01≦B≦0.25、0≦C≦0.75、0
≦D≦0.875の範囲の基本組成物であることを特徴
とする請求項4記載の圧電磁器組成物。 - (6)第2の副成分としてMnO_2を0.05〜5重
量%添加含有せしめてなることを特徴とする請求項1、
2または4記載の圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2032974A JPH0818873B2 (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2032974A JPH0818873B2 (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03236291A true JPH03236291A (ja) | 1991-10-22 |
| JPH0818873B2 JPH0818873B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=12373865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2032974A Expired - Fee Related JPH0818873B2 (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818873B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003063865A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及び圧電共振子並びに積層型圧電素子 |
| KR100462872B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 누설전류가 감소된 압전체 조성물 및 이로 제조된 압전기기 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4947679A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-05-08 |
-
1990
- 1990-02-14 JP JP2032974A patent/JPH0818873B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4947679A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-05-08 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003063865A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物及び圧電共振子並びに積層型圧電素子 |
| KR100462872B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 누설전류가 감소된 압전체 조성물 및 이로 제조된 압전기기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0818873B2 (ja) | 1996-02-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |