JPH03237295A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH03237295A JPH03237295A JP2030510A JP3051090A JPH03237295A JP H03237295 A JPH03237295 A JP H03237295A JP 2030510 A JP2030510 A JP 2030510A JP 3051090 A JP3051090 A JP 3051090A JP H03237295 A JPH03237295 A JP H03237295A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- turbo
- shaped
- rotary
- rotor
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0606—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the electric motor being specially adapted for integration in the pump
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
この発明は、固定翼と回転翼との相対的回転によるター
ボ機構によって分子の流れを方向づけ気体分子を排出し
て真空を得るターボ分子ポンプに関するものである。
ボ機構によって分子の流れを方向づけ気体分子を排出し
て真空を得るターボ分子ポンプに関するものである。
Ｂ、従来の技術
従来に於けるこの種ターボ分子ポンプにおいては回転翼
の回転は電動機によって行っているが、たとえば特開昭
６１−２４７８９４号「ターボ分子ポンプ」にも示され
るように電動機の出力軸端に回転翼が直結された状態で
ある。この構成は縦形のみならず横形の場合でも同様で
ある。
の回転は電動機によって行っているが、たとえば特開昭
６１−２４７８９４号「ターボ分子ポンプ」にも示され
るように電動機の出力軸端に回転翼が直結された状態で
ある。この構成は縦形のみならず横形の場合でも同様で
ある。
Ｃ４発明が解決しようとする問題点
従来のターボ分子ポンプの場合、回転翼と固定翼との組
合わせは多段であるがそれらは一体的になっていてこれ
らが１個の電動機により回転駆動される構成になってい
る。したがって各段の排気特性を変化させるためには翼
の大きさを変化させる必要がある。しかしこの場合は加
工を複雑にする。他方電動機の出力軸端に回転翼が連結
されているので、ポンプ全体の軸芯長が非常に大きくな
らざるを得ない。
合わせは多段であるがそれらは一体的になっていてこれ
らが１個の電動機により回転駆動される構成になってい
る。したがって各段の排気特性を変化させるためには翼
の大きさを変化させる必要がある。しかしこの場合は加
工を複雑にする。他方電動機の出力軸端に回転翼が連結
されているので、ポンプ全体の軸芯長が非常に大きくな
らざるを得ない。
大容量の場合は電動機の大形となりこの傾向は増大する
。軸芯長の増大はポンプの大形化、重量化を招来する。
。軸芯長の増大はポンプの大形化、重量化を招来する。
この発明はこのような問題点を解決するターボ分子ポン
プを提供せんとするものである。
プを提供せんとするものである。
Ｄ１問題点を解決するための手段
この発明によるターボ分子ポンプは、電動機としてリン
グ形電動機を採用するとともにこの電動機を複数個設置
する。このリング形電動機は、一定の空隙をおいて対向
配置された外側固定子および内側固定子と、これらの空
隙間に挿入されたリング状回転子から成り、内固定子と
回転子間の電磁力作用によりリング状回転子にトルクを
発生させる構成のものである。このリング形電動機のそ
れぞれのリング状回転子に前記分子ポンプの回転翼をそ
れぞれ連結して構成するのである。同時に各電動機の駆
動を別々に制御するものである。
グ形電動機を採用するとともにこの電動機を複数個設置
する。このリング形電動機は、一定の空隙をおいて対向
配置された外側固定子および内側固定子と、これらの空
隙間に挿入されたリング状回転子から成り、内固定子と
回転子間の電磁力作用によりリング状回転子にトルクを
発生させる構成のものである。このリング形電動機のそ
れぞれのリング状回転子に前記分子ポンプの回転翼をそ
れぞれ連結して構成するのである。同時に各電動機の駆
動を別々に制御するものである。
Ｅ 作用
リング状回転子に対して連結される分子ポンプの回転翼
はそのリングの内方または外方に位置することができる
から軸芯長はリング形電動機の軸芯長になる。したがっ
て軸芯方向にリング形電動機を複数段の形で設置できる
。
はそのリングの内方または外方に位置することができる
から軸芯長はリング形電動機の軸芯長になる。したがっ
て軸芯方向にリング形電動機を複数段の形で設置できる
。
Ｆ、実膝例
以下、図面に示す実施例にしたがってこの発明を説明す
る。
る。
第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示す縦断面図であり、第２図は第１図におけるＩＩ−Ｉ
Ｉ面図である。第２図はリング形電動機のの構成を説明
するためのもので、その軸芯と垂直の断面が示されてい
る。第３図は各リング形電動機の制御回路を示している
。
示す縦断面図であり、第２図は第１図におけるＩＩ−Ｉ
Ｉ面図である。第２図はリング形電動機のの構成を説明
するためのもので、その軸芯と垂直の断面が示されてい
る。第３図は各リング形電動機の制御回路を示している
。
図示例ではリング形電動機を２段設置した例が示されて
おり、下段は上段と同一であるので、符号については−
を付して示している。ターボ分子ポンプならびにリング
形電動機の説明としては上段を中心に説明する。
おり、下段は上段と同一であるので、符号については−
を付して示している。ターボ分子ポンプならびにリング
形電動機の説明としては上段を中心に説明する。
まず第１図にしたがってターボ分子ポンプの構成につい
て説明する０図において２が固定翼であってポンプケー
シング１の内壁側に一定の間隔で複数段固定付設されて
いる。３はこの固定翼２に対し回転筒１０に一定の間隔
で複数段固定付設され外方に延設された回転翼である。
て説明する０図において２が固定翼であってポンプケー
シング１の内壁側に一定の間隔で複数段固定付設されて
いる。３はこの固定翼２に対し回転筒１０に一定の間隔
で複数段固定付設され外方に延設された回転翼である。
固定翼２と回転翼３は交互に組合わされて両者によって
ターボ機構が構成されるのである。そして回転翼３の高
速回転によって固定翼２と回転翼３間に相対的回転をつ
くり、分子の流れを方向づけ、気体分子を吸気口Ｐから
排気口Ｈへと排出し、吸気口Ｐに連接される被排気室（
図示せず）の真空を得るのである。１５は脚である。
ターボ機構が構成されるのである。そして回転翼３の高
速回転によって固定翼２と回転翼３間に相対的回転をつ
くり、分子の流れを方向づけ、気体分子を吸気口Ｐから
排気口Ｈへと排出し、吸気口Ｐに連接される被排気室（
図示せず）の真空を得るのである。１５は脚である。
以上は従来と異なるところはなく公知の技術である。
さてこの発明は以上の構成において、回転翼３と３の高
速回転をリング形電動機ＲＭで行わせるようにしたとこ
ろに特徴を有するものである。
速回転をリング形電動機ＲＭで行わせるようにしたとこ
ろに特徴を有するものである。
この点を第２図も合せながら説明する。すなわち図にお
いて５はリング形電動機ＲＨをｍｒｌｉ、する一部品で
あって、一定の空隙をおいて対向配置されたリング状の
外側固定子６および内側固定子７を固定的に収納保持す
る環状保持筒であり、中央の固定保持軸４の上部に嵌挿
されている。そして８は外側固定子６および内側固定子
７の空隙間に挿入されたリング状回転子で、その上端は
接続環９を介して回転筒１０に一体的に固定されている
。この回転筒１０が回転翼３の基体となっているのであ
る。
いて５はリング形電動機ＲＨをｍｒｌｉ、する一部品で
あって、一定の空隙をおいて対向配置されたリング状の
外側固定子６および内側固定子７を固定的に収納保持す
る環状保持筒であり、中央の固定保持軸４の上部に嵌挿
されている。そして８は外側固定子６および内側固定子
７の空隙間に挿入されたリング状回転子で、その上端は
接続環９を介して回転筒１０に一体的に固定されている
。この回転筒１０が回転翼３の基体となっているのであ
る。
この回転筒１０は磁気軸受装置１２．１３によって支持
される。磁気軸受装置１２は固定保持軸４に固定された
支持環１４に保持されている。磁気軸受装置１３は回転
筒１０の内方環状部で構成されている。
される。磁気軸受装置１２は固定保持軸４に固定された
支持環１４に保持されている。磁気軸受装置１３は回転
筒１０の内方環状部で構成されている。
したがって上下２個のリング形電動機ＲＨＲＨによって
回転翼３と３が高速回転駆動されることによって排気が
行われるのである。
回転翼３と３が高速回転駆動されることによって排気が
行われるのである。
しかも上下２個のリング形電動機ＲＨＲＭは第３図、に
示すように駆動制御回路ＣＢによって個々に制御される
。 ＥＳは電源部でる。この駆動制御回路ＣＢは被排気
室Ｃの真空度に応じて作動する。すなわち被排気室Ｃの
真空度がセンサＳによって感知され検出器にから真空度
に応じた信号が駆動制御回路ＣＢに入力される。駆動制
御回路Ｃ８はその入力を受けて２個のリング形電動ｆｉ
ＲＨＲＨをそれぞれ適した速度で回転駆動させるのであ
る。
示すように駆動制御回路ＣＢによって個々に制御される
。 ＥＳは電源部でる。この駆動制御回路ＣＢは被排気
室Ｃの真空度に応じて作動する。すなわち被排気室Ｃの
真空度がセンサＳによって感知され検出器にから真空度
に応じた信号が駆動制御回路ＣＢに入力される。駆動制
御回路Ｃ８はその入力を受けて２個のリング形電動ｆｉ
ＲＨＲＨをそれぞれ適した速度で回転駆動させるのであ
る。
この発明の特徴は以上のとおりであるが、上記ならびに
図示例に限定されない、たとえば、リング形電動機を３
段設置してもよい、また被排気室の真空度に応じて回転
速度を制御されるのではなくて、適宜必要によって手動
で制御するようにしてもよい。
図示例に限定されない、たとえば、リング形電動機を３
段設置してもよい、また被排気室の真空度に応じて回転
速度を制御されるのではなくて、適宜必要によって手動
で制御するようにしてもよい。
この発明はこれらすべてを包含する。
Ｇ３発明の効果
この発明は以上説明したとおりであるから、各リング形
電動機の回転速度を制御することによって排気特性を調
整でき、各ターボ機構の大きさを変える必要がない。し
たがってターボ機構の翼の大きさは同一とでき加工、メ
ンテナンスなどに有利である。
電動機の回転速度を制御することによって排気特性を調
整でき、各ターボ機構の大きさを変える必要がない。し
たがってターボ機構の翼の大きさは同一とでき加工、メ
ンテナンスなどに有利である。
しかもポンプ自体の軸長は極力短くできポンプの小形、
軽量化を可能とすることができる。
軽量化を可能とすることができる。
第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示す縦断面図、第２図は第１図における■■面図、第３
図は制御回路図である。 １・・・ポンプケーシング、２・・・固定翼、３・・・
回転翼４・・・固定保持軸、５・・・環状保持筒。
示す縦断面図、第２図は第１図における■■面図、第３
図は制御回路図である。 １・・・ポンプケーシング、２・・・固定翼、３・・・
回転翼４・・・固定保持軸、５・・・環状保持筒。
Claims (2)
- （１）固定翼と回転翼との相対的回転によるターボ機構
によって分子の流れを方向づけ気体分子を排出して真空
を得る分子ポンプであって、前記ターボ機構を複数個段
設するとともに各ターボ機構における回転翼の回転駆動
を別々に制御する制御機構を設けたことを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ - （２）固定翼と回転翼との相対的回転によるターボ機構
によって分子の流れを方向づけ気体分子を排出して真空
を得る分子ポンプであって、一定の空隙をおいて対向配
置された外側固定子および内側固定子と、これらの空隙
間に挿入されたリング状回転子から成り、両固定子と回
転子間の電磁力作用によりリング状回転子にトルクを発
生させるリング形電動機を複数個設け、この各リング形
電動機のリング状回転子にそれぞれ前記分子ポンプの回
転翼を連結するとともに、各リング形電動機の回転駆動
をそれぞれ制御する制御機構を設けたことを特徴とする
ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2030510A JPH03237295A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2030510A JPH03237295A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03237295A true JPH03237295A (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=12305810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2030510A Pending JPH03237295A (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03237295A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6508631B1 (en) | 1999-11-18 | 2003-01-21 | Mks Instruments, Inc. | Radial flow turbomolecular vacuum pump |
| EP2413483A1 (de) | 2010-07-30 | 2012-02-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrische Antriebsvorrichtung für ein Luftfahrzeug |
| JP2016109137A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415493A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-19 | Ebara Corp | Gas pump |
| JPH01234033A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Yoshio Yano | スラリー液用シールレスポンプのモーター |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP2030510A patent/JPH03237295A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415493A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-19 | Ebara Corp | Gas pump |
| JPH01234033A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Yoshio Yano | スラリー液用シールレスポンプのモーター |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6508631B1 (en) | 1999-11-18 | 2003-01-21 | Mks Instruments, Inc. | Radial flow turbomolecular vacuum pump |
| EP2413483A1 (de) | 2010-07-30 | 2012-02-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrische Antriebsvorrichtung für ein Luftfahrzeug |
| WO2012013594A2 (de) | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrische antriebsvorrichtung für ein luftfahrzeug |
| JP2016109137A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
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